CN219996660U - 生长系统 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种生长系统，用于材料的生长，生长系统包括样品室、生长平台和束流源。生长平台容纳于样品室，生长平台设有多个生长工位，生长工位用于固定材料；束流源容纳于样品室，且束流源的出口朝向生长工位，束流源用于材料的生长。生长平台设置在样品室中，生长平台设有多个生长工位，每个工位对应固定一个材料，束流源的出口朝向生长工位设置，用于生长材料，通过多个生长工位生长多个材料，然后一次取出多个生长工位，将多个生长的材料一次取出，节约了时间，提高了生产效率，且一个工位对应固定一个材料，放置材料的空间充足，对材料尺寸的限制较小，且便于固定待生长的材料，提高了操作的便利性。

Description

生长系统

技术领域

本申请涉及材料生长技术领域，尤其是涉及一种生长系统。

背景技术

为生长制备高性能材料，采用真空样品室是目前广泛采用的方式，将样品材料的生长平台放入样品室，使用样品平台的生长工位放置材料，该方法既可高温真空固相生长材料，又可利用化学可逆反应在不同温度下反应朝不同方向进行而生长材料，具有设备简单、成本低、效率高、生长温度低和材料质量高的突出特点。

为了追求材料的纯净，避免产生交叉污染，目前常见的生长平台只有一个生长工位用于生长一个材料，然而，从真空的样品室中取出生长的材料工序繁琐复杂，需要耗费大量时间，一个生长工位用于生长一个材料，生长材料的生产效率低。或者，为了提高生产效率，在一个生长工位上固定多个材料，然而，为了放置多个材料，将一个生产工位切割为多个基底，一个基底对应放置一个材料，每个用于放置材料的基底的尺寸需要切割得非常小，基底需要紧密排列，不方便固定生长材料。

实用新型内容

本申请旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本申请提出一种生长系统，能够提升生产效率，便于固定待生长的材料。

根据本申请实施例的生长系统，用于材料的生长，所述生长系统包括样品室、生长平台和束流源。所述生长平台容纳于所述样品室，所述生长平台设有多个生长工位，所述生长工位用于固定所述材料；所述束流源容纳于所述样品室，且所述束流源的出口朝向所述生长工位，所述束流源用于所述材料的生长。

根据本申请实施例的生长系统，至少具有如下有益效果：生长平台设置在样品室中，生长平台设有多个生长工位，每个工位对应固定一个材料，束流源的出口朝向生长工位设置，用于生长材料，通过多个生长工位生长多个材料，然后一次取出多个生长工位，将多个生长的材料一次取出，节约了时间，提高了生产效率，且一个工位对应固定一个材料，放置材料的空间充足，对材料尺寸的限制较小，且便于固定待生长的材料，提高了操作的便利性。

在一些实施例中，所述生长系统还包括挡板，所述挡板设置于所述生长平台和所述束流源之间，所述挡板用于遮挡所述生长工位，所述挡板能够相对于所述生长平台移动，以使不同的所述生长工位与所述束流源连通。

在一些实施例中，所述挡板设有通孔，所述通孔贯穿所述挡板，所述挡板与所述生长平台相对移动到设定位置时，所述通孔连通所述束流源和所述生长工位。

在一些实施例中，所述通孔的数量为多个，所述挡板与所述生长平台相对移动到设定位置时，一个所述通孔与一个所述生长工位对应，以使所述束流源和部分所述生长工位连通。

在一些实施例中，所述生长系统还包括动力件，所述动力件设置于所述样品室，所述挡板与所述样品室固定连接，所述生长平台的一端与所述动力件连接，所述动力件能够带动所述生长平台相对于所述挡板移动，使挡板能够遮挡不同的所述生长工位。

在一些实施例中，所述生长系统还包括动力件，所述动力件设置于所述样品室，所述生长平台与所述样品室固定连接，所述挡板的一端与所述动力件连接，所述动力件能够带动所述挡板相对于所述生长平台移动，使挡板能够遮挡不同的所述生长工位。

在一些实施例中，所述生长系统还包括多个挡片和多个转轴，各所述转轴与各所述挡片一一对应连接，所述转轴设置于所述生长平台，所述挡片设置于所述生长平台和所述束流源之间，各所述挡片与各所述生长工位对应，所述挡片能够绕所述转轴转动以遮挡对应的所述生长工位。

在一些实施例中，所述生长系统还包括多个控温装置，各所述控温装置与各所述生长工位一一对应连接；或者，所述生长系统还包括一个控温装置，所述控温装置连接各所述生长工位。

在一些实施例中，所述生长平台还包括定位装置，所述定位装置容纳于所述样品室，所述定位装置能够定位所述挡板与所述生长平台的位置。

在一些实施例中，所述生长系统还包括真空泵，所述真空泵与所述样品室连通。

本申请的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。

附图说明

下面结合附图和实施例对本申请做进一步的说明，其中：

图1为本申请实施例的生长系统的结构示意图；

图2为图1中生长系统的另一实施例的结构示意图

图3为图1中挡板的结构示意图；

图4为图1中生长系统的又一实施例的结构示意图。

附图标记：样品室100，生长平台200，生长工位210，束流源300，挡板400，通孔410，动力件500，挡片600，转轴610，控温装置700，定位装置800，真空泵900。

具体实施方式

下面详细描述本申请的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本申请，而不能理解为对本申请的限制。

在本申请的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

在本申请的描述中，若干的含义是一个以上，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。

本申请的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本申请中的具体含义。

本申请的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本申请的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

图1为本申请实施例的生长系统的结构示意图；图2为图1中生长系统的另一实施例的结构示意图；图3为图1中挡板的结构示意图；图4为图1中生长系统的又一实施例的结构示意图。其中为了便于更加直观的描述挡板和生长工位的结构及位置关系，图3和图4中隐藏了样品室、控温装置、定位装置、真空泵。

参照图1。本申请实施例提供了一种生长系统，用于材料的生长，生长系统包括样品室100、生长平台200和束流源300。生长平台200容纳于样品室100，生长平台200设有多个生长工位210，生长工位210用于固定材料。束流源300容纳于样品室100，且束流源300的出口朝向生长工位210，束流源300的出口喷出原料用于材料的生长。具体地，在一些实施例中，生长系统还包括真空泵900，真空泵900与样品室100连通，以保证材料处于生长必需的真空环境，提高了材料的质量。

生长平台200设置在样品室100中，生长平台200设有多个生长工位210，每个工位对应固定一个材料，束流源300的出口朝向生长工位210设置，用于生长材料，通过多个生长工位210生长多个材料，然后一次取出多个生长工位210，将多个生长的材料一次取出，节约了时间，提高了生产效率，且一个工位对应固定一个材料，放置材料的空间充足，对材料尺寸的限制较小，且便于固定待生长的材料，提高了操作的便利性。

具体地，在一些实施例中，生长系统还包括多个控温装置700，各控温装置700与各生长工位210一一对应连接，以满足材料的生长所必需的温度条件。控温装置700的设置形式并不限定于此，具体地，在一些实施例中，控温装置700的数量可以为一个，一个控温装置700连接各生长工位210。其中，因为生长平台200设有多个生长工位210，一个生长工位210对应一个材料的生长，因此控温装置700能够分别对每一个材料的生长进行单独的温度控制，避免了多个材料一起加热，从而导致因为一个生长工位210温度的升降影响其它生长工位210已生长好的材料，提高了材料的质量。具体地，在一些实施例中，控温装置700加热的形式可以是采取电阻丝辐射加热，但不限定于此，控温装置700加热的形式还可以是采取给材料直接通电流，或者采取激光辐射加热，同时也可以通过给材料通低温气体或液体进行降温。

通常在材料的生长过程中，需要生长出不同生长阶段的材料，以对比测试不同生长阶段材料。具体地，在一些实施例中，生长系统还包括挡板400，挡板400设置于生长平台200和束流源300之间，挡板400用于遮挡生长工位210，挡板400能够相对于生长平台200移动，以使不同的生长工位210与束流源300连通。当设定生长工位210上的材料需要生长时，使挡板400和生长平台200相对移动，挡板400不再遮挡设定的生长工位210，设定的生长工位210和束流源300连通，设定生长工位210上的材料生长。当该生长工位210上的材料生长至设定的生长阶段时，使挡板400和生长平台200相对移动，挡板400遮挡设定的生长工位210，设定的生长工位210和束流源300不再连通，设定生长工位210上的材料停止生长。通过控制挡板400与生长平台200相对移动，使不同的生长工位210与束流源300连通，便于控制材料的生长阶段，便于操作，且一次取出多个生长工位210用于放置材料的部分，将多个生长的材料一次取出，能够得到不同生长阶段的材料，节约了时间，提高了生产效率。其中，生长工位210与束流源300连通，是指束流源300的出口朝向生长工位210，且束流源300的出口喷出用于材料生长的原料不会被挡板400遮住，束流源300的出口喷出原料能够作用于材料，使材料生长。

参照图1和图2。具体地，在一些实施例中，生长平台200还包括定位装置800，定位装置800容纳于样品室100，定位装置800能够定位挡板400与生长平台200的位置，当挡板400与生长平台200相对移动时，通过定位装置800确保挡板400连通设定生长工位210与束流源300，同时不会连通其他生长工位210，保证了挡板400与生长平台200相对移动的准确性。更具体地，在一些实施例中，定位装置800为光栅尺，光栅尺设置于样品室外部，利用当栅格窗与刻线盘的相对位置不同时所产生的摩尔条纹也不同，来判断栅格窗在刻线盘上的位置。定位装置800的设置形式不限定于此，定位装置800的设置形式还可以是利用相机进行图像识别，相机安装于样品室100的内部或者外部，且相机正对生长平台200的生长工位210，使相机可以实时拍摄到当前生长工位210与挡板400相对位置的图像。每一个生长工位210刻有相应的标识，标识的内容以及位置在使用前进行标定。当挡板400与生长平台200相对移动时，相机实时监测生长工位210与挡板400的图像并分析其标识，当标识的内容与位置达到先前的设定值时，即判定挡板400与设定生长工位210的位置准确。定位装置800的设置形式不限定于上述方式，其中，定位装置800还可以部分容纳于样品室100，其他部分在样品室100的外部。

为了使控制挡板400与生长平台200相对移动时，能够更加精准地控制设定生长工位210上材料的生长阶段。参照图1和图3。具体地，在一些实施例中，挡板400设有通孔410，通孔410贯穿挡板400，挡板400与生长平台200相对移动到设定位置时，通孔410连通束流源300和生长工位210，其中通孔410连通设定的生长工位210，该生长工位210上的材料生长，其他的生长工位210没有与通孔410连通，其他的生长工位210对应的材料停止生长。当该生长工位210上的材料生长至设定的生长阶段时，使挡板400和生长平台200相对移动，挡板400遮挡设定的生长工位210，通孔410不再连通束流源300和设定的生长工位210，设定生长工位210上的材料停止生长。通过通孔410对应生长工位210，能够更加精准地控制设定生长工位210上的材料的不同生长阶段。

其中，通孔410的数量不限定于一个。具体地，在一些实施例中，通孔410的数量可以为多个，挡板400与生长平台200相对移动到设定位置时，一个通孔410与一个生长工位210一一对应，以使束流源300和部分生长工位210连通。使挡板400和生长平台200相对移动时，每个通孔410与每个生长工位210一一对应，此时每个通孔410所对应的生长工位210上的材料为同一生长阶段，当挡板400和生长平台200再次相对移动时，每个通孔410与每个生长工位210一一对应，此时每个通孔410所对应的生长工位210上的材料为又一生长阶段。通过设置多个通孔410，使得每次使挡板400和生长平台200相对移动时，能够得到多个同一个生长阶段的材料，当同一个生长阶段的材料中发生损坏等情况时，还有多余同一个生长阶段的材料，以确保得到充足的材料，同时也能作为对照，判断是否存在残次品。

挡板400和生长平台200相对移动的实现方式如下。参照图1。具体地，在一些实施例中，生长系统还包括动力件500，动力件500设置于样品室100，挡板400与样品室100固定连接，生长平台200的一端与动力件500连接，动力件500能够带动生长平台200相对于挡板400移动，使挡板400能够遮挡不同的生长工位210。

挡板400和生长平台200相对移动的实现方式不限定于此。参照图2。具体地，在一些实施例中，生长系统还包括动力件500，动力件500设置于样品室100，生长平台200与样品室100固定连接，挡板400的一端与动力件500连接，动力件500能够带动挡板400相对于生长平台200移动，使挡板400能够遮挡不同的生长工位210。

其中，生长出不同生长阶段材料的实现方式也不限定于上述方式。参照图4。具体地，在一些实施例中，生长系统还包括多个挡片600和多个转轴610，各转轴610与各挡片600一一对应连接，转轴610设置于生长平台200，挡片600设置于生长平台200和束流源300之间，各挡片600与各生长工位210一一对应，挡片600能够绕转轴610转动以遮挡对应的生长工位210。

上面结合附图对本申请实施例作了详细说明，但是本申请不限于上述实施例，在所属技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本申请宗旨的前提下作出各种变化。此外，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

Claims (10)

1.生长系统，用于材料的生长，其特征在于，所述生长系统包括：

样品室；

生长平台，所述生长平台容纳于所述样品室，所述生长平台设有多个生长工位，所述生长工位用于固定所述材料；

束流源，所述束流源容纳于所述样品室，且所述束流源的出口朝向所述生长工位，所述束流源用于所述材料的生长。

2.根据权利要求1所述的生长系统，其特征在于，所述生长系统还包括挡板，所述挡板设置于所述生长平台和所述束流源之间，所述挡板用于遮挡所述生长工位，所述挡板能够相对于所述生长平台移动，以使不同的所述生长工位与所述束流源连通。

3.根据权利要求2所述的生长系统，其特征在于，所述挡板设有通孔，所述通孔贯穿所述挡板，所述挡板与所述生长平台相对移动到设定位置时，所述通孔连通所述束流源和所述生长工位。

4.根据权利要求3所述的生长系统，其特征在于，所述通孔的数量为多个，所述挡板与所述生长平台相对移动到设定位置时，一个所述通孔与一个所述生长工位对应，以使所述束流源和部分所述生长工位连通。

5.根据权利要求2所述的生长系统，其特征在于，所述生长系统还包括动力件，所述动力件设置于所述样品室，所述挡板与所述样品室固定连接，所述生长平台的一端与所述动力件连接，所述动力件能够带动所述生长平台相对于所述挡板移动，使挡板能够遮挡不同的所述生长工位。

6.根据权利要求2所述的生长系统，其特征在于，所述生长系统还包括动力件，所述动力件设置于所述样品室，所述生长平台与所述样品室固定连接，所述挡板的一端与所述动力件连接，所述动力件能够带动所述挡板相对于所述生长平台移动，使挡板能够遮挡不同的所述生长工位。

7.根据权利要求1所述的生长系统，其特征在于，所述生长系统还包括多个挡片和多个转轴，各所述转轴与各所述挡片一一对应连接，所述转轴设置于所述生长平台，所述挡片设置于所述生长平台和所述束流源之间，各所述挡片与各所述生长工位一一对应，所述挡片能够绕所述转轴转动以遮挡对应的所述生长工位。

8.根据权利要求1所述的生长系统，其特征在于，所述生长系统还包括多个控温装置，各所述控温装置与各所述生长工位一一对应连接；或者，所述生长系统还包括一个控温装置，所述控温装置连接各所述生长工位。

9.根据权利要求2所述的生长系统，其特征在于，所述生长平台还包括定位装置，所述定位装置容纳于所述样品室，所述定位装置能够定位所述挡板与所述生长平台的位置。

10.根据权利要求1所述的生长系统，其特征在于，所述生长系统还包括真空泵，所述真空泵与所述样品室连通。