CN219987497U - 加热器辅助拆装治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种加热器辅助拆装治具，包括手柄、连接杆、支撑架及L型提拉结构，所述连接杆一端与所述手柄相连接，另一端与所述支撑架相连接，所述L型提拉结构为2个以上；2个以上L型提拉结构与所述支撑架背离所述连接杆的一端可拆卸连接，并在支撑架的下方呈对称分布，L型提拉结构的水平部向加热器的中心方向延伸。本申请经改善的结构设计，可将治具伸入到加热器下方的狭小空间内，增大加热器的受力面积，便于施力对加热器进行拆装，有助于提高加热器更换效率，减少操作人员与加热器直接接触的概率，有助于提高作业安全性。

Description

加热器辅助拆装治具

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，特别是涉及一种加热器辅助拆装治具。

背景技术

加热器(heater)是大部分气相沉积设备，尤其是物理气相沉积设备(PVD)设备中的重要部件。其用于承载晶圆，并对晶圆加热。在长期使用过程中，加热器容易发生变形乃至开裂。因此，为确保生产良率，需要对加热器进行周期性更换，防止出现加热不均匀和/或吸附性能下降等问题。

现有技术中，加热器的更换没有专门的治具而完全依赖技术人员的手动作业。由于加热器与腔室底部间隙过小，使得加热器的安装拆卸十分困难，工作效率低下，且更换时无受力点，容易造成人员受伤。此外，加热器表面可能存在沉积反应残留物，而有些沉积过程中使用的反应源是有毒有害物质，与加热器直接接触时危害工作人员的健康。

应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本申请的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本申请的背景技术部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种加热器辅助拆装治具，用于解决现有技术中，由于加热器底部与腔体之间的间隙较小，完全依赖技术人员的手动作业进行加热器的拆装存在拆装难度大，工作效率低，容易造成人员受伤等问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种加热器辅助拆装治具，所述加热器辅助拆装治具包括手柄、连接杆、支撑架及L型提拉结构，所述连接杆一端与所述手柄相连接，另一端与所述支撑架相连接，所述L型提拉结构为2个以上，2个以上L型提拉结构与所述支撑架背离所述连接杆的一端可拆卸连接，并在支撑架的下方呈对称分布，L型提拉结构的水平部向加热器的中心方向延伸。

可选地，所述加热器辅助拆装治具还包括支架盘，所述支架盘位于所述手柄与所述支撑架之间，所述连接杆与所述支架盘相连接，所述支架盘的直径大于所述支撑架的长度。

可选地，所述加热器辅助拆装治具还包括2个以上支架，2个以上支架与所述支架盘相连接，且沿背离手柄的方向延伸。

可选地，所述支架与支架盘为可拆卸连接。

可选地，所述支架盘与支撑架为相同材质的金属板。

可选地，所述连接杆为螺纹杆，所述螺纹杆穿设于螺杆套内且与螺杆套螺纹配合，螺杆套与支架盘焊接固定，所述手柄包括转盘以及与转盘相连接的摇杆。

可选地，所述L型提拉结构为3个，3个L型提拉结构呈中心对称分布。

可选地，所述L型提拉结构包括L型铝板、不锈钢板和铝合金板中的任意一种。

可选地，所述L型提拉结构表面设置有缓冲层。

可选地，所述L型提拉结构包括水平部和竖直部，所述水平部和竖直部为可拆卸连接。

如上所述，本实用新型的加热器辅助拆装治具，具有以下有益效果：本申请经改善的结构设计，可将治具伸入到加热器下方的狭小空间内，增大加热器的受力面积，便于施力对加热器进行拆装，有助于提高加热器更换效率，减少操作人员与加热器直接接触的概率，有助于提高作业安全性。

附图说明

图1显示为本实用新型提供的加热器辅助拆装治具于一示例中的截面结构示意图。

图2显示为本实用新型提供的加热器辅助拆装治具于另一示例中的截面结构示意图。

图3和图4显示为图2所示的加热器辅助拆装治具的使用示意图。

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。如在详述本实用新型实施例时，为便于说明，表示器件结构的剖面图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是示例，其在此不应限制本实用新型保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。

为了方便描述，此处可能使用诸如“之下”、“下方”、“低于”、“下面”、“上方”、“上”等的空间关系词语来描述附图中所示的一个元件或特征与其他元件或特征的关系。将理解到，这些空间关系词语意图包含使用中或操作中的器件的、除了附图中描绘的方向之外的其他方向。此外，当一层被称为在两层“之间”时，它可以是所述两层之间仅有的层，或者也可以存在一个或多个介于其间的层。

在本申请的上下文中，所描述的第一特征在第二特征“之上”的结构可以包括第一和第二特征形成为直接接触的实施例，也可以包括另外的特征形成在第一和第二特征之间的实施例，这样第一和第二特征可能不是直接接触。

需要说明的是,本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。为使图示尽量简洁，各附图中并未对所有的结构全部标示。

如图1所示，本实用新型提供一种加热器辅助拆装治具。所述加热器辅助拆装治具包括手柄11、连接杆12、支撑架13及L型提拉结构14。所述连接杆12一端与所述手柄11相连接，另一端与所述支撑架13相连接。所述L型提拉结构14为2个以上，2个以上L型提拉结构14与所述支撑架13背离所述连接杆12的一端可拆卸连接。即L型提拉结构14和连接杆12连接于支撑架13的两个相对的表面。2个以上L型提拉结构14在支撑架13的下方呈对称分布。例如支撑架13为矩形板状，则2个L型提拉结构14连接于支撑架13的相对两端。L型提拉结构14包括水平部141和与水平部141相连接的竖直部142。竖直部142的一端与支撑架13连接，另一端与水平部141相连接，其水平部141向加热器10的中心方向延伸。所述L型提拉结构14的水平部141和竖直部142可以为固定连接或为可拆卸连接。在一些示例中，L型提拉结构14的水平部141和竖直部142可以通过弹性复位结构相连接。当对弹性复位结构施力时，可以使水平部141和竖直部142之间的夹角增大而使得水平部141和竖直部142之间趋于在一条直线上，待水平部141置于加热器10下方时，释放弹性复位结构，使得水平部141恢复水平状态而抵接在加热器10承载盘的下表面。

本实施例提供的加热器辅助拆装治具的一例示性使用方法为，在需要拆卸加热器10时，先将加热器10上方的边缘环等部件移除，使得加热器10与腔室侧壁之间的空隙显露出来。然后将2个以上L型提拉结构14放入该空隙内并将L型提拉结构的水平部逐渐伸至加热器承载盘的下方，直至水平部141抵接在加热器10的承载盘的下表面，调整好位置。如果L型提拉结构14为2个，则在确保2个L型提拉结构14对称分布于加热器10的两端后，握住手柄11并向上提升，直至将加热器10移出工艺腔室。在放置加热器10时，先将提起的加热器10放入工艺腔室的预定位置，然后使L型提拉结构14的水平部141逐渐脱离加热器10表面，直至将L型提拉结构14完全取出。在其他一些示例中，为提高受力均匀性，L型提拉结构14也可以为3个，3个L型提拉结构14呈中心对称分布。在L型提拉结构14为3个的情况下，支撑架13可以设置为圆盘状或环状。

拆装作业过程中，将L型提拉结构14的水平部141伸至加热器10下方的方式可以根据腔体结构的不同而调整。比如在一示例中，L型提拉结构14可以设计为与支撑架13通过转轴相连接，使得L型提拉结构14可小幅度转动，因而通过适度用力转动L型提拉结构14而将其放入后再使L型提拉结构复位。在另外的示例中，L型提拉结构14和支撑架13也可以通过螺丝等紧固件固定。例如L型提拉结构14的竖直部142上设置有螺纹孔，而支撑架13上设置有螺丝。在放置治具时，可以先将L型提拉结构14以竖直部142处于竖直状态的方式独立放置于腔室内(L型提拉结构的底面需具有一定宽度，使得其被独立放置于腔室内时不会倾倒)，然后手握手柄11并调整支撑架13的位置，直至支撑架13上的各螺丝与竖直部142的螺丝孔一一对应，旋紧各螺丝，直至L型提拉结构14与支撑架13紧固。在安装加热器10时，则在加热器10放妥后，将螺丝松开，以将支撑架13和L型提拉结构14分别取出。在一些示例中，例如在Altus设备中，加热器10的周向会设置有用于备件组装的缺口(pocket)。这种结构下，可以将L型提拉结构14通过缺口放入加热器10下方，之后转动治具，以使各L型提拉结构14处于非缺口位置再进行加热器10的提拉。

本申请经改善的结构设计，可将治具伸入到加热器下方的狭小空间内，增大拆装作业时加热器的受力面积，便于施力对加热器进行拆装，有助于提高加热器更换效率，减少操作人员与加热器直接接触的概率，有助于提高作业安全性。

在另一示例中，如图2所示，所述加热器辅助拆装治具还包括支架盘15，所述支架盘15位于所述手柄11与所述支撑架13之间，所述连接杆12与所述支架盘15相连接，所述支架盘15的直径较佳地为大于所述支撑架13的长度。支架盘15上可以对应设置有通孔，以通过该通孔进行L型提拉结构14和支撑架13的螺丝紧固或拆卸。设置支架盘15，有助于整个治具的平衡。

在一些示例中，所述连接杆12为直线杆。而在另外一些示例中，所述连接杆12为螺纹杆，所述螺纹杆穿设于螺杆套17内，螺纹杆与螺杆套17螺纹配合，螺杆套17与支架盘15焊接固定，所述手柄11包括转盘以及与转盘相连接的摇杆111。通过旋转手柄11，使得螺纹杆与螺杆套17旋进旋出而实现螺纹杆的升降。

在进一步的示例中，在设置有支架盘15的情况下，所述加热器辅助拆装治具还包括2个以上支架16，2个以上支架16与所述支架盘15相连接，且沿背离手柄11的方向延伸，即向下延伸。多个支架16较佳地为以加热器10的中心呈中心对称分布。

在设置有支架盘15与支架16的情况下，该治具的一例示性使用方法为，先将L型提拉结构14放入腔室内，且L型提拉结构14的水平部141位于加热器10下方，各支架16分布于加热器10周围的间隙中并立于腔室底面；操作手柄11以使连接杆12下降，例如转动手柄11以使连接杆12往下摇，摇到合适的位置将L型提拉结构14的竖直部142和支撑架13用螺丝连接紧固(参考图3所示)，然后向上提拉加热器10(参考图4所示)，提拉到一定高度后再进行整体移出。

所述支架盘15与支架16可为固定连接或为可拆卸连接。当为可拆卸连接时，可以根据加热器10的尺寸调节支架16之间的间距，由此实现对不同尺寸的加热器的拆装作业。

各结构的材质可以根据加热器10的型号而定，只要确保其机械强度足以支撑提拉的加热器的重量。但在较佳的示例中，所述支架盘15的材质与支撑架13的材质相同，较佳地为相同材质的金属板，两者的材质还可以与L型提拉结构14的材质相同。例如所述L型提拉结构14包括但不仅限于L型铝板、不锈钢板和铝合金板中的任意一种。为防止L型提拉结构14和加热器10接触的过程中对加热器10造成磨损，所述L型提拉结构14表面，尤其是会与加热器直接接触的表面可以设置有缓冲层(未示出)。缓冲层可以为PPS等机械强度和耐腐蚀性较好的树脂材料。设置缓冲层，还可以增大和加热器之间的摩擦力，防止在提拉加热器的过程中，加热器发生晃动而与腔体发生碰撞甚至是掉落。在一些示例中，L型提拉结构14的水平部141与加热器10接触的表面可以具有弧形表面。

各结构的尺寸亦可以根据加热器10的尺寸灵活设置。但L型提拉结构14的竖直部142的长度，或者说高度需大于加热器10承载盘的厚度，以使得支撑架不会和加热器上表面接触。水平部141的长度则以适宜通过加热器10和腔壁之间的间隙放入至加热器10下发为宜，厚度略小于加热器承载盘与腔室底面之间的距离。在便于放置的情况下，水平部的水平表面可以适当加大，以增大和加热器的接触面积。水平部整体可以呈矩形状或者扇形状。支撑架13的横向长度则不小于待拆装的加热器10的承载盘的直径。例如于一示例中，若加热器10的规格为12寸，则治具各结构的尺寸如下所示：

支架16直径为10mm，高度500mm；

支撑架13长400mm，宽50mm，厚度8mm；

连接杆12长度为450mm；

支架盘15直径为450mm；

手柄11直径为100mm；

L型提拉结构14的竖直部142长200mm，宽50mm，厚度8mm，水平部141长40mm，宽40mm，厚度8mm。

当然，上述各尺寸均是示例性的，实际尺寸可以根据需要调整，对此不做限制。

本实施提供的治具可用于各类气相沉积设备中的加热器的拆装作业，经实验证实可以极大提高加热器的更换效率。

综上所述，本实用新型提供一种加热器辅助拆装治具，包括手柄、连接杆、支撑架及L型提拉结构，所述连接杆一端与所述手柄相连接，另一端与所述支撑架相连接，所述L型提拉结构为2个以上；2个以上L型提拉结构与所述支撑架背离所述连接杆的一端可拆卸连接，并在支撑架的下方呈对称分布，L型提拉结构的水平部向加热器的中心方向延伸。本申请经改善的结构设计，可将治具伸入到加热器下方的狭小空间内，增大加热器的受力面积，便于施力对加热器进行拆装，有助于提高加热器更换效率，减少操作人员与加热器直接接触的概率，有助于提高作业安全性。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。

Claims (10)

1.一种加热器辅助拆装治具，其特征在于，所述加热器辅助拆装治具包括手柄、连接杆、支撑架及L型提拉结构，所述连接杆一端与所述手柄相连接，另一端与所述支撑架相连接，所述L型提拉结构为2个以上；2个以上L型提拉结构与所述支撑架背离所述连接杆的一端可拆卸连接，并在支撑架的下方呈对称分布，L型提拉结构的水平部向加热器的中心方向延伸。

2.根据权利要求1所述的加热器辅助拆装治具，其特征在于，所述加热器辅助拆装治具还包括支架盘，所述支架盘位于所述手柄与所述支撑架之间，所述连接杆与所述支架盘相连接，所述支架盘的直径大于所述支撑架的长度。

3.根据权利要求2所述的加热器辅助拆装治具，其特征在于，所述加热器辅助拆装治具还包括2个以上支架，2个以上支架与所述支架盘相连接，且沿背离手柄的方向延伸。

4.根据权利要求3所述的加热器辅助拆装治具，其特征在于，所述支架与支架盘为可拆卸连接。

5.根据权利要求3所述的加热器辅助拆装治具，其特征在于，所述支架盘与支撑架为相同材质的金属板。

6.根据权利要求2所述的加热器辅助拆装治具，其特征在于，所述连接杆为螺纹杆，所述螺纹杆穿设于螺杆套内且与螺杆套螺纹配合，螺杆套与支架盘焊接固定，所述手柄包括转盘以及与转盘相连接的摇杆。

7.根据权利要求1所述的加热器辅助拆装治具，其特征在于，所述L型提拉结构为3个，3个L型提拉结构呈中心对称分布。

8.根据权利要求1所述的加热器辅助拆装治具，其特征在于，所述L型提拉结构包括L型铝板、不锈钢板和铝合金板中的任意一种。

9.根据权利要求8所述的加热器辅助拆装治具，其特征在于，所述L型提拉结构表面设置有缓冲层。

10.根据权利要求1至9任一项所述的加热器辅助拆装治具，其特征在于，所述L型提拉结构包括水平部和竖直部，所述水平部和竖直部为可拆卸连接。