CN219968461U - 一种粘棒加热脱板机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种粘棒加热脱板机构，所述粘棒加热脱板机构包括烘箱、连接在所述烘箱后端的输送机构以及连接在所述输送机构侧面的剔除机构，所述烘箱包括箱体，所述箱体内设置滚轮传送带，所述滚轮传送带与输送机构对应且均用于输送晶托，所述晶托包括托体、与托体表面通过胶体连接的树脂板，所述箱体内位于晶托远端设置电热管，所述剔除机构包括设置在所述输送机构侧面的支架、设置在所述支架外侧的气缸，所述气缸的活塞杆连接推板，所述电热管用于融化晶托表面的胶体，所述输送机构将晶托输送至剔除机构时，所述气缸驱动推板伸出，将所述晶托表面的树脂板推走，结构简单，自动化程度高，耗能较少。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片生产设备技术领域，尤其涉及一种粘棒加热脱板机构。
背景技术
在半导体硅晶片制造过程中，粘接好的晶棒经线切割后，需要将切割好的晶片冲洗干净以及从树脂板上脱落。现有技术中主要使用全自动脱胶机来清洗脱胶切割后的晶棒，脱胶清洗机勾住装有切后晶棒的料框通过喷淋冲洗槽、高温脱胶槽、超声清洗槽等，将清洗干净的硅晶片从树脂板上脱掉。高温清洗液脱胶时间长、且功耗高，工业化生产效率低。
因此，需要一种更加高效的脱胶机构以解决上述问题。
实用新型内容
针对上述现有技术的缺点，本实用新型的目的是提供一种粘棒加热脱板机构，以解决现有技术中的一个或多个问题。
为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：
一种粘棒加热脱板机构，所述粘棒加热脱板机构包括烘箱、连接在所述烘箱后端的输送机构以及连接在所述输送机构侧面的剔除机构，所述烘箱包括箱体，所述箱体内设置滚轮传送带，所述滚轮传送带与输送机构对应且均用于输送晶托，所述晶托包括托体、与托体表面通过胶体连接的树脂板，所述箱体内位于晶托远端设置电热管，所述剔除机构包括设置在所述输送机构侧面的支架、设置在所述支架外侧的气缸，所述气缸的活塞杆连接推板，所述电热管用于融化晶托表面的胶体，所述输送机构将晶托输送至剔除机构时，所述气缸驱动推板伸出，将所述晶托表面的树脂板推走。
进一步的，所述滚轮传送带包括两块第一限位板以及旋转设置在两块第一限位板之间的若干滚轴，所述滚轴之间通过链条传动，所述第一限位板侧面还设置第一电机，所述第一电机用于驱动滚轴旋转。
进一步的，所述滚轴中间设置有第一限位块。
进一步的，所述输送机构包括两块第二限位板以及旋转设置在两块第二限位板之间的若干转轴，所述转轴两端设置有链轮，所述链轮外侧套设链条传动，所述第二限位板侧面还设置第二电机，所述第二电机用于驱动转轴旋转。
进一步的，两块所述第二限位板中间设置第二限位块。
进一步的，所述推板两侧还设置有导向杆，所述导向杆滑动穿过所述支架。
进一步的，所述第二限位板位于剔除机构相对一侧还设置连接板以及与所述连接板连接的斜板。
进一步的，所述托体近端开设T型槽，所述托体近端两侧具有延伸部。
进一步的，所述电热管为盘状。
与现有技术相比，本实用新型的有益技术效果如下：
(一)本实用新型的粘棒加热脱板机构工作时，通过滚轮输送带将晶托输送至电热管处进行加热，使托体与树脂板之间的胶体全部融化，再由输送机构将晶托输送至剔除机构处，气缸驱动活塞杆带动推板伸出，将托体表面的树脂板推出，实现粘棒与树脂板脱离，结构简单，自动化程度高，耗能较少。
(二)进一步的，所述第一限位板与第二限位板对齐且滚轴与转轴高度相同，使晶托能够持续输送，所述滚轴中间设置有第一限位块，两块所述第二限位板中间设置第二限位块，用于卡入T型槽中对托体进行限位。
附图说明
图1示出了本实用新型实施例一提供的一种粘棒加热脱板机构中烘箱的结构示意图。
图2示出了本实用新型实施例一提供的一种粘棒加热脱板机构的俯视结构示意图。
图3示出了本实用新型实施例一提供的一种粘棒加热脱板机构中晶托的结构示意图。
附图中标记：
1、箱体；11、第一限位板；12、第一电机；13、滚轴；131、第一限位块；14、电热管；2、输送机构；21、第二限位板；22、第二限位块；23、第二电机；24、转轴；25、链轮；26、链条；3、剔除机构；31、支架；32、气缸；33、活塞杆；34、推板；35、导向杆；36、连接板；37、斜板；4、托体；41、T型槽；42、延伸部；5、胶体；6、树脂板。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、特征和优点能够更加明显易懂，请参阅附图。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容能涵盖的范围内。
在本实用新型的描述中，限定术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
为了更加清楚地描述上述一种粘棒加热脱板机构的结构，本实用新型限定术语“远端”、“近端”、“前端”、“后端”，具体而言，“远端”表示远离地面的一端，“近端”表示靠近地面的一端，“前端”表示靠近晶托输送方向的一端，“后端”表示远离晶托输送方向的一端，以图1和图2为例，图1中第一限位板11的下端为近端，图1中第一限位板11的上端为远端，图2中第二限位板21的右侧为前端，图2中第二限位板21的左侧为后端。
实施例一
请参考图1、图2和图3，一种粘棒加热脱板机构，所述粘棒加热脱板机构包括烘箱、连接在所述烘箱后端的输送机构2以及连接在所述输送机构2侧面的剔除机构3，所述烘箱包括箱体1，所述箱体1内设置滚轮传送带，所述滚轮传送带与输送机构2对应且均用于输送晶托，所述晶托包括托体4、与托体4表面通过胶体5连接的树脂板6，所述箱体1内位于晶托远端设置电热管14，所述剔除机构3包括设置在所述输送机构2侧面的支架31、设置在所述支架31外侧的气缸32，所述气缸32的活塞杆33连接推板34，所述电热管14用于融化晶托表面的胶体5，所述输送机构2将晶托输送至剔除机构3时，所述气缸32驱动推板34伸出，将所述晶托表面的树脂板6推走。
下面描述所述晶托、烘箱的具体结构如下：
请参考图1和图3，进一步的，所述托体4近端开设T型槽41，所述托体4近端两侧具有延伸部42。
请参考图1，进一步的，所述滚轮传送带包括两块第一限位板11以及旋转设置在两块第一限位板11之间的若干滚轴13，所述滚轴13之间通过链条26传动，所述第一限位板11侧面还设置第一电机12，所述第一电机12用于驱动第一个滚轴13旋转。所述第一限位板11与第二限位板21对齐且滚轴13与转轴24高度相同，使晶托能够持续输送。
请参考图1，进一步的，所述滚轴13中间设置有第一限位块131，用于卡入T型槽41中对托体4进行限位。
请参考图1，进一步的，所述电热管14为盘状，使托体4和树脂板6表面都能受热，保证胶体5融化效率。
下面描述所述输送机构2、剔除机构3的具体结构如下：
请参考图2，进一步的，所述输送机构2包括两块第二限位板21以及旋转设置在两块第二限位板21之间的若干转轴24，所述转轴24两端设置有链轮25，所述链轮25外侧套设链条26传动，所述第二限位板21侧面还设置第二电机23，所述第二电机23用于驱动第一个转轴24旋转。
请参考图2，进一步的，两块所述第二限位板21中间设置第二限位块22，用于卡入T型槽41中对托体4进行限位。
请参考图2，进一步的，所述推板34两侧还设置有导向杆35，所述导向杆35滑动穿过所述支架31，用于对推板34伸缩方向进行限位。所述推板34垂直于输送机构2设置，且推板34底部高度略高于树脂板6底部高度，保证推板34能够将树脂板6推离托体4。
请参考图2，进一步的，所述第二限位板21位于剔除机构3相对一侧还设置连接板36以及与所述连接板36连接的斜板37，用于引导被推出的树脂板6使其脱离输送机构2。
本实用新型的具体工作流程如下：
第一电机12和第二电机23启动，第一电机12驱动滚轴13转动，滚轴13将晶托输送至电热管14处进行加热，使托体4与树脂板6之间的胶体5全部融化，滚轴13将晶托输送至输送机构2，第二电机23驱动转轴24转动，链条26带动晶托输送至剔除机构3处，气缸32驱动活塞杆33带动推板34伸出，将托体4表面的树脂板6推出，树脂板6被推至连接板36处并顺着斜板37下滑掉落。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (9)
1.一种粘棒加热脱板机构，其特征在于：所述粘棒加热脱板机构包括烘箱、连接在所述烘箱后端的输送机构以及连接在所述输送机构侧面的剔除机构，所述烘箱包括箱体，所述箱体内设置滚轮传送带，所述滚轮传送带与输送机构对应且均用于输送晶托，所述晶托包括托体、与托体表面通过胶体连接的树脂板，所述箱体内位于晶托远端设置电热管，所述剔除机构包括设置在所述输送机构侧面的支架、设置在所述支架外侧的气缸，所述气缸的活塞杆连接推板，所述电热管用于融化晶托表面的胶体，所述输送机构将晶托输送至剔除机构时，所述气缸驱动推板伸出，将所述晶托表面的树脂板推走。
2.如权利要求1所述的一种粘棒加热脱板机构，其特征在于：所述滚轮传送带包括两块第一限位板以及旋转设置在两块第一限位板之间的若干滚轴，所述滚轴之间通过链条传动，所述第一限位板侧面还设置第一电机，所述第一电机用于驱动滚轴旋转。
3.如权利要求2所述的一种粘棒加热脱板机构，其特征在于：所述滚轴中间设置有第一限位块。
4.如权利要求1所述的一种粘棒加热脱板机构，其特征在于：所述输送机构包括两块第二限位板以及旋转设置在两块第二限位板之间的若干转轴，所述转轴两端设置有链轮，所述链轮外侧套设链条传动，所述第二限位板侧面还设置第二电机，所述第二电机用于驱动转轴旋转。
5.如权利要求4所述的一种粘棒加热脱板机构，其特征在于：两块所述第二限位板中间设置第二限位块。
6.如权利要求1所述的一种粘棒加热脱板机构，其特征在于：所述推板两侧还设置有导向杆，所述导向杆滑动穿过所述支架。
7.如权利要求4所述的一种粘棒加热脱板机构，其特征在于：所述第二限位板位于剔除机构相对一侧还设置连接板以及与所述连接板连接的斜板。
8.如权利要求1所述的一种粘棒加热脱板机构，其特征在于：所述托体近端开设T型槽，所述托体近端两侧具有延伸部。
9.如权利要求1所述的一种粘棒加热脱板机构，其特征在于：所述电热管为盘状。
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