CN219955052U - 一种氮气管网的安全装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于多晶硅生产技术领域。鉴于现有的多晶硅生产过程不能及时发现氮气管网串料导致影响多晶硅生产的正常进行和存在安全隐患的问题，本实用新型公开了一种氮气管网的安全装置，其结构包括气体检测仪；报警器，和所述气体检测仪电性连接；压缩空气管路，用于提供空气样本；氮气管路，一端和所述氮气管网连通，用于采取氮气样本；流量计，和所述气体检测仪的进气口连通；三通连通器，所述三通连通器的其中两个端头分别连通所述压缩空气管路和所述氮气管路，另一个端头和所述流量计连通。该安全装置可及时发现氮气管网的串料现象并进行处理，以保证生产的正常进行，避免发生安全事故。
Description
技术领域
本实用新型属于多晶硅生产技术领域，具体涉及一种氮气管网的安全装置。
背景技术
目前，改良西门子法是国内外生产多晶硅的主流工艺，该工艺生产多晶硅的原料为三氯氢硅、氢气，中间产物有氯化氢、二氯二氢硅、四氯化硅等，辅助原料有氮气等。其中，氮气作为为置换、保护气体使用。
但在实际使用过程中，氮气管网直接和反应器管道连接，为防止出现串料，厂家一般在氮气储罐、反应器和氮气管道的末端进行取样检测。
但上述方式存在无法及时发现串料，从而延长了检修时间，同时，随着串压压力的提高，串料的氮气作为保护气体起反作用，会影响整个生产系统的安全运行和检修安全。
实用新型内容
鉴于上述现有的多晶硅生产过程不能及时发现氮气管网串料导致影响多晶硅生产的正常进行和存在安全隐患的问题，本实用新型的目的之一在于提供一种氮气管网的安全装置，该安全装置可及时发现氮气管网的串料，并能发出报警信号。
为实现上述目的，本实用新型采用下列技术方案：
一种氮气管网的安全装置，应用于多晶硅生产系统，包括气体检测仪；报警器，和所述气体检测仪电性连接；压缩空气管路，用于提供空气样本；氮气管路，一端和所述氮气管网连通，用于采取氮气样本；流量计，和所述气体检测仪的进气口连通；三通连通器，所述三通连通器的其中两个端头分别连通所述压缩空气管路和所述氮气管路，另一个端头和所述流量计连通。
在本实用新型公开的其中一个技术方案中，所述压缩空气管路和所述氮气管路均设有减压器。
在本实用新型公开的其中一个技术方案中，所述减压器为气体减压阀。
在本实用新型公开的其中一个技术方案中，所述三通连通器和所述流量计之间的连接管路上还设有串联的若干减压阀。
在本实用新型公开的其中一个技术方案中，所述减压阀、所述减压阀和所述流量计的连接滚路上均设有排空管路。
在本实用新型公开的其中一个技术方案中，还包括壳体；其中，至少所述气体检测仪安装在所述壳体中；所述报警器安装在所述壳体外。
在本实用新型公开的其中一个技术方案中，所述流量计和所述三通连通器均安装在所述壳体内。
在本实用新型公开的其中一个技术方案中，所述壳体为防爆型。
在本实用新型公开的其中一个技术方案中，所述报警器和所述多晶硅生产系统的中控室电性连接。
在本实用新型公开的其中一个技术方案中，所述流量计为转子流量计。
通过以上说明可知，与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1.通过压缩空气管路和氮气管路分别采取空气样本和实时氮气样本，并通过减压器将空气样本和实时氮气样本调到相同压力，并通过三通连通器进行混合后，送入氯硅烷气体检测仪中进行检测，当氯硅烷气体检测仪检测到混合样本中含有氯硅烷时控制报警器向中控室进行报警，以提醒工作人员氮气管网发生串料，可及时发现氮气管网的串料现象并进行处理，以保证生产的正常进行，避免发生安全事故。
2.氮气经过减压阀和流量计后，稳压、定量、衡量地送入氯硅烷气体检测仪中，有利于保证检测的正常进行。
3.设置有防爆型的壳体，既可以保证检测结果的准确性，又能保证使用的安全性。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型的结构示意图。
附图标记：1-氯硅烷气体检测仪；2-报警器；3-压缩空气管路；4-氮气管路；5-三通连通器；6-减压器；7-流量计；8-减压阀；81-排空管路；9-壳体。
具体实施方式
在下文中，仅简单地描述了某些示例性实施例。正如本领域技术人员可认识到的那样，在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，可通过各种不同方式修改所描述的实施例。因此，附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
此外，在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
下面结合附图对本实用新型的实施例进行详细说明。
改良西门子法是国内外生产多晶硅的主流工艺，该工艺生产多晶硅的原料为三氯氢硅、氢气，中间产物有氯化氢、二氯二氢硅、四氯化硅等，辅助原料有氮气等。目前，氮气管网通常是和反应器直接连通，产物容易反串进入氮气管网中，其中的氯硅烷混入氮气中起反作用，从而容易导致安全事故的发生。
基于上述多晶硅生产系统反应器中的氯硅烷容易反串进入氮气管网中导致容易发生安全事故的问题，本实用新型实施例公开了一种氮气管网的安全装置，其结构如附图1所示，包括氯硅烷气体检测仪1、报警器2、压缩空气管路3、氮气管路4、三通连通器5和减压器6。
具体地，压缩空气管路3可和压缩空气储存装置连通，用于采取空气样本。氮气管路4和氮气管网连通，用于采取氮气样本。三通连通器5的其中两个端头分别和压缩空气管3和氮气管路4连通，另一端和氯硅烷气体检测仪1连通。报警器2和氯硅烷检测仪1电性连接。减压器6有两个，分别安装在压缩空气管路3和氮气管路4上，以将空气样本和氮气样本的压力调到相同压力。
可以理解的是，对于本领域技术人员来说，考虑到氯硅烷气体检测仪1的作用，很容易想到可根据反串气体的种类选用相应的气体检测仪。
采用上述结构，在实际使用时，通过压缩空气管路3和氮气管路4分别采取空气样本和实时氮气样本，并通过减压器6将空气样本和实时氮气样本调到相同压力，并通过三通连通器5进行混合后通入氯硅烷气体检测仪1中进行检测，当氯硅烷气体检测仪1检测到混合样本中含有氯硅烷时控制报警器2进行报警，以提醒工作人员氮气管网发生串料，可及时发现串料现象并进行处理，以保证生产的正常进行，避免发生安全事故。
在本实施例中，减压器6为市售的气体减压阀。可以理解的是，气体减压阀并不是对减压器6限定，对于本领域技术人员来说，很容易去想到其它减压结构来实现气体减压，如气体减压器等。
在一些实施例中，考虑到保护氯硅烷气体检测仪1，向氯硅烷气体检测仪1稳压、定量的送入混合样本，三通连通器5和氯硅烷气体检测仪1之间还设有流量计7。
更具体地，流量计7和三通连通器5之间设有若干相互串联连通的减压阀8。减压阀8、减压阀8和流量计7之间的管路上均设有排空管路81。其目的是，保证向氯硅烷气体检测仪1中稳压、定量、衡量地通入混合样品。
在一些实施例中，为避免其它因素影响氯硅烷气体检测仪1的检测结果，该安全装置还包括壳体9。其中，氯硅烷气体检测仪1、三通连通器5、减压器6、流量计7和减压阀8均安装在壳体9中。
在本实施例中，壳体9为防爆型，从而保证使用安全。
作为上述实施例的具体实施方式，报警器2和多晶硅生产系统的中控室电性连接，从而可在向中控室的工作人员进行报警，以使工作人员及时发现并进行处理。
通过以上说明可知，与现有技术相比，本实用新型的工作原理和有益效果是：
通过压缩空气管路3和氮气管路4分别采取空气样本和实时氮气样本，并通过减压器6分别将空气样本和实时氮气样本调到0.15～0.2mPa，然后通过三通连通器5进行混合后，送入氯硅烷气体检测仪1中进行检测，当氯硅烷气体检测仪1检测到混合样本中含有氯硅烷时控制报警器2向中控室进行报警，以提醒工作人员氮气管网发生串料，可及时发现氮气管网的串料现象并进行处理，以保证生产的正常进行，避免发生安全事故；进一步地，通过减压阀8和流量计7，实现稳压、定量、衡量地送入氯硅烷气体检测仪1中，有利于保证检测的正常进行；最后，设置有防爆型的壳体9，既可以保证检测结果的准确性，又能保证使用的安全性。
以上所述的具体实施方式，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施方式而已，并不用于限定本实用新型的保护范围，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种氮气管网的安全装置，应用于多晶硅生产系统，其特征在于，包括：
气体检测仪；
报警器，和所述气体检测仪电性连接；
压缩空气管路，用于提供空气样本；
氮气管路，一端和所述氮气管网连通，用于采取氮气样本；
流量计，和所述气体检测仪的进气口连通；
三通连通器，所述三通连通器的其中两个端头分别连通所述压缩空气管路和所述氮气管路，另一个端头和所述流量计连通。
2.根据权利要求1所述的氮气管网的安全装置，其特征在于，所述压缩空气管路和所述氮气管路均设有减压器。
3.根据权利要求2所述的氮气管网的安全装置，其特征在于，所述减压器为气体减压阀。
4.根据权利要求1所述的氮气管网的安全装置，其特征在于，所述三通连通器和所述流量计之间的连接管路上还设有串联的若干减压阀。
5.根据权利要求4所述的氮气管网的安全装置，其特征在于，所述减压阀、所述减压阀和所述流量计之间的连接管路上均设有排空管路。
6.根据权利要求1所述的氮气管网的安全装置，其特征在于，还包括壳体；
其中，至少所述气体检测仪安装在所述壳体中；
所述报警器安装在所述壳体外。
7.根据权利要求6所述的氮气管网的安全装置，其特征在于，所述流量计和所述三通连通器均安装在所述壳体内。
8.根据权利要求6或7所述的氮气管网的安全装置，其特征在于，所述壳体为防爆型。
9.根据权利要求1所述的氮气管网的安全装置，其特征在于，所述报警器和所述多晶硅生产系统的中控室电性连接。
10.根据权利要求1所述的氮气管网的安全装置，其特征在于，所述流量计为转子流量计。
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