CN219937004U - 一种超薄晶圆残胶清洗机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶圆清洗机技术领域，公开一种超薄晶圆残胶清洗机，所述残胶清洗机包括：机座和工作板；所述机座上固定设有清洗台，清洗台上安装有若干个喷头，工作板转动设置在清洗台上，且工作板上固定有超薄晶圆，喷头采用中间疏两端密的方式设置在超薄晶圆上方，用于对超薄晶圆进行残胶清洗，所述清洗台上开设有贯穿槽，贯穿槽内固定设有导轨，导轨上安装有工作板。本实用新型超薄晶圆残胶清洗机，其中通过切割模框将超薄晶圆固定在清洗机上，采用中间疏两端密的喷头设计，对超薄晶圆进行清洗，不会损伤超薄晶圆，且清洗效果好，装载切割模框的工作板可转动，工作板上设置有若干个用于固定的夹持板，对清洗的超薄晶圆进行牢固的固定。

Description

一种超薄晶圆残胶清洗机

技术领域

本实用新型涉及晶圆清洗机技术领域，具体是一种超薄晶圆残胶清洗机。

背景技术

超薄晶圆加工后表面会具有残胶，需要进行清洗处理。

现有技术中，如申请号为CN201621063171.X公开的晶圆清洗机，其中结合清洗液和超声波对晶圆表面的污垢进行清洗，能够快速干净的清洗晶圆表面的污垢，再通过热空气将晶圆烘干处理，提高了晶圆的清洗效率和速度，同时还能对晶圆进行烘干，工艺简单。

但是现有技术中，对晶圆清洗时，

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种超薄晶圆残胶清洗机，以解决现有技术中的问题。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

一种超薄晶圆残胶清洗机，所述残胶清洗机包括：

机座和工作板；

所述机座上固定设有清洗台，清洗台上安装有若干个喷头，工作板转动设置在清洗台上，且工作板上固定有超薄晶圆，喷头采用中间疏两端密的方式设置在超薄晶圆上方，用于对超薄晶圆进行残胶清洗。

进一步的，所述清洗台上开设有贯穿槽，贯穿槽内固定设有导轨，导轨上安装有工作板，清洗台上固定设有顶架，用于安装若干个喷头，喷头上连接有进液管，贯穿槽内阵列开设有排水槽。

进一步的，所述工作板的一侧设有滑槽，工作板上设有用于清洗废液导流的斜坡，工作板的底部固定设有内齿圈，机座上固定设有电机架，电机架上安装有驱动电机。

进一步的，所述驱动电机的输出端固定有驱动齿轮，工作板上阵列设有导向孔，工作板上阵列设有配合杆，配合杆的一端固定设有螺纹杆，另一端固定设有用于固定切割模框的夹持板。

进一步的，所述滑槽与导轨配合，驱动齿轮与内齿圈配合，导向孔与配合杆配合。

进一步的，所述工作板的底部固定设有U形架，U形架上紧固设有液压杆，液压杆的输出端固定设有连接套，连接套上设有螺纹孔，螺纹孔与螺纹杆配合。

本实用新型的有益效果：

1、本实用新型超薄晶圆残胶清洗机，其中通过切割模框将超薄晶圆固定在清洗机上，采用中间疏两端密的喷头设计，对超薄晶圆进行清洗，不会损伤超薄晶圆，且清洗效果好；

2、本实用新型超薄晶圆残胶清洗机，结构简单，装载切割模框的工作板可转动，工作板上设置有若干个用于固定的夹持板，对清洗的超薄晶圆进行牢固的固定。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

图1是本实用新型整体结构示意图；

图2是本实用新型残胶清洗剂的剖视图；

图3是本实用新型图2中A处放大结构结构示意图；

图4是本实用新型残胶清洗机的结构示意图；

图5是本实用新型图4中B处放大结构示意图；

图6是本实用新型切割模框结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

一种超薄晶圆残胶清洗机，如图1所示，残胶清洗机包括机座1，机座1上固定设有清洗台11，清洗台11上开设有贯穿槽，贯穿槽内安装有工作板2，清洗台11上紧固设置有顶架12，顶架12上安装有若干个喷头31，喷头31上连接有进液管3，用于向喷头31内供给清洗液，对位于工作板2上的超薄晶圆41进行清洗，超薄晶圆41通过切割模框4放置在工作板2上。

如图2、图3、图4、图5所示，贯穿槽内壁紧固设有导轨13，工作板2的侧壁开设有滑槽，滑槽与导轨13配合，通过导轨13支撑工作板2，使得工作板2转动安装在贯穿槽内，贯穿槽内开设有阵列分布的排水槽14。

工作板2上的中心处安装有切割模框4，工作板2上位于切割模框4的四周设有斜坡21，斜坡21用于对清洗超薄晶圆的废液进行导流，将废液导入排水槽14，排水槽贯穿清洗台11后连接排水管路，对废液进行排出。

工作板2的底部固定设有内齿圈22，机座1上固定设有电机架24，电机架24上固定设有驱动电机25，驱动电机25的输出端固定连接有驱动齿轮23，驱动齿轮23与内齿圈22配合，通过转动驱动齿轮23，电动工作板2转动，对超薄晶圆进行转动，实现转动清洗。

工作板2上开设有阵列分布的导向孔26，导向孔26内滑动设有配合杆20，配合杆20的一端固定设有螺纹杆201，另一端紧固连接有夹持板202，用于对切割模框进行夹持固定。

如图6所示，工作板2的底部且位于内齿圈22的外侧固定设有U形架28，U形架28上紧固设置有液压杆27，液压杆27的输出端设有连接套29，连接套29上开设有螺纹孔，螺纹孔与螺纹杆201配合，用于连接安装配合杆20，配合杆20与导向孔26配合。

顶架12上的若干个喷头31采用中间疏、两端密的方式进行布置，从而对切割模框4上的超薄晶圆41中间进行清洗，加大超薄晶圆41边缘处的清洗液的流量，对超薄晶圆41边缘处的大量残胶进行清洗，中间处的流量较小于边缘处，提高超薄晶圆41的清洗洁净度。

使用时，一种超薄晶圆残胶清洗机的使用方法如下：

将制备好的超薄晶圆41转移到切割模框4上，再将切割模框4放置在工作板2上，放置在工作板2的轴心处，且通过液压杆27驱动配合杆20向下移动，驱动配合杆20带动夹持板202，通过夹持板202对切割模框4进行固定，夹持固定切割模框4。

且开启水泵，通过喷头31向超薄晶圆41进行喷水，形成中间疏边缘密的清洗水流，对超薄晶圆41进行冲洗，冲洗水流量可以调控，且启动驱动电机25，通过驱动齿轮23驱使内齿圈22转动，带动工作板2转动，可调控转速的工作板2带动超薄晶圆41进行转动，提高超薄晶圆41的清洗效率，保证超薄晶圆41的清洗效果。

中间疏的喷头31设计，使得中间的水流不会过密，减小对超薄晶圆41的冲击力，保护超薄晶圆41的结构，不会损伤超薄晶圆41。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。

Claims (6)

1.一种超薄晶圆残胶清洗机，其特征在于，所述残胶清洗机包括：

机座(1)和工作板(2)；

所述机座(1)上固定设有清洗台(11)，清洗台(11)上安装有若干个喷头(31)，工作板(2)转动设置在清洗台(11)上，且工作板(2)上固定有超薄晶圆(41)，喷头(31)采用中间疏两端密的方式设置在超薄晶圆(41)上方，用于对超薄晶圆(41)进行残胶清洗。

2.根据权利要求1所述的一种超薄晶圆残胶清洗机，其特征在于，所述清洗台(11)上开设有贯穿槽，贯穿槽内固定设有导轨(13)，导轨(13)上安装有工作板(2)，清洗台(11)上固定设有顶架(12)，用于安装若干个喷头(31)，喷头(31)上连接有进液管(3)，贯穿槽内阵列开设有排水槽(14)。

3.根据权利要求2所述的一种超薄晶圆残胶清洗机，其特征在于，所述工作板(2)的一侧设有滑槽，工作板(2)上设有用于清洗废液导流的斜坡(21)，工作板(2)的底部固定设有内齿圈(22)，机座(1)上固定设有电机架(24)，电机架(24)上安装有驱动电机(25)。

4.根据权利要求3所述的一种超薄晶圆残胶清洗机，其特征在于，所述驱动电机(25)的输出端固定有驱动齿轮(23)，工作板(2)上阵列设有导向孔(26)，工作板(2)上阵列设有配合杆(20)，配合杆(20)的一端固定设有螺纹杆(201)，另一端固定设有用于固定切割模框的夹持板(202)。

5.根据权利要求4所述的一种超薄晶圆残胶清洗机，其特征在于，所述滑槽与导轨(13)配合，驱动齿轮(23)与内齿圈(22)配合，导向孔(26)与配合杆(20)配合。

6.根据权利要求4所述的一种超薄晶圆残胶清洗机，其特征在于，所述工

作板(2)的底部固定设有U形架(28)，U形架(28)上紧固设有液压杆(27)，

液压杆(27)的输出端固定设有连接套(29)，连接套(29)上设有螺纹孔，

螺纹孔与螺纹杆(201)配合。