CN219930224U - 行星式伞架和镀膜设备 - Google Patents
行星式伞架和镀膜设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN219930224U CN219930224U CN202320547424.4U CN202320547424U CN219930224U CN 219930224 U CN219930224 U CN 219930224U CN 202320547424 U CN202320547424 U CN 202320547424U CN 219930224 U CN219930224 U CN 219930224U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- planetary
- main
- mounting frame
- coating
- umbrella stand
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 58
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 58
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 44
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 16
- 239000007888 film coating Substances 0.000 claims description 8
- 238000009501 film coating Methods 0.000 claims description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 8
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000010923 batch production Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000008707 rearrangement Effects 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种行星式伞架和镀膜设备,属于镀膜技术领域。行星式伞架包括行星主盘、固定齿圈、安装架、主旋转盘和若干个副旋转盘。行星主盘转动设置于镀膜腔体上,安装架通过传动机构转动设置于行星主盘,固定齿圈通过安装机构固定设置于行星主盘,固定齿圈、主旋转盘和若干个副旋转盘依次传动连接,主旋转盘和每个副旋转盘上均可以用来安装镀膜治具,增加了单个安装架上镀膜治具的数量,有利于提高镀膜产品的批量化生产;行星主盘、安装架和主旋转盘实现镀膜治具的三级旋转,提高产品的镀膜均匀性。
Description
技术领域
本实用新型涉及镀膜技术领域,尤其涉及一种行星式伞架和镀膜设备。
背景技术
随着镀膜行业的高速发展,业内对镀膜的要求越来越高。现有的三级行星伞架已无法满足客户对产能的需求,需要设计检讨新的伞架实现对产品镀膜的产能提升。
为此,亟需提供一种行星式伞架和镀膜设备以解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种行星式伞架和镀膜设备,增设多个用于拓产的旋转盘,用于安装镀膜夹具,提高镀膜产品的批量化生产。
为实现上述目的,提供以下技术方案:
行星式伞架,包括:
行星主盘,所述行星主盘转动设置于镀膜腔体上;
安装架,所述安装架通过传动机构转动设置于所述行星主盘;
固定齿圈,所述固定齿圈通过安装机构固定设置于所述行星主盘;
主旋转盘,用于安装镀膜治具,所述主旋转盘转动设置于所述安装架且与所述固定齿圈传动连接;
若干个副旋转盘,用于安装镀膜治具,所述副旋转盘转动设置于所述安装架且与所述主旋转盘传动连接。
作为行星式伞架的可选方案,所述传动机构包括固定齿轮、齿轮传动组和转轴,
所述齿轮传动组转动设置于所述行星主盘;
所述固定齿轮安装于所述镀膜腔体上且与所述齿轮传动组啮合;
所述转轴设置于所述齿轮传动组的输出端且与所述安装架连接。
作为行星式伞架的可选方案,所述安装机构包括竖直臂和摆动臂,所述竖直臂远离所述摆动臂的一端安装于所述行星主盘,所述转轴包括第一转轴和第二转轴;所述第一转轴转动设置于所述竖直臂内,所述第二转轴转动设置于所述摆动臂内,所述第一转轴的一端与所述齿轮传动组传动连接,所述第一转轴的另一端与所述第二转轴传动连接;所述第二转轴的输出端与所述安装架连接。
作为行星式伞架的可选方案,所述固定齿圈设置有外齿圈,所述主旋转盘与所述外齿圈啮合。
作为行星式伞架的可选方案,所述固定齿圈设置有内齿圈,所述主旋转盘与所述内齿圈啮合。
作为行星式伞架的可选方案,所述主旋转盘和若干个所述副旋转盘沿所述安装架的径向间隔排列。
作为行星式伞架的可选方案,还包括安装杆,所述主旋转盘和所述副旋转盘上均安装有所述安装杆,所述安装杆上安装有膜厚修正板。
作为行星式伞架的可选方案,所述主旋转盘和所述副旋转盘均设置有齿轮且相互啮合。
作为行星式伞架的可选方案,于所述安装架上沿所述安装架的周向间隔设置有多个减重孔。
作为行星式伞架的可选方案,于所述安装架上沿所述安装架的周向间隔设置有多个第一安装孔,第一紧固件穿过所述第一安装孔与所述第二转轴连接。
作为行星式伞架的可选方案,于所述固定齿圈上沿所述固定齿圈的周向间隔设置有多个第二安装孔,第二紧固件穿过所述第二安装孔与所述摆动臂连接。
镀膜设备,包括镀膜腔体和如上任一项所述的行星式伞架的技术方案。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果:
本实用新型所提供的行星式伞架,行星主盘转动设置在镀膜腔体上,通过安装机构将固定齿圈固定设置到行星主盘上,通过传动机构将安装架转动设置在行星主盘上,在安装架上转动设置有主旋转盘和若干个副旋转盘,固定齿圈、主旋转盘和若干个副旋转盘依次传动连接,主旋转盘和每个副旋转盘上均可以安装镀膜治具,增加了单个安装架上镀膜治具的数量,有利于提高镀膜产品的批量化生产;行星主盘、安装架和主旋转盘实现镀膜治具的三级旋转,提高产品的镀膜均匀性。
本实用新型所提供的镀膜设备,固定齿圈、主旋转盘和若干个副旋转盘依次传动连接,每个主旋转盘和副旋转盘上均可以用来安装镀膜治具,增加了单个安装架上镀膜治具的数量,有利于提高镀膜产品的批量化生产。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案,下面将对本实用新型实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据本实用新型实施例的内容和这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型实施例中行星式伞架的结构示意图;
图2为本实用新型实施例中行星式伞架的俯视图(镀膜腔体未示出);
图3为本实用新型实施例中固定齿圈、安装架、主旋转盘和副旋转盘安装的装配示意图;
图4为本实用新型实施例中主旋转盘与固定齿圈的外齿圈啮合的结构示意图;
图5为本实用新型实施例中主旋转盘与固定齿圈的内齿圈啮合的结构示意图。
附图标记:
100、镀膜腔体;
3、固定齿圈;4、安装架;5、主旋转盘;6、副旋转盘;8、镀膜治具;9、安装杆;10、膜厚修正板;
11、行星主盘;12、固定齿轮;13、齿轮传动组;
21、竖直臂;22、摆动臂;23、第一转轴;24、第二转轴;
31、外齿圈;32、内齿圈;33、第二安装孔;
41、减重孔;42、第一安装孔。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
因此,以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围,而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述,而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本实用新型的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。
在本实用新型的描述中,还需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“设置”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
在本实用新型中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触,也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
下面详细描述本实用新型的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,仅用于解释本实用新型,而不能理解为对本实用新型的限制。
为了增设多个用于拓产的旋转盘,用于安装镀膜夹具,提高镀膜产品的批量化生产,本实施例提供一种行星式伞架,以下结合图1至图5对本实施例的具体内容进行详细描述。
实施例一
如图1至图3所示,行星式伞架包括行星主盘11、传动机构、安装机构、安装架4、固定齿圈3、主旋转盘5和若干个副旋转盘6。传动机构包括固定齿轮12、齿轮传动组13和转轴,转轴设置于齿轮传动组的输出端且与安装架4连接。安装机构包括竖直臂21和摆动臂22。
其中,行星主盘11转动设置于镀膜腔体100上,齿轮传动组13转动设置于行星主盘11的上方,固定齿轮12安装于镀膜腔体100上且与齿轮传动组13啮合。转轴包括第一转轴23和第二转轴24,竖直臂21远离摆动臂22的一端安装于行星主盘11的下方,第一转轴23转动设置于竖直臂21内,第二转轴24转动设置于摆动臂22内,第一转轴23的一端与齿轮传动组13传动连接,第一转轴23的另一端与第二转轴24传动连接。固定齿圈3安装于摆动臂22远离竖直臂21的一端。安装架4安装于第二转轴24上。主旋转盘5用于安装镀膜治具8,主旋转盘5转动设置于安装架4上且与固定齿圈3传动连接。若干个副旋转盘6用于安装镀膜治具8,副旋转盘6转动设置于安装架4上且与主旋转盘5传动连接。
简而言之,本实用新型所提供的行星式伞架,在摆动臂22的一端固定安装有固定齿圈3,安装架4固定设置在第二转轴24上,在安装架4上转动设置有主旋转盘5和若干个副旋转盘6,固定齿圈3、主旋转盘5和若干个副旋转盘6依次传动连接,每个主旋转盘5和副旋转盘6上均可以用来安装镀膜治具8,增加了单个安装架4上镀膜治具8的数量,有利于提高镀膜产品的批量化生产。行星主盘11、安装架4和主旋转盘5实现镀膜治具8的三级旋转,提高产品的镀膜均匀性;摆动臂22能够相对竖直臂21转动设定的角度,用于调节镀膜治具8的倾斜角度,进一步提高产品的镀膜均匀性。
进一步地,在本实施例中,如图4所示,在固定齿圈3的外边缘设置有外齿圈31,主旋转盘5与外齿圈31啮合。第二转轴24带动安装架4转动,固定齿圈3位置固定不动,主旋转盘5在安装架4和外齿圈31的共同作用下实现自身的自转,主旋转盘5的自转进而带动副旋转盘6的自转。
更进一步地,主旋转盘5和副旋转盘6均设置有齿轮且相互啮合。通过齿轮传动实现主旋转盘5与副旋转盘6的传动,齿轮传动稳定,而且保证主旋转盘5和副旋转盘6上的每个镀膜治具8上的产品镀膜一致性。
综上,行星式伞架的工作原理是:行星主盘11与主驱动相连,可旋转;固定齿轮12固定在镀膜腔体100上;齿轮传动组13和第一转轴23均安装在行星主盘11上;主驱动提供动力驱动行星主盘11旋转,齿轮传动组13和第一转轴23随行星主盘11旋转并在固定齿轮12的啮合导向下实现自转;安装架4固定在第二转轴24上,第二转轴24驱动安装架4实现安装架4的自转,在固定齿圈3的导引下,实现主旋转盘5的自转;主旋转盘5驱动副旋转盘6实现副旋转盘6的自转;镀膜治具8固定在主旋转盘5和副旋转盘6上,实现与行星主盘11的一级旋转、单个安装架4的二级旋转和镀膜治具8的三级旋转。
在本实施例中,主旋转盘5设置有多个,且多个主旋转盘5以安装架4的中心为圆心周向间隔排列。
进一步地,主旋转盘5和若干个副旋转盘6沿安装架4的径向间隔排列。在本实施例中,一个主旋转盘5和若干个副旋转盘6作为每组进行排列,共设置有六组。每组副旋转盘6的个数可以为但不限于一个、两个、三个、四个或五个等,在此不做过多限制。
在其他实施例中,主旋转盘5和若干个副旋转盘6也可以根据实际使用要求采用不同的排列方式。
进一步地,行星式伞架还包括安装杆9,主旋转盘5和副旋转盘6上均安装有安装杆9,安装杆9上安装有膜厚修正板10。具体地,镀膜治具8上用于装配物料,将镀膜治具8安装到每个旋转盘,并在每个旋转盘上均安装有安装杆9,并在安装杆9上安装膜厚修正板10,用于补偿镀膜均匀性,提高质量及工艺。
进一步地,于安装架4上沿安装架4的周向间隔设置有多个减重孔41。通过在安装架4上开设减重孔41,用于减轻安装架4的质量,减小驱动机构的负荷,进而降低能耗。多个减重孔41在安装架4上周向均匀间隔设置,避免安装架4在转动时失衡。
进一步地,于安装架4上沿安装架4的周向间隔设置有多个第一安装孔42,第一紧固件穿过第一安装孔42与第二转轴24连接。采用第一紧固件将安装架4固定到第二转轴24远离第一转轴23的一端,第一转轴23与第二转轴24之间通过锥齿轮相互传动,第一转轴23驱动第二转轴24和安装架4一起进行转动。
进一步地,于固定齿圈3上沿固定齿圈3的周向间隔设置有多个第二安装孔33,第二紧固件穿过第二安装孔33与摆动臂22连接。固定齿圈3由于固定在摆动臂22上,固定齿圈3只能随摆动臂22调整倾斜角度。在本实施例中,第一紧固件和第二紧固件可以为但不限于螺钉或螺栓等。
本实施例还提供了一种镀膜设备,该镀膜设备包括镀膜腔体100和上面提到的的行星式伞架。固定齿圈3、主旋转盘5和若干个副旋转盘6依次传动连接,每个主旋转盘5和副旋转盘6上均可以用来安装镀膜治具8,增加了单个安装架4上镀膜治具8的数量,有利于提高镀膜产品的批量化生产。
实施例二
本实施例提供了一种行星式伞架,与实施例一相比,本实施例提供的行星式伞架的基本结构与实施例一相同,仅主旋转盘5与固定齿圈3的啮合设置存在差异,本实施例不再对与实施例一相同的结构进行赘述。
进一步地,如图5所示,固定齿圈3设置有内齿圈32,主旋转盘5与内齿圈32啮合。主旋转盘5和若干个副旋转盘6均位于内齿圈32的内部,有利于缩小主旋转盘5和若干个副旋转盘6的占用空间,而且也减小了安装架4的整体面积。
注意,上述仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解,本实用新型不限于这里所说的特定实施例,对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。因此,虽然通过以上实施例对本实用新型进行了较为详细的说明,但是本实用新型不仅仅限于以上实施例,在不脱离本实用新型构思的情况下,还可以包括更多其他等效实施例,而本实用新型的范围由所附的权利要求范围决定。
Claims (10)
1.行星式伞架,其特征在于,包括:
行星主盘(11),所述行星主盘(11)转动设置于镀膜腔体(100)上;
安装架(4),所述安装架(4)通过传动机构转动设置于所述行星主盘(11);
固定齿圈(3),所述固定齿圈(3)通过安装机构固定设置于所述行星主盘(11);
主旋转盘(5),用于安装镀膜治具(8),所述主旋转盘(5)转动设置于所述安装架(4)且与所述固定齿圈(3)传动连接;
若干个副旋转盘(6),用于安装镀膜治具(8),所述副旋转盘(6)转动设置于所述安装架(4)且与所述主旋转盘(5)传动连接。
2.根据权利要求1所述的行星式伞架,其特征在于,所述传动机构包括固定齿轮(12)、齿轮传动组(13)和转轴,
所述齿轮传动组(13)转动设置于所述行星主盘(11);
所述固定齿轮(12)安装于所述镀膜腔体(100)上且与所述齿轮传动组(13)啮合;
所述转轴设置于所述齿轮传动组(13)的输出端且与所述安装架(4)连接。
3.根据权利要求2所述的行星式伞架,其特征在于,所述安装机构包括竖直臂(21)和摆动臂(22),所述竖直臂(21)远离所述摆动臂(22)的一端安装于所述行星主盘(11),所述转轴包括第一转轴(23)和第二转轴(24);所述第一转轴(23)转动设置于所述竖直臂(21)内,所述第二转轴(24)转动设置于所述摆动臂(22)内,所述第一转轴(23)的一端与所述齿轮传动组(13)传动连接,所述第一转轴(23)的另一端与所述第二转轴(24)传动连接;所述第二转轴(24)的输出端与所述安装架(4)连接。
4.根据权利要求3所述的行星式伞架,其特征在于,所述固定齿圈(3)设置有外齿圈(31),所述主旋转盘(5)与所述外齿圈(31)啮合。
5.根据权利要求3所述的行星式伞架,其特征在于,所述固定齿圈(3)设置有内齿圈(32),所述主旋转盘(5)与所述内齿圈(32)啮合。
6.根据权利要求4或5所述的行星式伞架,其特征在于,所述主旋转盘(5)和若干个所述副旋转盘(6)沿所述安装架(4)的径向间隔排列。
7.根据权利要求4或5所述的行星式伞架,其特征在于,还包括安装杆(9),所述主旋转盘(5)和所述副旋转盘(6)上均安装有所述安装杆(9),所述安装杆(9)上安装有膜厚修正板(10)。
8.根据权利要求4或5所述的行星式伞架,其特征在于,于所述安装架(4)上沿所述安装架(4)的周向间隔设置有多个减重孔(41)。
9.根据权利要求4或5所述的行星式伞架,其特征在于,于所述安装架(4)上沿所述安装架(4)的周向间隔设置有多个第一安装孔(42),第一紧固件穿过所述第一安装孔(42)与所述第二转轴(24)连接;于所述固定齿圈(3)上沿所述固定齿圈(3)的周向间隔设置有多个第二安装孔(33),第二紧固件穿过所述第二安装孔(33)与所述摆动臂(22)连接。
10.镀膜设备,其特征在于,包括镀膜腔体(100)和如权利要求1-9任一项所述的行星式伞架。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202320547424.4U CN219930224U (zh) | 2023-03-20 | 2023-03-20 | 行星式伞架和镀膜设备 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202320547424.4U CN219930224U (zh) | 2023-03-20 | 2023-03-20 | 行星式伞架和镀膜设备 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN219930224U true CN219930224U (zh) | 2023-10-31 |
Family
ID=88498692
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202320547424.4U Active CN219930224U (zh) | 2023-03-20 | 2023-03-20 | 行星式伞架和镀膜设备 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN219930224U (zh) |
-
2023
- 2023-03-20 CN CN202320547424.4U patent/CN219930224U/zh active Active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN110846634B (zh) | 一种行星转动装置及能实现大批量生产的镀膜设备 | |
CN109852939B (zh) | 一种高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置 | |
CN201587977U (zh) | 一种镀膜机用镀膜夹具 | |
CN106271697B (zh) | 数控双轴回转工作台 | |
CN109578540A (zh) | 一种直齿行星轮滚珠组合式减速器 | |
CN219930224U (zh) | 行星式伞架和镀膜设备 | |
CN2856582Y (zh) | 多轴平衡式内环板少齿差减速器 | |
CN215065140U (zh) | 一种航空双转子综合振动测试实验台 | |
CN219239752U (zh) | 一种用于真空镀膜设备的刀盘转架 | |
CN109538706A (zh) | 一种斜齿行星轮滚珠组合式减速器 | |
CN217459581U (zh) | 镀膜转架 | |
CN210945770U (zh) | 一种真空磁控溅射薄膜镀制设备 | |
CN115261808B (zh) | 多维旋转工件架及具有该多维旋转工件架的真空镀膜机 | |
CN216965342U (zh) | 一种多面翻转筛装置 | |
CN105761604B (zh) | 一种多功能模块化行星传动教具 | |
CN215560631U (zh) | 一种适用于真空镀膜稳定性好的回转机构 | |
CN212202341U (zh) | 风车的风叶板随动角度调节装置 | |
CN205651297U (zh) | 一种高精度高负载水平回转台 | |
CN219603669U (zh) | 一种镀膜机的多轴传动转架 | |
CN208516585U (zh) | 一种方便安装拆卸且具有高韧性的送料辊 | |
CN114790540B (zh) | 镀膜转架 | |
CN220388831U (zh) | 一种平台桌面型凸轮分割器 | |
CN217874077U (zh) | 一种带行星差速调整的齿轮箱 | |
CN215103522U (zh) | 一种应用在真空镀膜设备上的双驱动转盘系统 | |
CN212800520U (zh) | 溅射镀膜机 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |