CN219907847U - 一种化学气相沉积炉用导气装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种化学气相沉积炉用导气装置，涉及导气管道技术领域，包括连接管，所述连接管的中部外表面设置有螺纹，所述螺纹的外表面设置有两个转动环，两个所述转动环的一侧外表面均设置有四个连接杆，所述连接管的外表面设置有两个滑动环，两个所述滑动环的一端均设置有固定环。本实用新型的一种化学气相沉积炉用导气装置，设置的一号导气管、二号导气管、环形插入槽、橡胶垫与导气通道，可以使结构整体的密封性更好，避免在工作时出现泄漏的情况，设置的转动环、连接杆、滑动环、固定环、压块、弹簧与螺纹槽，可以更为便捷的对导气装置进行拆卸，避免出现故障时更换导气装置较慢而导致影响生产效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及导气管道技术领域，特别涉及一种化学气相沉积炉用导气装置。
背景技术
随着光伏行业飞速发展，碳/碳复合材料产品尺寸需求加大，化学气相沉积炉的尺寸也随之增大。目前化学气相沉积炉一般采用底部进气方式。化学气相沉积炉尺寸变大，气体流经路径变长，导致化学气相沉积炉内下层气体浓度远远大于上层气体浓度，化学反应不均匀、不充分，产品沉积效果差异明显。靠近炉底气孔的下层反应气体较多，化学反应相对充分，沉积效果较好，而上层反应气体较少，沉积效果较差。为了解决这一问题，常用的方法是进行二次沉积，将产品上下倒炉操作。
现有化学气相沉积炉用导气装置在进行连接后不便于对其进行拆卸，在出现故障需对其进行更换时极为的不便，影响生产效率，给人们的使用过程带来了一定的不利影响，为了解决现有技术的不足，我们提出一种化学气相沉积炉用导气装置。
实用新型内容
本实用新型的主要目的在于提供一种化学气相沉积炉用导气装置，可以有效解决背景技术中的问题。
为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：
一种化学气相沉积炉用导气装置,包括连接管，所述连接管的中部外表面设置有螺纹，所述螺纹的外表面设置有两个转动环，两个所述转动环的一侧外表面均设置有四个连接杆，所述连接管的外表面设置有两个滑动环，两个所述滑动环的一端均设置有固定环，每组滑动环与固定环之间均设置有两个弹簧，所述连接管的上下两端外表面均设置有两个压块，所述连接管的左端设置有一号导气管，所述连接管的右端设置有二号导气管，所述连接管的左右两端外表面均开设有环形插入槽，两个所述环形插入槽内均设置有橡胶垫，所述连接管的内部开设有导气通道，所述转动环的内表面设置有螺纹槽。
优选的，两个所述转动环均通过内表面的螺纹槽与螺纹螺纹连接，所述转动环的一侧外表面与多个连接杆固定连接。
优选的，两个所述固定环均与连接管的外表面固定连接，两个所述滑动环均与连接管的外表面滑动连接。
优选的，所述弹簧的一侧外表面与固定环的一侧外表面固定连接，所述弹簧的另一侧外表面与滑动环的一侧外表面固定连接。
优选的，多个所述压块均与连接管活动连接，所述压块的下端可以压进环形插入槽内。
优选的，所述一号导气管与连接管左侧的环形插入槽滑动连接，所述二号导气管与连接管右侧的环形插入槽滑动连接。
有益效果
与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：
1、本实用新型中，通过设置的一号导气管、二号导气管、环形插入槽、橡胶垫与导气通道，可以使结构整体的密封性更好，避免在工作时出现泄漏的情况，使用时，将一号导气管插入至连接管左侧的环形插入槽内直至顶到内部橡胶垫，然后将二号导气管插入至连接管右侧的环形插入槽内直至顶到内部的橡胶垫，一号导气管与二号导气管的直径大小与环形插入槽的直径大小相同，这样在导气时，可以使结构整体的密封性更好，避免在工作时出现泄漏的情况，操作方便快捷。
2、本实用新型中，通过设置的转动环、连接杆、滑动环、固定环、压块、弹簧与螺纹槽，可以更为便捷的对导气装置进行拆卸，避免出现故障时更换导气装置较慢而导致影响生产效率，这里，将一号导气管与二号导气管插入环形插入槽内后，通过拧动两个转动环带动多个连接杆向两侧移动，在连接杆的推力下，会使得两个滑动环向两侧匀速移动，当两个滑动环分别经过多个压块时，会将多个压块压下，此时多个压块的会向环形插入槽内形成一个挤压的力，从而达到将一号导气管与二号导气管均挤压固定在环形插入槽内，完成安装，拆卸时反向操作即可，可以更为便捷的对导气装置进行拆卸，避免出现故障时更换导气装置较慢而导致影响生产效率，操作方便快捷。
附图说明
图1是本实用新型的整体结构示意图；
图2是本实用新型的连接管内部结构示意图；
图3是本实用新型的连接管外表面结构示意图；
图4是本实用新型的转动环与连接杆的连接结构示意图。
图中：1、连接管；2、螺纹；3、转动环；4、连接杆；5、滑动环；6、固定环；7、压块；8、弹簧；9、一号导气管；10、二号导气管；11、环形插入槽；12、橡胶垫；13、导气通道；14、螺纹槽。
具体实施方式
为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
如图1-2所示，一种化学气相沉积炉用导气装置，包括连接管1，连接管1的左端设置有一号导气管9，连接管1的右端设置有二号导气管10，连接管1的左右两端外表面均开设有环形插入槽11，两个环形插入槽11内均设置有橡胶垫12，连接管1的内部开设有导气通道13，一号导气管9与连接管1左侧的环形插入槽11滑动连接，二号导气管10与连接管1右侧的环形插入槽11滑动连接，一号导气管9与二号导气管10的直径大小分别与两个环形插入槽11的大小相同，使用时，将一号导气管9插入至连接管1左侧的环形插入槽11内直至顶到内部橡胶垫12，然后将二号导气管10插入至连接管1右侧的环形插入槽11内直至顶到内部的橡胶垫12，一号导气管9与二号导气管10的直径大小与环形插入槽11的直径大小相同，这样在导气时，可以使结构整体的密封性更好，避免在工作时出现泄漏的情况。
如图1-4所示，连接管1的中部外表面设置有螺纹2，螺纹2的外表面设置有两个转动环3，两个转动环3的一侧外表面均设置有四个连接杆4，连接管1的外表面设置有两个滑动环5，两个滑动环5的一端均设置有固定环6，每组滑动环5与固定环6之间均设置有两个弹簧8，连接管1的上下两端外表面均设置有两个压块7，两个转动环3均通过内表面的螺纹槽14与螺纹2螺纹连接，转动环3的一侧外表面与多个连接杆4固定连接，两个固定环6均与连接管1的外表面固定连接，两个滑动环5均与连接管1的外表面滑动连接，弹簧8的一侧外表面与固定环6的一侧外表面固定连接，弹簧8的另一侧外表面与滑动环5的一侧外表面固定连接，多个压块7均与连接管1活动连接，压块7的下端可以压进环形插入槽11内，手动旋转两个转动环3时，多个连接杆4抵到滑动环5时继续进行旋转可以推动滑动环5移动，在滑动环5移动至压块7上端时可以将压块7压下，压块7压下后下端会进入环形插入槽11内对一号导气管9与二号导气管10进行挤压固定，将一号导气管9与二号导气管10插入环形插入槽11内后，通过拧动两个转动环3带动多个连接杆4向两侧移动，在连接杆4的推力下，会使得两个滑动环5向两侧匀速移动，当两个滑动环5分别经过多个压块7时，会将多个压块7压下，此时多个压块7的会向环形插入槽11内形成一个挤压的力，从而达到将一号导气管9与二号导气管10均挤压固定在环形插入槽11内，完成安装，拆卸时反向操作即可，可以更为便捷的对导气装置进行拆卸，避免出现故障时更换导气装置较慢而导致影响生产效率。
需要说明的是，本实用新型为一种化学气相沉积炉用导气装置，使用时，通过设置的一号导气管9、二号导气管10、环形插入槽11、橡胶垫12与导气通道13，可以使结构整体的密封性更好，避免在工作时出现泄漏的情况，使用时，将一号导气管9插入至连接管1左侧的环形插入槽11内直至顶到内部橡胶垫12，然后将二号导气管10插入至连接管1右侧的环形插入槽11内直至顶到内部的橡胶垫12，一号导气管9与二号导气管10的直径大小与环形插入槽11的直径大小相同，这样在导气时，可以使结构整体的密封性更好，避免在工作时出现泄漏的情况，操作方便快捷；通过设置的转动环3、连接杆4、滑动环5、固定环6、压块7、弹簧8与螺纹槽14，可以更为便捷的对导气装置进行拆卸，避免出现故障时更换导气装置较慢而导致影响生产效率，这里，将一号导气管9与二号导气管10插入环形插入槽11内后，通过拧动两个转动环3带动多个连接杆4向两侧移动，在连接杆4的推力下，会使得两个滑动环5向两侧匀速移动，当两个滑动环5分别经过多个压块7时，会将多个压块7压下，此时多个压块7的会向环形插入槽11内形成一个挤压的力，从而达到将一号导气管9与二号导气管10均挤压固定在环形插入槽11内，完成安装，拆卸时反向操作即可，可以更为便捷的对导气装置进行拆卸，避免出现故障时更换导气装置较慢而导致影响生产效率，操作方便快捷。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (6)
1.一种化学气相沉积炉用导气装置，包括连接管（1），其特征在于：所述连接管（1）的中部外表面设置有螺纹（2），所述螺纹（2）的外表面设置有两个转动环（3），两个所述转动环（3）的一侧外表面均设置有四个连接杆（4），所述连接管（1）的外表面设置有两个滑动环（5），两个所述滑动环（5）的一端均设置有固定环（6），每组滑动环（5）与固定环（6）之间均设置有两个弹簧（8），所述连接管（1）的上下两端外表面均设置有两个压块（7），所述连接管（1）的左端设置有一号导气管（9），所述连接管（1）的右端设置有二号导气管（10），所述连接管（1）的左右两端外表面均开设有环形插入槽（11），两个所述环形插入槽（11）内均设置有橡胶垫（12），所述连接管（1）的内部开设有导气通道（13），所述转动环（3）的内表面设置有螺纹槽（14）。
2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉用导气装置，其特征在于：两个所述转动环（3）均通过内表面的螺纹槽（14）与螺纹（2）螺纹连接，所述转动环（3）的一侧外表面与多个连接杆（4）固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉用导气装置，其特征在于：两个所述固定环（6）均与连接管（1）的外表面固定连接，两个所述滑动环（5）均与连接管（1）的外表面滑动连接。
4.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉用导气装置，其特征在于：所述弹簧（8）的一侧外表面与固定环（6）的一侧外表面固定连接，所述弹簧（8）的另一侧外表面与滑动环（5）的一侧外表面固定连接。
5.根据权利要求2所述的一种化学气相沉积炉用导气装置，其特征在于：多个所述压块（7）均与连接管（1）活动连接，所述压块（7）的下端可以压进环形插入槽（11）内。
6.根据权利要求2所述的一种化学气相沉积炉用导气装置，其特征在于：所述一号导气管（9）与连接管（1）左侧的环形插入槽（11）滑动连接，所述二号导气管（10）与连接管（1）右侧的环形插入槽（11）滑动连接。
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