CN219900645U - 用于绝缘体微加工的激光机器人同轴共聚焦随动切割头 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于绝缘体微加工的激光机器人同轴共聚焦随动切割头，到聚焦镜距离相同的影像子模组一、影像子模组二均设有管镜，通过两组管镜与聚焦镜构成双目视觉，用于测量工件高度和横向位置并对其进行补偿，反馈给六轴机器人或者切割头主体实现随动。本实用新型影像管镜采用无限远消色差透镜，配合校正了紫外到近红外色差的聚焦镜，提高成像质量，又在聚焦镜基础上增设管镜构成无限远系统，通过同轴共聚焦成像使得激光焦点与影像焦点重合，提高精度；另外，通过旋转的光楔对实现同轴影像，缩小安装尺寸，并利用双目视觉测量绝缘体距离的方式调节随动切割头主体，实现补偿高度、X和Y方向的偏移调整。

Description

用于绝缘体微加工的激光机器人同轴共聚焦随动切割头

技术领域

本实用新型涉及一种用于绝缘体微加工的激光机器人同轴共聚焦随动切割头，属于激光智能制造技术领域。

背景技术

目前，激光切割头采用的随动寻焦主要通过电容式切割头喷嘴实现。例如：专利《一种高精度激光随动切割头及其监测和自动寻焦方法》，授权公告号CN 105252144B，在喷嘴上安装电容调高器，切割头喷嘴和金属工件分别为作为电容的两个电极，在切割头和工件间施加恒定电压，金属导体存储自由电荷电量随电容的变化而变化，从而测量距离，来调节Z轴的高度，从而维持喷嘴和待切割材料之间的高度差恒定；专利《Material processingmethods and related apparatus》，其中提及的切割头上装了多个相机或者传感器，但相机前却没有管镜，只利用聚焦镜成像，根据高斯公式，像距的倒数和物距的倒数之和等于焦距倒数，影像焦点与聚焦镜后激光焦点位置不重合，做不到共焦。

另外，激光机器人可用于带动随动切割头运作，其影像通常采用旁轴成像。例如：专利《一种激光聚焦偏离检测装置》，公布号为CN 104976953A，采用的像散检测方法，对于不同的曲面或者不同的倾斜角度平面无法准确检测偏移量，通用性较差；专业书籍《激光智能制造技术》第387页提及的图3-2-25激光加工机器人再制造系统，其应用双目视觉在熔覆切割头中，也是使用旁轴寻焦，经由三角测量原理仅能够测量其高度；专利《一种激光加工中的焦点位置确定设备、方法及装置》，公布号为CN 106181026A，采用的多路激光指示发生器，通过光谱共焦让环形多路指示激光的聚焦点与工作激光的聚焦点位置重合，通过同轴图像传感器，观察多路指示激光的重叠程度，来推测焦点偏移量，虽然此方法利用同轴代替旁轴能够提高寻焦效率，但在曲面情况上无法实现功能或者检测精度降低，同时针对加工后的深度无法检测。

由此可见，通过激光机器人操作随动切割头时，采用旁轴成像的寻焦效率低下、精确度不高；通过光谱共焦、像散检测等技术方法也只能测量高度，有一定局限性。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服现有技术存在的不足，提供一种用于绝缘体微加工的激光机器人同轴共聚焦随动切割头。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：用于绝缘体微加工的激光机器人同轴共聚焦随动切割头，包括切割头主体与六轴机器人，切割头主体安装于六轴机器人上，且所述切割头主体上设有聚焦镜、同轴光路、影像子模组一及影像子模组二，其特点是：到聚焦镜距离相同的影像子模组一、影像子模组二均设有管镜，并通过两组管镜与聚焦镜构成双目视觉，用于测量工件高度和横向位置并对其进行补偿，反馈给六轴机器人或者切割头主体实现随动。

所述聚焦镜通过外带螺纹的第二卡环固定在内带螺纹的第一镜架中，所述第一镜架内通过第一卡环固定安装有保护镜片，并通过外螺纹与螺纹转接件一旋进连接，所述螺纹转接件一通过外螺纹旋进到带内螺纹的X-Y调整架中，所述X-Y调整架通过四根螺杆与笼板转接件的外侧固定，所述笼板转接件紧贴第一镜架外表面，经由其内侧的四根螺杆与同轴光路部分的第一笼板固定连接。

所述同轴光路控制照明光线和激光同轴传输至曲面工件上，所产生的反射光、散射光均照射到影像子模组一和影像子模组二上，所述照明光线从照明光源发出，经过自带的50％透射、50％反射的笼式分光镜，再经过第一笼式反射镜和合束镜，反射进入聚焦镜后，所述激光经过第二挡板预留的B面入光口，再穿过同轴光路中设有的合束镜，所述合束镜通过侧面顶丝安装在第二镜架中，所述第二镜架固定在用于旋转调节的安装底座上，所述安装底座固定在笼式立方中，与此同时照明光线和激光经过合束镜、第一笼式反射镜反射，再经过面包板上设有的光箱组件调节光路方向，所述光箱组件上安装有光箱，所述光箱上设有用于照明光源的电源线、相机电源线及网线进出的方孔，所述光箱上还设有第二挡板，照明光线和激光通过所述第二挡板预留的A面入光口，继续返回经过衰减片，所述衰减片通过外螺纹旋进螺纹转接件一，螺纹转接件一通过外螺纹旋进第一笼板，所述第一笼板通过螺丝固定在安装底座上，最后入射到曲面工件上，所述曲面工件反射和散射的照明光线和激光反馈至同轴光路，经过笼式分光镜，一路进入影像子模组一，另一路经过由压块固定后的第二笼式反射镜进入影像子模组二。

所述影像子模组一、影像子模组二均由第一光楔、第二光楔、管镜及相机组成，所述第一光楔和第二光楔依次通过楔形压环、第一压环对称固定在旋转镜架中，所述旋转镜架通过笼杆进一步固定，使得第一光楔、第二光楔与管镜、相机轴心相同，所述管镜利用第二压环与可调式套管、固定套管顺次套接安装，所述相机通过内螺纹旋进到带外螺纹的螺纹转接件二上，所述螺纹转接件二通过转接头内螺纹旋进带内螺纹的套管上，所述套管通过螺纹旋进到固定套管的一端上，所述固定套管的另一端固定在第二笼板中，第二笼板经由螺丝固定在安装底座上，所述安装底座通过螺丝与面包板固定连接。

进一步地，上述的用于绝缘体微加工的激光机器人同轴共聚焦随动切割头，其中：所述第一光楔、第二光楔结构相同，第一光楔、第二光楔用来调节反射激光的中心与相机的中心重合。

更进一步地，上述的用于绝缘体微加工的激光机器人同轴共聚焦随动切割头，其中：所述管镜采用无限远消色差透镜制成，令无限远物体成像于焦点位置，即相机的焦平面上，所述相机与管镜的内置芯片间距通过可调式套管调节，并由锁环锁紧。

更进一步地，上述的用于绝缘体微加工的激光机器人同轴共聚焦随动切割头，其中：所述影像子模组一、影像子模组二结构相同，影像子模组一和影像子模组二均安装在面包板上，二者通过光箱组件密封。

再进一步地，上述的用于绝缘体微加工的激光机器人同轴共聚焦随动切割头，其中：所述光箱上固定有第一挡板，所述第一挡板上设有门把手，所述门把手的外表面包裹有一层绝缘护套。

本实用新型与现有技术相比具有显著的优点和有益效果，具体体现在以下方面：

(1)本实用新型的同轴影像相当于机械手上的眼睛，无需人工目测，消除机械手和影像的手眼变换矩阵引入的误差，使其变换精度更高。

(2)本实用新型的影像管镜采用无限远消色差透镜，配合校正了紫外到近红外色差的聚焦镜，提高成像质量。

(3)本实用新型针对相机仅利用聚焦镜成像做不到共焦的问题，在聚焦镜基础上增加管镜构成无限远系统，采用同轴共聚焦影像，使得激光焦点与影像焦点重合，有效提高精度。

(4)本实用新型通过旋转的光楔对实现同轴影像，缩小安装尺寸，适用于切割头主体，并利用双目视觉测量绝缘体距离的方式调节随动切割头主体，实现补偿高度、X和Y方向的偏移调整。

本实用新型的其他特征和优点将在随后的说明书阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型具体实施方式了解。本实用新型的目的和其他优点可通过在所写的说明书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1：本实用新型的激光机器人系统结构示意图；

图2：本实用新型的切割头主体正视图；

图3：本实用新型的聚焦镜部分剖面图；

图4：本实用新型的聚焦镜部分仰视图；

图5：本实用新型的同轴光路左视图；

图6：本实用新型的同轴光路剖面图；

图7：本实用新型的影像子模组剖面图；

图8：本实用新型的切割头主体左视图；

图9：本实用新型的切割头主体右视图；

图10：本实用新型的切割头主体俯视图；

图11：本实用新型的单楔形镜偏转位置参照图；

图12：本实用新型的双楔形镜调节激光焦点横向位置参照图；

图13：本实用新型的横向移动方式参照图；

图14：本实用新型的圆形移动方式参照图。

图中各附图标记的含义见下表：

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。同时，在本实用新型的描述中，方位术语和次序术语等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

如图1～图2所示，本实用新型的一种用于绝缘体微加工的激光机器人同轴共聚焦随动切割头，包括切割头主体2与六轴机器人3，六轴机器人3包括框架式和关节式机器人，其中采用六轴机器人3为关节式时，包含6个旋转轴，切割头主体2安装于六轴机器人3上，且切割头主体2上设有聚焦镜28、同轴光路4、影像子模组一6及影像子模组二7。

根据本实用新型技术方案，到聚焦镜28距离相同的影像子模组一6、影像子模组二7均设有管镜66，并通过两组管镜66与聚焦镜28构成双目视觉，用于测量工件高度和横向位置并对其进行补偿，反馈给六轴机器人3或者切割头主体2实现随动。

如图3～图4所示，聚焦镜28通过外带螺纹的第二卡环27固定在内带螺纹的第一镜架29中，第一镜架29内通过第一卡环24固定安装有保护镜片25，并通过外螺纹与螺纹转接件一23旋进连接，外侧可加吹气以免粉尘损伤保护镜。螺纹转接件一23通过外螺纹旋进到带内螺纹的X-Y调整架21中，二维调整以保证激光从镜片中心出射，针对采用X-Y调整架21平移方式实现同轴影像占用空间大的缺点。聚焦镜28由三个镜片组成，校正了色差以保证紫外到近红外保证一致的焦距，镜片间隔为空气以承受高功率激光，X-Y调整架21通过四根螺杆22与笼板转接件26的外侧固定，笼板转接件26紧贴第一镜架29表面，经由其内侧的四根螺杆22与同轴光路4部分的第一笼板46固定连接。

如图5～图6所示，同轴光路4控制照明光线40、激光20同轴传输至曲面工件1上，所产生的反射光、散射光均照射到影像子模组一6和影像子模组二7上，照明光线40从照明光源43发出，经过自带的50％透射、50％反射的笼式分光镜48，再经过第一笼式反射镜42和合束镜41，反射进入聚焦镜28后，激光20经过第二挡板86预留的B面入光口85，再穿过同轴光路4中设有的合束镜41，合束镜41通过侧面顶丝安装在第二镜架45中，第二镜架45固定在笼式立方44中，与此同时照明光线40和激光20经过合束镜41、第一笼式反射镜42反射，再经过面包板5上设有的光箱组件8调节光路方向，光箱组件8上安装有光箱80，光箱80上设有用于照明光线40的电源线进出的方孔87，光箱80上还设有第二挡板86，照明光线40和激光20通过第二挡板86预留的A面入光口83，继续返回经过衰减片47，衰减片47通过外螺纹旋进螺纹转接件一23，螺纹转接件一23通过外螺纹旋进第一笼板46，第一笼板46通过螺丝固定在安装底座68上，最后入射到曲面工件1上，曲面工件1反射和散射的照明光线40和激光20反馈至同轴光路4，经过笼式分光镜48，一路进入影像子模组一6，另一路经过由压块50固定后的第二笼式反射镜49进入影像子模组二7。

如图7所示，影像子模组一6、影像子模组二7的结构相同，且影像子模组一6和影像子模组二7均安装在面包板5上，二者通过光箱组件8密封，稳定安装。影像子模组一6、影像子模组二7均由第一光楔61、第二光楔64、管镜66及相机74组成，第一光楔61和第二光楔64依次通过楔形压环62、第一压环63对称固定在旋转镜架60中，旋转镜架60通过笼杆进一步固定，使得第一光楔61、第二光楔64与管镜66、相机74轴心相同，形成的同轴影像相当于机械手上的眼睛，消除机械手和影像的手眼变换矩阵引入的误差，使其变换精度更高。管镜66利用第二压环65与可调式套管67、固定套管69顺次套接安装，相机74通过内螺纹旋进到带外螺纹的螺纹转接件二72上，螺纹转接件二72通过转接头71内螺纹旋进带内螺纹的套管73上，套管73通过螺纹旋进到固定套管69的一端上，固定套管69的另一端固定在第二笼板70中，第二笼板70经由螺丝固定在安装底座68上，安装底座68通过螺丝与面包板5固定连接。

如图8～图10所示，光箱80上固定安装有第一挡板84，第一挡板84紧贴切割头主体2安装，以避免聚焦镜入光口进灰；第一挡板84上还设有门把手81，可以打开门调试光路，门把手81的外表面包裹有一层绝缘护套82。

具体地，第一光楔61、第二光楔64结构相同，第一光楔61、第二光楔64用来调节激光20中心与相机74，使二者的中心重合，旋转第一光楔61、第二光楔64实现同轴影像，适用于切割头安装，以便补偿旁轴影像中心与激光中心的X和Y方向偏移量。

具体地，管镜66采用无限远消色差透镜制成，能够令无限远物体成像于焦点位置，即相机74的焦平面上，相机74与管镜66的内置芯片间距通过可调式套管67调节，并由锁环锁紧。

如图12～14所示，相对于光源入射单楔形镜的采取的横向移动方式，本实用新型通过圆形移动方式能够使激光中心和影像中心重合。其中，反射的激光20从光楔平面入射，沿光轴O₁O₄传输进入第一光楔61斜面，入射角等于第一光楔61的楔角α，光楔材料折射率n，折射角β＝asin(n×sinα)≈nα。玻璃折射率近似1.5，当楔角α≤10°时，近似导致的误差≦asin(1.5×sin(10π/180))-1.5×10π/180＝1.7‰，因此近似成立。光楔斜面折射导致激光20偏转角β-α，光轴O₁O₄和光线O₂A夹角β-α≈(n-1)α，经过聚焦镜28后，聚焦在焦平面上B点，轴心O₄到B点矢量旋转光楔61，矢量模/>由聚焦镜28焦距f₂、光楔折射率n、楔角α决定保持不变，B点以光轴上点O₄为圆心、/>为半径移动。同理，单独考虑第二光楔64，导致B点以光轴上点O₄为圆心、/>为半径移动。在光楔α角度小的情况下，近似认为激光20垂直入射到第二光楔64，此时第一光楔61、第二光楔64分别旋转，形成的矢量/>和/>叠加，构成半径为|r₂-r₁|到|r₂+r₁|的圆环。当r₂-r₁＝0时，矢量/>和叠加覆盖半径2r₁的圆。第一光楔61与第二光楔64的角度相同时，模/>图像位置或激光中心矢量/>平移/>到相机中心O，光楔对形成的位移矢量与/>夹角θ＝acos(r₀/(2r₁))。

具体应用时，从切割头主体2射出的激光20垂直入射到曲面工件1表面，六轴机器人3根据设定的距离进行运行移动，使激光20沿曲面工件1表轮廓轨迹进行加工作用。首先，通过CAD绘制机器人、工具和工件的装配图，将CAD图纸导入CAM软件中创建模型，对六轴机器人3进行工具坐标的基础校正和三点校正(三点校正：指的是将CAD图纸模型中的三个点在CAM中的坐标，与六轴机器人3系统实物对应的三个点在其控制器中的坐标对比，计算出模型与实物的旋转、平移和缩放)，CAM规划路径并输出加工程序，CAM离线编程安全、成本低、精度比手动示教高，避免CAD图纸不适合导致返工，最后，将加工程序拷贝到六轴机器人3的控制器中，切入点开气并开光，沿轨迹运行，切出点关光；切入点与起点不重合，切出点与终点不重合，以避免起点和终点的激光20停留时间长导致的热影响过大，提高切割精度。

实施例1

六轴机器人3系统加工0.2mmAl₂O₃陶瓷的曲面工件1，激光器采用1070nm准连续近红外，激光20频率1kHz，功率因子80％，平均功率120W，峰值功率1200W，切割头主体2焦距90mm，加工速度30mm/s，加工次数1次。

实施例2

六轴机器人3系统加工0.3mm厚度的PMMA(polymethyl methacrylate，聚甲基丙烯酸甲酯)曲面工件，激光器采用贝林Amber NX UV-40皮秒紫外激光，激光20的波长355nm，频率700kHz，额定功率40W，功率因子90％即27W，切割头聚焦镜焦距90mm，加工速度60mm/s，加工次数2次。

综上所述，本实用新型的影像管镜采用无限远消色差透镜，配合校正了紫外到近红外色差的聚焦镜，提高成像质量。而且在聚焦镜基础上增设管镜，整体结构形成无限远系统，影像焦点与聚焦镜焦点同轴共聚焦成像，使得激光焦点与影像焦点完全重合，精度更高；另外，通过旋转的光楔对实现同轴影像，缩小安装尺寸，适用于切割头主体，并利用双目视觉测量绝缘体距离的方式调节随动切割头主体，实现补偿高度、X和Y方向的偏移调整。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

上述仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

Claims (5)

1.用于绝缘体微加工的激光机器人同轴共聚焦随动切割头，包括切割头主体(2)与六轴机器人(3)，切割头主体(2)安装于六轴机器人(3)上，且所述切割头主体(2)上设有聚焦镜(28)、同轴光路(4)、影像子模组一(6)及影像子模组二(7)，其特征在于：到聚焦镜(28)距离相同的影像子模组一(6)、影像子模组二(7)均设有管镜(66)，并通过两组管镜(66)与聚焦镜(28)构成双目视觉，用于测量工件高度和横向位置并对其进行补偿，反馈给六轴机器人(3)或者切割头主体(2)实现随动；

所述聚焦镜(28)通过外带螺纹的第二卡环(27)固定在内带螺纹的第一镜架(29)中，所述第一镜架(29)内通过第一卡环(24)固定安装保护镜片(25)，并通过外螺纹与螺纹转接件一(23)旋进连接，所述螺纹转接件一(23)通过外螺纹旋进到带内螺纹的X-Y调整架(21)中，所述X-Y调整架(21)通过四根螺杆(22)与笼板转接件(26)的外侧固定，所述笼板转接件(26)紧贴第一镜架(29)表面，经由其内侧的四根螺杆(22)与同轴光路(4)部分的第一笼板(46)固定连接；

所述同轴光路(4)控制照明光线(40)和激光(20)同轴传输至曲面工件(1)上，所产生的反射光、散射光均照射到影像子模组一(6)和影像子模组二(7)上，所述照明光线(40)从照明光源(43)发出，经过自带的50％透射、50％反射的笼式分光镜(48)，再经过第一笼式反射镜(42)和合束镜(41)，反射进入聚焦镜(28)后，所述激光(20)经过第二挡板(86)预留的B面入光口(85)，再穿过同轴光路(4)中设有的合束镜(41)，所述合束镜(41)通过侧面顶丝安装在第二镜架(45)中，所述第二镜架(45)固定在笼式立方(44)中，与此同时照明光线(40)和激光(20)经过合束镜(41)、第一笼式反射镜(42)反射，再经过面包板(5)上设有的光箱组件(8)调节光路方向，所述光箱组件(8)上安装有光箱(80)，所述光箱(80)上设有用于照明光源(43)的电源线、相机(74)电源线及网线进出的方孔(87)，所述光箱(80)上还设有第二挡板(86)，照明光线(40)和激光(20)通过所述第二挡板(86)预留的A面入光口(83)，继续返回经过衰减片(47)，所述衰减片(47)通过外螺纹旋进螺纹转接件一(23)，螺纹转接件一(23)通过外螺纹旋进第一笼板(46)，所述第一笼板(46)通过螺丝固定在安装底座(68)上，最后入射到曲面工件(1)上，所述曲面工件(1)反射和散射的照明光线(40)和激光(20)反馈至同轴光路(4)，经过笼式分光镜(48)，一路进入影像子模组一(6)，另一路经过由压块(50)固定后的第二笼式反射镜(49)进入影像子模组二(7)；

所述影像子模组一(6)、影像子模组二(7)均由第一光楔(61)、第二光楔(64)、管镜(66)及相机(74)组成，所述第一光楔(61)和第二光楔(64)依次通过楔形压环(62)、第一压环(63)对称固定在旋转镜架(60)中，所述旋转镜架(60)通过笼杆进一步固定，使得第一光楔(61)、第二光楔(64)与管镜(66)、相机(74)轴心相同，所述管镜(66)利用第二压环(65)与可调式套管(67)、固定套管(69)顺次套接安装，所述相机(74)通过内螺纹旋进到带外螺纹的螺纹转接件二(72)上，所述螺纹转接件二(72)通过转接头(71)内螺纹旋进带内螺纹的套管(73)上，所述套管(73)通过螺纹旋进到固定套管(69)的一端上，所述固定套管(69)的另一端固定在第二笼板(70)中，第二笼板(70)经由螺丝固定在安装底座(68)上，所述安装底座(68)通过螺丝与面包板(5)固定连接。

2.根据权利要求1所述的用于绝缘体微加工的激光机器人同轴共聚焦随动切割头，其特征在于：所述光箱(80)上固定安装有第一挡板(84)，所述第一挡板(84)上设有门把手(81)，所述门把手(81)的外表面包裹有一层绝缘护套(82)。

3.根据权利要求1所述的用于绝缘体微加工的激光机器人同轴共聚焦随动切割头，其特征在于：所述第一光楔(61)、第二光楔(64)结构相同，第一光楔(61)、第二光楔(64)用来调节反射激光(20)的中心与相机的中心重合。

4.根据权利要求1所述的用于绝缘体微加工的激光机器人同轴共聚焦随动切割头，其特征在于：所述管镜(66)采用无限远消色差透镜制成，令无限远物体成像于焦点位置，即相机(74)的焦平面上，所述相机(74)与管镜(66)的内置芯片间距通过可调式套管(67)调节，并由锁环锁紧。

5.根据权利要求1所述的用于绝缘体微加工的激光机器人同轴共聚焦随动切割头，其特征在于：所述影像子模组一(6)、影像子模组二(7)结构相同，影像子模组一(6)和影像子模组二(7)均安装在面包板(5)上，二者通过光箱组件(8)密封。