CN219882037U - 一种电子芯片晶圆研磨装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及芯片加工技术领域，公开了一种电子芯片晶圆研磨装置，包括底座主体，所述底座主体的上端面靠后侧固定连接有研磨机构，所述底座主体包括底座外壳，所述底座外壳的内部靠后侧中间处开设有放置孔，所述放置孔的上端面活动连接有研磨箱，所述研磨箱的表面两侧靠上端固定连接有固定块，所述研磨箱的内底面中间处贯穿设置有阻挡圆板，所述研磨箱的下端靠中间处开设有圆形滑孔，所述阻挡圆板的下端面中间处固定连接有固定连杆，所述固定连杆的一侧下端面固定连接有连接孔。本实用新型中，通过水枪头、软管、固定杆与二号弹簧可以使得水枪头进行拉伸与回弹，使得对研磨箱进行灌入更加方便。

Description

一种电子芯片晶圆研磨装置

技术领域

本实用新型涉及芯片加工技术领域，尤其涉及一种电子芯片晶圆研磨装置。

背景技术

经检索，现有专利(公开号为：CN217914726U)本实用新型提供一种电子芯片加工用晶圆研磨装置，涉及芯片加工技术领域，包括主体，所述主体的顶面开设有回收腔，所述回收腔的侧面开设有通孔，且通孔贯穿回收腔侧面，所述回收腔内设有过滤板，且过滤板与回收腔活动连接，所述主体的顶面设有支撑架，所述支撑架的顶面设有储液箱，所述主体的内部设有循环泵，所述循环泵的输出端设有输液管，且输液管分别贯穿主体和储液箱，过滤板可以将研磨液中的细微颗粒过滤掉，而主体内设有循环泵，通过循环泵可以将过滤后的研磨液输送至储液箱内进行回收再利用，这些设计使研磨液在使用后可以将颗粒进行过滤从而回收利用，节约了资源。

发明人在实现本实用新型的过程中发现现有技术存在如下问题：1、在对研磨箱进行喷出研磨液的时候无法保证可以精准对研磨箱进行灌入，会对周围有一定的溅出，很是浪费；2、在对研磨箱内部的研磨液进行流出和后续的处理很是麻烦；因此，本领域技术人员提供了一种电子芯片晶圆研磨装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种电子芯片晶圆研磨装置，把水枪头从固定卡块上拿下，启动水泵使得水泵从过滤箱内部开始吸取水，通过软管到达水枪头，拉出水枪头，使得固定杆进行转动拉出软管达到一定长度，按动水枪头上面的开关使得水流喷出，把水流喷向研磨箱内部，在喷水完成后，手收力，使得软管在二号弹簧的作用下对固定杆进行回弹转动，使得软管进行收回，再把水枪头与固定卡块卡接，使得对研磨箱进行精准喷水，不会浪费，而且对于软管与水枪头的放置方便。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：

一种电子芯片晶圆研磨装置，包括底座主体，所述底座主体的上端面靠后侧固定连接有研磨机构；

所述底座主体包括底座外壳，所述底座外壳的内部靠后侧中间处开设有放置孔，所述放置孔的上端面活动连接有研磨箱，所述研磨箱的表面两侧靠上端均固定连接有固定块，所述研磨箱的内底面中间处贯穿设置有阻挡圆板，所述研磨箱的下端靠中间处开设有圆形滑孔，所述阻挡圆板的下端面中间处固定连接有固定连杆；

所述固定连杆的一侧下端面固定连接有连接孔，所述底座外壳的内部靠另一侧后端上侧开设有孔洞，所述孔洞内底面固定连接有水泵，所述底座外壳的一侧靠前端下侧贯穿设置有过滤箱，所述过滤箱的内部前后两侧靠上端均固定连接有斜板，两个所述斜板的之间上端活动连接有过滤板；

所述研磨机构包括两个支撑板，两个所述支撑板相对的一侧上端固定连接有顶板，所述顶板的下端面中间处转动连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的下端面固定连接有研磨头，两个所述支撑板其中一个的内部靠下端固定连接有转动孔，所述转动孔的内部中间处转动连接有固定杆，两个所述支撑板的其中一个的一侧中间处靠上端固定连接有固定卡块，所述研磨头与研磨箱活动连接；

通过上述技术方案，底座主体可以支撑研磨机构与使得一些机构在底座主体的内部，研磨机构可以对电子芯片晶圆进行打磨，放置孔内部滑动研磨箱，研磨箱可以的使得电子芯片晶圆进行放置打磨，固定块可以使得研磨箱在放置孔内部进行上下滑动，不会滑出放置孔，阻挡圆板在研磨箱的内底面进行贯穿，使得研磨箱内部的水进行流出，固定连杆可以使得阻挡圆板进行上下移动，孔洞内部的水泵可以吸取过滤箱内部的水，进行对研磨箱进行注水，过滤箱可以滑出底座外壳内部，进行更换或清洗，斜板是从上到下逐渐缩小，使得对过滤板进行固定，而过滤板可以拿出，使得对过滤板进行更换或清洗，两个支撑板上端之间固定的顶板可以支撑电动伸缩杆，进行伸缩，使得研磨头与研磨箱进行从上到下的进入研磨箱内部，对电子芯片晶圆进行打磨，转动孔内部转动的固定杆。

进一步地，所述阻挡圆板的表面上端固定连接有密封圆板，所述研磨箱的下端面靠两侧处均固定连接有一号弹簧；

通过上述技术方案，密封圆板可以使得阻挡圆板不会出现缝隙，一号弹簧可以使得研磨箱有一定的弹性，使得对电子芯片晶圆更好的进行打磨。

进一步地，所述固定连杆的表面靠上端贯穿设置有连接圆块，所述连接圆块的上端靠周围处固定连接有圆形滑块，所述圆形滑块与圆形滑孔卡接设置；

通过上述技术方案，连接圆块的上端内部有孔，可以使得研磨箱内部水进行流出限制，圆形滑块与圆形滑孔相交时，使得水流不会溅出到底座外壳的内部。

进一步地，所述连接圆块的前端中间处靠下端贯穿设置有连接管，所述连接管的前端与过滤箱的上端面活动连接，所述水泵吸水口固定的管道贯穿过滤板与过滤箱内底面活动连接；

通过上述技术方案，连接管使得连接圆块内部的水流进行流出到达过滤箱内部，进行过滤重复利用，而水泵的吸水口连接的管道，可以吸附过滤箱内部的水进行喷出。

进一步地，所述底座外壳的一侧靠后端中间处贯穿设置有滑杆，所述滑杆的一端固定连接有圆锥头，所述圆锥头与连接孔卡接连接；

通过上述技术方案，滑杆在底座外壳的一侧进行滑动，使得圆锥头与连接孔进行交合，使得圆锥头顶起固定连杆，使得阻挡圆板抬起。

进一步地，所述固定杆的表面靠下端贯穿设置有固定板，所述固定板的下端固定连接有二号弹簧；

通过上述技术方案，固定板贯穿在固定杆的下端，二号弹簧可以使得固定杆在没有限制时进行回弹转动。

进一步地，所述固定杆的表面靠上端缠绕设置有软管，所述软管的一端贯穿支撑板固定连接有水枪头，所述软管的另一端与水泵固定连接，所述固定卡块卡接设置有水枪头，所述软管的另一端与水泵固定连接；

通过上述技术方案，软管可以使得水流从水枪头进行喷出，对研磨箱进行注水，固定卡块可以卡接水枪头使得水枪头不会被丢弃。

进一步地，所述顶板的上端面中间处固定连接有电机，所述电机的输出端贯穿顶板与电动伸缩杆固定连接；

通过上述技术方案，电机贯穿顶板与电动伸缩杆进行固定，使得电机转动可以带动电动伸缩杆转动对电子芯片晶圆进行打磨。

本实用新型具有如下有益效果：

1、本实用新型提出的一种电子芯片晶圆研磨装置，把水枪头从固定卡块上拿下，启动水泵使得水泵从过滤箱内部开始吸取水，通过软管到达水枪头，拉出水枪头，使得固定杆进行转动拉出软管达到一定长度，按动水枪头上面的开关使得水流喷出，把水流喷向研磨箱内部，在喷水完成后，手收力，使得软管在二号弹簧的作用下对固定杆进行回弹转动，使得软管进行收回，再把水枪头与固定卡块卡接，使得对研磨箱进行精准喷水，不会浪费，而且对于软管与水枪头的放置方便，加强了装置的实用性。

2、本实用新型提出的一种电子芯片晶圆研磨装置，动电动伸缩杆使得其下降达到研磨箱内部，启动电机使得电动伸缩杆转动使得研磨头对电子芯片晶圆进行打磨，在打磨完成后，推动滑杆，使得滑杆向底座外壳的内部使得对固定连杆上的连接孔进行撑起，使得固定连杆与阻挡圆板、连接圆块进行升起，连接圆块上的圆形滑块与圆形滑孔进行连接，使得阻挡圆板升起后的孔使得水流进行流下，通过连接管达到过滤箱内部通过过滤板达到底部，可以对打磨时的水流进行简单过滤再次使用，与后续的清洗与更换很方便，加强了装置的实用性。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种电子芯片晶圆研磨装置的轴侧示意图；

图2为本实用新型提出的一种电子芯片晶圆研磨装置的正剖示意图；

图3为本实用新型提出的一种电子芯片晶圆研磨装置的侧视示意图；

图4为本实用新型提出的一种电子芯片晶圆研磨装置的侧剖示意图；

图5为本实用新型提出的一种电子芯片晶圆研磨装置的A处放大示意图。

图例说明：

1、底座主体；2、研磨机构；101、底座外壳；102、放置孔；103、研磨箱；104、固定块；105、阻挡圆板；106、密封圆板；107、一号弹簧；108、圆形滑孔；109、固定连杆；110、连接孔；111、连接圆块；112、圆形滑块；113、连接管；114、孔洞；115、水泵；116、过滤箱；117、斜板；118、过滤板；119、滑杆；120、圆锥头；201、支撑板；202、顶板；203、电动伸缩杆；204、研磨头；205、转动孔；206、固定杆；207、固定板；208、二号弹簧；209、软管；210、水枪头；211、固定卡块；212、电机。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

参照图1-5，本实用新型提供的一种实施例：一种电子芯片晶圆研磨装置，包括底座主体1，底座主体1的上端面靠后侧固定连接有研磨机构2；

底座主体1包括底座外壳101，底座外壳101的内部靠后侧中间处开设有放置孔102，放置孔102的上端面活动连接有研磨箱103，研磨箱103的表面两侧靠上端均固定连接有固定块104，研磨箱103的内底面中间处贯穿设置有阻挡圆板105，研磨箱103的下端靠中间处开设有圆形滑孔108，阻挡圆板105的下端面中间处固定连接有固定连杆109；

固定连杆109的一侧下端面固定连接有连接孔110，底座外壳101的内部靠另一侧后端上侧开设有孔洞114，孔洞114内底面固定连接有水泵115，底座外壳101的一侧靠前端下侧贯穿设置有过滤箱116，过滤箱116的内部前后两侧靠上端均固定连接有斜板117，两个斜板117的之间上端活动连接有过滤板118；

研磨机构2包括两个支撑板201，两个支撑板201相对的一侧上端固定连接有顶板202，顶板202的下端面中间处转动连接有电动伸缩杆203，电动伸缩杆203的下端面固定连接有研磨头204，两个支撑板201其中一个的内部靠下端固定连接有转动孔205，转动孔205的内部中间处转动连接有固定杆206，两个支撑板201的其中一个的一侧中间处靠上端固定连接有固定卡块211，研磨头204与研磨箱103活动连接；

底座主体1可以支撑研磨机构2与使得一些机构在底座主体1的内部，研磨机构2可以对电子芯片晶圆进行打磨，放置孔102内部滑动研磨箱103，研磨箱103可以的使得电子芯片晶圆进行放置打磨，固定块104可以使得研磨箱103在放置孔102内部进行上下滑动，不会滑出放置孔102，阻挡圆板105在研磨箱103的内底面进行贯穿，使得研磨箱103内部的水进行流出，固定连杆109可以使得阻挡圆板105进行上下移动；

孔洞114内部的水泵115可以吸取过滤箱116内部的水，进行对研磨箱103进行注水，过滤箱116可以滑出底座外壳101内部，进行更换或清洗，斜板117是从上到下逐渐缩小，使得对过滤板118进行固定，而过滤板118可以拿出，使得对过滤板118进行更换或清洗，两个支撑板201上端之间固定的顶板202可以支撑电动伸缩杆203，进行伸缩，使得研磨头204与研磨箱103进行从上到下的进入研磨箱103内部，对电子芯片晶圆进行打磨，转动孔205内部转动的固定杆206。

阻挡圆板105的表面上端固定连接有密封圆板106，研磨箱103的下端面靠两侧处均固定连接有一号弹簧107，密封圆板106可以使得阻挡圆板105不会出现缝隙，一号弹簧107可以使得研磨箱103有一定的弹性，使得对电子芯片晶圆更好的进行打磨，固定连杆109的表面靠上端贯穿设置有连接圆块111，连接圆块111的上端靠周围处固定连接有圆形滑块112，圆形滑块112与圆形滑孔108卡接设置，连接圆块111的上端内部有孔，可以使得研磨箱103内部水进行流出限制，圆形滑块112与圆形滑孔108相交时，使得水流不会溅出到底座外壳101的内部；

连接圆块111的前端中间处靠下端贯穿设置有连接管113，连接管113的前端与过滤箱116的上端面活动连接，水泵115吸水口固定的管道贯穿过滤板118与过滤箱116内底面活动连接，连接管113使得连接圆块111内部的水流进行流出到达过滤箱116内部，进行过滤重复利用，而水泵115的吸水口连接的管道，可以吸附过滤箱116内部的水进行喷出；

底座外壳101的一侧靠后端中间处贯穿设置有滑杆119，滑杆119的一端固定连接有圆锥头120，圆锥头120与连接孔110卡接连接，滑杆119在底座外壳101的一侧进行滑动，使得圆锥头120与连接孔110进行交合，使得圆锥头120顶起固定连杆109，使得阻挡圆板105抬起，固定杆206的表面靠下端贯穿设置有固定板207，固定板207的下端固定连接有二号弹簧208，固定板207贯穿在固定杆206的下端，二号弹簧208可以使得固定杆206在没有限制时进行回弹转动；

固定杆206的表面靠上端缠绕设置有软管209，软管209的一端贯穿支撑板201固定连接有水枪头210，固定卡块211卡接设置有水枪头210，软管209的另一端与水泵115固定连接，软管209可以使得水流从水枪头210进行喷出，对研磨箱103进行注水，固定卡块211可以卡接水枪头210使得水枪头210不会被丢弃，顶板202的上端面中间处固定连接有电机212，电机212的输出端贯穿顶板202与电动伸缩杆203固定连接，电机212贯穿顶板202与电动伸缩杆203进行固定，使得电机212转动可以带动电动伸缩杆203转动对电子芯片晶圆进行打磨。

工作原理：把水枪头210从固定卡块211上拿下，启动水泵115使得水泵115从过滤箱116内部开始吸取水，通过软管209到达水枪头210，拉出水枪头210，使得固定杆206进行转动拉出软管209达到一定长度，按动水枪头210上面的开关使得水流喷出，把水流喷向研磨箱103内部，在喷水完成后，手收力，使得软管209在二号弹簧208的作用下对固定杆206进行回弹转动，使得软管209进行收回，再把水枪头210与固定卡块211卡接；

启动电动伸缩杆203使得其下降达到研磨箱103内部，启动电机212使得电动伸缩杆203转动使得研磨头204对电子芯片晶圆进行打磨，在打磨完成后，推动滑杆119，使得滑杆119向底座外壳101的内部使得对固定连杆109上的连接孔110进行撑起，使得固定连杆109与阻挡圆板105、连接圆块111进行升起，连接圆块111上的圆形滑块112与圆形滑孔108进行连接，使得阻挡圆板105升起后的孔使得水流进行流下，通过连接管113达到过滤箱116内部通过过滤板118达到底部，在对电子芯片晶圆进行打磨后，通过把手拉出过滤箱116，拿出过滤板118可以对过滤板118进行清洗或更换。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种电子芯片晶圆研磨装置，包括底座主体(1)，其特征在于：所述底座主体(1)的上端面靠后侧固定连接有研磨机构(2)；

所述底座主体(1)包括底座外壳(101)，所述底座外壳(101)的内部靠后侧中间处开设有放置孔(102)，所述放置孔(102)的上端面活动连接有研磨箱(103)，所述研磨箱(103)的表面两侧靠上端均固定连接有固定块(104)，所述研磨箱(103)的内底面中间处贯穿设置有阻挡圆板(105)，所述研磨箱(103)的下端靠中间处开设有圆形滑孔(108)，所述阻挡圆板(105)的下端面中间处固定连接有固定连杆(109)；

所述固定连杆(109)的一侧下端面固定连接有连接孔(110)，所述底座外壳(101)的内部靠另一侧后端上侧开设有孔洞(114)，所述孔洞(114)内底面固定连接有水泵(115)，所述底座外壳(101)的一侧靠前端下侧贯穿设置有过滤箱(116)，所述过滤箱(116)的内部前后两侧靠上端均固定连接有斜板(117)，两个所述斜板(117)的之间上端活动连接有过滤板(118)；

所述研磨机构(2)包括两个支撑板(201)，两个所述支撑板(201)相对的一侧上端固定连接有顶板(202)，所述顶板(202)的下端面中间处转动连接有电动伸缩杆(203)，所述电动伸缩杆(203)的下端面固定连接有研磨头(204)，两个所述支撑板(201)其中一个的内部靠下端固定连接有转动孔(205)，所述转动孔(205)的内部中间处转动连接有固定杆(206)，两个所述支撑板(201)的其中一个的一侧中间处靠上端固定连接有固定卡块(211)，所述研磨头(204)与研磨箱(103)活动连接。

2.根据权利要求1所述的一种电子芯片晶圆研磨装置，其特征在于：所述阻挡圆板(105)的表面上端固定连接有密封圆板(106)，所述研磨箱(103)的下端面靠两侧处均固定连接有一号弹簧(107)。

3.根据权利要求1所述的一种电子芯片晶圆研磨装置，其特征在于：所述固定连杆(109)的表面靠上端贯穿设置有连接圆块(111)，所述连接圆块(111)的上端靠周围处固定连接有圆形滑块(112)，所述圆形滑块(112)与圆形滑孔(108)卡接设置，所述连接圆块(111)的前端中间处靠下端贯穿设置有连接管(113)，所述连接管(113)的前端与过滤箱(116)的上端面活动连接，所述水泵(115)吸水口固定的管道贯穿过滤板(118)与过滤箱(116)内底面活动连接。

4.根据权利要求1所述的一种电子芯片晶圆研磨装置，其特征在于：所述底座外壳(101)的一侧靠后端中间处贯穿设置有滑杆(119)，所述滑杆(119)的一端固定连接有圆锥头(120)，所述圆锥头(120)与连接孔(110)卡接连接。

5.根据权利要求1所述的一种电子芯片晶圆研磨装置，其特征在于：所述固定杆(206)的表面靠下端贯穿设置有固定板(207)，所述固定板(207)的下端固定连接有二号弹簧(208)。

6.根据权利要求1所述的一种电子芯片晶圆研磨装置，其特征在于：所述固定杆(206)的表面靠上端缠绕设置有软管(209)，所述软管(209)的一端贯穿支撑板(201)固定连接有水枪头(210)，所述固定卡块(211)卡接设置有水枪头(210)，所述软管(209)的另一端与水泵(115)固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种电子芯片晶圆研磨装置，其特征在于：所述顶板(202)的上端面中间处固定连接有电机(212)，所述电机(212)的输出端贯穿顶板(202)与电动伸缩杆(203)固定连接。