CN219861683U - 加热装置和单晶炉 - Google Patents

加热装置和单晶炉 Download PDF

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CN219861683U CN202320250810.7U CN202320250810U CN219861683U CN 219861683 U CN219861683 U CN 219861683U CN 202320250810 U CN202320250810 U CN 202320250810U CN 219861683 U CN219861683 U CN 219861683U
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陈永国
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Abstract

本实用新型公开了一种加热装置和单晶炉,包括:环形发热本体、第一连接板和第二连接板,环形发热本体包括相邻设置的第一发热体和第二发热体;其中,第一发热体包括第一发热区,第二发热体包括第二发热区,第一发热区和第二发热区层叠放置;第一连接板设置于第一发热区背离第二发热区的一侧,第二连接板设置于第二发热区背离第一发热区的一侧,第一连接板和第二连接板固定连接,以使第一发热区和第二发热区固定连接。可以增加第一发热体和第二发热体的拼接处的厚度,进而可以增强环形发热本体的结构强度,避免加热装置在拼接处发生断裂或错位,可以提升加热装置的使用寿命,降低加热装置的使用成本。

Description

加热装置和单晶炉
技术领域
本实用新型属于拉晶技术领域,具体涉及一种加热装置和单晶炉。
背景技术
在单晶硅棒的拉制工艺中,随着大热场单晶炉工艺的不断成熟,加热时间不断上升,加热装置的设定功率也随之不断提升。然而,加热装置的强度达不到大热场的工艺需求,使得加热装置容易在发热瓣的拼接处发生断裂或错位,最终影响加热装置的使用寿命,进而导致加热装置的使用成本上升。
实用新型内容
鉴于上述问题,本实用新型实施例提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种加热装置和单晶炉。
为了解决上述技术问题,第一方面,本实用新型实施例提出了一种加热装置,包括:环形发热本体、第一连接板和第二连接板,所述环形发热本体包括相邻设置的第一发热体和第二发热体;其中,
所述第一发热体包括第一发热区,所述第二发热体包括第二发热区,所述第一发热区和所述第二发热区层叠放置;
所述第一连接板设置于所述第一发热区背离所述第二发热区的一侧,所述第二连接板设置于所述第二发热区背离所述第一发热区的一侧,所述第一连接板和所述第二连接板固定连接,以使所述第一发热区和所述第二发热区固定连接。
可选地,所述第一发热区设置有第一穿设孔,所述第二发热区设置有第二穿设孔,所述第一连接板设置有第一凸起部,所述第二连接板设置有第二凸起部;
所述第一穿设孔和所述第二穿设孔相对设置;
所述第一凸起部的至少部分穿设于所述第一穿设孔,所述第二凸起部的至少部分穿设于所述第二穿设孔,所述第二凸起部与所述第一凸起部固定连接。优选地,所述第二凸起部与所述第一凸起部抵接并固定连接。
可选地,所述第一凸起部与所述第一穿设孔间隙配合;
所述第二凸起部与所述第二穿设孔间隙配合。
可选地,所述第一连接板上设置有第一通孔,所述第二连接板上设置有第二通孔,所述加热装置还包括第一紧固件;
所述第一通孔贯穿于所述第一凸起部,所述第二通孔贯穿于所述第二凸起部;
所述第一通孔和所述第二通孔相对设置;
所述第一紧固件分别穿设于所述第一通孔和所述第二通孔,用于固定所述第一连接板和所述第二连接板。
可选地,所述第一紧固件与所述第一通孔过盈配合;
所述第一紧固件与所述第二通孔过盈配合。
可选地,所述第一紧固件包括第一嵌设部和第二嵌设部,所述第一通孔沿第一方向包括第一子通孔和第二子通孔;
所述第一子通孔的孔径大于所述第二子通孔的孔径,以使所述第一通孔形成阶梯孔;所述第一嵌设部的外径大于所述第二嵌设部的外径,以使所述第一紧固件形成阶梯结构;
所述第一嵌设部与所述第一子通孔对应设置,并嵌设于所述第一子通孔内;所述第二嵌设部与所述第二子通孔对应设置,并嵌设于所述第二子通孔内;
其中,所述第一方向为所述第一连接板至所述第二连接板的方向。
可选地,所述第一紧固件与所述第一通孔螺纹连接;
所述第一紧固件与所述第二通孔螺纹连接。
可选地,所述加热装置还包括第二紧固件;
所述第一连接板的端部沿所述环形发热本体的轴向凸出于所述第一发热区,且所述第一连接板的端部设置有第三凸起部;
所述第二连接板的端部沿所述环形发热本体的轴向凸出于所述第二发热区,且所述第二连接板的端部设置有第四凸起部;
所述第三凸起部和所述第四凸起部相对设置;
所述第二紧固件分别穿设于所述第三凸起部和所述第四凸起部,用于固定所述第一连接板和所述第二连接板的端部。优选地,所述第三凸起部和所述第四凸起部相对且抵接。
可选地,所述第一凸起部和所述第三凸起部之间具有第一间隙,所述第一间隙用于容纳所述第一发热区的至少部分;
所述第二凸起部和所述第四凸起部之间具有第二间隙,所述第二间隙用于容纳所述第二发热区的至少部分。
第二方面,本实用新型实施例提出了一种单晶炉,包括:上述加热装置。
在本实用新型实施例中,所述第一发热区和所述第二发热区层叠放置,且所述第一连接板设置于所述第一发热区背离所述第二发热区的一侧,所述第二连接板设置于所述第二发热区背离所述第一发热区的一侧,使得所述第一连接板、所述第一发热区、所述第二发热区和所述第二连接板层叠设置,这样,通过将所述第一连接板和所述第二连接板固定连接,可以实现第一发热区和所述第二发热区的固定连接,进而可以固定相邻设置的第一发热体和第二发热体。在本实用新型实施例中,所述第一连接板、所述第一发热区、所述第二发热区和所述第二连接板层叠设置,可以增加所述第一发热体和所述第二发热体的拼接处的厚度,进而可以增强所述环形发热本体的结构强度,避免所述加热装置在拼接处发生断裂或错位,可以提升所述加热装置的使用寿命,降低所述加热装置的使用成本。
本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解,其中:
图1是本实用新型实施例中的一种加热装置的结构示意图;
图2是本实用新型实施例中的一种加热装置的剖面结构示意图;
图3是本实用新型实施例中的一种加热装置的拼接处的剖面结构示意图;
图4是本实用新型实施例中的一种第一发热体的结构示意图;
图5是本实用新型实施例中的一种第一连接板的结构示意图;
图6是本实用新型实施例中的一种第二连接板的结构示意图;
图7是本实用新型实施例中的一种第一紧固件的结构示意图。
附图标记:
1-环形发热本体,11-第一发热体,111-第一发热区,1111-第一穿设孔,12-第二发热体,121-第二发热区,2-第一连接板,21-第一凸起部,211-第一通孔,2111-第一子通孔,2112-第二子通孔,22-第三凸起部,23-第一间隙,3-第二连接板,31-第二凸起部,311-第二通孔,32-第四凸起部,33-第二间隙,4-第一紧固件,41-第一嵌设部,42-第二嵌设部。
具体实施方式
下面将详细描述本实用新型的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,仅用于解释本实用新型,而不能理解为对本实用新型的限制。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
本实用新型的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。此外,说明书以及权利要求中“和/或”表示所连接对象的至少其中之一,字符“/”,一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
下面结合图1-图7描述本实用新型实施例中所述的加热装置和单晶炉。
第一方面,本实用新型实施例公开了一种加热装置,如图1和图2,所述加热装置具体可以包括:环形发热本体1、第一连接板2和第二连接板3,环形发热本体1包括相邻设置的第一发热体11和第二发热体12;其中;第一发热体11包括第一发热区111,第二发热体12包括第二发热区121,第一发热区111和第二发热区121层叠放置;第一连接板2设置于第一发热区111背离第二发热区121的一侧,第二连接板3设置于第二发热区121背离第一发热区111的一侧,第一连接板2和第二连接板3固定连接,以使第一发热区111和第二发热区121固定连接。
在本实用新型实施例中,第一发热区111和第二发热区121层叠放置,且第一连接板2设置于第一发热区111背离第二发热区121的一侧,第二连接板3设置于第二发热区121背离第一发热区111的一侧,使得第一连接板2、第一发热区111、第二发热区121和第二连接板3层叠设置,这样,通过将第一连接板2和第二连接板3固定连接,可以实现第一发热区111和第二发热区121的固定连接,进而可以固定相邻设置的第一发热体11和第二发热体12。在本实用新型实施例中,第一连接板2、第一发热区111、第二发热区121和第二连接板3层叠设置,可以增加第一发热体11和第二发热体12的拼接处的厚度,进而可以增强环形发热本体1的结构强度,避免加热装置在拼接处发生断裂或错位,可以提升加热装置的使用寿命,降低加热装置的使用成本。
本实用新型实施例中所述的加热装置可以为利用电能达到加热效果的电器。应用范围广,寿命长,可靠性高。所述加热装置的原理核心是能量转换,最广泛的就是电能转换成热能。按加热方式的种类来区分,所述加热装置可分为电磁加热、红外线加热和电阻加热。
具体地,所述加热装置的主要功能是用于加热,本实用新型实施例仅以将所述加热装置应用于单晶炉内拉制晶棒为例进行举例说明,其他情况可以参考设置。所述加热装置具体可以用于加热单晶炉内的石英坩埚中的硅料,以进行拉制单晶硅棒。
具体地,所述加热装置可以包括环形发热本体1,环形发热本体1可以是环形结构。参见图1所示,环形发热本体1具体可以包括至少两个弧形发热瓣和至少两个U形发热瓣,U形发热瓣的两端分别与两个弧形发热瓣的底部连接。此外,环形发热本体1还可以仅通过弧形发热瓣首尾相连。弧形发热瓣可以包括至少两个子发热瓣,相邻的两个子发热瓣通过第一连接板2和第二连接板3固定连接。其中,两个子发热瓣分别为第一发热体11和第二发热体12。
所述加热装置还包括至少两个脚板,脚板连接于弧形发热瓣的底部;脚板与外部电极连接,以实现所述加热装置的通电。具体地,环形发热本体1为所述加热装置的主要发热部件,在拉制单晶硅棒的过程中,环形发热本体1可以沿径向将热量辐射至石英坩埚内,可以提高石英坩埚内的硅料的受热均匀性。
具体地,环形发热本体1可以包括相邻设置的第一发热体11和第二发热体12,第一发热体11和第二发热体12均可以为弧形结构,第一发热体11和第二发热体12均可以发热,第一发热体11和第二发热体12均可以将热量辐射至石英坩埚,以熔化石英坩埚内的硅料,进行拉制单晶硅棒。
具体地,第一发热体11包括第一发热区111,第二发热体12包括第二发热区121;第一发热区111和第二发热区121可以对应设置,第一发热区111和第二发热区121的结构可以相同,第一发热区111和第二发热区121的尺寸可以相同或者不同,本实用新型实施例仅以第一发热区111和第二发热区121的尺寸相同为例进行举例说明,其他情况可以参考设置,本实用新型实施例对此不作具体限定。
具体地,第一发热体11和第二发热体12均可以使用石墨等静压材质支撑,且第一发热体11和第二发热体12的电阻率可以一致。
具体地,所述加热装置还可以包括第一连接板2和第二连接板3,第一连接板2和第二连接板3用于安装和固定第一发热区111和第二发热区121。
具体地,如图3所示,第一发热体11和第二发热体12层叠设置,第一连接板2设置于第一发热区111背离第二发热区121的一侧,第二连接板3设置于第二发热区121背离第一发热区111的一侧,使得第一连接板2、第一发热区111、第二发热区121、第二连接板3可以依次堆叠设置,且第一连接板2和第二连接板3可以位于两侧,由于第一连接板2和第二连接板3固定连接,进而可以实现第一发热区111和第二发热区121的固定。
进一步地,第一发热区111和第二发热区121固定,可以实现第一发热体11和第二发热体12的拼接,且第一发热体11和第二发热体12的拼接处由第一连接板2、第一发热区111、第二发热区121、第二连接板3依次堆叠组成,可以提高第一发热体11和第二发热体12的拼接处的厚度,进而可以增强环形发热本体1的结构强度,避免所述加热装置在拼接处出现断裂、错位现象,增强所述加热装置的使用寿命,降低所述加热装置的使用成本。
具体地,第一连接板2可以设置于环形发热本体1的内侧,对应的第二连接板3可以设置于环形发热本体1的外侧,使得第一连接板2为内侧连接板,第二连接板3为外侧连接板;或者,第一连接板2可以设置于环形发热本体1的外侧,对应的第二连接板3可以设置于环形发热本体1的内侧,使得第一连接板2为外侧连接板,第二连接板3为内侧连接板。
具体地,第一连接板2和第二连接板3对应设置,示例的:第一连接板2可以沿环形发热本体1的轴向延伸,对应的第二连接板3沿环形发热本体1的轴向延伸;或者,第一连接板2可以沿环形发热本体1的周向延伸,对应的第二连接板3沿环形发热本体1的周向延伸。
可选地,如图4所示,第一发热区111设置有第一穿设孔1111,第二发热区121设置有第二穿设孔,如图5所示,第一连接板2设置有第一凸起部21,如图6所示,第二连接板3设置有第二凸起部31;第一穿设孔1111和第二穿设孔相对设置;第一凸起部21的至少部分穿设于第一穿设孔1111,第二凸起部31的至少部分穿设于第二穿设孔,第二凸起部31与第一凸起部21固定连接。
在本实用新型实施例中,第一凸起部21的至少部分穿设于第一穿设孔1111,第二凸起部31的至少部分穿设于第二穿设孔,而且,第二凸起部31和第一凸起部21固定连接,这样,在第一凸起部21和第二凸起部31的作用下,可以对第一发热体11和第二发热体12起到限位和固定的作用,可以提高第一发热体11和第二发热体12之间连接的稳定性。
具体地,第一凸起部21凸出于第一连接板2的高度为第一高度,第二凸起部31凸出于第二连接板3的高度为第二高度,第一穿设孔1111沿第一方向延伸的长度为第一长度,第二穿设孔沿第一方向延伸的长度为第二长度;第一高度和第二高度的数值之和小于或者等于所述第一长度和第二长度的数值之和。
可选地,第二凸起部31与第一凸起部21间隔并固定连接,即第一高度和的数值之和小于第一长度和第二长度的数值之和。
优选地,第二凸起部31与第一凸起部21抵接并固定连接,即第一高度和第二高度的数值之和等于第一长度和第二长度的数值之和。
具体地,第一高度和第二高度的数值可以相同或者不同,第一长度和第二长度的数值可以相同或者不同,具体可根据实际需求进行设置,本实用新型实施例对此不作具体限定。
具体地,第一高度和第二高度相同,且第一长度和第二长度相同时,第一凸起部仅嵌设于第一穿设孔,第二凸起部仅嵌设于第二穿设孔。第一高度和第二高度相同,第一长度和第二长度不同,或者,第一高度和第二高度不同,第一长度和第二长度相同时,第一凸起部可以分别穿设于第一穿设孔和第二穿设孔,或者,第二凸起部可以分别穿设于第二穿设孔和第一穿设孔。
具体地,第一穿设孔1111和第二穿设孔相对,便于将第一凸起部21的至少部分嵌设在第一穿设孔1111内,第二凸起部31的至少部分嵌设在第二穿设孔内,且第二凸起部31与第一凸起部21抵接。
可选地,第一凸起部21与第一穿设孔1111间隙配合;第二凸起部31与第二穿设孔间隙配合。
在本实用新型实施例中,第一凸起部21与第一穿设孔1111间隙配合,这样,在第一凸起部21发生热膨胀的情况下,可以避免第一凸起部21撑裂第一穿设孔1111。第二凸起部31与第二穿设孔间隙配合,这样,在第二凸起部31产生热膨胀的情况下,可以避免第二凸起部31撑裂第二穿设孔。
可选地,如图5所示,第一连接板2上设置有第一通孔211,如图6所示,第二连接板3上设置有第二通孔311,加热装置还包括第一紧固件4;第一通孔211贯穿于第一凸起部21,第二通孔311贯穿于第二凸起部31;第一通孔211和第二通孔311相对设置;第一紧固件4分别穿设于第一通孔211和第二通孔311,用于固定第一连接板2和第二连接板3。
在本实用新型实施例中,第一紧固件4分别穿设于第一通孔211和第二通孔311,可以用于固定第一连接板2和第二连接板3。由于第一凸起部21穿设于第一连接板2上的第一穿设孔1111,第一通孔211贯穿第一凸起部21,第二凸起部31穿设于第二连接板3上的第二穿设孔,第二通孔311贯穿第二凸起部31,使得第一紧固件4可以穿过第一发热区111和第二发热区121,且可以避免第一紧固件4直接与第一发热体11和第二发热体12直接接触。
具体地,第一紧固件4可以是螺钉、螺杆,或者也可以是螺杆和螺母的组合,具体可根据实际需求进行设置,本实用新型实施例对此不作具体限定。
具体地,第一紧固件4、第一连接板2和第二连接板3的材质可以相同,均可以由石墨等静压材料或者碳碳复合材料制备而成。
具体地,第一发热体11和第二发热体12的拼接过程具体如下:
将第一发热体11的第一发热区111和第二发热体12的第二发热区121对接,设计第一发热区111和第二发热区121层叠设置;将第一连接板2放置在第一发热区111背离第二发热区121的一侧,并保证第一连接板2上的第一凸起部21嵌设在第一发热区111上的第一穿设孔1111内;将第二连接板3放置在第二发热区121背离第一发热区111的一侧,并保证第二连接板3上的第二凸起部31嵌设在第二发热区121上的第二穿设孔内;再使用第一紧固件4依次穿设于第一连接板2上的第一通孔211和第二连接板3上的第二通孔311,实现第一发热体11和第二发热体12在拼接位置紧固固定。
具体地,由于第一凸起部21与第一穿设孔1111间隙配合,第二凸起部31与第二穿设孔间隙配合,可以避免第一紧固件4直接接触第一发热体11和第二发热体12,在所述加热装置处于工作状态下时,第一紧固件4受热膨胀,还可以避免第一紧固件4撑裂第一穿设孔1111和第二穿设孔;而且,还可以避免第一发热体11和第二发热体12的拼接处出现集中发热现象,可以有效避免热应力等外力。
可选地,第一紧固件4与第一通孔211过盈配合;第一紧固件4与第二通孔311过盈配合。
在本实用新型实施例中,第一紧固件4与第一通孔211过盈配合,使得第一紧固件4可以与第一连接板2紧密配合;第一紧固件4与第二通孔311过盈配合,使得第一紧固件4可以与第二连接板3紧密配合。第一紧固件4分别与第一连接板2和第二连接板3紧密配合,可以提高第一紧固件4固定第一连接板2和第二连接板3的可靠性,进而可以提高所述加热装置在拼接处的结构稳定性。
可选地,如图7所示,第一紧固件4包括第一嵌设部41和第二嵌设部42,第一通孔211沿第一方向包括第一子通孔2111和第二子通孔2112;第一子通孔2111的孔径大于第二子通孔2112的孔径,以使第一通孔211形成阶梯孔;所述第一嵌设部41的外径大于所述第二嵌设部42的外径,以使所述第一紧固件4形成阶梯结构;第一嵌设部41与第一子通孔2111对应设置,并嵌设于第一子通孔2111内;第二嵌设部42与第二子通孔2112对应设置,并嵌设于第二子通孔2112内;其中,第一方向为第一连接板2至第二连接板3的方向。
在本实用新型实施例中,第一通孔211沿第一方向包括第一子通孔2111和第二子通孔2112,第一子通孔2111的孔径大于第二子通孔2112的孔径,使得第一通孔211可以形成阶梯孔。第一嵌设部41对应设置于第一子通孔2111内,第二嵌设部42对应设置于第二子通孔2112内,便于将第一紧固件4隐藏在第一通孔211内,进而提高所述加热装置在拼接处的美观度。
具体地,第一嵌设部41和第二嵌设部42沿第一方向设置,第一嵌设部41的外径大于第二嵌设部42的外径,以使第一紧固件4形成阶梯结构。
可选地,第一紧固件4与第一通孔211螺纹连接,第一紧固件4与第二通孔311螺纹连接。
在本实用新型实施例中,第一紧固件4与第一通孔211螺纹连接,可以进一步提高第一连接板2和第一紧固件4配合的可靠性。第一紧固件4与第二通孔311螺纹连接,可以进一步提高第二连接板3和第一紧固件4配合的可靠性。
可选地,加热装置还包括第二紧固件;第一连接板2的端部沿环形发热本体1的轴向凸出于第一发热区111,且第一连接板2的端部设置有第三凸起部22;第二连接板3的端部沿环形发热本体1的轴向凸出于第二发热区121,且第二连接板3的端部设置有第四凸起部32;第三凸起部22和第四凸起部32相对设置;第二紧固件分别穿设于第三凸起部22和第四凸起部32,用于固定第一连接板2和第二连接板3的端部。
在本实用新型实施例中,第二紧固件分别穿设于第三凸起部22和第四凸起部32,可以用于固定第一连接板2和第二连接板3的端部,进一步提高第一连接板2和第二连接板3之间固定连接的可靠性。
具体地,第三凸起部22沿环形发热本体1的径向凸出于第一连接板2的端部,第四凸起部32沿环形发热本体1的径向凸出于第二连接板3的端部,以便于第三凸起部22和第四凸起部32相对设置。进一步地,第三凸起部22和第四凸起部32的配合方式可以参考第一凸起部21和第二凸起部31的配合方式。
可选地,第三凸起部22和第四凸起部32相对且间隔设置。优选地,第三凸起部22和第四凸起部32相对且抵接。
具体地,第二紧固件可以参考第一紧固件设置,本实用新型实施例在此不再赘述。
可选地,第一凸起部21和第三凸起部22之间具有第一间隙23,第一间隙23用于容纳第一发热区111的至少部分;第二凸起部31和第四凸起部32之间具有第二间隙33,第二间隙33用于容纳第二发热区121的至少部分。
在本实用新型实施例中,第一凸起部21和第三凸起部22之间具有第一间隙23,便于容纳第一发热区111的至少部分,第二凸起部31和第四凸起部32之间具有第二间隙33,便于容纳第二发热区121的至少部分,便于实现第一凸起部21和第二凸起部31之间的紧密配合,以及第三凸起部22和第四凸起部32之间的紧密配合,进而提高使用第一连接板2和第二连接板3固定第一发热区111和第二发热区121的便捷性。
本实用新型实施例中所述的加热装置至少包括以下优点:
在本实用新型实施例中,所述第一发热区和所述第二发热区层叠放置,且所述第一连接板设置于所述第一发热区背离所述第二发热区的一侧,所述第二连接板设置于所述第二发热区背离所述第一发热区的一侧,使得所述第一连接板、所述第一发热区、所述第二发热区和所述第二连接板层叠设置,这样,通过将所述第一连接板和所述第二连接板固定连接,可以实现第一发热区和所述第二发热区的固定连接,进而可以固定相邻设置的第一发热体和第二发热体。在本实用新型实施例中,所述第一连接板、所述第一发热区、所述第二发热区和所述第二连接板层叠设置,可以增加所述第一发热体和所述第二发热体的拼接处的厚度,进而可以增强所述环形发热本体的结构强度,避免所述加热装置在拼接处发生断裂或错位,可以提升所述加热装置的使用寿命,降低所述加热装置的使用成本。
第二方面,本实用新型实施例公开了一种单晶炉,具体可以包括上述加热装置。
具体地,本实用新型实施例中所述的单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氯气、氦气为主)环境中,用加热装置将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。
具体地,所述单晶炉包括炉体、坩埚以及保温筒等;加热装置可以设置于炉体内,用于加热所述坩埚,以提供热场环境;保温筒可以罩设于所述加热装置外,用于隔热。
本实用新型实施例中所述的单晶炉至少包括以下优点:
在本实用新型实施例中,所述第一发热区和所述第二发热区层叠放置,且所述第一连接板设置于所述第一发热区背离所述第二发热区的一侧,所述第二连接板设置于所述第二发热区背离所述第一发热区的一侧,使得所述第一连接板、所述第一发热区、所述第二发热区和所述第二连接板层叠设置,这样,通过将所述第一连接板和所述第二连接板固定连接,可以实现第一发热区和所述第二发热区的固定连接,进而可以固定相邻设置的第一发热体和第二发热体。在本实用新型实施例中,所述第一连接板、所述第一发热区、所述第二发热区和所述第二连接板层叠设置,可以增加所述第一发热体和所述第二发热体的拼接处的厚度,进而可以增强所述环形发热本体的结构强度,避免所述加热装置在拼接处发生断裂或错位,可以提升所述加热装置的使用寿命,降低所述加热装置的使用成本。
在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,本领域的普通技术人员可以理解:在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种加热装置,其特征在于,包括:环形发热本体、第一连接板和第二连接板,所述环形发热本体包括相邻设置的第一发热体和第二发热体;其中,
所述第一发热体包括第一发热区,所述第二发热体包括第二发热区,所述第一发热区和所述第二发热区层叠放置;
所述第一连接板设置于所述第一发热区背离所述第二发热区的一侧,所述第二连接板设置于所述第二发热区背离所述第一发热区的一侧,所述第一连接板和所述第二连接板固定连接,以使所述第一发热区和所述第二发热区固定连接。
2.根据权利要求1所述的加热装置,其特征在于,所述第一发热区设置有第一穿设孔,所述第二发热区设置有第二穿设孔,所述第一连接板设置有第一凸起部,所述第二连接板设置有第二凸起部;
所述第一穿设孔和所述第二穿设孔相对设置;
所述第一凸起部的至少部分穿设于所述第一穿设孔,所述第二凸起部的至少部分穿设于所述第二穿设孔,所述第二凸起部与所述第一凸起部固定连接。
3.根据权利要求2所述的加热装置,其特征在于,所述第一凸起部与所述第一穿设孔间隙配合;
所述第二凸起部与所述第二穿设孔间隙配合。
4.根据权利要求2所述的加热装置,其特征在于,所述第一连接板上设置有第一通孔,所述第二连接板上设置有第二通孔,所述加热装置还包括第一紧固件;
所述第一通孔贯穿于所述第一凸起部,所述第二通孔贯穿于所述第二凸起部;
所述第一通孔和所述第二通孔相对设置;
所述第一紧固件分别穿设于所述第一通孔和所述第二通孔,用于固定所述第一连接板和所述第二连接板。
5.根据权利要求4所述的加热装置,其特征在于,所述第一紧固件与
所述第一通孔过盈配合;
所述第一紧固件与所述第二通孔过盈配合。
6.根据权利要求4所述的加热装置,其特征在于,所述第一紧固件包括第一嵌设部和第二嵌设部,所述第一通孔沿第一方向包括第一子通孔和第二子通孔;
所述第一子通孔的孔径大于所述第二子通孔的孔径,以使所述第一通孔形成阶梯孔;所述第一嵌设部的外径大于所述第二嵌设部的外径,以使所述第一紧固件形成阶梯结构;
所述第一嵌设部与所述第一子通孔对应设置,并嵌设于所述第一子通孔内;所述第二嵌设部与所述第二子通孔对应设置,并嵌设于所述第二子通孔内;
其中,所述第一方向为所述第一连接板至所述第二连接板的方向。
7.根据权利要求4所述的加热装置,其特征在于,所述第一紧固件与所述第一通孔螺纹连接;
所述第一紧固件与所述第二通孔螺纹连接。
8.根据权利要求2所述的加热装置,其特征在于,所述加热装置还包括第二紧固件;
所述第一连接板的端部沿所述环形发热本体的轴向凸出于所述第一发热区,且所述第一连接板的端部设置有第三凸起部;
所述第二连接板的端部沿所述环形发热本体的轴向凸出于所述第二发热区,且所述第二连接板的端部设置有第四凸起部;
所述第三凸起部和所述第四凸起部相对设置;
所述第二紧固件分别穿设于所述第三凸起部和所述第四凸起部,用于固定所述第一连接板和所述第二连接板的端部。
9.根据权利要求8所述的加热装置,其特征在于,所述第一凸起部和所述第三凸起部之间具有第一间隙,所述第一间隙用于容纳所述第一发热区的至少部分;
所述第二凸起部和所述第四凸起部之间具有第二间隙,所述第二间隙用于容纳所述第二发热区的至少部分。
10.一种单晶炉,其特征在于,包括:权利要求1-9中任一项所述的加热装置。
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