CN219824332U - 一种恒液面蒸发舟装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种恒液面蒸发舟装置，包括蒸发部、补液部、导液部和中控模块。补液部包括补液器皿，补液器皿外围设置第一温度控制器，补液器皿内部设置第一温度传感器。补液部通过导液部与蒸发部连通，导液部由导液管和抽液泵构成。蒸发部包括蒸发器皿，蒸发器皿外围设置第二温度控制器，蒸发器皿内部设置第二温度传感器，并在内壁上侧面设置液面传感器。中控模块根据温度传感器和液面传感器测量结果设定各部温度控制器参数，并控制抽液泵工作，通过液面监测和温度控制实现蒸发舟的液面恒定和均匀分布加热。本实用新型具备结构简单、蒸发舟物料充足、蒸发舟液面恒定、加热均匀性高和操作维护方便的特点。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体涉及一种恒液面蒸发舟装置。
背景技术
真空蒸镀是一种高效的表面处理方法，它通过加热蒸发源中的金属或有机材料，在高真空环境下进行蒸发或溅射，然后在基板上凝固或沉积成薄膜。在真空镀膜工艺中，蒸发舟是蒸发器皿的重要组成部分，它是用于承载蒸镀材料的关键部件。在蒸镀过程中，电流加热蒸发舟，将蒸发舟内的蒸镀材料汽化成蒸汽，蒸汽中的气态粒子附着在基板表面形成镀层。蒸发舟的好坏对镀膜均匀性和成膜质量有着重要影响。
为了保证在一定时间内能够连续进行蒸镀作业，需要在蒸镀室内放置足够量的蒸镀材料。然而，现有市场上的蒸发舟容量有限，可放置的蒸镀材料数量也受到限制。在蒸镀过程中，蒸发舟内的蒸镀材料液面会逐渐降低，导致蒸发舟内液体受热不均，进而蒸镀效果差。因此，在蒸发蒸镀过程中，保持蒸发舟内的物料充足非常重要，以避免因物料不足、液面降低而导致加工中断、薄膜厚度波动和薄膜质量变差等问题。为了保持蒸镀过程的正常进行，需要恒定蒸发舟的液面来控制蒸发速率和保持稳定的蒸发条件。针对这一问题，本实用新型提供了一种恒液面蒸发舟装置，通过补液部件和控制系统的协同作用，实现了蒸发舟液面的恒定和均匀分布加热，从而提高蒸镀效果和薄膜质量。
实用新型内容
本实用新型的目的是克服现有技术的不足，针对上述方法所存在的问题，提供一种恒液面蒸发舟装置。本实用新型具备结构简单、蒸发舟物料充足、蒸发舟液面恒定、加热均匀性高和操作维护方便的特点。
本实用新型的技术解决方案如下：
一种恒液面蒸发舟装置，所述的恒液面蒸发舟装置包括补液部、导液部、蒸发部、中控模块；补液部包括补液器皿，导液部包括导液管、抽液泵，蒸发部包括蒸发器皿，蒸发器皿内壁上侧面设置液面传感器；导液管一端贯通连接补液器皿，另一端贯通连接蒸发器皿，中部设置抽液泵提供输液动力；中控模块与液面传感器、抽液泵电性连接，用以根据液面传感器测量蒸发器皿内的液面高度结果，来控制抽液泵工作，以维持蒸发器皿内部的液面恒定。
作为本实用新型的进一步优化，所述的补液器皿外围设置第一温度控制器，所述的补液器皿内部设置第一温度传感器，底部设置贯通导液管的出液口；所述的蒸发器皿外围设置第二温度控制器，所述的蒸发器皿内部设置第二温度传感器，底部设置贯通导液管的进液口。
作为本实用新型的进一步优化，所述的补液器皿左侧设置开口用于补给蒸镀材料。
作为本实用新型的进一步优化，所述的中控模块与第一温度控制器、第一温度传感器、第二温度控制器、第二温度传感器电性连接，用以根据第一温度传感器、第二温度传感器测量的温度数据，再通过第一温度控制器、第二温度控制器分别调节补液器皿、蒸发器皿的温度。
本实用新型的有益效果是：
1、设置蒸发舟补充物料装置，补液器皿左侧设置补料口，以确保整个蒸发过程中蒸发舟中的物料始终充足，保证物料的持续供给并减少操作人员的介入，避免因物料不足而导致的加工中断、薄膜厚度波动和薄膜质量变差的问题，从而保证薄膜生产质量和生产效率。可实现较长时间的连续蒸镀作业。
2、设置蒸发舟自动加液系统，自动加液系统通过液面传感器实时监测蒸发舟中物料的液位高度，并自动补充液体，当液位高度低于设定值时，发送信号给中控模块，中控模块控制抽液泵工作，向蒸发舟内补充物料，以维持蒸发舟内稳定的液面高度，恒定的液面高度有利于蒸发速率的调控，以保持稳定的蒸发条件。
3、补液部和蒸发部均设置温度控制系统，能够分别控制各部温度，通过分别设定所需的温度来极精密地调节。该加热系统通过恒温恒流的控制方式，能够极精密地控制蒸发舟的加热功率和加热时间，从而保持稳定的蒸发条件并控制蒸发速率，维持液面高度的稳定。
4、本实用新型将蒸镀材料在补料器皿内进行预热，然后将其以熔融状态通过导液管输送至蒸发器皿内进行加热蒸发，从而提高蒸发均匀度和蒸镀效率。
5、整体结构简单、蒸发舟物料充足、蒸发舟液面恒定、加热均匀性高和操作维护方便。
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步说明。
附图说明
图1为本实用新型一种恒液面蒸发舟装置的结构示意图。
图中：1、补液部，101、补液器皿，102、第一温度控制器，103、第一温度传感器，2、导液部，201、导液管，202、抽液泵，3、蒸发装置，301、蒸发器皿，302、第二温度控制器，303、第二温度传感器，304、液面传感器，4、中控模块。
具体实施方式
参见附图1,一种恒液面蒸发舟装置，包括补液部1、导液部2、蒸发部3、中控模块4，补液部1包括补液器皿101，导液部2包括导液管201、抽液泵202，蒸发部3包括蒸发器皿301，蒸发器皿301内壁上侧面设置液面传感器304，导液管201一端贯通连接补液器皿101，另一端贯通连接蒸发器皿301，中部设置抽液泵202提供输液动力；中控模块4与液面传感器304、抽液泵202电性连接，用以根据液面传感器304测量蒸发器皿301内的液面高度结果，来控制抽液泵202工作，以维持蒸发器皿301内部的液面恒定。
所述的补液部1包括补液器皿101，所述的补液器皿101外围设置第一温度控制器102，所述的补液器皿101内部设置第一温度传感器103，左侧设置开口用于补给蒸镀材料，底部设置贯通导液管201的出液口。
所述的导液部2包括导液管201、抽液泵202，所述的导液管201两端分别贯通连接补液器皿101和蒸发器皿301，优选地，所述的抽液泵202具有隔热保温、耐腐蚀的作用。
所述的蒸发部3包括蒸发器皿301，所述的蒸发器皿301外围设置第二温度控制器302，所述的蒸发器皿302内部设置第二温度传感器303，底部贯通设置导液管201的进液口。
所述的中控模块4与第一温度控制器102、第一温度传感器103、第二温度控制器302、第二温度传感器303电性连接，用以根据第一温度传感器103、第二温度传感器303测量的温度数据，再通过第一温度控制器102、第二温度控制器302分别调节补液器皿101、蒸发器皿301的温度。
实施例：在进行真空蒸镀时，通常先将补料器皿101、蒸发器皿301放置于真空腔室内，使用时，将蒸镀材料通过补料口添加至补料器皿101内，通过设定第一温度控制器102将蒸镀材料进行预热，使补料器皿101内的蒸镀材料加热至熔融状态，然后将其以熔融状态通过导液管201输送至临近的蒸发器皿301内，当蒸发器皿301内的液面传感器304检测到蒸发器皿301内的熔融材料液面达到设定高度时，发送信号至中控模块4，中控模块4控制抽液泵202停止输送，当第一温度传感器103和第二温度传感器303读数稳定且第二温度传感器303与设定的蒸镀温度相差在要求范围内，加热系统完成初始化，蒸发器皿301内熔融材料呈气态蒸发，沉积至基板上形成薄膜，随着蒸镀材料呈气态蒸发，蒸发器皿301内的熔融材料液面降低，当蒸发器皿301内的液面传感器304再次检测液面降低至低于设定值时，中控模块4再次启动抽液泵202将补液器皿101内的熔融材料通过导液管201输送至蒸发器皿301内，使蒸发器皿301内液面始终保持恒定，如此循环地向所述蒸镀室连续提供蒸镀源，从而保证蒸镀作业长时间的连续性，直至蒸镀作业的完成。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所做的任何修改、等同替换和改进等，均包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种恒液面蒸发舟装置，其特征在于，所述的恒液面蒸发舟装置包括补液部(1)、导液部(2)、蒸发部(3)、中控模块(4)；补液部(1)包括补液器皿(101)，导液部(2)包括导液管(201)、抽液泵(202)，蒸发部(3)包括蒸发器皿(301)，蒸发器皿(301)内壁上侧面设置液面传感器(304)；导液管(201)一端贯通连接补液器皿(101)，另一端贯通连接蒸发器皿(301)，中部设置抽液泵(202)提供输液动力；中控模块(4)与液面传感器(304)、抽液泵(202)电性连接，用以根据液面传感器(304)测量蒸发器皿(301)内的液面高度结果，来控制抽液泵(202)工作，以维持蒸发器皿(301)内部的液面恒定。
2.根据权利要求1所述的一种恒液面蒸发舟装置，其特征在于：所述的补液器皿(101)外围设置第一温度控制器(102)，所述的补液器皿(101)内部设置第一温度传感器(103)，底部设置贯通导液管(201)的出液口；所述的蒸发器皿(301)外围设置第二温度控制器(302)，所述的蒸发器皿(301)内部设置第二温度传感器(303)，底部设置贯通导液管(201)的进液口。
3.根据权利要求2所述的一种恒液面蒸发舟装置，其特征在于：所述的补液器皿(101)左侧设置开口用于补给蒸镀材料。
4.根据权利要求2所述的一种恒液面蒸发舟装置，其特征在于：所述的中控模块(4)与第一温度控制器(102)、第一温度传感器(103)、第二温度控制器(302)、第二温度传感器(303)电性连接，用以根据第一温度传感器(103)、第二温度传感器(303)测量的温度数据，再通过第一温度控制器(102)、第二温度控制器(302)分别调节补液器皿(101)、蒸发器皿(301)的温度。
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