CN219804359U - 一种三氯氢硅生产中的湿法除尘装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种三氯氢硅生产中的湿法除尘装置，包括包括除尘器组件，除尘器组件的输出端与除尘塔的进入端相连接接，除尘塔的顶端与冷凝器相连接，除尘器组件可以进行自清洁，通过外部高压供气源工作，使得高压气经高压供气管排出，对过滤网板进行高压除尘，吹除其上附着的尘粒，同时启动吸尘件将尘粒吸出，最后取出第二外壳内的吸尘件倒出灰尘即可，自清洁过程人工参与少，更加省时省力；合成废气首先经进气管进入过滤空间，过滤空间的内部设置有多层过滤网板，隔板上且位于最下侧过滤网板的上侧开设有过气孔，过气通孔与出气空间相连通，经多层过滤网板过滤后，通过过气孔进入出气空间，经排出管进入至除尘塔，过滤更加彻底。

Description

一种三氯氢硅生产中的湿法除尘装置

技术领域

本实用新型涉及除尘装置技术领域，具体领域为一种三氯氢硅生产中的湿法除尘装置。

背景技术

三氯氢硅是生产多晶硅的重要原料，随着多晶硅在现代科技、国防、工业等领域的广泛应用，三氯氢硅的生产也得到了快速发展，在生产中发现，合成炉出来的合成气组分非常复杂，除了生产的主产品三氯氢硅与四氯化硅外，由于原料金属硅中带进来的杂质导致会有很多的副产物伴随产生，中国专利，授权公告号CN202297154U，公开了一种三氯氢硅生产中的湿法除尘装置，利用三氯氢硅与四氯化硅的液相料作为洗涤液与含尘合成气体充分接触，能有效将合成气体中带有的硅渣及反应中生成的金属高废物，如三氯化铁、三氯化铝、硼、磷等杂质除去，采用三氯氢硅与四氯化硅做洗涤剂，既可以循环利用了三氯氢硅与四氯化硅，符合环保的要求，又可以解决金属氯化物堵塞设备管道的难题，而且能够最大限度地降低后续物料在主冷凝器冷凝过程中造成的设备和管路的堵塞程度；但上述技术方案中，除尘器作为除尘的首个部件，积尘程度高，短周期内即需要清理，而现有的袋式除尘器在自身清理方面仍然存在操作过程复杂的情况，导致装置整体除尘效率低，为此提出一种新型三氯氢硅生产中的湿法除尘装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种三氯氢硅生产中的湿法除尘装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种三氯氢硅生产中的湿法除尘装置，包括除尘器组件，所述除尘器组件的输出端与除尘塔的进入端相连接接，所述除尘塔的顶端与冷凝器相连接，从合成炉内出来的合成气，在经过除尘器组件除尘后再进入除尘塔除尘，除尘塔采用喷淋工艺，使用低温的三氯氢硅与四氯化硅做洗涤剂，金属氯化物由于沸点较低逆向与低温的三氯氢硅、四氯化硅接触后变为固体形态，与洗涤剂一同汇集在除尘塔塔底，净化后的合成气体从除尘塔塔顶进入冷凝器，在冷凝器中冷凝下来的液相三氯氢硅与四氯化硅作为洗涤剂通过回流泵输回除尘塔，大部分净化气通过冷凝器进入水冷器到后续工艺；

所述除尘器组件包括第一外壳，所述第一外壳的内部固定连接有隔板，所述隔板将所述第一外壳内部分隔为过滤空间和出气空间，从合成炉内出来的合成气首先经进气管进入过滤空间，所述过滤空间的内部设置有多层过滤网板，所述隔板上且位于最下侧所述过滤网板的上侧开设有过气孔，过气通孔与所述出气空间相连通，经多层过滤网板过滤后，通过过气孔进入出气空间，经排出管进入至除尘塔，所述第一外壳的底部设置有第二外壳，所述第二外壳内设置有吸尘件，所述吸尘件通过连接管与第一外壳侧壁相连通，所述隔板的侧壁上连接有高压供气管，所述除尘器组件可以进行自清洁，通过外部高压供气源工作，使得高压气经高压供气管排出，对过滤网板进行高压除尘，吹除其上附着的尘粒，同时启动吸尘件将尘粒吸出，最后取出第二外壳内的吸尘件倒出灰尘即可，自清洁过程人工参与少，更加省时省力。

优选的，相邻所述过滤网板组成一组过滤网板，多个所述高压供气管分别对应一组过滤网板，所述高压供气管的出口位于同组的两个过滤网板之间，高压气经高压供气管排出，对过滤网板进行高压除尘，吹除其上附着的尘粒，自清洁过程更加高效便利。

优选的，所述连接管的端部连接有吸尘管，所述吸尘管上连接有多个吸尘斗，多个吸尘斗与多个所述高压供气管交错设置，所述吸尘斗配合高压供气管设置，在高压除尘过程中，飞起的尘粒直接由吸尘斗吸除。

优选的，所述第二外壳的下端开口端可拆卸连接有封闭盖，所述吸尘件包括集尘斗，所述集尘斗固定连接于所述封闭盖的内侧壁上，所述封闭盖的外侧壁上安装有风机，所述风机的吸入口与所述集尘斗相连接，所述连接管的端部与所述集尘斗相连接，集尘斗上设置虑孔，通过风机工作，将飞起的尘粒直接吸入所述集尘斗内，集尘完毕后打开封闭盖即可带出集尘斗，将其内部尘粒统一倒出即可。

优选的，所述高压供气管与外部高压供气源相连接，由外部高压供气源提供高压气体。

优选的，所述封闭盖上固定连接有连接檐，所述连接檐与所述第二外壳的下端开口端螺纹连接，旋拧下封闭盖即可带出集尘斗，将其内部尘粒统一倒出即可。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本装置中的除尘器组件可以进行自清洁，通过外部高压供气源工作，使得高压气经高压供气管排出，对过滤网板进行高压除尘，吹除其上附着的尘粒，同时启动吸尘件将尘粒吸出，最后取出第二外壳内的吸尘件倒出灰尘即可，自清洁过程人工参与少，更加省时省力；

从合成炉内出来的合成气首先经进气管进入过滤空间，过滤空间的内部设置有多层过滤网板，隔板上且位于最下侧过滤网板的上侧开设有过气孔，过气通孔与出气空间相连通，经多层过滤网板过滤后，通过过气孔进入出气空间，经排出管进入至除尘塔，过滤更加彻底。

附图说明

图1为本实用新型主体结构示意图；

图2为本实用新型除尘器组件内部示意图；

图3为本实用新型图2中A处放大示意图。

图中：1-除尘器组件、101-第一外壳、102-隔板、103-过滤空间、104-出气空间、105-过滤网板、106-第二外壳、107-连接管、108-高压供气管、2-除尘塔、3-冷凝器、4-吸尘管、5-吸尘斗、6-封闭盖、7-集尘斗、8-风机、9-高压供气源、10-连接檐。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅基于仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例：

请参阅图1-3，本实用新型提供如下技术方案：一种三氯氢硅生产中的湿法除尘装置，包括除尘器组件1，所述除尘器组件1的输出端与除尘塔2的进入端相连接接，所述除尘塔2的顶端与冷凝器3相连接，从合成炉内出来的合成气，在经过除尘器组件1除尘后再进入除尘塔2除尘，除尘塔2采用喷淋工艺，使用低温的三氯氢硅与四氯化硅做洗涤剂，金属氯化物由于沸点较低逆向与低温的三氯氢硅、四氯化硅接触后变为固体形态，与洗涤剂一同汇集在除尘塔2塔底，净化后的合成气体从除尘塔2塔顶进入冷凝器3，在冷凝器3中冷凝下来的液相三氯氢硅与四氯化硅作为洗涤剂通过回流泵输回除尘塔2，大部分净化气通过冷凝器3进入水冷器到后续工艺；

所述除尘器组件1包括第一外壳101，所述第一外壳101的内部固定连接有隔板102，所述隔板102将所述第一外壳101内部分隔为过滤空间103和出气空间104，从合成炉内出来的合成气首先经进气管进入过滤空间103，所述过滤空间103的内部设置有多层过滤网板105，所述隔板102上且位于最下侧所述过滤网板105的上侧开设有过气孔，过气通孔与所述出气空间104相连通，经多层过滤网板105过滤后，通过过气孔进入出气空间104，经排出管进入至除尘塔2，所述第一外壳101的底部设置有第二外壳106，所述第二外壳106内设置有吸尘件，所述吸尘件通过连接管107与第一外壳101侧壁相连通，所述隔板102的侧壁上连接有高压供气管108，所述除尘器组件1可以进行自清洁，通过外部高压供气源9工作，使得高压气经高压供气管108排出，对过滤网板105进行高压除尘，吹除其上附着的尘粒，同时启动吸尘件将尘粒吸出，最后取出第二外壳106内的吸尘件倒出灰尘即可，自清洁过程人工参与少，更加省时省力。

具体而言，相邻所述过滤网板105组成一组过滤网板，多个所述高压供气管108分别对应一组过滤网板，所述高压供气管108的出口位于同组的两个过滤网板105之间，高压气经高压供气管108排出，对过滤网板105进行高压除尘，吹除其上附着的尘粒，自清洁过程更加高效便利。

具体而言，所述连接管107的端部连接有吸尘管4，所述吸尘管4上连接有多个吸尘斗5，多个吸尘斗5与多个所述高压供气管108交错设置，所述吸尘斗5配合高压供气管108设置，在高压除尘过程中，飞起的尘粒直接由吸尘斗5吸除。

具体而言，所述第二外壳106的下端开口端可拆卸连接有封闭盖6，所述吸尘件包括集尘斗7，所述集尘斗7固定连接于所述封闭盖6的内侧壁上，所述封闭盖6的外侧壁上安装有风机8，所述风机8的吸入口与所述集尘斗7相连接，所述连接管107的端部与所述集尘斗7相连接，集尘斗7上设置虑孔，通过风机8工作，将飞起的尘粒直接吸入所述集尘斗7内，集尘完毕后打开封闭盖6即可带出集尘斗7，将其内部尘粒统一倒出即可。

具体而言，所述高压供气管108与外部高压供气源9相连接，由外部高压供气源9提供高压气体。

具体而言，所述封闭盖6上固定连接有连接檐10，所述连接檐10与所述第二外壳106的下端开口端螺纹连接，旋拧下封闭盖6即可带出集尘斗7，将其内部尘粒统一倒出即可。

工作原理：从合成炉内出来的合成气，在经过除尘器组件1除尘后再进入除尘塔2除尘，除尘塔2采用喷淋工艺，使用低温的三氯氢硅与四氯化硅做洗涤剂，金属氯化物由于沸点较低逆向与低温的三氯氢硅、四氯化硅接触后变为固体形态，与洗涤剂一同汇集在除尘塔2塔底，净化后的合成气体从除尘塔2塔顶进入冷凝器3，在冷凝器3中冷凝下来的液相三氯氢硅与四氯化硅作为洗涤剂通过回流泵输回除尘塔2，大部分净化气通过冷凝器3进入水冷器到后续工艺；除尘器组件1包括第一外壳101，第一外壳101的内部固定连接有隔板102，隔板102将第一外壳101内部分隔为过滤空间103和出气空间104，从合成炉内出来的合成气首先经进气管进入过滤空间103，过滤空间103的内部设置有多层过滤网板105，隔板102上且位于最下侧过滤网板105的上侧开设有过气孔，过气通孔与出气空间104相连通，经多层过滤网板105过滤后，通过过气孔进入出气空间104，经排出管进入至除尘塔2，第一外壳101的底部设置有第二外壳106，第二外壳106内设置有吸尘件，吸尘件通过连接管107与第一外壳101侧壁相连通，隔板102的侧壁上连接有高压供气管108，除尘器组件1可以进行自清洁，通过外部高压供气源9工作，使得高压气经高压供气管108排出，对过滤网板105进行高压除尘，吹除其上附着的尘粒，同时启动吸尘件将尘粒吸出，最后取出第二外壳106内的吸尘件倒出灰尘即可，自清洁过程人工参与少，更加省时省力。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种三氯氢硅生产中的湿法除尘装置，包括除尘器组件，所述除尘器组件的输出端与除尘塔的进入端相连接接，所述除尘塔的顶端与冷凝器相连接，其特征在于：所述除尘器组件包括第一外壳，所述第一外壳的内部固定连接有隔板，所述隔板将所述第一外壳内部分隔为过滤空间和出气空间，所述过滤空间的内部设置有多层过滤网板，所述隔板上且位于最下侧所述过滤网板的上侧开设有过气孔，过气通孔与所述出气空间相连通，所述第一外壳的底部设置有第二外壳，所述第二外壳内设置有吸尘件，所述吸尘件通过连接管与第一外壳侧壁相连通，所述隔板的侧壁上连接有高压供气管。

2.根据权利要求1所述的一种三氯氢硅生产中的湿法除尘装置，其特征在于：相邻所述过滤网板组成一组过滤网板，多个所述高压供气管分别对应一组过滤网板，所述高压供气管的出口位于同组的两个过滤网板之间。

3.根据权利要求2所述的一种三氯氢硅生产中的湿法除尘装置，其特征在于：所述连接管的端部连接有吸尘管，所述吸尘管上连接有多个吸尘斗，多个吸尘斗与多个所述高压供气管交错设置。

4.根据权利要求3所述的一种三氯氢硅生产中的湿法除尘装置，其特征在于：所述第二外壳的下端开口端可拆卸连接有封闭盖，所述吸尘件包括集尘斗，所述集尘斗固定连接于所述封闭盖的内侧壁上，所述封闭盖的外侧壁上安装有风机，所述风机的吸入口与所述集尘斗相连接，所述连接管的端部与所述集尘斗相连接。

5.根据权利要求1所述的一种三氯氢硅生产中的湿法除尘装置，其特征在于：所述高压供气管与外部高压供气源相连接。

6.根据权利要求4所述的一种三氯氢硅生产中的湿法除尘装置，其特征在于：所述封闭盖上固定连接有连接檐，所述连接檐与所述第二外壳的下端开口端螺纹连接。