CN219799984U - 一种超洁净光罩载具 - Google Patents
一种超洁净光罩载具 Download PDFInfo
- Publication number
- CN219799984U CN219799984U CN202320828236.9U CN202320828236U CN219799984U CN 219799984 U CN219799984 U CN 219799984U CN 202320828236 U CN202320828236 U CN 202320828236U CN 219799984 U CN219799984 U CN 219799984U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- upper cover
- bottom cover
- carrier
- cover
- photomask
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 2
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000013618 particulate matter Substances 0.000 description 2
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 2
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种超洁净光罩载具，包括上盖和底盖，所述上盖与所述底盖通过铰链连接，所述上盖和底盖可基于铰链进行旋转，所述上盖外凸缘设有矩形扣位，所述底盖外凸缘设有锁扣，所述锁扣与所述矩形扣位相对设置，实现载具的扣合和分离。本实用新型提供的一种超洁净光罩载具具有减小了光罩与载具之间的接触面积等优点。
Description
技术领域
本实用新型涉及光罩承载运输领域，尤其涉及一种超洁净光罩载具。
背景技术
随着光刻技术高速发展，光罩愈发精密，以至于现有光罩载具已无法完全满足新的光罩所需承载和运输的环境，目前市面上常见的光罩载具多为上盖、底盖以及锁扣组成，上盖与底盖通过铰链联接，并通过滑动锁扣和旋转上盖以实现光罩载具的扣合和分离。载具底盖通过凸台和/或竖筋对光罩进行支撑，存在光罩与载具之间接触面积较大和限位结构对产品保护功能不足等缺陷。
实用新型内容
针对现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种超洁净光罩载具，解决了现有技术中光罩与载具之间接触面积较大和限位结构对产品保护功能不足等缺陷，具有减小了光罩与载具之间的接触面积等优点。
根据本申请实施例提供的一种超洁净光罩载具，包括上盖和底盖，所述上盖与所述底盖通过铰链连接，所述上盖和底盖可基于铰链进行旋转，所述上盖外凸缘设有矩形扣位，所述底盖外凸缘设有锁扣，所述锁扣与所述矩形扣位相对设置，实现载具的扣合和分离。
优选地，所述上盖与所述底盖内部设有交叉设计的空间限位结构，所述空间限位结构由多个三向延伸并存在高度差的凸筋组成。
优选地，所述设置于上盖的多个凸筋相互处于同一水平面，所述设置于底盖上的多个凸筋相互处于同一水平面。
优选地，所述上盖的凸筋与底盖的凸筋在竖直方向设有间隙。
本申请实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果：
本实用新型通过在上盖和底盖的内部设置多个空间限位结构，一方面减小了光罩与载具之间的接触面积，限制光罩移动空间，进而有效防止在运输过程中因摩擦和碰撞产生颗粒污染，提高产品洁净度，另一方面所述空间限位结构通过交叉设计设置于上盖和底盖，并在竖直方向留有间隙，不仅可以防止光罩因外在因素变形而损坏，还能实现光罩的可翻转检测，既增强了保护作用，又加大了使用范围。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型的立体结构示意图；
图2为本实用新型的展开结构示意图。
图中：1、上盖；11、矩形扣位；12、上盖的凸筋；2、底盖；21、锁扣；22、底盖的凸筋；3、铰链。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
还应当理解，在此本实用新型说明书中所使用的术语仅仅是出于描述特定实施例的目的而并不意在限制本实用新型。如在本实用新型说明书和所附权利要求书中所使用的那样，除非上下文清楚地指明其它情况，否则单数形式的“一”、“一个”及“该”意在包括复数形式。
还应当进一步理解，在本实用新型说明书和所附权利要求书中使用的术语“和/或”是指相关联列出的项中的一个或多个的任何组合以及所有可能组合，并且包括这些组合。
请参阅图1和图2，本实用新型提供一种超洁净光罩载具，包括上盖1和底盖2，所述上盖1与所述底盖2通过铰链3连接，所述上盖1和底盖2可基于铰链3进行旋转，所述上盖1外凸缘设有矩形扣位11，所述底盖2外凸缘设有锁扣21，所述锁扣21与所述矩形扣位11相对设置，可实现载具的扣合和分离。
上盖1和底盖2扣合后形成密闭的容置腔以对光罩进行承载和限位，进而对光罩提供保护作用。
可以理解，所述上盖1与所述底盖2内部设有交叉设计的空间限位结构，所述空间限位结构由多个三向延伸并存在高度差的凸筋组成。
可以理解，所述设置于上盖的多个凸筋12相互处于同一水平面，所述设置于底盖上的多个凸筋22相互处于同一水平面。
可以理解，所述上盖的凸筋12与底盖的凸筋22在竖直方向设有间隙。
在本实施例中，所述锁扣21/矩形扣位11分别与底盖2/上盖1注塑一体成型，可提高了产品便捷性。
本申请实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果：
本实用新型通过在上盖和底盖的内部设置多个空间限位结构，一方面减小了光罩与载具之间的接触面积，限制光罩移动空间，进而有效防止在运输过程中因摩擦和碰撞产生颗粒污染，提高产品洁净度，另一方面所述空间限位结构通过交叉设计设置于上盖和底盖，并在竖直方向留有间隙，不仅可以防止光罩因外在因素变形而损坏，还能实现光罩的可翻转检测，既增强了保护作用，又加大了使用范围。
以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到各种等效的修改或替换，这些修改或替换都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以权利要求的保护范围为准。
Claims (3)
1.一种超洁净光罩载具，包括上盖和底盖，所述上盖与所述底盖通过铰链连接，所述上盖和底盖可基于铰链进行旋转，所述上盖外凸缘设有矩形扣位，所述底盖外凸缘设有锁扣，所述锁扣与所述矩形扣位相对设置，实现载具的扣合和分离；所述上盖与所述底盖内部设有交叉设计的空间限位结构，所述空间限位结构由多个三向延伸并存在高度差的凸筋组成。
2.根据权利要求1所述的一种超洁净光罩载具，其特征在于：所述设置于上盖的多个凸筋相互处于同一水平面，所述设置于底盖上的多个凸筋相互处于同一水平面。
3.根据权利要求2所述的一种超洁净光罩载具，其特征在于：所述上盖的凸筋与底盖的凸筋在竖直方向设有间隙。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202320828236.9U CN219799984U (zh) | 2023-04-04 | 2023-04-04 | 一种超洁净光罩载具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202320828236.9U CN219799984U (zh) | 2023-04-04 | 2023-04-04 | 一种超洁净光罩载具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN219799984U true CN219799984U (zh) | 2023-10-03 |
Family
ID=88177089
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202320828236.9U Active CN219799984U (zh) | 2023-04-04 | 2023-04-04 | 一种超洁净光罩载具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN219799984U (zh) |
-
2023
- 2023-04-04 CN CN202320828236.9U patent/CN219799984U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP3611107B1 (en) | Folding box | |
| CN102582912B (zh) | 侧门关闭免提拉的容器 | |
| CN219799984U (zh) | 一种超洁净光罩载具 | |
| CN102795436A (zh) | 容器盖子锁定机构及容器 | |
| CN102530348A (zh) | 隐藏式铰链及使用该铰链的容器 | |
| CN201095444Y (zh) | 塑料周转箱 | |
| CN204297396U (zh) | 侧壁结构及具有其的可折叠式集装箱 | |
| CN204568237U (zh) | 一种折叠包装箱 | |
| CN206704749U (zh) | 可挤压开启翻转式周转箱 | |
| CN217945853U (zh) | 一种自锁式纸箱裁片及纸箱 | |
| CN103189694B (zh) | 冰箱 | |
| CN206059452U (zh) | 一种环保防爆型锂电池装置 | |
| CN209417377U (zh) | 多芯光缆交接箱 | |
| CN105000263B (zh) | 一种烟草周转箱 | |
| CN210126761U (zh) | 盖板开合组件及储物装置 | |
| CN208248743U (zh) | 一种具有防护气囊的可折叠式物流箱 | |
| CN212922598U (zh) | 一种可抽出平放的储物箱 | |
| CN216581593U (zh) | 一种可折叠的高承重围板箱 | |
| CN212220845U (zh) | 一种柔性的折叠周转箱 | |
| CN215837823U (zh) | 一种具有防潮功能的建筑图纸储存柜 | |
| CN213070187U (zh) | 一种工业机器人基础实训平台 | |
| CN203997260U (zh) | 套叠式包装箱 | |
| CN216187126U (zh) | 侧开门网格航空箱 | |
| CN206511301U (zh) | 一种易堆垛再生塑料周转箱 | |
| CN213058189U (zh) | 一种便于拿取货物的物流箱 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |