CN219793091U - 一种用于真空物理气相沉积设备的防漏气旋转主轴 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及物理气相沉积设备领域，公开了一种用于真空物理气相沉积设备的防漏气旋转主轴，包括真空室底座，真空室底座内安装有主动轴，部分主动轴伸入真空室内，伸入真空室内的主动轴外侧安装有第一磁组，真空室底座上设有包裹主动轴的轴座，轴座外侧套装有与主动轴同轴设置的从动轴，从动轴靠近主动轴一端中部加工有包裹轴座配合的避让口，避让口处的从动轴内部安装有第二磁组，第二磁组与第一磁组的磁极相反，从动轴外侧套装有压套。本实用新型在主动轴与从动轴之间设置轴座将大气侧与真空侧分隔，利用第一磁组和第二磁组可是主动轴在不接触从动轴的情况下带动从动轴转动，从而解决了现有动态密封造成的漏气问题。

Description

一种用于真空物理气相沉积设备的防漏气旋转主轴

技术领域

本实用新型涉及物理气相沉积设备领域，特别是涉及一种用于真空物理气相沉积设备的防漏气旋转主轴。

背景技术

多弧等离子镀膜设备是涂层加工的主要设备，已经被广泛应用到工业当中，旋转主轴是多弧等离子镀膜设备主要的部件之一，旋转主轴是由多弧等离子镀膜设备外侧的电机驱动，而多弧等离子镀膜设备在使用时，需要对内部进行抽真空，在抽真空时，旋转主轴则需要保证密封效果，否则会因漏气导致真空弄环境改变最终影响涂层质量。现有旋转主轴的密封方式主要有：一、主轴与轴套之间用O型胶圈密封；二、采用磁流体密封；这两种均为动态密封，是依靠主轴与轴套之间的O型胶圈或磁流体液来保证密封效果，但当主轴长时间做旋转运动，动态密封就会失效，从而产生漏气现象，因此需要一种能防止漏气的结构来保证多弧等离子镀膜设备使用时的稳定性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于真空物理气相沉积设备的防漏气旋转主轴，该选择主轴采用分段式设计，两段主轴之间通过磁铁产生的磁力实现动力传输，从而能彻底解决主轴处漏气的现象。

本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的：

一种用于真空物理气相沉积设备的防漏气旋转主轴，包括真空室底座，所述真空室底座为中空的下凸结构，真空室底座内部安装有可转动的主动轴，部分主动轴伸入真空室内，主动轴中部安装有与真空室底座连接的轴承组，所述真空室底座下方安装有与主动轴连接的电机，伸入真空室内的主动轴外侧安装有第一磁组，第一磁组由多块沿主动轴轴向均布的磁铁依次排列组成，所述主动轴上安装有固定第一磁组的上固定套和下固定套，所述真空室底座上设有包裹主动轴的轴座，所述轴座外侧套装有与主动轴同轴设置的从动轴，所述从动轴靠近主动轴一端中部加工有包裹轴座配合的避让口，避让口处的从动轴内部安装有第二磁组，所述第二磁组由多块沿主动轴轴向均布的磁铁依次排列组成，第二磁组与第一磁组的磁极相反，所述从动轴外侧套装有压套，所述压套通过螺栓与真空室底座固定连接，所述压套与轴座上均安装有支撑从动轴的轴承组。

所述轴座底端加工有容纳主动轴的扩口端，轴座底端与真空室底座之间通过螺栓固定连接，轴座与真空室底座的接触面上安装有密封圈，轴座顶端加工有安装轴承组的收口端。

所述从动轴的避让口端部加工有一排安装磁铁的深孔，所述深孔的长度方向与轴向平行，深孔外侧的从动轴上安装有堵住深孔的端盖。

所述第一磁组上的磁铁磁极方向一致，所述第二磁组上的磁铁磁极方向一致。

所述真空室底座上固定连接有与腔室固定连接的下盖板。

本实用新型提供的用于真空物理气相沉积设备的防漏气旋转主轴具有的有益效果是：

(1)通过设置主动轴、从动轴、第一磁组和第二磁组，同时在主动轴与从动轴之间设置中空的轴座将主动轴置于大气侧与电机连接、将从动轴置于真空侧与多弧等离子镀膜设备内的从动部件连接，利用磁极相反的第一磁组和第二磁组可是主动轴在不接触从动轴的情况下带动从动轴转动，从而解决了现有多弧等离子镀膜设备采用动态密封造成的漏气问题，有效避免了因真空变化造成的问题；

(2)通过在轴座上加工扩口端、在从动轴上加工避让口，可是主动轴上的第一磁组和从动轴上的第二磁组位置相对应，以保证传动的稳定性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本实用新型实施例提供的结构示意图。

图2为本实用新型实施例提供的大气侧的结构示意图。

图3为本实用新型实施例提供的真空侧的结构示意图。

附图标记：1、真空室底座；2、主动轴；3、轴承组；4、电机；5、第一磁组；6、上固定套；7、下固定套；8、轴座；81、扩口端；82、收口端；9、从动轴；91、避让口；92、深孔；93、端盖；10、第二磁组；11、压套；12、下盖板。

具体实施方式

实施例

如图1～图3所示，本实施例提供的用于真空物理气相沉积设备的防漏气旋转主轴包括真空室底座1，所述真空室底座1上固定连接有与腔室固定连接的下盖板12，下盖板12用于方便真空室底座1安装，所述真空室底座1为中空的下凸结构，真空室底座1的凸起部分朝向多弧等离子镀膜设备的外部凸出，真空室底座1内部安装有可转动的主动轴2，部分主动轴2伸入真空室内，即主动轴2底端至于下凸的真空室底座1内，主动轴2顶端至于真空室内，主动轴2中部安装有与真空室底座1连接的轴承组3，轴承组3包括轴承座、深沟球轴承和轴用挡圈，此为支撑轴的常用结构，故不在此赘述，所述真空室底座1下方安装有与主动轴2连接的电机4，电机4通过螺栓固定在真空室底座1上，伸入真空室内的主动轴2外侧安装有第一磁组5，第一磁组5由多块沿主动轴2轴向均布的磁铁依次排列组成，所述主动轴2上安装有固定第一磁组5的上固定套6和下固定套7，在上固定套6和下固定套7的作用下，可将由多块磁铁组成的第一磁组5固定在主动轴2承上，每块磁铁的磁极方向一致，所述真空室底座1上设有包裹主动轴2的轴座8，所述轴座8底端加工有容纳主动轴2的扩口端81，轴座8底端与真空室底座1之间通过螺栓固定连接，轴座8与真空室底座1的接触面上安装有密封圈，在轴座8的作用下，将真空室底座1分隔成大气侧和真空侧，此时主动轴2位于大气侧，所述轴座8外侧套装有与主动轴2同轴设置的从动轴9，从动轴9位于真空侧，并与多弧等离子镀膜设备内的从动部件连接，所述从动轴9靠近主动轴2一端中部加工有包裹轴座8配合的避让口91，避让口91处的从动轴9内部安装有第二磁组10，加工避让口91是为了使第二磁组10与第一磁组5位置对应，所述第二磁组10由多块沿主动轴2轴向均布的磁铁依次排列组成，第二磁组10安装是在从动轴9的避让口91端部加工有一排深孔92，深孔92的长度方向与轴向平行，一个深孔92内放入一块或多块磁铁，第二磁组10上的磁铁的磁极方向一致，深孔92外侧的从动轴9上安装有堵住深孔92的端盖93，以防止磁铁脱落，第二磁组10与第一磁组5的磁极相反，这样在主动轴2转动时，第一磁组5的磁感线与第二磁组10的磁感线相互切割，实现带动从动轴9转动的目的，所述从动轴9外侧套装有压套11，所述压套11通过螺栓与真空室底座1固定连接，所述压套11与轴座8上均安装有支撑从动轴9的轴承组3，轴座8顶端加工有安装轴承组3的收口端82，轴座8的收口端82通过深沟球轴承对从动轴9支撑，压套11靠近真空室底座1的内壁通过端面轴承对从动轴9的肩部支撑。

本实用新型的安装方法是：

如图2～图1所示，先将真空室底座1与下盖板12焊接，并保证焊接后的密封性能适应多弧等离子镀膜设备的真空度，然后将电机4的输出轴与主动轴2连接，接着将电机4固定在真空室底座1上，接着在主动轴2与真空室底座1之间安装支撑主动轴2的轴承组3，以保证主动轴2正常转动，轴承组3安装后，将下固定套7套装在主轴上，节后将第一磁组5排列安装在下固定套7上，安装时，将第一磁组5的磁铁磁极同向依次放入，然后盖上上固定套6，并将上固定套6通过螺丝固定在主动轴2上，此时第一磁组5在下固定套7和上固定套6的作用下与主动轴2固定连接，完成主动部分的安装；随后将密封圈安装在真空室底座1上，并将轴座8通过螺栓与真空室底座1连接，在轴座8的作用下，在多弧等离子镀膜设备分隔处大气侧的密封，接着在轴座8的收口端82上安装支撑从动轴9的轴承组3，随后再从动轴9的深孔92内安装第二磁组10的磁铁，并利用端盖93将第二磁组10固定在从动轴9上，接着将从动轴9安装在轴座8上，在从动轴9上安装轴承组3后，将压套11固定在真空室底座1上，此时完成多弧等离子镀膜设备的传动轴部分安装。

使用时，电机4带动主动轴2转动，主动轴2转动时，第一磁组5跟随转动，第一磁组5上的磁感线在转动时与第二磁组10的磁感线不断切割，从而带动从动轴9转动，采用这样的传动方式，有效避免了传统动态密封存在的漏气问题，能有效避免多弧等离子镀膜设备主轴处的漏气。

以上所述仅是本实用新型优选的实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何基于本实用新型所提供的技术方案和实用新型构思进行的改造和替换都应涵盖在本实用新型的保护范围内。应当注意，在附图中所图示的结构或部件不一定按比例绘制，同时本实用新型省略了对公知组件和处理技术及工艺的描述，以避免不必要地限制本实用新型。

Claims (5)

1.一种用于真空物理气相沉积设备的防漏气旋转主轴，其特征在于：包括真空室底座(1)，所述真空室底座(1)为中空的下凸结构，真空室底座(1)内部安装有可转动的主动轴(2)，部分主动轴(2)伸入真空室内，主动轴(2)中部安装有与真空室底座(1)连接的轴承组(3)，所述真空室底座(1)下方安装有与主动轴(2)连接的电机(4)，伸入真空室内的主动轴(2)外侧安装有第一磁组(5)，第一磁组(5)由多块沿主动轴(2)轴向均布的磁铁依次排列组成，所述主动轴(2)上安装有固定第一磁组(5)的上固定套(6)和下固定套(7)，所述真空室底座(1)上设有包裹主动轴(2)的轴座(8)，所述轴座(8)外侧套装有与主动轴(2)同轴设置的从动轴(9)，所述从动轴(9)靠近主动轴(2)一端中部加工有包裹轴座(8)配合的避让口(91)，避让口(91)处的从动轴(9)内部安装有第二磁组(10)，所述第二磁组(10)由多块沿主动轴(2)轴向均布的磁铁依次排列组成，第二磁组(10)与第一磁组(5)的磁极相反，所述从动轴(9)外侧套装有压套(11)，所述压套(11)通过螺栓与真空室底座(1)固定连接，所述压套(11)与轴座(8)上均安装有支撑从动轴(9)的轴承组(3)。

2.根据权利要求1所述的用于真空物理气相沉积设备的防漏气旋转主轴，其特征在于：所述轴座(8)底端加工有容纳主动轴(2)的扩口端(81)，轴座(8)底端与真空室底座(1)之间通过螺栓固定连接，轴座(8)与真空室底座(1)的接触面上安装有密封圈，轴座(8)顶端加工有安装轴承组(3)的收口端(82)。

3.根据权利要求1所述的用于真空物理气相沉积设备的防漏气旋转主轴，其特征在于：所述从动轴(9)的避让口(91)端部加工有一排安装磁铁的深孔(92)，所述深孔(92)的长度方向与轴向平行，深孔(92)外侧的从动轴(9)上安装有堵住深孔(92)的端盖(93)。

4.根据权利要求1所述的用于真空物理气相沉积设备的防漏气旋转主轴，其特征在于：所述第一磁组(5)上的磁铁磁极方向一致，所述第二磁组(10)上的磁铁磁极方向一致。

5.根据权利要求1所述的用于真空物理气相沉积设备的防漏气旋转主轴，其特征在于：所述真空室底座(1)上固定连接有与腔室固定连接的下盖板(12)。