CN219778100U - 一种多波段ldi曝光系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种多波段LDI曝光系统，包括照明光源、沿所述二合一照明光源的出光光路上设置有分色镜，所述分色镜用于分出至少两个不同方向的不同波段的光束，不同波段的光束的出光光路上分别设置有一反射式空间光调制器，多个所述反射式空间光调制器的出光光路上设置有合光棱镜，所述合光棱镜的光束出光方向上设置有投影镜头，所述投影镜头的前方设置有焦平面。通过每一种波段的光束均配置一个反射式空间光调制器，解决了由于不同波长的折射率不同导致存在位置色差的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及多波段LDI曝光系统技术领域，尤其涉及一种多波段LDI曝光系统。
背景技术
LDI(laser direct imaging)，中文全称是激光直接成像技术，用于pcb工艺中的曝光工序，与传统的底片接触曝光方法有所不同,传统曝光是通过汞灯照射底片将图像转移至PCB上，而LDI是用激光扫面的方法直接将图像在PCB上成像，图像更精细。
但是目前一般的多波段LDI曝光系统如附图1所示，包括波段1光源、波段2光源和波段3光源，并通过对应的合光镜a进行折射到透镜b，透镜b将光束发送到发射镜c中，反射镜c通过角度的调节使得光线射入到数字微镜器件(Digtial Micromirror Devices,DMD)中，DMD作为空间光调制器的一种，就是借助微镜装置反射需要的光，同时通过光吸收器吸收不需要的光来实现影像的投影，而其光照方向则是借助静电作用，通过控制微镜片角度来实现，DMD再把光束反射到成像镜头D中。但是，目前的多波段LDI曝光系统由于不同波长的光源折射率不同，导致存在位置色差(纵向色差)，从而导致PCB曝光色差。
实用新型内容
为了解决上述技术问题，本实用新型的目的在于提供一种多波段LDI曝光系统，用于解决由于不同波长的折射率不同导致存在位置色差的问题。
鉴于此目的，本实用新型实施例提供一种多波段LDI曝光系统，包括照明光源、沿所述二合一照明光源的出光光路上设置有分色镜，所述分色镜用于分出至少两个不同方向的不同波段的光束，不同波段的所述光束的出光光路上分别设置有一反射式空间光调制器，多个所述反射式空间光调制器的出光光路上设置有合光棱镜，所述合光棱镜的光束出光方向上设置有投影镜头，所述投影镜头的前方设置有焦平面。
进一步的，所述不同波段的光束包括第一波段光束和第二波段光束，所述第一波段光束的出光光路上设置有第一反射式空间光调制器，所述第二波段光束的出光光路上设置有第二反射式空间光调制器，在所述第一反射式空间光调制器和所述第二反射式空间光调制器的出光光束照射到所述合光棱镜中。
进一步的，所述第一波段光束的出光光路上设置有反射镜，所述反射镜用于将所述第一波段光束反射到所述第一反射式空间光调制器中。
进一步的，所述照明光源、所述分色镜、所述反射镜位于同一直线上。
进一步的，所述照明光源发出的所述第二波段光束经过所述分色镜折射后形成夹角大于°的第二波段光束。
进一步的，所述第一反射式空间光调制器和第一位置微调滑台组件连接。
进一步的，所述第二反射式空间光调制器和第二位置微调滑台组件连接。
进一步的，所述焦平面和第三位置调节组件连接。
进一步的，所述照明光源包括第一波段光源和第二波段光源。
本实用新型的有益效果：本实用新型实施例提供一种多波段LDI曝光系统，包括照明光源、沿所述二合一照明光源的出光光路上设置有分色镜，所述分色镜用于分出至少两个不同方向的不同波段的光束，不同波段的光束的出光光路上分别设置有一反射式空间光调制器，多个所述反射式空间光调制器的出光光路上设置有合光棱镜，所述合光棱镜的光束出光方向上设置有投影镜头，所述投影镜头的前方设置有焦平面。通过每一种不同波段的光束均配置一个反射式空间光调制器，解决了由于不同波长的折射率不同导致存在位置色差的问题。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
图1为现有技术中的一种多波段LDI曝光系统的结构示意图；
图2为本实用新型实施例提供的一种多波段LDI曝光系统的结构示意图。
图中：1、照明光源；2、分色镜；3、光束；30、第一波段光束；31、第二波段光束；4、反射式空间光调制器；40、第一反射式空间光调制器；41、第二反射式空间光调制器；5、合光棱镜；6、投影镜头；7、焦平面；8、反射镜；9、第一位置微调滑台组件；10、第二位置微调滑台组件。
具体实施方式
本实用新型实施例提供一种多波段LDI曝光系统，用于解决由于不同波长的折射率不同导致存在位置色差的问题。
为使得本实用新型的实用新型目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，下面所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而非全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。
实施例：
图2为一种多波段LDI曝光系统，如图2所示，一种多波段LDI曝光系统，包括照明光源1、沿所述二合一照明光源1的出光光路上设置有分色镜2，所述分色镜2用于分出至少两个不同方向的不同波段的光束3，不同波段的光束3的出光光路上分别设置有一反射式空间光调制器4，多个所述反射式空间光调制器4的出光光路上设置有合光棱镜5，所述合光棱镜5的光束出光方向上设置有投影镜头6，所述投影镜头6的前方设置有焦平面7。
在具体的实施例中，该照明光源1为二合一照明光源，在该照明光源1的出光光路上设置有分色镜2，分色镜2将光束分为第一波段光束30和第二波段光束31，第一波段光束30反射到一反射式空间光调制器4，经反射后，汇集到合光棱镜5中，第二波段光束31经分色镜2后和第一波段光束30呈一定夹角往反射式空间光调制器4照射过去，然后反射到合光棱镜5中，该第一波段光束30和第二波段光束31经过合光棱镜5后折射到投影镜头中，每一种波段的光束均对应一个反射式空间光调制器4，解决了由于不同波长的折射率不同导致存在位置色差的问题。
进一步的，所述光束3包括第一波段光束30和第二波段光束31，所述第一波段光束30的出光光路上设置有第一反射式空间光调制器40，所述第二波段光束31的出光光路上设置有第二反射式空间光调制器41，在所述第一反射式空间光调制器40和所述第二反射式空间光调制器41的出光光束照射到所述合光棱镜5中。
具体的，该照明光源1为二合一照明光源，发出两个波段的光束，分别为第一波段光束30和第二波段光束31，第一波段光束30对应第一反射式空间光调制器40，第二波段光束31对应第二反射式空间光调制器41，不同波长分别对应不同反射式空间光调制器4，每块反射式空间光调制器4都是可以单独纵向调整的，因此可以对位置色差进行单独补偿，把不同波长的焦平面调整到一个平面上。
进一步的，所述第一波段光束30的出光光路上设置有反射镜8，所述反射镜8用于将所述第一波段光束30反射到所述第一反射式空间光调制器40中。
具体的，第一波段光束30朝着反射镜8的方向照射后反射到第一反射式空间光调制器40，经反射后，汇集到合光棱镜5中。
进一步的，所述照明光源1、所述分色镜2、所述反射镜8位于同一直线上。
具体的，将照明光源1、分色镜2和反射镜8设置为一条直线上，使得第一波段光束30呈预设夹角反射到第一反射式空间光调制器40中。
进一步的，所述照明光源1发出的所述第二波段光束30经过所述分色镜2折射后形成夹角大于90°的第二波段光束30。
具体的，该照明光源1发出的第二波段光束30经过分色镜2的折射后，形成的第二波段光束30和出光光束形成的夹角大于90°，使其能准确地反射到第二反射式空间光调制器41中。
进一步的，所述第一反射式空间光调制器40和第一位置微调滑台组件9连接。
具体的，通过第一位置微调滑台组件9对第一反射式空间光调制器40进行位置单独纵向微调整，因此可以对位置色差进行单独补偿，把该第一波段光束30的焦平面调整到一个平面上。
进一步的，所述第二反射式空间光调制器41和第二位置微调滑台组件10连接。
具体的，通过第二位置微调滑台组件10对第二反射式空间光调制器41进行位置单独纵向微调整，因此可以对位置色差进行单独补偿，把该第二波段光束31的焦平面调整到一个平面上。
进一步的，所述焦平面7和第三位置调节组件连接。
具体的，该第三位置调节组件为两个千分尺，可以细调焦平面7的左右和高度，通过该第三位置调节组件调节焦平面7的位置，以对位置色差进行单独补偿，把该第以波段光束30的焦平面7和第二波段光束31的焦平面调整到一个平面上。
进一步的，所述照明光源1包括第一波段光源和第二波段光源。
具体的，照明光源1包括波长不同的第一波段光源和第二波段光源。
综上所述，本实用新型实施例提供一种多波段LDI曝光系统，包括照明光源、沿所述二合一照明光源的出光光路上设置有分色镜，所述分色镜用于分出至少两个不同方向的不同波段的光束，不同波段的光束的出光光路上分别设置有一反射式空间光调制器，多个所述反射式空间光调制器的出光光路上设置有合光棱镜，所述合光棱镜的光束出光方向上设置有投影镜头，所述投影镜头的前方设置有焦平面。通过每一种波段的光束均配置一个反射式空间光调制器，解决了由于不同波长的折射率不同导致存在位置色差的问题。
以上所述，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。
Claims (9)
1.一种多波段LDI曝光系统，其特征在于，包括照明光源(1)、沿所述照明光源(1)的出光光路上设置有分色镜(2)，所述分色镜(2)用于分出至少两个不同方向的不同波段的光束(3)，不同波段的所述光束(3)的出光光路上分别设置有一反射式空间光调制器(4)，多个所述反射式空间光调制器(4)的出光光路上设置有合光棱镜(5)，所述合光棱镜(5)的光束出光方向上设置有投影镜头(6)，所述投影镜头(6)的前方设置有焦平面(7)。
2.根据权利要求1所述的多波段LDI曝光系统，其特征在于，所述不同波段的光束(3)包括第一波段光束(30)和第二波段光束(31)，所述第一波段光束(30)的出光光路上设置有第一反射式空间光调制器(40)，所述第二波段光束(31)的出光光路上设置有第二反射式空间光调制器(41)，在所述第一反射式空间光调制器(40)和所述第二反射式空间光调制器(41)的出光光束照射到所述合光棱镜(5)中。
3.根据权利要求2所述的多波段LDI曝光系统，其特征在于，所述第一波段光束(30)的出光光路上设置有反射镜(8)，所述反射镜(8)用于将所述第一波段光束(30)反射到所述第一反射式空间光调制器(40)中。
4.根据权利要求3所述的多波段LDI曝光系统，其特征在于，所述照明光源(1)、所述分色镜(2)、所述反射镜(8)位于同一直线上。
5.根据权利要求2所述的多波段LDI曝光系统，其特征在于，所述照明光源(1)发出的所述第二波段光束(31)经过所述分色镜(2)折射后形成夹角大于90°。
6.根据权利要求2所述的多波段LDI曝光系统，其特征在于，所述第一反射式空间光调制器(40)和第一位置微调滑台组件(9)连接。
7.根据权利要求2所述的多波段LDI曝光系统，其特征在于，所述第二反射式空间光调制器(41)和第二位置微调滑台组件(10)连接。
8.根据权利要求4所述的多波段LDI曝光系统，其特征在于，所述焦平面(7)和第三位置调节组件连接。
9.根据权利要求4所述的多波段LDI曝光系统，其特征在于，所述照明光源(1)包括第一波段光源和第二波段光源。
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