CN219764733U - 一种渣浆中氯硅烷和高沸高效分离系统 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种渣浆中氯硅烷和高沸高效分离系统，清液罐的出口与蒸馏釜的进口相连，蒸馏釜的气相出口与凝液釜的进口相连，凝液釜的出口与冷氢化系统相连，蒸馏釜的液相出口与冷却沉淀釜的进口相连，冷却沉淀釜的上清液出口与清液罐的进口相连，冷却沉淀釜底部的高沸出口与高沸处理系统相连。通过蒸馏釜和冷却沉淀釜以对混合物A进行多步分离，提高混合物A中氯硅烷和高沸物的分离效率，且将混合物B中的氯硅烷重新通入到清液罐中实现循环分离，实现混合物A中氯硅烷的进一步回收，从而提高混合物A中氯硅烷的回收率，同时，能够避免直接将混合物B进行水解处理而导致混合物B中的氯硅烷也进行了水解处理，从而避免混合物B中氯硅烷的浪费。

Description

一种渣浆中氯硅烷和高沸高效分离系统

技术领域

本申请涉及多晶硅生产技术领域，特别是涉及一种渣浆中氯硅烷和高沸高效分离系统。

背景技术

我国现阶段制备多晶硅的工艺技术基本上都为西门子工艺技术，该工艺技术中，反应装置和精馏装置不可避免地产生渣浆。渣浆主要由约5%固相组分（硅粉颗粒）和约95%液相组分（氯硅烷、高沸物和其他）组成，其中氯硅烷液体组分约占90%以上。

目前，对多晶硅生产过程中产生的渣浆常用处理方式为：通过干燥设备（主要是耙式干燥机和桨叶干燥机）将渣浆中的氯硅烷及高沸物加热蒸发，从渣浆中以气态的形式溢出，然后通入至清液罐中，清液罐中存储液态的氯硅烷和高沸物，再将清液罐中的氯硅烷和高沸物通入到蒸馏釜中进行蒸发分离，以将氯硅烷和高沸物分离，气态的氯硅烷从蒸馏釜顶排出回收，液态的混合物从蒸馏釜底排出，通入至高沸罐中待水解处理，参见图1。

但是，在蒸馏釜蒸馏过程的后期，存在“蒸不动”的情况，也就是说，在蒸馏釜蒸馏过程的后期，蒸馏釜中大部分氯硅烷已以气态的形式分离排出，而由于高沸物粘度大，高沸物在釜底聚集，部分氯硅烷与高沸物混合一体，使得部分氯硅烷留存在高沸物中，高沸物中的留存的氯硅烷较难继续蒸出，此时即使继续加热蒸馏，留存在高沸物中的氯硅烷也较难蒸出，致使氯硅烷与高沸物的分离效率差，导致氯硅烷的回收率较低。在蒸馏釜“蒸不动”时，目前直接将这部分混合物排入到高沸罐中待水解处理。

通过检测发现，在经蒸馏釜处理后排入到高沸罐中的混合物中，高沸物约占30%，氯硅烷约占70%，说明这部分混合物中含有较多的氯硅烷，而排入到高沸罐中的混合物后续进行了水解处理，也就意味着混合物中的氯硅烷也进行了水解处理，这势必造成这部分氯硅烷的浪费，造成了资源的浪费。

实用新型内容

基于此，有必要针对现有的技术中，在蒸馏釜对氯硅烷和高沸物进行蒸发分离过程中存在“蒸不动”的情况，致使氯硅烷与高沸物的分离效率差，导致氯硅烷的回收率低，且这部分氯硅烷进行了水解处理，造成氯硅烷的浪费，导致资源浪费。提供一种渣浆中氯硅烷和高沸高效分离系统，能够解决现有技术中的上述问题。

一种渣浆中氯硅烷和高沸高效分离系统，包括清液罐、蒸馏釜、冷却沉淀釜和凝液釜，所述清液罐的出口与所述蒸馏釜的进口相连，所述蒸馏釜具有第一加热夹套，所述第一加热夹套具有第一蒸汽进口和第一蒸汽出口，所述蒸馏釜的气相出口与所述凝液釜的进口相连，所述凝液釜的出口与冷氢化系统相连，所述蒸馏釜的液相出口与所述冷却沉淀釜的进口相连，所述冷却沉淀釜的上清液出口与所述清液罐的进口相连，所述冷却沉淀釜底部的高沸出口与高沸处理系统相连，所述冷却沉淀釜具有第一水冷夹套，所述第一水冷夹套具有第一冷却水进口和第一冷却水出口。

优选地，上述一种渣浆中氯硅烷和高沸高效分离系统中，所述蒸馏釜设置有搅动装置。

优选地，上述一种渣浆中氯硅烷和高沸高效分离系统中，所述凝液釜具有第二水冷夹套，所述第二水冷夹套具有第二冷却水进口和第二冷却水出口，且所述第一冷却水出口与所述第二冷却水进口相连。

优选地，上述一种渣浆中氯硅烷和高沸高效分离系统中，还包括渣浆排放管道和闪蒸罐，所述渣浆排放管道与所述闪蒸罐的进口相连，所述闪蒸罐的气相出口与所述清液罐的进口相连。

优选地，上述一种渣浆中氯硅烷和高沸高效分离系统中，还包括过滤器，所述渣浆排放管道还与所述过滤器的进口相连，所述过滤器的气液出口与所述清液罐的进口相连。

优选地，上述一种渣浆中氯硅烷和高沸高效分离系统中，所述闪蒸罐具有第二加热夹套，所述第二加热夹套具有第二蒸汽进口和第二蒸汽出口，所述第一蒸汽出口与所述第二蒸汽进口相连。

优选地，上述一种渣浆中氯硅烷和高沸高效分离系统中，所述凝液釜底部的沉淀出口与所述冷却沉淀釜的进口或所述蒸馏釜的进口相连。

优选地，上述一种渣浆中氯硅烷和高沸高效分离系统中，还包括洗涤过滤装置，所述冷却沉淀釜底部的高沸出口与所述洗涤过滤装置的进口相连，所述洗涤过滤装置的过滤出口与所述清液罐的进口相连，所述洗涤过滤装置的排污出口与所述高沸处理系统相连。

本申请采用的技术方案能够达到以下有益效果：

本申请实施例公开的一种渣浆中氯硅烷和高沸高效分离系统中，首先将清液罐中的混合物A通入到蒸馏釜进行蒸发分离，实现混合物A中氯硅烷和高沸物的初步分离，然后将蒸馏釜中还剩下“蒸不动”的产物混合物B通入到冷却沉淀釜中进行冷却沉淀分层，实现混合物B中氯硅烷和高沸物的分离，以实现混合物A中氯硅烷和高沸物的进一步分离，从而提高混合物A中氯硅烷和高沸物的分离效率，避免因蒸馏釜对混合物A进行蒸发分离过程中存在“蒸不动”的情况而导致混合物A中氯硅烷和高沸物的分离效率差，再将从冷却沉淀釜的上清液出口排出的上清液通入到清液罐中，从而将混合物B中的氯硅烷重新通入到清液罐中实现循环分离，实现上清液的回收，即实现混合物B中氯硅烷的回收，以实现混合物A中氯硅烷的进一步回收，从而提高混合物A中氯硅烷的回收率，避免因蒸馏釜对混合物A进行蒸发分离过程中存在“蒸不动”的情况而导致混合物A中氯硅烷的回收率低，同时，能够避免现有技术中直接将混合物B进行水解处理而导致混合物B中的氯硅烷也进行了水解处理，从而避免混合物B中氯硅烷的浪费，避免造成资源浪费。

附图说明

图1为现有技术中公开的渣浆中氯硅烷和高沸系统的示意图；

图2为本申请实施例公开的一种渣浆中氯硅烷和高沸高效分离系统的示意图。

其中：清液罐100、蒸馏釜200、第一加热夹套210、第一蒸汽进口220、第一蒸汽出口230、搅动装置240、冷却沉淀釜300、第一水冷夹套310、第一冷却水进口320、第一冷却水出口330、凝液釜400、第二水冷夹套410、第二冷却水进口420、第二冷却水出口430、渣浆排放管道510、闪蒸罐520、过滤器530、洗涤过滤装置540。

具体实施方式

为了便于理解本申请，下面将参照相关附图对本申请进行更全面的描述。附图中给出了本申请的较佳实施方式。但是，本申请可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本申请的公开内容理解的更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”、“顶部”、“底部”、“底端”、“顶端”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本申请。本文所使用的术语“和／或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

请参考图2，本申请实施例公开一种渣浆中氯硅烷和高沸高效分离系统，包括清液罐100、蒸馏釜200、冷却沉淀釜300和凝液釜400，其中：

多晶硅生产过程中产生的渣浆通过前序工序进行分离，将渣浆中的氯硅烷及高沸物加热蒸发，从渣浆中以气态的形式溢出，然后通入至清液罐100中进行冷却储存，清液罐中存储液态的氯硅烷和高沸物（后文简称为混合物A）。清液罐100的出口与蒸馏釜200的进口相连，以将储存在清液罐100中的混合物A通入到蒸馏釜200中进行蒸发分离，蒸馏釜200具有第一加热夹套210，第一加热夹套210具有第一蒸汽进口220和第一蒸汽出口230，通过第一蒸汽进口220向第一加热夹套210内通入高温蒸汽，以加热通入到蒸馏釜200中的混合物A，高温蒸汽换热后通过第一蒸汽出口230排出。第一蒸汽进口220可以设置在蒸馏釜200的釜底，第一蒸汽出口230可以设置在蒸馏釜200的釜顶，这样的加热效率高。混合物A通过蒸馏釜200蒸发分离后，混合物A中的大部分氯硅烷已以气态的形式分离，且通过蒸馏釜200的气相出口排出，此时蒸馏釜200中还剩下“蒸不动”的产物混合物B，通过蒸馏釜200的液相出口排出。

由于在蒸馏釜200中，通过蒸馏釜200加热混合物A，需要使混合物A中的氯硅烷以气态的形式排出，而高沸物需要继续停留在蒸馏釜200中，实现混合物A中氯硅烷和高沸物的分离，因此，蒸馏釜200内的温度保持在120℃左右，这个温度值即高于氯硅烷的沸点，还低于高沸物的沸点，这样就既能够将混合物A中的氯硅烷加热至其沸点以上，以气态的形式排出，还能够避免将混合物A中的高沸物加热至其沸点以上，以使高沸物继续停留在蒸馏釜200中，继续停留在蒸馏釜200中，因此，第一加热夹套210可以通入4公斤的饱和蒸汽，4公斤的饱和蒸汽温度约152℃，正好能够将蒸馏釜200内的温度加热至120℃左右，这样就能满足上述温度要求，同时，在多晶硅生产过程中，4公斤的饱和蒸汽可以通过回收尾气中的热量得到，实现能量回收利用，降低成本投入。

蒸馏釜200的气相出口与凝液釜400的进口相连，从蒸馏釜200的气相出口排出的气态氯硅烷通入到凝液釜400进行冷却缓存。凝液釜400的出口与冷氢化系统相连，从而将蒸馏釜200中得到的氯硅烷通入到冷氢化系统中转化为三氯氢硅，再通入到还原炉中进行多晶硅的生产，进而实现氯硅烷的回收利用，避免氯硅烷浪费。通过凝液釜400冷却缓存，以使通入到冷氢化系统中的氯硅烷为液态，且能够通过凝液釜400连续为冷氢化系统通入氯硅烷。

蒸馏釜200的液相出口与冷却沉淀釜300的进口相连，以将蒸馏釜200中还剩下“蒸不动”的产物混合物B通过蒸馏釜200的液相出口通入到冷却沉淀釜300中进行冷却沉淀，冷却沉淀釜300具有第一水冷夹套310，第一水冷夹套310具有第一冷却水进口320和第一冷却水出口330，通过第一冷却水进口320向第一水冷夹套310内通入低温冷却水，以冷却通入到冷却沉淀釜300中的混合物B，低温冷却水冷却换热后通过第一冷却水出口330排出。第一冷却水进口320可以设置在冷却沉淀釜300的釜底，第一冷却水出口330可以设置在冷却沉淀釜300的釜顶，这样的冷却效率高。由于混合物B中高沸物约占30%，氯硅烷约占70%，故在冷却沉淀釜300的冷却下，混合物B逐渐冷却且沉淀，出现分层，上层为上清液，主要为氯硅烷，下层为沉淀层，主要为高沸物，实现混合物B中氯硅烷和高沸物的分离，以实现混合物A中氯硅烷和高沸物的进一步分离，从而提高混合物A中氯硅烷和高沸物的分离效率，避免因蒸馏釜200对混合物A进行蒸发分离过程中存在“蒸不动”的情况而导致混合物A中氯硅烷和高沸物的分离效率差。通过冷却沉淀釜300的上清液出口将上清液排出，通过冷却沉淀釜300底部的高沸出口将沉淀层排出。

由于在冷却沉淀釜300中需要对混合物B进行冷却，实现混合物B的冷却沉淀分层，通过生产现场多次试验发现，冷却沉淀釜300内的温度保持在零下10℃左右，混合物B的冷却沉淀分层速度快、效果好，因此，第一水冷夹套310可以通入零下15℃左右的冷却水，正好能够将冷却沉淀釜300内的温度冷却至零下10℃左右，这样就能满足上述温度要求。

冷却沉淀釜300的上清液出口与清液罐100的进口相连，以将从冷却沉淀釜300的上清液出口排出的上清液通入到清液罐100中，从而将混合物B中的氯硅烷重新通入到清液罐100中实现循环分离，实现上清液的回收，由于上清液主要为氯硅烷，即实现混合物B中氯硅烷的回收，以实现混合物A中氯硅烷的进一步回收，从而提高混合物A中氯硅烷的回收率，避免因蒸馏釜200对混合物A进行蒸发分离过程中存在“蒸不动”的情况而导致混合物A中氯硅烷的回收率低。同时，将从冷却沉淀釜300的上清液出口排出的上清液通入到清液罐100中实现循环分离，避免现有技术中直接将混合物B进行水解处理而导致混合物B中的氯硅烷也进行了水解处理，从而避免混合物B中氯硅烷的浪费，避免造成资源浪费。冷却沉淀釜300底部的高沸出口与高沸处理系统相连，以将从冷却沉淀釜300底部的高沸出口排出的沉淀层通入到高沸处理系统中，高沸处理系统可以是水解处理系统，也可以是裂解转化系统，本申请对此不做限定。

本申请实施例公开的一种渣浆中氯硅烷和高沸高效分离系统中，首先将清液罐100中的混合物A通入到蒸馏釜200进行蒸发分离，实现混合物A中氯硅烷和高沸物的初步分离，然后将蒸馏釜200中还剩下“蒸不动”的产物混合物B通入到冷却沉淀釜300中进行冷却沉淀分层，实现混合物B中氯硅烷和高沸物的分离，以实现混合物A中氯硅烷和高沸物的进一步分离，从而提高混合物A中氯硅烷和高沸物的分离效率，避免因蒸馏釜200对混合物A进行蒸发分离过程中存在“蒸不动”的情况而导致混合物A中氯硅烷和高沸物的分离效率差，再将从冷却沉淀釜300的上清液出口排出的上清液通入到清液罐100中，从而将混合物B中的氯硅烷重新通入到清液罐100中实现循环分离，实现上清液的回收，即实现混合物B中氯硅烷的回收，以实现混合物A中氯硅烷的进一步回收，从而提高混合物A中氯硅烷的回收率，避免因蒸馏釜200对混合物A进行蒸发分离过程中存在“蒸不动”的情况而导致混合物A中氯硅烷的回收率低，同时，能够避免现有技术中直接将混合物B进行水解处理而导致混合物B中的氯硅烷也进行了水解处理，从而避免混合物B中氯硅烷的浪费，避免造成资源浪费。

进一步地，蒸馏釜200可以设置有搅动装置240，在蒸馏釜200对混合物A蒸发分离的过程中，通过搅动装置240不断进行搅动，通过搅动，加速氯硅烷的气化分离，且能够搅动高沸物，不断将留存在高沸物中的氯硅烷搅动翻出进行气化分离，从而能够进一步提高蒸馏釜200对混合物A中氯硅烷与高沸物的分离效率，进一步提高蒸馏釜200对混合物A中氯硅烷的回收率。搅动装置240的设置能够起到多重效果，且效果明显。

如上文所述，从蒸馏釜200的气相出口排出的气态氯硅烷通入到凝液釜400进行冷却缓存，凝液釜400可以通过空冷的方式对气态氯硅烷进行冷却，进一步地，凝液釜400具有第二水冷夹套410，第二水冷夹套410具有第二冷却水进口420和第二冷却水出口430，且第一冷却水出口330与第二冷却水进口420相连。首先，向第二水冷夹套410通入冷却水以冷却气态氯硅烷的冷却效率比空冷方式的冷却效率高，同时，凝液釜400所需的冷却温度低于氯硅烷的沸点（约为10℃至30℃）即可，冷却冷却沉淀釜300后的冷却水温度约为零下10℃，将冷却冷却沉淀釜300后的冷却水用于冷却气态氯硅烷，既能够加速气态氯硅烷的冷却速度，还能够实现冷却水中冷量的梯级利用，减少冷却水的消耗，减少冷量的消耗，避免冷却水中冷量的浪费。

作为优选，本申请公开的系统还可以包括渣浆排放管道510和闪蒸罐520，渣浆排放管道510与闪蒸罐520的进口相连，多晶硅生产过程中产生的渣浆通过渣浆排放管道510通入到闪蒸罐520中，在闪蒸罐520的作用下，渣浆中的氯硅烷和高沸物通过闪蒸罐520的气相出口排出，闪蒸罐520的气相出口与清液罐100的进口相连，以将渣浆中的氯硅烷和高沸物通入到清液罐100，然后经过后续工序进行分离。闪蒸罐520能够将渣浆中较多的氯硅烷和高沸物分离而出，实现回收，避免渣浆中氯硅烷和高沸物的浪费。

对于固体含量大于5%的渣浆采用上述公开的系统进行处理，对于固体含量小于5%的渣浆，由于该渣浆中固体颗粒较少，也就是硅粉较少，大部分为可回收的氯硅烷，若采用上述公开的系统，则会使得固体含量小于5%的渣浆处理流程复杂，处理成本较高，基于此，在一种可选的实施例中，本申请公开的系统还可以包括过滤器530，渣浆排放管道510还与过滤器530的进口相连，以将固体含量小于5%的渣浆通入到过滤器530中，在过滤器530中，渣浆实现固液分离，分离后呈气液混合物和固液泥状混合物，过滤器530的气液出口与清液罐100的进口相连，以将过滤器530中分离后的气液混合物（主要为氯硅烷和高沸物）通入到清液罐100中，然后经过后续工序进行分离回收。以上针对固体含量不同的渣浆采取不同的处理系统，以便捷高效地处理渣浆，避免冗余处理，避免处理成本较高。

进一步地，闪蒸罐520具有第二加热夹套，第二加热夹套具有第二蒸汽进口和第二蒸汽出口，第一蒸汽出口230与第二蒸汽进口相连。在闪蒸罐520工作时，温度约为70℃至80℃，在蒸馏釜200工作时，温度约为120℃，加热蒸馏釜200后的蒸汽温度远高于闪蒸罐520所需的工作温度，因此可以将加热蒸馏釜200后的蒸汽用于加热闪蒸罐520，能够实现蒸汽中热量的梯级利用，减少蒸汽的消耗，减少热量的消耗，避免蒸汽中热量的浪费。

如上文所述，混合物B在冷却沉淀釜300中冷却沉淀分层，将从冷却沉淀釜300底部的高沸出口排出的沉淀层通入到高沸处理系统中进行处理，由于仅仅只是冷却沉淀分层，沉淀层中还是会含有氯硅烷，若直接通入到高沸处理系统中进行处理，则会造成这部分氯硅烷的浪费，基于此，可选地，本申请公开的系统还可以包括洗涤过滤装置540，冷却沉淀釜300底部的高沸出口与洗涤过滤装置540的进口相连，以将沉淀层通入到洗涤过滤装置540中进行洗涤，以将沉淀层中的氯硅烷洗涤到洗涤母液中，通过洗涤过滤装置540洗涤后的洗涤母液中含有氯硅烷，洗涤过滤装置540的过滤出口与清液罐100的进口相连，以将洗涤母液通入到清液罐100实现氯硅烷的循环回收，从而实现沉淀层中氯硅烷的回收，避免这部分氯硅烷的浪费，进而进一步提高混合物A中氯硅烷与高沸物的分离效率，以及进一步提高混合物A中氯硅烷的回收率，进一步避免氯硅烷浪费，避免造成资源浪费。洗涤过滤装置540的排污出口与高沸处理系统相连，洗涤后剩下的高沸物通入到高沸处理系统中进行处理。

在本申请中，从蒸馏釜200的气相出口排出的气态氯硅烷通入到凝液釜400进行冷却缓存，由于从蒸馏釜200的气相出口排出的气态氯硅烷中或多或少的携带有高沸物，在凝液釜400中长时间冷却缓存后，在凝液釜400中同样会出现类似于冷却沉淀釜300一样的情况，即在凝液釜400中出现分层，最下层的沉淀层多为高沸物，因此，可选地，凝液釜400底部的沉淀出口与冷却沉淀釜300的进口或蒸馏釜200的进口相连，以将凝液釜400的沉淀层高沸物通入到冷却沉淀釜300的进口或蒸馏釜200进行二次分离，避免将这部分高沸物通入到冷氢化系统，提高通入到冷氢化系统中氯硅烷的纯度，避免将这部分回收的氯硅烷通入到冷氢化系统中进行反应时因纯度较低而收率较低，影响冷氢化系统的效率。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (8)

1.一种渣浆中氯硅烷和高沸高效分离系统，其特征在于，包括清液罐（100）、蒸馏釜（200）、冷却沉淀釜（300）和凝液釜（400），所述清液罐（100）的出口与所述蒸馏釜（200）的进口相连，所述蒸馏釜（200）具有第一加热夹套（210），所述第一加热夹套（210）具有第一蒸汽进口（220）和第一蒸汽出口（230），所述蒸馏釜（200）的气相出口与所述凝液釜（400）的进口相连，所述凝液釜（400）的出口与冷氢化系统相连，所述蒸馏釜（200）的液相出口与所述冷却沉淀釜（300）的进口相连，所述冷却沉淀釜（300）的上清液出口与所述清液罐（100）的进口相连，所述冷却沉淀釜（300）底部的高沸出口与高沸处理系统相连，所述冷却沉淀釜（300）具有第一水冷夹套（310），所述第一水冷夹套（310）具有第一冷却水进口（320）和第一冷却水出口（330）。

2.根据权利要求1所述的一种渣浆中氯硅烷和高沸高效分离系统，其特征在于，所述蒸馏釜（200）设置有搅动装置（240）。

3.根据权利要求1所述的一种渣浆中氯硅烷和高沸高效分离系统，其特征在于，所述凝液釜（400）具有第二水冷夹套（410），所述第二水冷夹套（410）具有第二冷却水进口（420）和第二冷却水出口（430），且所述第一冷却水出口（330）与所述第二冷却水进口（420）相连。

4.根据权利要求1所述的一种渣浆中氯硅烷和高沸高效分离系统，其特征在于，还包括渣浆排放管道（510）和闪蒸罐（520），所述渣浆排放管道（510）与所述闪蒸罐（520）的进口相连，所述闪蒸罐（520）的气相出口与所述清液罐（100）的进口相连。

5.根据权利要求4所述的一种渣浆中氯硅烷和高沸高效分离系统，其特征在于，还包括过滤器（530），所述渣浆排放管道（510）还与所述过滤器（530）的进口相连，所述过滤器（530）的气液出口与所述清液罐（100）的进口相连。

6.根据权利要求4所述的一种渣浆中氯硅烷和高沸高效分离系统，其特征在于，所述闪蒸罐（520）具有第二加热夹套，所述第二加热夹套具有第二蒸汽进口和第二蒸汽出口，所述第一蒸汽出口（230）与所述第二蒸汽进口相连。

7.根据权利要求1所述的一种渣浆中氯硅烷和高沸高效分离系统，其特征在于，所述凝液釜（400）底部的沉淀出口与所述冷却沉淀釜（300）的进口或所述蒸馏釜（200）的进口相连。

8.根据权利要求1所述的一种渣浆中氯硅烷和高沸高效分离系统，其特征在于，还包括洗涤过滤装置（540），所述冷却沉淀釜（300）底部的高沸出口与所述洗涤过滤装置（540）的进口相连，所述洗涤过滤装置（540）的过滤出口与所述清液罐（100）的进口相连，所述洗涤过滤装置（540）的排污出口与所述高沸处理系统相连。