CN219693840U - 一种用于晶圆脱水设备的内胆支架 - Google Patents

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Abstract

本实用新型提供了一种用于晶圆脱水设备的内胆支架，包括：内胆桶，由底面和侧表面围成，所述底面设置有若干通孔；所述内胆桶中设置有和所述底面平行并且连接于所述侧表面的第一横杆和第二横杆；两根平行于所述底面并且垂直于所述第一横杆的第三横杆；两根平行于所述底面并且垂直于所述第二横杆的第四横杆；垂直于所述第一横杆和所述底面的第一竖杆；垂直于所述第二横杆和所述底面的第二竖杆；垂直于任一所述第三横杆和所述底面的第三竖杆；垂直于任一所述第四横杆和所述底面的第四竖杆。结构简单，成本低廉，该内胆支架可以适配于普通的脱水设备，只要将普通的脱水设备的内胆替换成该内胆支架即可实现晶圆片的脱水。

Description

一种用于晶圆脱水设备的内胆支架
技术领域
本实用新型涉及机械技术领域，尤其涉及一种用于晶圆脱水设备的内胆支架。
背景技术
在现有半导体技术中，晶圆片在抛光后需要进行清洗，清洗后一般晶圆表面会残留水。如果人工用手擦干，又容易残留指纹，并且费时费力，成本很高。现有的适用于晶圆片脱水的脱水设备十分稀缺，因而都十分昂贵。
因此，设计一种用于晶圆脱水机的内胆支架，结构简单，只要将普通的脱水机的内胆替换成该内胆支架即可实现晶圆片的脱水。
实用新型内容
本实用新型提供一种用于晶圆脱水设备的内胆支架，结构简单，成本低廉，该内胆支架可以适配于普通的脱水设备，只要将普通的脱水设备的内胆替换成该内胆支架即可实现晶圆片的脱水。
为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：一种用于晶圆脱水设备的内胆支架，包括：内胆桶，由底面和侧表面围成，所述底面设置有若干通孔；所述内胆桶中设置有和所述底面平行并且连接于所述侧表面的第一横杆和第二横杆；两根平行于所述底面并且垂直于所述第一横杆的第三横杆；两根平行于所述底面并且垂直于所述第二横杆的第四横杆；垂直于所述第一横杆和所述底面，并且连接所述底面和所述第一横杆的第一竖杆；垂直于所述第二横杆和所述底面，并且连接所述底面和所述第二横杆的第二竖杆；所述第一竖杆设置于所述第一横杆靠近所述第二横杆一侧，所述第二竖杆设置于所述第二横杆靠近所述第一横杆一侧；垂直于任一所述第三横杆和所述底面，并且连接所述底面和所述第三横杆的第三竖杆；垂直于任一所述第四横杆和所述底面，并且连接所述底面和所述第四横杆的第四竖杆。
进一步地，所述第三竖杆设置于两根所述第三横杆之间；所述第四竖杆设置于两根所述第四横杆之间。
进一步地，还包括相对设置的两对挂钩，所述挂钩设置于所述侧表面上，且位于所述第一横杆和所述第二横杆之间。
进一步地，所述内胆桶上设置有把手。
本实用新型的有益效果如下：
该内胆支架结构简单，成本低廉，该内胆支架可以适配于普通的脱水设备，只要将普通的脱水设备的内胆替换成该内胆支架即可实现晶圆片的脱水。
起到限位作用的竖杆可以灵活调整位置，以便根据实际需要随时调整，让放置的空间适用于待甩干的晶圆片。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本实用新型的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
图1是一种用于晶圆脱水设备的内胆支架的示意图。
图2是所述内胆支架的俯视图。
图3是图2所述内胆支架的内部侧视图。
图4是带有储物盒的一种用于晶圆脱水设备的内胆支架的示意图
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参照图1，一种用于晶圆脱水设备的内胆支架，包括：内胆桶100，由底面101和侧表面102围成，所述底面设置有若干通孔(图中未示出)；设置所述通孔，所述内胆桶100在甩的过程中，水滴可以从所述通孔漏到下方。请参考图1-图3，所述内胆桶100中设置有和所述底面101平行并且连接于所述侧表面102的第一横杆1031和第二横杆1032；两根平行于所述底面101并且垂直于所述第一横杆1031的第三横杆1033；两根平行于所述底面101并且垂直于所述第二横杆1032的第四横杆1034；垂直于所述第一横杆1031和所述底面101，并且连接所述底面101和所述第一横杆1031的第一竖杆1041；垂直于所述第二横杆1032和所述底面101，并且连接所述底面101和所述第二横杆1032的第二竖杆1042。所述第一竖杆1041设置于所述第一横杆1031靠近所述第二横杆1032一侧，所述第二竖杆1042设置于所述第二横杆1032靠近所述第一横杆1031一侧。垂直于任一所述第三横杆1033和所述底面101，并且连接所述底面101和所述第三横杆1033的第三竖杆1043；垂直于任一所述第四横杆1034和所述底面101，并且连接所述底面101和所述第四横杆1034的第四竖杆1044。
所述第三竖杆1043设置于两根所述第三横杆1033之间；所述第四竖杆1044设置于两根所述第四横杆1034之间。在本实用新型实施例中，所述第三竖杆1043是连接于上面一根所述第三横杆1033上，实际上也可以连接于另一所述第三横杆1033，本实用新型对此不做限制。同理，所述第四竖杆1044也可以连接于另一根所述第四横杆1034。
所述内胆支架还包括相对设置的两对挂钩105，所述挂钩设置于所述侧表面102上，且位于所述第一横杆1031和所述第二横杆1032之间。所述内胆桶上设置有把手106。
请参考图4，储物盒200放置于所述内胆桶100中，通过所述第一竖杆1041可以抵住所述储物盒200的侧沿，每对所述挂钩105用于固定所述储物盒200的底部。如此设置，可以更好地固定所述储物盒200。所述储物盒200内放置有待甩干的清洗过的晶圆片。同理，所述第二竖杆1042一侧也可以相对放置一所述储物盒200。同理，所述第三竖杆1043一侧也可以放置一所述储物盒200，所述第四竖杆1044一侧也可以放置一所述储物盒200。在实际使用过程中，所述第一横杆1031和所述第二横杆1032之间的距离可以根据实际情况设置，所述第一竖杆1041和所述第二竖杆1042的位置也可以根据实际情况调整，以便适用于储存不同尺寸的晶圆片的储物盒。例如，当储物盒是储存6寸晶圆片时，高度较小，如果此时该储物盒放置于所述第四竖杆1044和所述第三竖杆1043侧，那么此时述第一横杆1031和所述第二横杆1032之间的距离可以设置大一些，或者调整所述第三竖杆1043和所述第四竖杆1044的位置，以便使得放置的空间是合适放置6寸晶圆片的储物盒的。例如，当储物盒是储存8寸晶圆片时，高度较大，如果此时该储物盒放置于所述第一竖杆1041和所述第二竖杆1042侧，那么此时述第一竖杆1041和所述第二竖杆1042之间的距离可以设置小一些，这样后面放置储物盒的空间就比较大。
在其他实施例中，所述第一竖杆1041、所述第二竖杆1042、所述第三竖杆1043和所述第四竖杆1044并非固定于对应的横杆上。而是可以灵活移动的。具体地，以所述第三竖杆1043为例，可以通过螺栓和螺母连接于所述第三横杆1033上，所述第三横杆1033间隔设置带有螺纹的通孔，用于连接所述第三竖杆1043。同理，所述第四竖杆1044可以通过螺栓和螺母连接于所述第四横杆1034上，所述第四横杆1034间隔设置带有螺纹的通孔，用于连接所述第四竖杆1044。同理，所述第一竖杆1041可以通过螺栓和螺母连接于所述第一横杆1031上，所述第一横杆1031间隔设置带有螺纹的通孔，用于连接所述第一竖杆1041。同理，所述第二竖杆1042可以通过螺栓和螺母连接于所述第二横杆1032上，所述第二横杆1032间隔设置带有螺纹的通孔，用于连接所述第二竖杆1042。
综上，所述内胆支架结构简单，成本低廉，该内胆支架可以适配于普通的脱水设备，只要将普通的脱水设备的内胆替换或增加该内胆支架即可实现晶圆片的脱水。因此，无需再购买特定的晶圆脱水设备，也无需人工脱水，大大地降低了人力和财力。
显然，上述仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本实用新型不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本实用新型进行了较为详细的说明，但是本实用新型不仅仅限于以上实施例，在不脱离本实用新型构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本实用新型的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (4)

1.一种用于晶圆脱水设备的内胆支架，其特征在于，包括：
内胆桶，由底面和侧表面围成，所述底面设置有若干通孔；
所述内胆桶中设置有和所述底面平行并且连接于所述侧表面的第一横杆和第二横杆；
两根平行于所述底面并且垂直于所述第一横杆的第三横杆；
两根平行于所述底面并且垂直于所述第二横杆的第四横杆；
垂直于所述第一横杆和所述底面，并且连接所述底面和所述第一横杆的第一竖杆；
垂直于所述第二横杆和所述底面，并且连接所述底面和所述第二横杆的第二竖杆；
所述第一竖杆设置于所述第一横杆靠近所述第二横杆一侧，所述第二竖杆设置于所述第二横杆靠近所述第一横杆一侧；
垂直于任一所述第三横杆和所述底面，并且连接所述底面和所述第三横杆的第三竖杆；
垂直于任一所述第四横杆和所述底面，并且连接所述底面和所述第四横杆的第四竖杆。
2.根据权利要求1所述的内胆支架，其特征在于，所述第三竖杆设置于两根所述第三横杆之间；所述第四竖杆设置于两根所述第四横杆之间。
3.根据权利要求1所述的内胆支架，其特征在于，还包括相对设置的两对挂钩，所述挂钩设置于所述侧表面上，且位于所述第一横杆和所述第二横杆之间。
4.根据权利要求3所述的内胆支架，其特征在于，所述内胆桶上设置有把手。
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