CN219689935U - 一种单晶硅棒拉直用夹持机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种单晶硅棒拉直用夹持机构，包括支撑板，所述抽拉滑块下端开设有移动滑槽，且移动滑槽内壁插合安装有移动滑块，所述移动滑块两侧固定连接有丝杆滑块，其丝杆滑块内壁插合安装有丝杆，且丝杆一端与抽拉滑块插合旋转连接，所述丝杆滑块与丝杆滑槽插合安装，且丝杆滑槽开设于移动滑槽内壁侧面。该单晶硅棒拉直用夹持机构的保护杆可以通过抽拉滑块、抽拉滑槽、丝杆滑块、滑珠和丝杆滑槽进行拉伸和收缩调节，可以进行大范围的调节夹持效果，而且可以通过导热夹块进行夹持的同时进行导入，并且通过导液管和冷却槽进行高效冷却处理，而且导热夹块可以通过拼接插槽和拼接插块进行快速插合拆装更换，使用更方便。

Description

一种单晶硅棒拉直用夹持机构

技术领域：

本实用新型涉及单晶硅棒技术领域，具体为一种单晶硅棒拉直用夹持机构。

背景技术：

单晶硅棒是通过区熔或直拉工艺在炉膛中整形或提拉形成的硅单晶体棒。

在硅制造技术领域，其所采用悬浮区熔法中的线圈主要为区熔法，其是利用铜线圈将多晶硅圆棒的料局部融化后进行拉制的，区熔法为将一多晶硅生产通过环带状加热器，以产生局部融化现象，再控制凝固过程而生长单晶棒，在生长单晶时，使圆柱形硅棒固定于垂直方向旋转，并用高频感应线圈在氩气的气氛中加热，使棒的底部和在其下部靠近的同轴固定的单晶籽晶间形成熔滴，这两个棒朝方向旋转，然后将在多晶棒与籽晶间仅靠表面张力形成的熔区并沿棒长逐步向上移动，进而可将其转换成单晶；因此，在单晶硅的生产制备中对其硅棒的固定和夹持对成品的生产起到着重要的作用。

现有CN205934116U拉制单晶硅生产用的硅棒夹持固定装置结构设计新颖、易于实现，在应用中首先能够对硅棒进行有效的夹持固定，其次，本设计的筒状陶瓷体在应用中可以避免硅棒将大量的热传递给筒状本体，以降低其易损概率、提高其使用寿命。但是存在不足，该装置的夹持效果不佳，不能加大范围的调整夹持效果，并且其在散热的处理上只是通过散热孔，效果不佳使用不方便，从而需要一种单晶硅棒拉直用夹持机构解决上述问题。

实用新型内容：

本实用新型的目的在于提供一种单晶硅棒拉直用夹持机构，以解决上述背景技术中提到的拉制单晶硅生产用的硅棒夹持固定装置夹持效果不佳，不能加大范围的调整夹持效果，并且其在散热的处理上只是通过散热孔，效果不佳使用不方便的问题。

本实用新型由如下技术方案实施：一种单晶硅棒拉直用夹持机构，包括支撑板，所述支撑板上端安装有液压缸，且支撑板下端安装有夹板，所述支撑板上端安装有延伸安装块，且延伸安装块中间边缘开设有旋转槽，所述旋转槽内壁插合安装有旋转块，其旋转块之间固定连接有旋转环，且旋转环内壁插合安装有导液管，所述延伸安装块上端边缘固定连接有螺旋安装块，其螺旋安装块与螺旋安装槽插合安装，且螺旋安装槽开设于液压缸下端，所述导液管一端连通安装有冷却槽，且冷却槽与夹板镶嵌安装，所述夹板内壁开设有拼接插槽，其拼接插槽内壁插合安装有拼接插块，且拼接插块一侧固定连接有导热夹块，所述支撑板侧面开设有抽拉滑槽，且抽拉滑槽内壁插合安装有抽拉滑块，所述支撑板上端边缘插合安装有锁紧旋钮，所述抽拉滑块下端开设有移动滑槽，且移动滑槽内壁插合安装有移动滑块，所述移动滑块两侧固定连接有丝杆滑块，其丝杆滑块内壁插合安装有丝杆，且丝杆一端与抽拉滑块插合旋转连接，所述丝杆滑块与丝杆滑槽插合安装，且丝杆滑槽开设于移动滑槽内壁侧面，所述丝杆滑槽内壁镶嵌安装有滑珠。

优选的，所述支撑板通过螺旋安装块在螺旋安装槽内与液压缸呈螺旋固定安装，且支撑板通过旋转块在旋转槽内与延伸安装块呈滑动旋转连接。

优选的，所述夹板于支撑板下端呈四组环形位置分布，且夹板通过丝杆在丝杆滑块上于丝杆滑槽内与抽拉滑块呈丝杆滑动移动。

优选的，所述夹板通过抽拉滑块在抽拉滑槽内与支撑板呈滑动抽拉连接，且抽拉滑块通过锁紧旋钮与抽拉滑槽呈锁紧固定连接。

优选的，所述冷却槽通过导液管呈循环连通连接，且导液管通过穿插孔槽与旋转环呈穿插安装，所述旋转环与延伸安装块呈独立旋转连接。

优选的，所述导热夹块的形状与夹板的形状相匹配，且导热夹块与冷却槽贴合位置分布，所述导热夹块通过拼接插块在拼接插槽内与夹板呈插合拼接安装。

本实用新型的优点：该单晶硅棒拉直用夹持机构的保护杆可以通过抽拉滑块、抽拉滑槽、丝杆滑块、滑珠和丝杆滑槽进行拉伸和收缩调节，可以进行大范围的调节夹持效果，而且可以通过导热夹块进行夹持的同时进行导入，并且通过导液管和冷却槽进行高效冷却处理，而且导热夹块可以通过拼接插槽和拼接插块进行快速插合拆装更换，使用更方便。

附图说明：

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型一种单晶硅棒拉直用夹持机构正视结构示意图；

图2为本实用新型一种单晶硅棒拉直用夹持机构剖面结构示意图；

图3为本实用新型一种单晶硅棒拉直用夹持机构图2中A处放大图；

图4为本实用新型一种单晶硅棒拉直用夹持机构图2中B处放大图；

图5为本实用新型一种单晶硅棒拉直用夹持机构图2中C处放大图；

图6为本实用新型一种单晶硅棒拉直用夹持机构图2中D处放大图；

图7为本实用新型一种单晶硅棒拉直用夹持机构图2中E处放大图。

图中：1、支撑板，2、夹板，3、液压缸，4、抽拉滑块，5、冷却槽，6、导液管，7、移动滑块，8、旋转环，9、穿插孔槽，10、螺旋安装块，11、螺旋安装槽，12、延伸安装块，13、旋转槽，14、旋转块，15、锁紧旋钮，16、抽拉滑槽，17、拼接插槽，18、拼接插块，19、导热夹块，20、移动滑槽，21、丝杆滑块，22、滑珠，23、丝杆滑槽，24、丝杆。

具体实施方式：

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-7，本实用新型提供一种技术方案：一种单晶硅棒拉直用夹持机构，包括支撑板 1、夹板 2、液压缸 3、抽拉滑块 4、冷却槽 5、导液管 6、移动滑块 7、旋转环 8、穿插孔槽 9、螺旋安装块10、螺旋安装槽 11、延伸安装块 12、旋转槽 13、旋转块 14、锁紧旋钮15、抽拉滑槽 16、拼接插槽 17、拼接插块 18、导热夹块 19、移动滑槽 20、丝杆滑块21、滑珠 22、丝杆滑槽23和丝杆24，支撑板1上端安装有液压缸3，且支撑板1下端安装有夹板2，支撑板1通过螺旋安装块10在螺旋安装槽11内与液压缸3呈螺旋固定安装，且支撑板1通过旋转块14在旋转槽13内与延伸安装块12呈滑动旋转连接，这样使得支撑板1方便与液压缸3进行快速螺旋拆装，并且方便进行旋转调节。

进一步的，夹板2于支撑板1下端呈四组环形位置分布，且夹板2通过丝杆24在丝杆滑块21上于丝杆滑槽23内与抽拉滑块4呈丝杆滑动移动，这样使得夹板2可以通过丝杆24进行高效的锁紧调节，夹持更稳定，夹板2通过抽拉滑块4在抽拉滑槽16内与支撑板1呈滑动抽拉连接，且抽拉滑块4通过锁紧旋钮15与抽拉滑槽16呈锁紧固定连接，这样使得夹板2方便进行向外拉伸，方便进行调节夹持范围。

进一步的，支撑板1上端安装有延伸安装块12，且延伸安装块12中间边缘开设有旋转槽13，旋转槽13内壁插合安装有旋转块14，其旋转块14之间固定连接有旋转环8，且旋转环8内壁插合安装有导液管 6，延伸安装块12上端边缘固定连接有螺旋安装块 10，其螺旋安装块10与螺旋安装槽11插合安装，且螺旋安装槽11开设于液压缸3下端，导液管6一端连通安装有冷却槽5，且冷却槽5与夹板2镶嵌安装，冷却槽5通过导液管6呈循环连通连接，且导液管6通过穿插孔槽9与旋转环8呈穿插安装，旋转环8与延伸安装块12呈独立旋转连接，这样使得冷却槽5方便进行循环导液，方便进行持续制冷处理。

进一步的，夹板2内壁开设有拼接插槽17，其拼接插槽17内壁插合安装有拼接插块18，且拼接插块18一侧固定连接有导热夹块19，导热夹块19的形状与夹板2的形状相匹配，且导热夹块19与冷却槽5贴合位置分布，导热夹块19通过拼接插块18在拼接插槽17内与夹板2呈插合拼接安装，这样使得导热夹块19方便与冷却槽5贴合冷却处理，并且方便进行插合拼接拆装，方便更换使用。

进一步的，支撑板1侧面开设有抽拉滑槽16，且抽拉滑槽16内壁插合安装有抽拉滑块4，支撑板1上端边缘插合安装有锁紧旋钮15，抽拉滑块4下端开设有移动滑槽20，且移动滑槽20内壁插合安装有移动滑块 7，移动滑块7两侧固定连接有丝杆滑块 21，其丝杆滑块21内壁插合安装有丝杆24，且丝杆24一端与抽拉滑块4插合旋转连接，丝杆滑块21与丝杆滑槽23插合安装，且丝杆滑槽23开设于移动滑槽20内壁侧面，丝杆滑槽23内壁镶嵌安装有滑珠22。

工作原理：在使用该单晶硅棒拉直用夹持机构时，首先将支撑板1通过螺旋安装块10和螺旋安装槽11与液压缸3螺旋固定安装，接着将夹板2通过抽拉滑块 4、抽拉滑槽 16、移动滑块 7、移动滑槽20、丝杆滑块 21、滑珠 22、丝杆滑槽23和丝杆24进行拉伸和收缩调节，方便进行紧密夹持安装，然后通过液压缸3进行拉制，而在夹持过程中，可以通过导液管6将冷却液循环导入到冷却槽5中，从而将导热夹块19导入的入料进行冷却处理，而当需要导热夹块19更换时，可以通过拼接插槽17和拼接插块18进行快速拆装处理，这就是该单晶硅棒拉直用夹持机构的使用过程。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种单晶硅棒拉直用夹持机构，包括支撑板(1)，所述支撑板(1)上端安装有液压缸(3)，且支撑板(1)下端安装有夹板(2)，其特征在于：所述支撑板(1)上端安装有延伸安装块(12)，且延伸安装块(12)中间边缘开设有旋转槽(13)，所述旋转槽(13)内壁插合安装有旋转块(14)，其旋转块(14)之间固定连接有旋转环(8)，且旋转环(8)内壁插合安装有导液管(6)，所述延伸安装块(12)上端边缘固定连接有螺旋安装块(10)，其螺旋安装块(10)与螺旋安装槽(11)插合安装，且螺旋安装槽(11)开设于液压缸(3)下端，所述导液管(6)一端连通安装有冷却槽(5)，且冷却槽(5)与夹板(2)镶嵌安装，所述夹板(2)内壁开设有拼接插槽(17)，其拼接插槽(17)内壁插合安装有拼接插块(18)，且拼接插块(18)一侧固定连接有导热夹块(19)，所述支撑板(1)侧面开设有抽拉滑槽(16)，且抽拉滑槽(16)内壁插合安装有抽拉滑块(4)，所述支撑板(1)上端边缘插合安装有锁紧旋钮(15)，所述抽拉滑块(4)下端开设有移动滑槽(20)，且移动滑槽(20)内壁插合安装有移动滑块(7)，所述移动滑块(7)两侧固定连接有丝杆滑块(21)，其丝杆滑块(21)内壁插合安装有丝杆(24)，且丝杆(24)一端与抽拉滑块(4)插合旋转连接，所述丝杆滑块(21)与丝杆滑槽(23)插合安装，且丝杆滑槽(23)开设于移动滑槽(20)内壁侧面，所述丝杆滑槽(23)内壁镶嵌安装有滑珠(22)。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒拉直用夹持机构，其特征在于：所述支撑板(1)通过螺旋安装块(10)在螺旋安装槽(11)内与液压缸(3)呈螺旋固定安装，且支撑板(1)通过旋转块(14)在旋转槽(13)内与延伸安装块(12)呈滑动旋转连接。

3.根据权利要求2所述的一种单晶硅棒拉直用夹持机构，其特征在于：所述夹板(2)于支撑板(1)下端呈四组环形位置分布，且夹板(2)通过丝杆(24)在丝杆滑块(21)上于丝杆滑槽(23)内与抽拉滑块(4)呈丝杆滑动移动。

4.根据权利要求3所述的一种单晶硅棒拉直用夹持机构，其特征在于：所述夹板(2)通过抽拉滑块(4)在抽拉滑槽(16)内与支撑板(1)呈滑动抽拉连接，且抽拉滑块(4)通过锁紧旋钮(15)与抽拉滑槽(16)呈锁紧固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种单晶硅棒拉直用夹持机构，其特征在于：所述冷却槽(5)通过导液管(6)呈循环连通连接，且导液管(6)通过穿插孔槽(9)与旋转环(8)呈穿插安装，所述旋转环(8)与延伸安装块(12)呈独立旋转连接。

6.根据权利要求5所述的一种单晶硅棒拉直用夹持机构，其特征在于：所述导热夹块(19)的形状与夹板(2)的形状相匹配，且导热夹块(19)与冷却槽(5)贴合位置分布，所述导热夹块(19)通过拼接插块(18)在拼接插槽(17)内与夹板(2)呈插合拼接安装。