CN219670714U - 一种基于多晶硅模具用退火装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种基于多晶硅模具用退火装置，包括固定箱，所述固定箱顶端的中间位置固定连接有下模，所述下模的顶部开设有注塑腔，所述固定箱内部的中间位置固定连接有隔板，所述固定箱内部位于隔板的下方固定连接有储水箱，所述固定箱内部底壁靠近储水箱的一端固定安装有水泵，所述水泵的输出端与输入端均固定连接有输水管，所述输水管的一端与储水箱的内部相连通，所述输水管的另一端与隔板的上方相连通。本实用新型可通过水泵、进水管、储水箱、输水管与散热杆之间的相互配合，实现对模具的水冷，且通过输水管、回收箱与连接管之间的相互配合，实现水的循环冷却，并配合风机的作用下，进一步提升模具的退火降温效果。

Description

一种基于多晶硅模具用退火装置

技术领域

本实用新型涉及多晶硅制备技术领域，具体为一种基于多晶硅模具用退火装置。

背景技术

晶硅，是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。

多晶硅生产可通过模具，通过模具的上模和下模闭合，实现对多晶硅的注塑成型，在多晶硅模具生产多晶硅的时候，因为多晶硅的生产需要进行退火降温，实现凝固。

根据现有技术中的相关内容，申请人认为多晶硅模具在完成注塑后，往往需要对模具自身进行退火降温，通常是通过水冷的方式对多晶硅模具进行退火降温，多晶硅模具的成型效率部分取决于模具散热的效率，多晶硅模具散热效率过低时，会降低注塑模具的工作效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种基于多晶硅模具用退火装置，以解决上述背景技术中提出多晶硅模具在完成注塑后，往往需要对模具自身进行退火降温，通常是通过水冷的方式对多晶硅模具进行退火降温，多晶硅模具的成型效率部分取决于模具散热的效率，多晶硅模具散热效率过低时，会降低注塑模具工作效率的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种基于多晶硅模具用退火装置，包括固定箱，所述固定箱顶端的中间位置固定连接有下模，所述下模的顶部开设有注塑腔，所述固定箱内部的中间位置固定连接有隔板，所述固定箱内部位于隔板的下方固定连接有储水箱，所述固定箱内部底壁靠近储水箱的一端固定安装有水泵，所述水泵的输出端与输入端均固定连接有输水管，所述输水管的一端与储水箱的内部相连通，所述输水管的另一端与隔板的上方相连通，通过多晶硅的铸锭过程中，实现对多晶硅模具的快速降温退火。

作为本实用新型的一种优选方案，所述固定箱内部靠近储水箱远离水泵的一端固定连接有回收箱，所述隔板底部的一端固定连接有回流管，所述回流管远离隔板底部的一端与回收箱的内部相连通，可实现对换热水的回流。

作为本实用新型的一种优选方案，所述固定箱外表面的顶部铰接有箱门，所述箱门的外侧壁固定连接有把手，可以对固定箱的内部进行电器检修。

作为本实用新型的一种优选方案，所述固定箱顶部的两端均固定连接有支撑柱，所述支撑柱的顶端固定连接有顶板，所述顶板底端的中间位置固定连接有两组气缸，所述气缸的执行末端固定连接有上模，所述上模内侧的中间位置设置有注塑通道，实现对熔融单质硅的注塑。

作为本实用新型的一种优选方案，所述回收箱与储水箱之间固定连接有连接管，所述连接管的外部固定安装有电磁阀，实现冷热水的循环使用。

作为本实用新型的一种优选方案，所述注塑腔的内部滑动设置有活塞板，所述活塞板与注塑腔的内侧壁完全贴合，所述活塞板的底端固定连接有散热杆，方便多晶硅铸锭的取出。

作为本实用新型的一种优选方案，所述支撑柱内侧壁位于下模的上方固定连接有延长杆，所述延长杆的底部开设有收纳槽，所述收纳槽的内部活动连接有活动杆，所述活动杆与延长杆的内侧均开设有螺纹孔，所述螺纹孔与外部螺栓相配合，所述活动杆的底端固定连接有风机，可实现对风机高度的调节，且可对快速对多晶硅模具进行退火降温。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

首先通过设置有水泵、进水管、储水箱、连接管、回收箱、回流管、隔板、输水管以及风机，能够在多晶硅模具需要进行退火降温的时候，可通过水泵、进水管、储水箱、输水管与散热杆之间的相互配合，实现对模具的水冷，且通过输水管、回收箱与连接管之间的相互配合，实现水的循环冷却，并配合风机的作用下，进一步提升模具的退火降温效果；其次通过设置的延长杆、收纳槽、活动杆以及螺纹孔的相互配合使用的情况下，实现对风机位置的调节，可提升对多晶硅模具的退火冷却效果；最后通过活塞板与散热杆之间的相互配合使用情况下，在冷水对多晶硅模具进行退火降温的同时，在水压的作用下，可实现对模具内部凝固的多晶硅进行顶出，便于取出。

附图说明

图1为本实用新型的正视剖视结构示意图；

图2为本实用新型的固定箱俯视结构示意图；

图3为本实用新型的延长杆剖视局部放大结构示意图；

图4为本实用新型的延长杆外部局部放大结构示意图；

图5为本实用新型的散热杆与活塞板连接立体结构示意图。

图中：1、固定箱；2、水泵；3、进水管；4、储水箱；5、连接管；6、回收箱；7、回流管；8、隔板；9、活塞板；10、气缸；11、上模；12、注塑腔；13、顶板；14、支撑柱；15、延长杆；16、下模；17、输水管；18、散热杆；19、箱门；20、把手；21、收纳槽；22、活动杆；23、螺纹孔；24、风机。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，本实用新型提供的一种实施例：一种基于多晶硅模具用退火装置，参阅图1和图2，包括固定箱1，固定箱1外表面的顶部铰接有箱门19，箱门19的外侧壁固定连接有把手20，可将固定箱1的内部打开和关闭。固定箱1顶端的中间位置固定连接有下模16，下模16的顶部开设有注塑腔12，固定箱1顶部的两端均固定连接有支撑柱14，支撑柱14的顶端固定连接有顶板13，顶板13底端的中间位置固定连接有两组气缸10，气缸10的执行末端固定连接有上模11，上模11内侧的中间位置设置有注塑通道，通过气缸10启动后伸缩端向下延伸可推动上模11向下移动，使得上模11与下模16产生闭合，然后将物料通过注塑通道注入注塑腔12的内部。

参阅图1、图3和图4，固定箱1内部的中间位置固定连接有隔板8，固定箱1内部位于隔板8的下方固定连接有储水箱4，固定箱1内部底壁靠近储水箱4的一端固定安装有水泵2，水泵2的输出端与输入端均固定连接有输水管17，输水管17的一端与储水箱4的内部相连通，输水管17的另一端与隔板8的上方相连通，在物料注入之后进行注塑，在多晶硅铸锭过程中长晶结束后，通过进水管3将冷水注入储水箱4的内部，再通过外接电源启动水泵2，通过输水管17将储水箱4内部的冷水抽取输送至隔板8的上方，实现对多晶硅的降温。固定箱1内部靠近储水箱4远离水泵2的一端固定连接有回收箱6，隔板8底部的一端固定连接有回流管7，回流管7远离隔板8底部的一端与回收箱6的内部相连通，经过一段时间之后，当多晶硅模具降温至一定温度时，将热气置换后的热水通过回流管7回流至回收箱6的内部，回收箱6与储水箱4之间固定连接有连接管5，连接管5的外部固定安装有电磁阀，换热水在回收箱6的内部冷却之后，将连接管5上面的电磁阀打开，可将水再流回至储水箱4的内部，实现水的循环使用。支撑柱14内侧壁位于下模16的上方固定连接有延长杆15，延长杆15的底部开设有收纳槽21，收纳槽21的内部活动连接有活动杆22，活动杆22与延长杆15的内侧均开设有螺纹孔23，螺纹孔23与外部螺栓相配合，活动杆22的底端固定连接有风机24，在多晶硅模具冷却至室温时，通过气缸10伸缩端的向上收缩可带动上模11向上移动，使得上模11与下模16相分离，然后通过接电启动风机24，风机24转动所产生的冷风可以快速流通的风力对多晶硅模具的降温冷却，完成对多晶硅模具的退火，活动杆22可在收纳槽21的内部向下滑动，可调整风机24的高度，并通过外部螺栓与螺纹孔23进行连接使用，实现对活动杆22的限位固定。

参阅图1和图5，注塑腔12的内部滑动设置有活塞板9，活塞板9与注塑腔12的内侧壁完全贴合，活塞板9的底端固定连接有散热杆18，活塞板9与注塑腔12的内侧壁完全贴合，在水压的作用下，散热杆18带动活塞板9会沿着注塑腔12向上移动，从而将多晶硅铸锭顶出，方便出料。

工作原理：在多晶硅模具需要进行退火降温的时候，通过气缸10启动后伸缩端向下延伸可推动上模11向下移动，使得上模11与下模16产生闭合，然后将物料通过注塑通道注入注塑腔12的内部，在物料注入之后进行注塑，在多晶硅铸锭过程中长晶结束后，通过进水管3将冷水注入储水箱4的内部，再通过外接电源启动水泵2，通过输水管17将储水箱4内部的冷水抽取输送至隔板8的上方，实现对多晶硅的降温，经过一段时间之后，当多晶硅模具降温至一定温度时，将热气置换后的热水通过回流管7回流至回收箱6的内部，换热水在回收箱6的内部冷却之后，将连接管5上面的电磁阀打开，可将水再流回至储水箱4的内部，实现水的循环使用，在多晶硅模具冷却至室温时，通过气缸10伸缩端的向上收缩可带动上模11向上移动，使得上模11与下模16相分离，然后通过接电启动风机24，风机24转动所产生的冷风可以快速流通的风力对多晶硅模具的降温冷却，完成对多晶硅模具的退火，活动杆22可在收纳槽21的内部向下滑动，可调整风机24的高度，并通过外部螺栓与螺纹孔23进行连接使用，实现对活动杆22的限位固定，活塞板9与注塑腔12的内侧壁完全贴合，在水压的作用下，散热杆18带动活塞板9会沿着注塑腔12向上移动，从而将多晶硅铸锭顶出，方便出料。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (5)

1.一种基于多晶硅模具用退火装置，包括固定箱(1)，其特征在于：所述固定箱(1)顶端的中间位置固定连接有下模(16)，所述下模(16)的顶部开设有注塑腔(12)，所述固定箱(1)内部的中间位置固定连接有隔板(8)，所述固定箱(1)内部位于隔板(8)的下方固定连接有储水箱(4)，所述固定箱(1)内部底壁靠近储水箱(4)的一端固定安装有水泵(2)，所述水泵(2)的输出端与输入端均固定连接有输水管(17)，所述输水管(17)的一端与储水箱(4)的内部相连通，所述输水管(17)的另一端与隔板(8)的上方相连通；

所述固定箱(1)顶部的两端均固定连接有支撑柱(14)，所述支撑柱(14)的顶端固定连接有顶板(13)，所述顶板(13)底端的中间位置固定连接有两组气缸(10)，所述气缸(10)的执行末端固定连接有上模(11)，所述上模(11)内侧的中间位置设置有注塑通道；所述支撑柱(14)内侧壁位于下模(16)的上方固定连接有延长杆(15)，所述延长杆(15)的底部开设有收纳槽(21)，所述收纳槽(21)的内部活动连接有活动杆(22)，所述活动杆(22)与延长杆(15)的内侧均开设有螺纹孔(23)，所述螺纹孔(23)与外部螺栓相配合，所述活动杆(22)的底端固定连接有风机(24)。

2.根据权利要求1所述的一种基于多晶硅模具用退火装置，其特征在于：所述固定箱(1)内部靠近储水箱(4)远离水泵(2)的一端固定连接有回收箱(6)，所述隔板(8)底部的一端固定连接有回流管(7)，所述回流管(7)远离隔板(8)底部的一端与回收箱(6)的内部相连通。

3.根据权利要求1所述的一种基于多晶硅模具用退火装置，其特征在于：所述固定箱(1)外表面的顶部铰接有箱门(19)，所述箱门(19)的外侧壁固定连接有把手(20)。

4.根据权利要求2所述的一种基于多晶硅模具用退火装置，其特征在于：所述回收箱(6)与储水箱(4)之间固定连接有连接管(5)，所述连接管(5)的外部固定安装有电磁阀。

5.根据权利要求1所述的一种基于多晶硅模具用退火装置，其特征在于：所述注塑腔(12)的内部滑动设置有活塞板(9)，所述活塞板(9)与注塑腔(12)的内侧壁完全贴合，所述活塞板(9)的底端固定连接有散热杆(18)。