CN219663201U - 一种沉积炉粉尘过滤装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种沉积炉粉尘过滤装置，包括过滤罐罐体和滤芯；所述过滤罐罐体一端开口，另一端闭合，开口处采用过滤罐端盖进行密封；所述滤芯可更换地安装在过滤罐罐体内；所述过滤罐罐体上设有主进气口、副进气口和排气口；所述主进气口、副进气口靠近过滤罐罐体的开口端设置，并与滤芯内部形成气体流通通道；所述排气口靠近过滤罐罐体的闭合端设置，经滤芯过滤除尘后的气体从排气口向外排出。该装置主要应用于沉积炉尾气的过滤，该装置具有双入口进气功能，根据炉压进行双进气口切换，能够保证在不同压力大，抽气量均匀，从而保证了设备的稳定性。

Description

一种沉积炉粉尘过滤装置

技术领域

本实用新型涉及无机非金属材料制备装备领域，特别是一种适用沉积炉设备粉尘过滤装置。

背景技术

化学气相沉积炉由沉积室、供气系统和排气系统组成，是以电阻加热或者感应加热的方式，在真空环境下，通入沉积气体，并在高温下产生裂解后沉积到工件上，使复合材料得到致密化处理的生产设备。沉积气体在高温下裂解后，除了会沉积到工件上，还有一部分会随着气流被真空泵抽出炉体，裂解后的物质由于其硬度较高，在进入泵体后，会对真空泵的螺杆造成磨损，减少真空泵的使用寿命。现有过滤器通常为单进气、立式过滤器，抽气时间长，检修不方便，且运行过程中无法随时感知过滤器的堵塞情况，使用过程中有诸多不便。

实用新型内容

实用新型目的：本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种新型沉积炉粉尘过滤装置，以保证沉积炉的稳定运行。

为了实现上述目的，本实用新型采取的技术方案如下：

一种沉积炉粉尘过滤装置，包括过滤罐罐体和滤芯；所述过滤罐罐体配置成具有开口端和闭合端，所述开口端设有过滤罐端盖；所述滤芯可更换地安装在过滤罐罐体内；所述过滤罐罐体上设有主进气口、副进气口和排气口；所述主进气口、副进气口靠近过滤罐罐体的开口端设置，并与滤芯内部形成气体流通通道；所述排气口靠近过滤罐罐体的闭合端设置，经滤芯过滤除尘后的气体从排气口向外排出。

进一步地，本装置还包括滤芯前测压点和滤芯后测压点；所述滤芯前测压点设置在主进气口处，所述滤芯后测压点设置在靠近排气口处，两个测压点之间安装有用于显示两个测压点间压力差的压差表。

具体地，所述过滤罐端盖通过一组圆柱销铰接在过滤罐罐体的的开口端；所述开口端环状布设手动夹钳。

进一步地，所述的手动夹钳为六个，依次环向设置在过滤罐罐体开口端，当过滤罐端盖盖合在过滤罐罐体端部开口时，通过所述的手动夹钳进行固定，实现过滤罐罐体端部开口的密封。

具体地，所述的滤芯由不锈钢网架、连接法兰和玻璃纤维滤网组成；所述连接法兰位于不锈钢网架的端部；所述玻璃纤维滤网覆盖在所述不锈钢网架并形成壁面；所述滤芯通过所述连接法兰安装在过滤罐罐体内部。

进一步地，所述的不锈钢网架一端开口，另一端闭合；所述连接法兰位于不锈钢网架的端部开口处。

具体地，所述的主进气口采用管道法兰与沉积炉连接；所述的排气口采用管道法兰与后端设备连接。

具体地，所述的副进气口采用真空接头与沉积炉连接。

具体地，所述的滤芯前测压点和滤芯后测压点采用真空接头与压差表连接。

进一步地，本装置还包括过滤罐支架，所述过滤罐支架具有一组能够上下调节高度的支撑腿；所述过滤罐罐体通过螺栓固定在过滤罐支架上。

有益效果：

本实用新型装置主要应用于沉积炉尾气的过滤，该装置具有双入口进气功能，根据炉压进行双进气口切换，能够保证在不同压力大，抽气量均匀，从而保证了设备的稳定性。同时，该装置且能够检测滤芯前后压差，及时了解滤芯堵塞情况，过滤器为卧式结构，滤芯拆装安全方便，极大的方便了员工的操作，稳定装置的运行。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型做更进一步的具体说明，本实用新型的上述和/或其他方面的优点将会变得更加清楚。

图1是该沉积炉粉尘过滤装置的整体结构示意图。

图2是该沉积炉粉尘过滤装置内部滤芯的结构示意图。

其中，各附图标记分别代表：

1-过滤罐罐体；1.1-主进气口；1.2-副进气口；1.3-排气口；1.4-滤芯前测压点；1.5-滤芯后测压点；1.6-过滤罐端盖；1.7-手动夹钳；1.8-圆柱销；

2-过滤罐支架；2.1-支撑腿；

3-滤芯；3.1-不锈钢网架；3.2-连接法兰；3.3-玻璃纤维滤网。

具体实施方式

根据下述实施例，可以更好地理解本实用新型。

说明书附图所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容所能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“前”、“后”、“中间”等用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。

如图1所示，该沉积炉粉尘过滤装置包括过滤罐罐体1、过滤罐支架2以及滤芯3。过滤罐罐体1通过螺栓固定在过滤罐支架2上。滤芯3可更换地安装在过滤罐罐体1内。

其中，过滤罐罐体1为该装置的核心部分，过滤罐罐体1一端开口，另一端闭合，开口处采用过滤罐端盖1.6进行密封；所述过滤罐罐体1上设有主进气口1.1、副进气口1.2和排气口1.3；所述主进气口1.1、副进气口1.2靠近过滤罐罐体1的开口端设置，并与滤芯3内部形成气体流通通道；所述排气口1.3靠近过滤罐罐体1的闭合端设置，经滤芯3过滤除尘后的气体从排气口1.3向外排出。真空炉的排气管线连接至过滤罐主进气口1.1和副进气口1.2。由于真空炉室内初始为常压，为避免因压差过大导致抽气量和抽气速度过大，初始抽真空时，关闭主进气口1.1，打开副进气口1.2，以小口径大流速方式抽真空，待抽至500mbar时，关闭副进气口1.2，打开主进气口1.1，以大口径小流速继续抽真空。根据炉压进行双进气口切换，能够保证在不同压力大，抽气量均匀，从而保证了设备的稳定性。

同时，为了方便监测罐内压力，本装置还设置了滤芯前测压点1.4和滤芯后测压点1.5；滤芯前测压点1.4设置在主进气口1.1处，滤芯后测压点1.5设置在靠近排气口1.3处，两个测压点之间安装有用于显示两个测压点间压力差的压差表。

滤罐端盖1.6通过一组圆柱销1.8铰接在过滤罐罐体1的端部开口处。同时，在过滤罐罐体1的端部开口环状布设一组手动夹钳1.7，当过滤罐端盖1.6盖合在过滤罐罐体1端部开口时，通过手动夹钳1.7进行固定，实现过滤罐罐体1端部开口的密封。

过滤罐支架2为罐体的支撑部分，支架下部有四个调节支撑腿2.1，通过调整调节支腿的高度，进而调整过滤罐的整体高度和水平度。过滤罐罐体1和过滤罐支架2通过螺栓固定在一起。

如图2所示，滤芯3由不锈钢网架3.1、连接法兰3.2和玻璃纤维滤网3.3组成；不锈钢网架3.1一端开口，另一端闭合；所述连接法兰3.2位于不锈钢网架3.1的端部开口处；所述玻璃纤维滤网3.3填充于不锈钢网架3.1并形成壁面；连接法兰3.2通过六角螺栓安装在过滤罐罐体1内部。带有粉尘的气体由连接法兰3.2处的进入到滤芯3内部，气体穿过滤网后，粉尘被阻隔住，从而起到气体过滤作用。

本实施例中，过滤罐罐体1直径为508mm，长度为1340mm，过滤罐罐体1上端主进气口1.1尺寸为DN200法兰连接，副进气口1.2尺寸为KF50快速真空接头连接。过滤罐排气口1.3为DN80法兰连接，过滤罐前后端测压口为KF16快速真空接头连接，过滤罐端盖1.6直径550mm，盖上有6个快速手动夹钳1.7，用于将盖夹紧密封住。过滤罐支架2尺寸为长*宽*高1180*925*1850mm，通过调整调节支腿，能够调节过滤罐的整体高度和水平度。滤芯3外部直径为380mm，内部直径为280mm，长度为915mm，连接法兰3.2直径为460mm，滤芯框架部分材质为不锈钢，滤网材质为玻璃纤维，过滤精度为1微米。

使用时，打开手动夹钳1.7，过滤罐端盖1.6能够以圆柱销1.8为中心旋转至完全打开，将滤芯3装入过滤罐内，通过螺栓将连接法兰3.2固定在过滤罐内，关上过滤罐盖，夹紧夹钳，滤芯安装完毕。排气口1.3连接螺杆式真空泵，主进气口1.1和副进气口1.2分别连接至炉体，前后测压点之间安装压差表，用于显示两个测压点的压力差，进而推算出滤芯的堵塞程度。装炉后，启动真空泵，关闭主进气口，打开副进气口，以小口径大流速方式抽真空，待抽至500mbar时，关闭副进气口，打开主进气口，以大口径小流速继续抽真空。当压差过大，超过150mbar时，则判断为滤芯有堵塞现象，需要清理滤芯，此时，关闭主进气口、副进气口、排气口。打开过滤罐盖，抽出滤芯进行清理。清理回装后，装置继续运行。

本实用新型提供了一种沉积炉粉尘过滤装置的思路及方法，具体实现该技术方案的方法和途径很多，以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。本实施例中未明确的各组成部分均可用现有技术加以实现。

Claims (10)

1.一种沉积炉粉尘过滤装置，其特征在于，包括过滤罐罐体(1)和滤芯(3)；所述过滤罐罐体(1)配置成具有开口端和闭合端，所述开口端设有过滤罐端盖(1.6)；所述滤芯(3)可更换地安装在过滤罐罐体(1)内；所述过滤罐罐体(1)上设有主进气口(1.1)、副进气口(1.2)和排气口(1.3)；所述主进气口(1.1)、副进气口(1.2)靠近过滤罐罐体(1)的开口端设置，所述排气口(1.3)靠近过滤罐罐体(1)的闭合端设置。

2.根据权利要求1所述的沉积炉粉尘过滤装置，其特征在于，还包括滤芯前测压点(1.4)和滤芯后测压点(1.5)；所述滤芯前测压点(1.4)设置在主进气口(1.1)处，所述滤芯后测压点(1.5)设置在靠近排气口(1.3)处，两个测压点之间安装有压差表。

3.根据权利要求1所述的沉积炉粉尘过滤装置，其特征在于，所述过滤罐端盖(1.6)通过圆柱销(1.8)铰接在滤罐罐体(1)的开口端；所述开口端环状布设手动夹钳(1.7)。

4.根据权利要求1所述的沉积炉粉尘过滤装置，其特征在于，所述的滤芯(3)由不锈钢网架(3.1)、连接法兰(3.2)和玻璃纤维滤网(3.3)组成；所述连接法兰(3.2)位于不锈钢网架(3.1)的端部；所述玻璃纤维滤网(3.3)覆盖在所述不锈钢网架(3.1)并形成壁面；所述滤芯(3)通过所述连接法兰(3.2)安装在过滤罐罐体(1)内部。

5.根据权利要求1所述的沉积炉粉尘过滤装置，其特征在于，所述的主进气口(1.1)和排气口(1.3)设有管道法兰。

6.根据权利要求1所述的沉积炉粉尘过滤装置，其特征在于，所述副进气口(1.2)通过真空接头与沉积炉连接。

7.根据权利要求2所述的沉积炉粉尘过滤装置，其特征在于，所述的滤芯前测压点(1.4)和滤芯后测压点(1.5)采用真空接头与压差表连接。

8.根据权利要求1所述的沉积炉粉尘过滤装置，其特征在于，还包括过滤罐支架(2)，所述过滤罐支架(2)具有能够上下调节高度的支撑腿(2.1)；所述过滤罐罐体(1)通过螺栓固定在过滤罐支架(2)上。

9.根据权利要求3所述的沉积炉粉尘过滤装置，其特征在于，所述的手动夹钳为六个，依次环向设置在过滤罐罐体(1)开口端，当过滤罐端盖(1.6)盖合在过滤罐罐体(1)端部开口时，通过所述的手动夹钳(1.7)进行固定，实现过滤罐罐体(1)端部开口的密封。

10.根据权利要求4所述的沉积炉粉尘过滤装置，其特征在于，所述的不锈钢网架(3.1)一端开口，另一端闭合；所述连接法兰(3.2)位于不锈钢网架(3.1)的端部开口处。