CN219659684U - 谐振器、滤波器以及射频前端模组 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种谐振器、滤波器以及射频前端模组，谐振器包括压电基板以及叉指换能器，第一电极指包括第一连接部、第一中间部以及第一主体部，第二电极指包括第二连接部、第二中间部以及第二主体部，第一主体部和第二主体部沿声波的传播方向具有重叠区域，第一连接部连接于第一汇流条，第一中间部连接于第一连接部和第一主体部之间，且和第一汇流条之间形成第一开口，第二连接部连接于第二汇流条，第二中间部连接于第二连接部和第二主体部之间，且和第二汇流条之间形成第二开口，从而使得第一主体部的端部和第一汇流条之间以及第二主体部的端部和第二汇流条之间的电势分布更均匀，抑制了杂模，提升了Q值。

Description

谐振器、滤波器以及射频前端模组

技术领域

本申请涉及滤波器技术领域，具体涉及一种谐振器、滤波器以及射频前端模组。

背景技术

声表面波(Surface Acoustic Wave，SAW)谐振器是一种将电信号转换为声信号或将声信号转换为电信号的器件。SAW谐振器通常包括压电基板以及形成于压电基板上的叉指换能器(InterdigitalTransducer，IDT)，叉指换能器可用于将电信号转化为声信号或将声信号转化为电信号。

SAW谐振器在工作时产生的杂模会使谐振器性能恶化，通常可在叉指换能器工作区域的边缘增加活塞结构实现对横向杂模的抑制。

随着射频技术的发展，对谐振器的性能有了更高的要求，因此，如何进一步提高谐振器性能，尤其是抑制杂模并提高Q值已成为亟待解决的问题。

实用新型内容

本申请的目的在于提出一种谐振器、滤波器以及射频前端模组，以改善上述至少一项技术问题。本申请通过以下技术方案来实现上述目的。

第一方面，本申请实施方式提供了一种谐振器，谐振器包括压电基板以及叉指换能器，叉指换能器设置于压电基板上，叉指换能器包括相对设置于压电基板上的第一汇流条和第二汇流条，以及位于第一汇流条和第二汇流条之间的多个电极指对，多个电极指对中的至少一个电极指对包括交替间隔设置的第一电极指和第二电极指，第一电极指连接于第一汇流条，且和第二汇流条间隔，第二电极指连接于第二汇流条，且和第一汇流条间隔；第一电极指包括第一连接部、第一中间部以及第一主体部，第二电极指包括第二连接部、第二中间部以及第二主体部，第一主体部和第二主体部沿声波的传播方向具有重叠区域，第一连接部连接于第一汇流条，第一中间部连接于第一连接部和第一主体部之间，且和所述第二主体部的端部之间具有第一间隙，第一连接部和第一主体部沿声波的传播方向具有距离差，第一中间部和第一主体部呈夹角设置，第一汇流条、第一连接部以及第一中间部连接形成朝向背离第一连接部方向的第一开口；第二连接部连接于第二汇流条，第二中间部连接于第二连接部和第二主体部之间，且和所述第一主体部之间具有第二间隙，第二连接部和第二主体部沿声波的传播方向具有距离差，第二中间部和第二连接部呈夹角设置，第二汇流条、第二连接部以及第二中间部连接形成第二开口，第二开口和第一开口的朝向相反。

第二方面，本申请实施方式提供了一种谐振器，谐振器包括压电基板、叉指换能器以及介电层，叉指换能器设置于压电基板，介电层位于压电基板上且覆盖叉指换能器；叉指换能器包括相对设置于压电基板的第一汇流条和第二汇流条、多个第一电极指和多个第二电极指，第一电极指和第二电极指交替设置，第一电极指连接于第一汇流条，且和第二汇流条间隔，第二电极指连接于第二汇流条，且和第一汇流条间隔；第一电极指包括第一连接部、第一中间部以及第一主体部，第二电极指包括第二连接部、第二中间部以及第二主体部，第一主体部和第二主体部沿声波的传播方向具有重叠区域，第一连接部连接于第一汇流条，第一中间部连接于第一连接部和第一主体部之间，且和所述第二主体部的端部之间具有第一间隙，第一连接部和第一主体部沿声波的传播方向具有距离差，第一中间部和第一主体部呈夹角设置，第一汇流条、第一连接部以及第一中间部连接形成朝向声波传播方向的第一开口；第二连接部连接于第二汇流条，第二中间部连接于第二连接部和第二主体部之间，且和所述第一主体部之间具有第二间隙，第二连接部和第二主体部沿声波的传播方向具有距离差，第二中间部和第二连接部呈夹角设置，第二汇流条、第二连接部以及第二中间部连接形成第二开口，第二开口和第一开口的朝向相反。

第三方面，本申请实施方式提供了一种滤波器，滤波器包括上述任一实施方式中的谐振器。

第四方面，本申请实施方式提供了一种射频前端模组，射频前端模组包括上述实施方式中的滤波器。

本申请实施方式提供的谐振器、滤波器以及射频前端模组中，谐振器包括压电基板以及叉指换能器，叉指换能器设置于压电基板上。第一电极指包括第一连接部、第一中间部以及第一主体部，第二电极指包括第二连接部、第二中间部以及第二主体部，第一主体部和第二主体部沿声波的传播方向具有重叠区域，第一连接部连接于第一汇流条，第一中间部连接于第一连接部和第一主体部之间，且和所述第二主体部的端部之间具有第一间隙，第一连接部和第一主体部沿声波的传播方向具有距离差，第一中间部和第一主体部呈夹角设置，第一汇流条、第一连接部以及第一中间部连接形成朝向背离第一连接部方向的第一开口；第二连接部连接于第二汇流条，第二中间部连接于第二连接部和第二主体部之间，且和所述第一主体部之间具有第二间隙，第二连接部和第二主体部沿声波的传播方向具有距离差，第二中间部和第二连接部呈夹角设置，第二汇流条、第二连接部以及第二中间部连接形成与第一开口朝向相反的第二开口。在SAW谐振器中，通过改变电极指在主体部的端部和汇流条之间(间隙区)的形状，能够减小间隙区的电势差，减弱位于间隙区激励源的强度，从而抑制了激励源的二次激发，使得杂模能够得到充分抑制。此外，本申请实施方式提供的谐振器通过改变电极指的形状就能够抑制杂模，包括横向杂模，可以无需在重叠区域内设置活塞结构，从而可以避免活塞结构限制电极指的宽度或者相邻两个电极指之间的距离，进而可以避免谐振器的工作频段受到限制，在相同工艺条件下可以提高谐振器的频率或者在相同频率下能够减小谐振器的尺寸。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施方式中的技术方案，下面将对实施方式描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施方式，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1示出了本申请实施方式提供的谐振器的俯视结构示意图；

图2示出了本申请实施方式提供的谐振器的剖切结构示意图；

图3示出了图1的叉指换能器的结构示意图；

图4示出了图1的谐振器的声波的频率和导纳的曲线图；

图5示出了图1的谐振器的声波的频率和品质因数的曲线图；

图6示出了图1的叉指换能器的另一结构示意图；

图7示出了图1的叉指换能器的另一结构示意图；

图8示出了图1的叉指换能器的另一结构示意图；

图9示出了图1的叉指换能器的另一结构示意图；

图10示出了图1的叉指换能器的另一结构示意图；

图11示出了图1的叉指换能器的另一结构示意图；

图12示出了图1的叉指换能器的另一结构示意图；

图13示出了图1的叉指换能器的另一结构示意图；

图14示出了图1的叉指换能器的另一结构示意图。

具体实施方式

下面详细描述本申请的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本申请，而不能理解为对本申请的限制。

为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施方式中的附图，对本申请实施方式中的技术方案进行清楚、完整的描述。显然，所描述的实施方式仅仅是本申请一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本申请中的实施方式，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本申请保护的范围。

本申请提供的谐振器可适用于普通的声表面波谐振器、TC-SAW(Temperaturecompensated SAW)谐振器、压电薄膜SAW谐振器、X-BAR(横向激励薄膜体声波)谐振器等具有叉指换能器的谐振器中，本申请在此不作限定。

请参阅图1至图3，本申请实施方式提供了一种谐振器1，谐振器1包括压电基板10以及叉指换能器30，叉指换能器30设置于压电基板10上，叉指换能器30包括相对设置于压电基板10上的第一汇流条31和第二汇流条33，以及位于第一汇流条31和第二汇流条33之间的多个电极指对，多个电极指对中的至少一个电极指对350包括交替间隔设置的第一电极指351和第二电极指353，第一电极指351连接于第一汇流条31，且和第二汇流条33间隔，第二电极指353连接于第二汇流条33，且和第一汇流条31间隔。

第一电极指351包括第一连接部3511、第一中间部3513以及第一主体部3515，第二电极指353包括第二连接部3531、第二中间部3533以及第二主体部3535，第一主体部3515和第二主体部3535沿声波的传播方向具有重叠区域，第一连接部3511连接于第一汇流条31，第一中间部3513连接于第一连接部3511和第一主体部3515之间，且和第二主体部3535的端部之间具有第一间隙355，第一连接部3511和第一主体部3515沿声波的传播方向具有距离差，第一中间部3513和第一主体部3515呈夹角设置，第一汇流条31、第一连接部3511以及第一中间部3513连接形成朝向背离第一连接部3511方向的第一开口37。第二连接部3531连接于第二汇流条33，第二中间部3533连接于第二连接部3531和第二主体部3535之间，且和第一主体部3515之间具有第二间隙357，第二连接部3531和第二主体部3535沿声波的传播方向具有距离差，第二中间部3533和第二连接部3531呈夹角设置，第二汇流条33、第二连接部3531以及第二中间部3533连接形成第二开口39，第二开口39和第一开口37的朝向相反。

如此，第一电极指351在第二主体部3535的端部和第一汇流条31之间(间隙区)的形状，以及第二电极指353在第一主体部3515的端部和第二汇流条33之间(间隙区)的形状均发生了改变，能够减小间隙区的电势差，减弱位于间隙区激励源的强度，从而抑制了激励源的二次激发，使得杂模能够得到充分抑制。

具体而言，叉指换能器30中，第一连接部3511的一端连接于第一汇流条31，另一端连接于第一中间部3513，第一中间部3513的另一端和第一主体部3515连接，第一中间部3513和第二主体部3535之间具有第一间隙355，第一连接部3511、第一中间部3513和第一汇流条31之间形成第一开口37。第二连接部3531的一端连接于第二汇流条33，另一端连接于第二中间部3533，第二中间部3533的另一端和第二主体部3535连接，第二中间部3533和第一主体部3515之间具有第二间隙357，第二连接部3531、第二中间部3533和第二汇流条3333之间形成第二开口39。

如图1所示，定义声波的传播方向为X方向，即声波的主模态的传播方向为X方向，定义第一主体部3515或者第二主体部3535的延伸方向(第一汇流条31向第二汇流条33的方向)为Y方向，可以理解的是，X方向和Y方向正交。

可以理解的是，中间部(第一中间部3513和第二中间部3533)分别与连接部(第一连接部3511和第二连接部3531)以及主体部(第一主体部3515和第二主体部3535)呈夹角设置，夹角可以是锐角也可以是钝角，也可以是直角，使得电极指(第一电极指351和第二电极指353)在间隙区可以具有弯折形状。

并且，由于第一连接部3511和第一主体部3515沿声波的传播方向具有距离差，第一中间部3513和第一主体部3515呈夹角设置，第一汇流条31、第一连接部3511以及第一中间部3513连接形成朝向背离第一连接部3511方向的第一开口37，相较于没有设置上述距离差、夹角以及开口的谐振器，可以更好地抑制杂模。

本申请实施例中，叉指换能器30具有多个电极指35，多个电极指35之间可以间隔设置，且交替连接于第一汇流条31和第二汇流条33，相邻的两个电极指55中的其中一个与第一汇流条31连接，另一个与第二汇流条33连接，可以视为一个电极指对。具体而言，为便于理解，以电极指35的数量为4个，4个电极指35分别命名为第一指条、第二指条、第三指条以及第四指条为例进行解释说明。第一指条、第二指条、第三指条以及第四指条依次间隔分布，第一指条连接于第一汇流条31并与第二汇流条33间隔，第二指条连接于第二汇流条33并与第一汇流条31间隔，第一指条与第二指条可以视为一个电极指对，第三指条连接于第一汇流条31并与第二汇流条33间隔，第四指条连接于第二汇流条33并与第一汇流条31间隔，第三指条与第四指条可以视为一个电极指对。第一指条、第二指条、第三指条以及第四指条沿X方向具有重叠的中央区，声波主要在中央区内传播。在第一汇流条31和中央区之间具有第一间隙区，在第二汇流条33和中央区之间具有第二间隙区。声波在中央区的声速小于声波在第一间隙区和第二间隙区的声速，从而可以避免声波向两侧间隙区(第一间隙区和第二间隙区)泄漏。

可以理解的是，在多个电极指对中，存在至少一个电极指对350。电极指对350的数量可以是1个、2个、3个、4个等等，或者，叉指换能器30所包括的每对电极指均采用电极指对550的结构。

作为一种示例，第一指条和第二指条可以为一个电极指对350，则第一指条可以作为第一电极指351，第二指条可以作为第二电极指353。此时，第三指条和第四指条可以作为普通电极指，例如第三指条可以由第一汇流条31向第二汇流条33方向呈直线延伸，第四指条可以由第二汇流条33向第一汇流条31方向呈直线延伸。

作为另一种示例，第一指条和第二指条可以为一个电极指对350，第三指条和第四指条可以作为一个电极指对350，则第一指条和第三指条均可以为作为单独的一个第一电极指351，第二指条和第四指条均可以作为单独的一个第二电极指353。

可以理解的是，当叉指换能器30所包括的电极指35中仅有部分采用电极指对350时，除电极指对350之外的电极指35均可以为普通电极指，即，普通电极指在第一间隙区和第二间隙区内的形状未发生改变，普通电极指可以由第一汇流条31向第二汇流条33呈直线延伸，并和第二汇流条33间隔，或者普通电极指可以由第二汇流条33向第一汇流条31呈直线延伸，并和第一汇流条31间隔。

此外，相关技术的谐振器一般通过设置活塞结构(电极指加宽和/或加厚)来实现横向杂模的抑制，由于工艺条件的限制，这些活塞结构的设置会限制电极指的宽度或者相邻两个电极指之间的距离，使得谐振器的工作的频段受到限制。本申请实施方式提供的谐振器1通过改变电极指35的形状即可抑制杂模，包括横向杂模，从而可以无需在重叠区域内设置活塞结构，从而可以避免活塞结构限制电极指的宽度或者相邻两个电极指之间的距离，进而可以避免谐振器1的工作频段受到限制，在相同工艺条件下可以提高谐振器1的频率或者在相同频率下能够减小谐振器1的尺寸。并且，由于本申请实施方式提供的谐振器1无需在重叠区域内设置活塞结构，还有助于简化谐振器1的制造工艺，不仅可以抑制横向杂模，还可以抑制产生于间隙区的杂模。

请参阅图4，图4中的横坐标表示声波的频率，纵坐标表示导纳，实线表示本申请实施方式中未采用活塞结构，而采用在间隙区内改变电极指35的形状的谐振器1。点划线表示相关技术中采用活塞结构，而没有在间隙区内改变电极指35的形状的谐振器。从图中可以看出，本申请实施方式提供的谐振器1相比相关技术的谐振器来说，导纳曲线更加平滑，导纳曲线中较尖锐的杂波或杂峰变得平缓，因此，本申请实施方式提供的谐振器1无需设置活塞结构即可有效地抑制杂模。

请参阅图5，图5中的横坐标表示声波的频率，纵坐标表示品质因数的值(Q值)，实线表示本申请实施方式中未采用活塞结构，而采用在间隙区内改变电极指35的形状的谐振器1，点划线表示相关技术中采用活塞结构，而没有在间隙区内改变电极指35的形状的谐振器。从图中可以看出，本申请实施方式的谐振器1的Q值明显大于相关技术的谐振器的Q值，因此，本申请实施方式提供的谐振器1的结构无需设置活塞结构即可有效地提升Q值。

在一些实施方式中，压电基板10可以采用压电材料，例如压电基板10可以采用石英、氮化铝、蓝宝石、铌酸锂(LiNbO₃，LN)、或者钽酸锂(LiTaO₃，LT)等材料。

在一些实施方式中，第一汇流条31、第二汇流条33以及电极指35均可以采用导电材料，例如金属材料，如铝、钼、铜、金、铂、银、镍、铬、钨等。

在一些实施方式中，重叠区域可以为中央区。

请参阅图6至图7，在一些实施方式中，第一连接部3511和第一主体部3515可以错位连接于第一中间部3513的任意位置，具体而言，第一连接部3511和第一主体部3515沿Y方向不重叠。相同的，第二连接部3531和第二主体部3535也可以错位连接于第二中间部3533的任意位置，本申请在此不再赘述。其中，Y方向为第一汇流条31向第二汇流条33的方向。

需要说明的是，本申请实施方式中，第一连接部3511和第一主体部3515沿Y方向不重叠，第二连接部3531和第二主体部3535沿Y方向也不重叠，相较于第一连接部3511和第一主体部3515沿Y方向重叠，第二连接部3531和第二主体部3535沿Y方向重叠的结构，可以更好地抑制杂模，提高Q值。

作为一种示例，第一连接部3511和第一主体部3515的端部可以分别连接于第一中间部3513的两个端部。相同的，第二连接部3531和第二主体部3535的端部也可以分别连接于第二中间部3533的两个端部。

作为另一种示例，第一连接部3511和第一主体部3515的端部可以分别连接于第一中间部3513的两个端部之间的位置。相同的，第二连接部3531和第二主体部3535的端部也可以分别连接于第二中间部3533的两个端部之间的位置。

作为另一种示例，第一连接部3511的端部可以连接于第一中间部3513的端部，第一主体部3515的端部可以连接于第一中间部3513的两个端部之间的位置。相同的，第二连接部3531的端部也可以连接于第二中间部3533的端部，第二主体部3535的端部也可以连接于第二中间部3533的两个端部之间的位置。

作为另一种示例，第一主体部3515的端部可以连接于第一中间部3513的端部，第一连接部3511的端部可以连接于第一中间部3513的两个端部之间的位置。相同的，第二主体部3535的端部可以连接于第二中间部3533的端部，第二连接部3531的端部可以连接于第二中间部3533的两个端部之间的位置。

其中，第一连接部3511的端部为第一连接部3511背离第一汇流条31的一端，第一主体部3515的端部为第一主体部3515朝向第一汇流条31一侧的一端。第二连接部3531的端部为第二连接部3531背离第二汇流条33的一端，第二主体部3535的端部为第二主体部3535朝向第二汇流条33一侧的一端。

在一些实施方式中，谐振器1还可以包括反射器，反射器可以设置于压电层10上，反射器的数量可以为两个，两个反射器可以分别位于叉指换能器30沿声波的传播方向的两端，即两个反射器相对设置于叉指换能器50沿X方向的两端，从而两端的反射器可以对谐振器1产生的声波进行反射，有助于将声波约束在两个反射器之间。

为便于描述，以下均以第一汇流条31和第二主体部3535的端部之间沿X方向的区域为第一间隙区，第二汇流条33和第一主体部3515的端部之间沿X方向的区域为第二间隙区。

在一些实施方式中，第一汇流条31和第二汇流条33可以与声波的传播方向(X方向)平行，第一汇流条31和第二汇流条33也可以相对声波的传播方向倾斜。相较于汇流条和声波的传播方向平行的方式，倾斜设置可以更好地抑制杂模。也即是说，汇流条的延伸方向与声波的传播方向之间呈夹角设置。第一汇流条31和第二汇流条33的倾斜方向可以一致，也可以不一致。

在另一些实施方式中，第一汇流条31和第二汇流条33还可以具有中间宽两侧窄的形状，本申请实施方式不做限定。

在一些实施方式中，第一连接部3511和第一主体部3515的厚度可以均小于第一中间部3513的厚度，第二连接部3531和第二主体部3535的厚度可以均小于第二中间部3533的厚度。主体部(第一主体部1315和第二主体部3535)、连接部(第一连接部3511和第二连接部3531)以及中间部(第一中间部3513和第二中间部3533)的厚度也可以相同，本申请在此不做限定。另外，中间部的厚度大于连接部以及主体部的厚度，相较于连接部、主体部以及中间部厚度相同的结构，能够进一步抑制杂模，提升Q值，从而提升了谐振器1的工作性能。

在一些实施方式中，定义第一连接部3511、第二连接部3531、第一主体部3515以及第二主体部3535的厚度均为a，定义第一中间部3513和第二中间部3533的厚度均为b，a≤b，从而当a和b满足上述关系时，可以更好地抑制杂模。

在一些实施方式中，第一中间部3513以及第二中间部3533沿第一汇流条31向第二汇流条33方向的宽度可以大于第一主体部3515以及第二主体部3535沿声波的传播方向的宽度，在电极指在间隙区(第一间隙区和第二间隙区)发生形变的基础上，能够进一步抑制杂模，提升Q值，从而提升了谐振器1的工作性能。

此外，相较于相关技术在工作区域内设置活塞结构来抑制杂模的谐振器，本申请实施方式提供的谐振器1将电极指在间隙区的形状进行变化来实现杂模的抑制，能够降低工艺难度，并且在相同工艺条件下，能够提高谐振器1的谐振频率，或者减小谐振器1的尺寸。

本申请实施方式提供的谐振器1还可以通过对第一电极指351和第二电极指353的相关参数进行设计，以进一步抑制杂模，具体如下：

在一些实施方式中，定义第一中间部3513和第二中间部3533沿第一汇流条31向第二汇流条33方向的宽度均为L1，0.1λ≤L1≤0.4λ，综合考虑到杂模抑制效果和中间部电阻值的影响，将中间部限定在该范围内，能够进一步提高谐振器1的性能。本申请实施方式中，在改变第一电极指351以及第二电极指353的形状的基础上，通过限定第一中间部3513沿X方向的宽度的取值范围，以及第二中间部3533沿X方向的宽度的取值范围，能够更好地抑制杂模。其中，第一中间部3513的宽度与第二中间部3533的宽度可以相同也可以不相同，本申请在此不做限定。

其中，λ为声波的波长，声波的波长可以为相邻两个第一电极指351的中心距离或者相邻两个第二电极指353的中心距离，或者声波的波长可以为相邻第一电极指351和第二电极指353的中心距离的两倍。

例如，第一中间部3513的沿Y方向的宽度可以为0.1λ、0.2λ、0.3λ、0.4λ等等，第二中间部3533的沿Y方向的宽度可以为0.1λ、0.2λ、0.3λ、0.4λ等等。

在一些实施方式中，第一中间部3513的沿Y方向的宽度和第二中间部3533沿Y方向的宽度可以相等也可以不相等。

在一些实施方式中，定义第一电极指351和第二电极指353的占空比均为DF，0.3≤DF≤0.6。本申请中，在改变第一电极指351以及第二电极指353的形状的基础上，电极指(第一电极指351和第二电极指353)的占空比在该范围内，能够进一步地减少杂散声波，有助于进一步抑制杂模。

例如，第一电极指351的占空比可以为0.3、0.4、0.53、0.6等等。第二电极指353的占空比可以为0.3、0.4、0.53、0.6等等。

其中，占空比表示为电极指35在X方向(声波的传播方向)上的宽度与重叠区域相邻两个电极指35中心距离的比值。可以理解的是，该范围也可以理解为叉指换能器30的占空比范围。

在一些实施方式中，第一电极指351的占空比和第二电极指353的占空比可以相等。

在一些实施方式中，定义第一中间部3513和第二中间部3533沿声波的传播方向的长度为W：

从而当W和DF满足上述公式时，可以更好地抑制杂模。

在一些实施方式中，第一中间部3513沿声波的传播方向的长度和第二中间沿声波的传播方向的长度以相等，也可以不相等。即，第一中间部3513沿X方向的长度和第二中间部3533沿X方向的长度可以相等，也可以不相等。

在一些实施方式中，定义第一间隙355和第二间隙357的宽度均为L2，0.1λ≤L2≤0.8λ，从而当L2位于0.1λ～0.8λ之间时，可以更好地抑制杂模。

例如，第一间隙355的宽度可以为0.1λ、0.2λ、0.5λ、0.8λ等等。第二间隙357的宽度可以为0.1λ、0.2λ、0.5λ、0.8λ等等。

优选地，第一间隙355和第二间隙357的宽度L2可以满足以下条件：2微米≥L2≥0.1微米。

在一些实施方式中，第一间隙355的宽度和第二间隙357的宽度可以相等，也可以不相等。

在一些实施方式中，L1+L2≤λ，从而当L1和L2满足上述公式时，可以更好地抑制杂模。

具体地，第一中间部3513沿第一汇流条31向第二汇流条33方向的宽度为L1，第一间隙355的宽度为L2，L1+L2≤λ。第二中间部3533沿第一汇流条31向第二汇流条33方向的宽度为L1，第二间隙357的宽度为L2，L1+L2≤λ。

在一些实施方式中，第一汇流条31至第一中间部3513的距离大于第一间隙355的宽度，第二汇流条33至第二中间部3533的距离大于第二间隙357的宽度。相较于第一汇流条31至第一中间部3513的距离小于或等于第一间隙355的宽度，第二汇流条33至第二中间部3533的距离小于或等于第二间隙357的宽度，可以更好地抑制杂模。

其中，第一汇流条31和第一中间部3513的距离可以大致为第一连接部3511在X方向的投影长度，也可以指第一连接部3511由第一汇流条31向第二汇流条33方向的延伸长度。第二汇流条33和第二中间部3533的距离可以大致为第二连接部3531在X方向的投影长度，也可以指第二连接部3531由第二汇流条33向第一汇流条31方向的延伸长度。

在一些实施方式中，第一中间部3513的两端或者第二中间部3533的两端沿第一汇流条31向第二汇流条33方向的距离为L，其中L＝λA，其中，0≤A≤0.3。

需要说明的是，L可以为第一中间部3513的两端在X方向的投影距离。或者，L可以为第二中间部3533的两端在X方向的投影距离。

在一些实施方式中，当A＝0时，第一中间部3513和声波的传播方向平行，第二中间部3533和声波的传播方向平行。

在一些实施方式中，第一中间部3513和第一主体部3515之间的夹角可以为直角也可以为锐角或钝角。

具体地，请参阅图8，在一些实施方式中，第一中间部3513和第一主体部3515之间的夹角，以及第二中间部3533和第二主体部3535之间的夹角均为θ，

其中，0≤A≤0.3。

在一些可行的实施方式中，60°≤θ≤120°，优选的，90°≤θ≤118°，在此范围内，叉指换能器30可以更好地抑制杂模。

请参阅图9，在一些实施方式中，第一连接部3511和第一汇流条31之间可以垂直连接，也可以非垂直连接，例如第一连接部3511和第一汇流条31之间的夹角大于0°，且小于90°，具体而言，第一连接部3511和第一汇流条31之间为非垂直连接，相较于第一连接部3511和第一汇流条31垂直连接的方式，有助于进一步抑制杂模。

可以理解地，由于第一连接部3511和第一汇流条31连接时，第一连接部3511和第一汇流条31之间会形成两个夹角，两个夹角的和为180度。上述第一连接部3511和第一汇流条31之间的夹角大于0°，且小于90°，具体是指，两个夹角中的任意一个夹角大于0°，且小于90°。

在一些实施方式中，第二连接部3531和第二汇流条33之间的夹角大于0°，且小于90°，第二连接部3531和第二汇流条33之间连接相关的描述可以参照第一连接部3511和第一汇流条31对应描述，本申请在此不再赘述。

在一些实施方式中，第一连接部3511的延伸方向和第一主体部3515的延伸方向可以平行或呈夹角设置，同样地，第二连接部3531的延伸方向和第二主体部3535的延伸方向可以平行或呈夹角设置，本申请在此不作限定。本申请通过调整同一电极指的连接部与主体部之间的设置角度，可以更好地抑制杂模。

请参阅图10，在一些实施方式中，第一主体部3515和第二主体部3535在重叠区域内均也可以设有活塞结构55，活塞结构55位于重叠区域沿第一汇流条31向第二汇流条33方向的相对两侧，活塞结构55包括位于重叠区域沿第一汇流条31向第二汇流条33方向的相对两侧的电极指加宽结构和/或加厚结构。可以理解的是，活塞结构55可以设置在电极指下方，也可以设置在压电基板10内，还可以设置在电极指上方。活塞结构55可以是由断续的导电材料构成，也可以是由连续的金属材料或非金属材料构成，本申请在此不做限定。活塞结构55的设置可以增大对应区域的质量负载，降低了重叠区域沿Y方向的相对两侧的声速，从而可以形成活塞模式，在电极指具有连接部、中间部以及主体部结构的情况下，在主体部的端部区域设置活塞结构55，可以进一步减少声波的横向损耗，有助于进一步抑制杂模。

具体而言，第一主体部3515包括依次连接的第一部分以及第二部分、第三部分以及第四部分，其中，第一部分位于第一间隙区，第二部分、第三部分以及第四部分位于重叠区域内，第二部分和第四部分分别在第三部分的两端，第二部分和第四部分均可以具有活塞结构55，即第二部分和第四部分的宽度大于第三部分的宽度，或者第二部分和第四部分的厚度大于第三部分的厚度，或者第二部分和第四部分的宽度和厚度均大于第三部分的宽度和厚度。一般而言，第三部分的宽度和厚度可以和第一部分的宽度和厚度大致相等，也可以不相等，本申请在此不作限定。

在一些实施方式中，第一主体部3515和第二主体部3535在重叠区域内均具有活塞结构55，活塞结构55位于重叠区域沿第一汇流条31向第二汇流条33方向的至少一侧。具体而言，第二部分和第四部分中的至少一个可以具有活塞结构55。

此外，本申请实施方式提供的谐振器1通过设置第一中间部3513和第二中间部3533，并结合对处于重叠区域内两侧的第一主体部3515和第二主体部3535进行加宽或者加厚设置，以使得谐振器1能够进一步抑制横向杂模，以及抑制产生于间隙区的杂模，并提升Q值。

请参阅图11，在一些实施方式中，谐振器1还包括第一假指57和第二假指59，第一假指57的一端连接于第一汇流条31，另一端和第一中间部3513间隔，第二假指59的一端连接于第二汇流条33，另一端和第二中间部3533间隔，本申请通过设置假指(第一假指57和第二假指59)，能够更有效地抑制杂模，并且进一步抑制能量泄漏。

具体地，第一假指57可以位于第一间隙区内，且位于第一中间部3513和第一汇流条31之间，第一假指57的一端连接第一汇流条31，另一端和第一中间部3513间隔。第二假指59可以位于第二间隙区内，且位于第二中间部3533和第二汇流条33之间，第二假指59的一端连接第二汇流条33，另一端和第二中间部3533间隔。

可以理解的是，假指与中间部之间具有间隔区域，能够在该间隔区域形成高声速区，相比于假指与中间部连接来说，能够更好地抑制能量泄漏。

在一些实施方式中，第一假指57变迹加权设置于第一汇流条31与第二汇流条33之间，第二假指59变迹加权设置于第一汇流条31与第二汇流条33之间。

以下以第一假指57为例进行解释说明，第二假指59的变迹方式和第一假指57的变迹方式大致相同，不再赘述。

具体而言，第一假指57背离第一汇流条31的端部和第一汇流条31之间的长度可以发生变化。当第一假指57的距离发生改变时，对应地，第一中间部3515相对第一汇流条31的距离跟随第一假指57的长度改变而改变，或者第一连接部3511的长度跟随第一假指57的长度的改变而改变。假指变迹加权相较于没有变迹加权能够更好地抑制杂模，减少能量泄漏，提高Q值。

具体地，第一假指57背离第一汇流条31的端部和第一汇流条31之间的长度可以发生变化，当多个第一假指57的长度均发生变化时，多个第一假指57的端部之间可以形成规律或者不规律的图形，例如波浪形，折线形等等，假指变迹也可以是其他形状，本申请不做限定。

作为一种示例，第一假指57背离第一汇流条31的端部和第一汇流条31之间的长度可以由汇流条的中间向X方向的两端逐渐变长，当第一假指57的长度发生改变时，第一中间部3515相对第一汇流条31的距离跟随假指的长度的改变而改变。

请参阅图12，在一些实施方式中，谐振器1还可以包括第一导电条61，第一导电条61可以位于第一中间部3513与第一汇流条31之间，且至少连接第一电极指351的第一连接部3511，第二导电条63可以位于第二中间部3533与第二汇流条33之间，且至少连接第二电极指353的第二连接部3531。由于中间部的存在会引入额外的电阻，使得器件损耗增加，通过导电条(第一导电条61和第二导电条63)的设置，能够可以减小电阻，从而减小器件损耗。

以下以第一导电条61为例进行解释说明，第二导电条63的结构和有益效果大致和第一导电条77的结构和有益效果相同，不再赘述。

其中，第一导电条61可以连接一个或者多个第一连接部3511。例如，当电极指对350的数量为1个时，第一导电条61可以连接一个第一电极指351的第一连接部3511。又例如，当电极指对350的数量为多个时，第一导电条61可以连续连接每个电极指对350中第一电极指351的第一连接部3511，即第一导电条61在X方向延伸且不间断的连接每个第一电极指351的第一连接部3511。

在一些实施方式中，第一导电条61也可以向X方向延伸，以连续连接每个在第一间隙区的电极指35。

在一些实施方式中，第一导电条61和第一汇流条31可以间隔设置，第一导电条61和第一中间部3513可以间隔设置。

在一些实施方式中，第一导电条61和第二导电条63均可以采用导电的金属材质或合金，例如铝、钼、铜、金、铂、银、镍、铬、钨等。第一导电条61和第二导电条63可以采用与叉指换能器30相同的金属或合金，可以与叉指换能器30在同一工序中制作。

请参阅图13，在一些实施方式中，第一导电条61也可以断续设置于第一中间部3513与第一汇流条31之间，第二导电条63可以断续设置于第二中间部3533与第二汇流条33之间。

以下以第一导电条61为例进行解释说明，第二导电条63的结构和有益效果大致和第一导电条77的结构和有益效果相同，不再赘述。

其中，第一导电条61可以连接多个第一连接部3511。例如，当电极指对350的数量为多个时，第一导电条61可以断续连接每个电极指对350中第一电极指351的第一连接部3511，第一导电条61可以在相邻两个第一连接部3511的间隙处断开，也可以在连接多个第一连接部3511之后断开，本申请在此不做限定。

在一些实施方式中，第一导电条61也可以向X方向延伸，以断续连接每个位于第一间隙区的电极指35。

在一些实施方式中，第一导电条61和第二导电条63的宽度和长度可以进行调整，从而有助于进一步调整电阻，从而减小器件损耗。

请参阅图1至图3，在一些实施方式中，第一连接部3511和第二主体部3535可以沿第一汇流条31向第二汇流条33的方向重叠，第二连接部3531和第一主体部3515沿第一汇流条31向第二汇流条33的方向重叠，相较于第一连接部3311和第二主体部3335沿Y方向不重叠，以及第二连接部3531和第一主体部3315沿Y方向不重叠，本实施方式可以更好地抑制声波的杂模。

请参阅图7和图14，在一些实施方式中，第一连接部3511和第二连接部3531可以沿第一汇流条31向第二汇流条33的方向重叠，且位于第一主体部3515和第二主体部3535之间，相较于第一连接部3511和第一主体部3515沿Y方向重叠的结构，本实施方式可以更好地抑制杂模。

在一些实施方式中，第一连接部3511和第一主体部3515可以分别连接于第一中间部3513的两端，从而有助于降低第一间隙区内的电势差，使得杂模的电势在第一间隙区的分布更加均匀，从而有助于进一步抑制声波的杂模。

在一些实施方式中，第二连接部3531和第二主体部3535分别连接于第二中间部3533的两端，从而有助于降低第二间隙区内的电势差，使得电势在第二间隙区的分布更加均匀，从而有助于进一步抑制声波的杂模。

请参阅图1，本申请实施方式还提供了另一种谐振器1，该谐振器1的所有电极指35的形状在第一间隙区和第二间隙区内均发生了改变，从而可以进一步地提升谐振器1的整体性能。

具体而言，谐振器1包括压电基板10以及叉指换能器30，叉指换能器30设置于压电基板10，叉指换能器30包括相对设置于压电基板10的第一汇流条31和第二汇流条33、多个第一电极指351和第二电极指353，第一电极指351和第二电极指353交替设置，第一电极指351连接于第一汇流条31，且和第二汇流条33间隔，第二电极指353连接于第二汇流条33，且和第一汇流条31间隔。

第一电极指351包括第一连接部3511、第一中间部3513以及第一主体部3515，第二电极指353包括第二连接部3531、第二中间部3533以及第二主体部3535，第一主体部3515和第二主体部3535沿声波的传播方向具有重叠区域，第一连接部3511连接于第一汇流条31，第一中间部3513连接于第一连接部3511和第一主体部3515之间，且和第二主体部3535的端部之间具有第一间隙355，第一连接部3511和第一主体部3515沿声波的传播方向具有距离差，第一中间部3513和第一主体部3515呈夹角设置，第一汇流条31、第一连接部3511以及第一中间部3513连接形成朝向声波传播方向的第一开口37；第二连接部3531连接于第二汇流条33，第二中间部3533连接于第二连接部3531和第二主体部3535之间，且和第一主体部3515之间具有第二间隙357，第二连接部3531和第二主体部3535沿声波的传播方向具有距离差，第二中间部3533和第二连接部3531呈夹角设置，第二汇流条33、第二连接部3531以及第二中间部3533连接形成第二开口39，第二开口39和第一开口37的朝向相反。

谐振器1关于对第一汇流条31、第二汇流条33、第一连接部3511、第一中间部3513、第一主体部3515、第二连接部3531、第二中间部3533、第二主体部3535以及活塞结构55等结构的参数设计以及有益效果均可以参照上述实施方式，在此不再一一赘述。

如此，第一电极指351和第二电极指353分别在第二主体部3535的端部和第一汇流条31之间的形状以及第一主体部3515的端部和第二汇流条33之间的形状发生了改变，从而改变了汇流条与电极指端部之间的间隙区中杂模的电势，减小了杂模在间隙区的电势差，使得杂模的电势在间隙区的分布更加均匀，有助于抑制声波在第一主体部3515的端部和第二汇流条33之间的二次激发，减少了杂散声波，从而有助于抑制杂模，还有助于提升Q值的值。

并且，由于第一连接部3511和第一主体部3515沿声波的传播方向具有距离差，第一中间部3513和第一主体部3515呈夹角设置，第一汇流条31、第一连接部3511以及第一中间部3513连接形成朝向背离第一连接部3511方向的第一开口37，相较于没有设置上述距离差、夹角以及开口的谐振器，可以更好地抑制杂模。

此外，谐振器1还可以包括介电层，介电层位于压电基板10上且覆盖叉指换能器30。

可以理解的是，介电层可以是温度补偿层、调频层、钝化层中的至少一种，介电层可以是单层也可以是多层，本申请在此不作限定。介电层作为钝化层时，可以用于保护叉指换能器30，有助于避免叉指换能器30损伤。介电层作为温度补偿层时，可以调整谐振器1的频率温度补偿系数。介电层作为调频层时，可以调整谐振器1的频率。

其中，介电层可以采用氧化硅、氮化硅、氮氧化硅等材质。

本申请实施方式还提供了一种滤波器，滤波器包括上述任一实施方式中的谐振器1，由于谐振器1的杂模减少，从而滤波器不仅可以获得更高的Q值，还可以减少滤波器通带频率内的杂模，减少了滤波器的带内波动，改善了滤波器的插损。

在一些实施方式中，滤波器可以包括多个谐振器1，多个谐振器1可以根据需求进行排布。多个谐振器1可以是两个、三个、四个等等，

在一些实施方式中，滤波器可以为梯型结构滤波器，梯型结构滤波器可以包括多个串联臂谐振器1以及多个并联臂谐振器1，多个串联臂谐振器1以及多个并联臂谐振器1中的至少一个为上述实施方式中的谐振器1。

在其他一些实施方式中，滤波器也可以为其他类型的滤波器。

此外，由于滤波器包括谐振器1，因此，滤波器具有谐振器1所具有的一切有益效果，在此不再一一赘述。

本申请实施方式还提供了一种射频前端模组，射频前端模组包括上述实施方式中的滤波器，由于谐振器1的杂模减少，Q值的提高，从而可以提高滤波器的工作性能，进而可以提高射频前端模组的工作性能。

在一些实施方式中，射频前端模组可以应用于电子设备中，电子设备可以包括但不局限于LED面板、平板电脑、笔记本、电脑、导航仪、手机和电子手表等具有PCB的电子设备或者部件，本申请对此不作限制。

在一些实施方式中，射频前端模组可以包括多个滤波器，多个滤波器可以是两个、三个等等。

在一些实施方式中，射频前端模组还可以包括低噪声放大器、射频开关和功率放大器等，其具体连接方式可以参照现有技术，在此不再赘述。

此外，由于射频前端模组包括滤波器，而滤波器包括谐振器1，因此，射频前端模组具有滤波器和谐振器1所具有的一切有益效果，在此不再一一赘述。

本申请实施方式提供的谐振器1、滤波器以及射频前端模组中，谐振器1包括压电基板10以及叉指换能器30，叉指换能器30设置于压电基板10上。第一电极指351包括第一连接部3511、第一中间部3513以及第一主体部3515，第二电极指353包括第二连接部3531、第二中间部3533以及第二主体部3535，第一主体部3515和第二主体部3535沿声波的传播方向具有重叠区域，第一连接部3511连接于第一汇流条31，第一中间部3513连接于第一连接部3511和第一主体部3515之间，且和第二主体部3535的端部之间具有第一间隙355，第一连接部3511和第一主体部3515沿声波的传播方向具有距离差，第一中间部3513和第一主体部3515呈夹角设置，第一汇流条31、第一连接部3511以及第一中间部3513连接形成朝向背离第一连接部3511方向的第一开口37。第二连接部3531连接于第二汇流条33，第二中间部3533连接于第二连接部3531和第二主体部3535之间，且和第一主体部3515之间具有第二间隙357，第二连接部3531和第二主体部3535沿声波的传播方向具有距离差，第二中间部3533和第二连接部3531呈夹角设置，第二汇流条33、第二连接部3531以及第二中间部3533连接形成和第一开口37的朝向相反的第二开口39。在SAW谐振器1中，电极指在主体部的端部和汇流条之间的形状发生了改变，能够减小间隙区的电势差，减弱位于间隙区激励源的强度，从而抑制了激励源的二次激发，使得杂模能够得到充分抑制。此外，本申请实施方式提供的谐振器1通过改变电极指的形状就能够抑制杂模，包括横向杂模，可以无需在重叠区域内设置活塞结构，从而可以避免活塞结构限制电极指的宽度或者相邻两个电极指之间的距离，进而可以避免谐振器1的工作频段受到限制，在相同工艺条件下可以提高谐振器1的频率或者在相同频率下能够减小谐振器1的尺寸。

在本申请中，除非另有明确的规定或限定，术语“安装”、“连接”等术语应做广义理解。例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接相连，也可以是两个元件内部的连通，也可以是仅为表面接触，或者通过中间媒介的表面接触连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为特指或特殊结构。术语“一些实施方式”、“其他实施方式”等的描述意指结合该实施方式或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本申请的至少一个实施方式或示例中。在本申请中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施方式或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施方式或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本申请中描述的不同实施方式或示例以及不同实施方式或示例的特征进行结合和组合。

以上实施方式仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施方式对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施方式所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施方式技术方案的精神和范围，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (14)

1.一种谐振器，其特征在于，包括：

压电基板；以及

叉指换能器，所述叉指换能器设置于所述压电基板上，所述叉指换能器包括：

相对设置于所述压电基板上的第一汇流条和第二汇流条；以及

位于所述第一汇流条和所述第二汇流条之间的多个电极指对，所述多个电极指对中的至少一个电极指对包括交替间隔设置的第一电极指和第二电极指，所述第一电极指连接于所述第一汇流条，且和所述第二汇流条间隔，所述第二电极指连接于所述第二汇流条，且和所述第一汇流条间隔；

所述第一电极指包括第一连接部、第一中间部以及第一主体部，所述第二电极指包括第二连接部、第二中间部以及第二主体部，所述第一主体部和所述第二主体部沿声波的传播方向具有重叠区域，所述第一连接部连接于所述第一汇流条，所述第一中间部连接于所述第一连接部和所述第一主体部之间，且和所述第二主体部的端部之间具有第一间隙，所述第一连接部和所述第一主体部沿所述声波的传播方向具有距离差，所述第一中间部和所述第一主体部呈夹角设置，所述第一汇流条、所述第一连接部以及所述第一中间部连接形成朝向背离所述第一连接部方向的第一开口；所述第二连接部连接于所述第二汇流条，所述第二中间部连接于所述第二连接部和所述第二主体部之间，且和所述第一主体部之间具有第二间隙，所述第二连接部和所述第二主体部沿所述声波的传播方向具有距离差，所述第二中间部和所述第二连接部呈夹角设置，所述第二汇流条、所述第二连接部以及所述第二中间部连接形成第二开口，所述第二开口和所述第一开口的朝向相反。

2.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，所述第一连接部和所述第一主体部的厚度均小于所述第一中间部的厚度，所述第二连接部和所述第二主体部的厚度均小于所述第二中间部的厚度；

和/或，所述第一中间部以及所述第二中间部沿所述第一汇流条向所述第二汇流条方向的宽度大于所述第一主体部以及所述第二主体部沿所述声波的传播方向的宽度。

3.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，定义所述第一连接部、所述第二连接部、所述第一主体部以及所述第二主体部的厚度均为a，定义所述第一中间部和所述第二中间部的厚度均为b，a≤b。

4.根据权利要求1-3任一项所述的谐振器，其特征在于，定义所述第一中间部和所述第二中间部沿所述第一汇流条向所述第二汇流条方向的宽度均为L1，0.1λ≤L1≤0.4λ；

和/或，定义所述第一电极指和所述第二电极指的占空比均为DF，0.3≤DF≤0.6；

和/或，定义所述第一电极指和所述第二电极指的占空比为DF，定义所述第一中间部和所述第二中间部沿所述声波的传播方向的长度为W，

和/或，定义所述第一间隙和所述第二间隙的宽度均为L2，0.1λ≤L2≤0.8λ；或者，2微米≥L2≥0.1微米；

和/或，定义所述第一中间部和所述第二中间部沿所述第一汇流条向所述第二汇流条方向的宽度为L1，定义所述第一间隙和所述第二间隙的宽度均为L2，L1+L2≤λ；

和/或，所述第一汇流条至所述第一中间部的距离大于所述第一间隙的宽度，所述第二汇流条至所述第二中间部的距离大于所述第二间隙的宽度；

其中，所述λ为所述声波的波长。

5.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，定义所述第一中间部的两端或者所述第二中间部的两端沿所述第一汇流条向所述第二汇流条方向的距离为L，其中L＝λA；

和/或，定义所述第一中间部和所述第一主体部之间的夹角，以及所述第二中间部和所述第二主体部之间的夹角均为θ，

其中，0≤A≤0.3，所述λ为所述声波的波长。

6.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，定义所述第一中间部和所述第一主体部之间的夹角，以及所述第二中间部和所述第二主体部之间的夹角均为θ，60°≤θ≤120°，或者90°≤θ≤118°。

7.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，所述谐振器还包括第一假指和第二假指，所述第一假指的一端连接于所述第一汇流条，另一端和所述第一中间部间隔；所述第二假指的一端连接于所述第二汇流条，另一端和所述第二中间部间隔。

8.根据权利要求7所述的谐振器，其特征在于，所述第一假指和所述第二假指变迹加权设置于所述第一汇流条与所述第二汇流条之间。

9.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，所述第一连接部的延伸方向和所述第一主体部的延伸方向平行或呈夹角设置；所述第二连接部的延伸方向和所述第二主体部的延伸方向平行或呈夹角设置。

10.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，所述谐振器还包括第一导电条和第二导电条；

所述第一导电条位于所述第一中间部与所述第一汇流条之间，且至少连接所述第一电极指的所述第一连接部；所述第二导电条位于所述第二中间部与所述第二汇流条之间，且至少连接所述第二电极指的所述第二连接部；

或，所述第一导电条断续设置于所述第一中间部与所述第一汇流条之间，所述第二导电条断续设置于所述第二中间部与所述第二汇流条之间。

11.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，所述第一连接部和所述第一主体部分别连接于所述第一中间部的两端，所述第二连接部和所述第二主体部分别连接于所述第二中间部的两端。

12.一种谐振器，其特征在于，包括：

压电基板；

叉指换能器，所述叉指换能器设置于所述压电基板，所述叉指换能器包括：

相对设置于所述压电基板的第一汇流条和第二汇流条；

多个第一电极指和多个第二电极指，所述第一电极指和所述第二电极指交替设置，所述第一电极指连接于所述第一汇流条，且和所述第二汇流条间隔，所述第二电极指连接于所述第二汇流条，且和所述第一汇流条间隔；

所述第一电极指包括第一连接部、第一中间部以及第一主体部，所述第二电极指包括第二连接部、第二中间部以及第二主体部，所述第一主体部和所述第二主体部沿声波的传播方向具有重叠区域，所述第一连接部连接于所述第一汇流条，所述第一中间部连接于所述第一连接部和所述第一主体部之间，且和所述第二主体部的端部之间具有第一间隙，所述第一连接部和所述第一主体部沿所述声波的传播方向具有距离差，所述第一中间部和所述第一主体部呈夹角设置，所述第一汇流条、所述第一连接部以及所述第一中间部连接形成朝向所述声波传播方向的第一开口；所述第二连接部连接于所述第二汇流条，所述第二中间部连接于所述第二连接部和所述第二主体部之间，且和所述第一主体部之间具有第二间隙，所述第二连接部和所述第二主体部沿所述声波的传播方向具有距离差，所述第二中间部和所述第二连接部呈夹角设置，所述第二汇流条、所述第二连接部以及所述第二中间部连接形成第二开口，所述第二开口和所述第一开口的朝向相反；以及

介电层，所述介电层位于所述压电基板上且覆盖所述叉指换能器。

13.一种滤波器，其特征在于，包括根据权利要求1-12任一项所述的谐振器。

14.一种射频前端模组，其特征在于，包括根据权利要求13所述的滤波器。