CN219658670U - 一种精密晶圆清洗氧化配套设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种精密晶圆清洗氧化配套设备，包括箱体，所述箱体的内部顶端通过连接件固定安装有喷头，所述箱体的顶端中部贯穿开设有条形槽，且所述箱体的内部后侧转动连接有螺纹杆，所述螺纹杆的上下两侧均固定连接有导向杆。本实用新型设置有第一手轮、螺纹杆、第一活动件、第二活动件和夹持件的配合使用，通过转动第一手轮，使得螺纹杆转动，从而使得两个夹持件相互靠近，对晶圆进行夹持固定，其次设置有第二手轮、第二转杆、第一锥齿轮和第二锥齿轮的配合使用，通过转动第二手轮，使得第二转杆转动，从而使得夹持固定的晶圆转动，且此时喷头向下喷出防氧化清洗剂，从而确保了对晶圆进行均匀清洗。
Description
技术领域
本实用新型涉及防氧化清洗技术领域，具体是涉及一种精密晶圆清洗氧化配套设备。
背景技术
随着国内半导体市场的持续火热以及市场对于相关产品需求量的增涨，半导体设备的产能成为半导体生产制造产业的重要指标，当前，在对晶圆进行清洗时，通常会使用到晶圆清洗设备，但是现有的防氧化清洗设备不便于对晶圆进行均匀清洗，从而导致晶圆部分位置无法进行彻底防氧化清洗，影响晶圆的后期使用效果，在一定的程度上，也降低了装置的实用性。
实用新型内容
为解决上述技术问题，提供一种精密晶圆清洗氧化配套设备，本技术方案解决了上述背景技术中提出的不便于对晶圆进行均匀清洗的问题。
为达到以上目的，本实用新型采用的技术方案为：
一种精密晶圆清洗氧化配套设备，包括箱体，所述箱体的内部顶端通过连接件固定安装有喷头，所述箱体的顶端中部贯穿开设有条形槽，且所述箱体的内部后侧转动连接有螺纹杆，所述螺纹杆的上下两侧均固定连接有导向杆，所述螺纹杆的两端分别螺纹连接有第一活动件和第二活动件，所述第一活动件和第二活动件均滑动连接于导向杆的表面，且所述第一活动件和第二活动件的顶端均固定连接有支撑件，左侧所述支撑件的横板底端与第一活动件之间转动连接有第二转杆，所述第二转杆的表面固定安装有第二锥齿轮，两侧所述支撑件均通过轴承转动连接有第一转杆，且两个所述第一转杆相互靠近的一端均固定安装有夹持件，左侧所述第一转杆的左端固定连接有第一锥齿轮，所述第一锥齿轮与第二锥齿轮啮合。
优选的，所述螺纹杆两端开设的螺纹旋向相反，且所述螺纹杆的两端分别螺纹连接有第一活动件和第二活动件。
优选的，所述螺纹杆的右端延伸至箱体的外部，并固定连接有第一手轮。
优选的，所述第二转杆的顶端贯穿条形槽，并固定连接有第二手轮。
优选的，所述箱体的内部底端两侧均固定连接有滤板，两个所述滤板之间安装有收集框，且所述收集框为可拆卸式结构。
优选的，所述箱体的前侧安装有箱门，所述箱体的内部底端通过回水管与水泵的输入端连通，所述水泵固定安装在箱体的顶端，且所述水泵的输出端通过进水管与喷头连通。
与现有技术相比，本实用新型提供了一种精密晶圆清洗氧化配套设备，具备以下有益效果：
本实用新型设置有第一手轮、螺纹杆、第一活动件、第二活动件和夹持件的配合使用，通过转动第一手轮，使得螺纹杆转动，从而使得两个夹持件相互靠近，对晶圆进行夹持固定，其次设置有第二手轮、第二转杆、第一锥齿轮和第二锥齿轮的配合使用，通过转动第二手轮，使得第二转杆转动，带动第二锥齿轮转动，使得第一锥齿轮转动，从而使得夹持固定的晶圆转动，且此时喷头向下喷出防氧化清洗剂，从而确保了对晶圆进行均匀清洗，满足了工作人员的需求。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图；
图2为本实用新型另一视角下的结构示意图；
图3为本实用新型中箱体的内部结构示意图；
图4为本实用新型中图3提出的A处的放大示意图。
图中标号为：
1、箱体；101、箱门；102、条形槽；103、螺纹杆；104、导向杆；105、第一手轮；106、第一活动件；107、第二活动件；108、支撑件；109、轴承；110、第一转杆；111、夹持件；112、第一锥齿轮；113、第二转杆；114、第二锥齿轮；115、第二手轮；2、喷头；201、进水管；202、水泵；203、回水管；3、收集框；301、滤板。
具体实施方式
以下描述用于揭露本实用新型以使本领域技术人员能够实现本实用新型。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。
请参照图1、图3和图4所示，一种精密晶圆清洗氧化配套设备，包括箱体1，箱体1的内部顶端通过连接件固定安装有喷头2，箱体1的顶端中部贯穿开设有条形槽102。
箱体1的内部后侧转动连接有螺纹杆103，螺纹杆103的上下两侧均固定连接有导向杆104，螺纹杆103两端开设的螺纹旋向相反，且螺纹杆103的两端分别螺纹连接有第一活动件106和第二活动件107，螺纹杆103的右端延伸至箱体1的外部，并固定连接有第一手轮105，第一活动件106和第二活动件107均滑动连接于导向杆104的表面，且第一活动件106和第二活动件107的顶端均固定连接有支撑件108，两侧支撑件108均通过轴承109转动连接有第一转杆110，且两个第一转杆110相互靠近的一端均固定安装有夹持件111。
左侧第一转杆110的左端固定连接有第一锥齿轮112，左侧支撑件108的横板底端与第一活动件106之间转动连接有第二转杆113，第二转杆113的表面固定安装有第二锥齿轮114，第一锥齿轮112与第二锥齿轮114啮合，第二转杆113的顶端贯穿条形槽102，并固定连接有第二手轮115。
通过转动第一手轮105，使得螺纹杆103转动，带动第一活动件106和第二活动件107相互靠近，从而使得两个夹持件111相互靠近，对晶圆进行夹持固定，且条形槽102的宽度大于第二转杆113的直径，使得第二转杆113可在条形槽102的内部滑动，且夹持完毕后，通过转动第二手轮115，使得第二转杆113转动，带动第二锥齿轮114转动，使得第一锥齿轮112转动，从而使得夹持固定的晶圆转动。
请参照图3所示，箱体1的内部底端两侧均固定连接有滤板301，两个滤板301之间安装有收集框3，且收集框3为可拆卸式结构，喷头2喷出的防氧化清洗剂掉落在箱体1的内部底端，滤板301对其进行过滤。
进一步的在本实施中，请参照图1和图2所示，箱体1的前侧安装有箱门101，箱体1的内部底端通过回水管203与水泵202的输入端连通，水泵202固定安装在箱体1的顶端，且水泵202的输出端通过进水管201与喷头2连通，且经过滤板301过滤的防氧化清洗剂在水泵202的作用下，使得重新进入到喷头2中，重复使用。
本装置的工作原理及使用流程：在使用本实用新型时，通过转动第一手轮105，使得螺纹杆103转动，带动第一活动件106和第二活动件107相互靠近，从而使得两个夹持件111相互靠近，对晶圆进行夹持固定，且条形槽102的宽度大于第二转杆113的直径，使得第二转杆113可在条形槽102的内部滑动，且夹持完毕后，通过转动第二手轮115，使得第二转杆113转动，带动第二锥齿轮114转动，使得第一锥齿轮112转动，从而使得夹持固定的晶圆转动，且此时喷头2向下喷出防氧化清洗剂，从而确保了对晶圆进行均匀清洗，满足了工作人员的需求。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型的范围内。本实用新型要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。
Claims (6)
1.一种精密晶圆清洗氧化配套设备，其特征在于，包括箱体(1)，所述箱体(1)的内部顶端通过连接件固定安装有喷头(2)，所述箱体(1)的顶端中部贯穿开设有条形槽(102)，且所述箱体(1)的内部后侧转动连接有螺纹杆(103)，所述螺纹杆(103)的上下两侧均固定连接有导向杆(104)，所述螺纹杆(103)的两端分别螺纹连接有第一活动件(106)和第二活动件(107)，所述第一活动件(106)和第二活动件(107)均滑动连接于导向杆(104)的表面，且所述第一活动件(106)和第二活动件(107)的顶端均固定连接有支撑件(108)，左侧所述支撑件(108)的横板底端与第一活动件(106)之间转动连接有第二转杆(113)，所述第二转杆(113)的表面固定安装有第二锥齿轮(114)，两侧所述支撑件(108)均通过轴承(109)转动连接有第一转杆(110)，且两个所述第一转杆(110)相互靠近的一端均固定安装有夹持件(111)，左侧所述第一转杆(110)的左端固定连接有第一锥齿轮(112)，所述第一锥齿轮(112)与第二锥齿轮(114)啮合。
2.根据权利要求1所述的一种精密晶圆清洗氧化配套设备，其特征在于：所述螺纹杆(103)两端开设的螺纹旋向相反，且所述螺纹杆(103)的两端分别螺纹连接有第一活动件(106)和第二活动件(107)。
3.根据权利要求1所述的一种精密晶圆清洗氧化配套设备，其特征在于：所述螺纹杆(103)的右端延伸至箱体(1)的外部，并固定连接有第一手轮(105)。
4.根据权利要求1所述的一种精密晶圆清洗氧化配套设备，其特征在于：所述第二转杆(113)的顶端贯穿条形槽(102)，并固定连接有第二手轮(115)。
5.根据权利要求1所述的一种精密晶圆清洗氧化配套设备，其特征在于：所述箱体(1)的内部底端两侧均固定连接有滤板(301)，两个所述滤板(301)之间安装有收集框(3)，且所述收集框(3)为可拆卸式结构。
6.根据权利要求1所述的一种精密晶圆清洗氧化配套设备，其特征在于：所述箱体(1)的前侧安装有箱门(101)，所述箱体(1)的内部底端通过回水管(203)与水泵(202)的输入端连通，所述水泵(202)固定安装在箱体(1)的顶端，且所述水泵(202)的输出端通过进水管(201)与喷头(2)连通。
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