CN219653120U - 出气板及进气装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于ALD镀膜技术领域，公开了出气板及进气装置。该出气板沿气体的输送方向设置于匀流板的下游，出气板开设有第一出气槽和第二出气槽，第一出气槽用于输出第一反应源，第二出气槽用于输出第二反应源，第一出气槽与第二出气槽不同时输出，至少部分第一出气槽的外周设置有第一沉积部，至少部分第二出气槽的外周设置有第二沉积部。第一沉积部能够将残留的第二反应源沉积，使第二反应源与后输入的第一反应源产生的粉尘沉积至第一沉积部，而第二沉积部能够将残留的第一反应源进行沉积，使第一反应源与后输入的第二反应源混合产生的粉尘沉积至第二沉积部，避免粉尘堵塞出气板的出气槽，降低出气不顺的隐患，且便于维护清理，降低维保频次。

Description

出气板及进气装置

技术领域

本实用新型涉及ALD镀膜技术领域，尤其涉及出气板及进气装置。

背景技术

ALD(原子层沉积)技术是通过将气相前驱体脉冲交替地通入反应室并在沉积基体上发生表面化学反应形成薄膜的一种技术，该技术是将物质以单原子膜的形式一层一层地沉积在基体表面。ALD的进气装置是ALD设备的核心组件之一，会影响沉积效果。

进气装置通常用于将不同的气体进行均匀混合，但是有机源气体和氧源气体在高温中会发生反应，产生粉尘，在实际使用过程中，不同的气体在反应室中反应后经过出气孔流出，少量气体横向窜动在出气板的表面也可能产生一定的粉尘，这些粉尘会堆积在出气孔处，导致出气孔堵塞，不仅会降低生产效率，而且还会增加清理难度。

因此，亟需一种出气板及进气装置以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种出气板及进气装置，该出气板能够避免氧源气体和有机源气体混合产生的粉尘堵塞出气板的出气槽，不仅能够降低出气不畅的隐患，提升硅片的沉积效果，还能够便于清理，降低维保的频次。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

出气板，所述出气板至少开设有第一出气槽和第二出气槽，所述第一出气槽用于输出第一反应源，所述第二出气槽用于输出第二反应源，且所述第一出气槽与所述第二出气槽不同时输出反应源，至少部分所述第一出气槽的外周设置有第一沉积部，至少部分所述第二出气槽的外周设置有第二沉积部。

作为一种可选的技术方案，所述第一出气槽与所述第二出气槽均为长孔。

作为一种可选的技术方案，所述第一出气槽与所述第二出气槽均设置有多个，多个所述第一出气槽与多个所述第二出气槽平行且间隔设置。

作为一种可选的技术方案，所述第一沉积部包括第一沉积槽，所述第一出气槽的两侧均设置有所述第一沉积槽，所述第二沉积部包括第二沉积槽，所述第二出气槽的两侧均设置有所述第二沉积槽。

作为一种可选的技术方案，位于所述第一出气槽两侧的两个所述第一沉积槽与所述第一出气槽的距离相等，且位于所述第二出气槽两侧的两个所述第二沉积槽与所述第二出气槽的距离相等。

作为一种可选的技术方案，至少所述第二沉积槽靠近所述第二出气槽的一侧的侧壁具有倾斜面。

作为一种可选的技术方案，位于所述第二沉积槽两侧的两个所述第二沉积槽的两个所述倾斜面首尾连接形成环形沉积面。

作为一种可选的技术方案，所述第一沉积槽与所述第二沉积槽均设置有至少一个加强筋。

作为一种可选的技术方案，所述出气板开设有连接孔。

本实用新型还采用以下技术方案：

进气装置，所述进气装置包括如上述的出气板。

本实用新型的有益效果：

本实用新型公开一种出气板，该出气板沿气体的输送方向设置于匀流板的下游，出气板开设有第一出气槽和第二出气槽，第一出气槽用于输出第一反应源，第二出气槽用于输出第二反应源，且第一出气槽与第二出气槽不同时输出反应源，至少部分第一出气槽的外周设置有第一沉积部，至少部分第二出气槽的外周设置有第二沉积部。这种出气板不同时输入反应源，设置的第一沉积部能够将残留的第二反应源进行沉积，使得第二反应源与后输入的第一反应源混合产生的粉尘沉积至第一沉积部，而设置的第二沉积部能够将残留的第一反应源进行沉积，使得第一反应源与后输入的第二反应源混合产生的粉尘沉积至第二沉积部，避免粉尘堵塞出气板的出气槽，降低出气不顺的隐患，提高硅片沉积的效果，且便于维护清理，降低维保频次。

本实用新型还公开一种进气装置，包括上述的出气板，该出气板能够有效避免出现出气不畅的问题，且能够便于维护清理，降低维保频次。

附图说明

图1是本实用新型实施例的出气板的结构示意图一；

图2是本实用新型实施例的出气板的主视图；

图3是本实用新型实施例的出气板的俯视图及局部剖视图；

图4是图3中A的局部放大图；

图5是图3中B的局部放大图。

图中：

1、出气板；

10、第一出气槽；11、第一沉积槽；

20、第二出气槽，21、第二沉积槽；23、环形沉积面；24、加强筋；

30、连接孔。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

如图1至图5所示，本实施例提供一种出气板1，该出气板1沿反应源的输送方向设置于匀流板的下游，用于向反应腔室输送反应源，出气板1开设有第一出气槽10和第二出气槽20，第一出气槽10用于输出第一反应源，第二出气槽20用于输出第二反应源，且第一出气槽10与第二出气槽20不同时输出反应源，至少部分第一出气槽10的外周设置有第一沉积部，至少部分第二出气槽20的外周设置有第二沉积部。具体地，本实施例中，出气板1设置于匀流板的下游，第一出气槽10用于输出第一反应源，第二出气槽20用于输出第二反应源，第一反应源为氧源气体，第二反应源为有机源气体，有机源气体和氧源气体在高温中混合会发生反应，产生粉尘，在本实施例中，有机源气体和氧源气体不同时进气，且两者出气是独立的，能够尽可能地避免有机源气体与氧源气体在出气板1处发生混合。

在一些实施例中，先通过第一出气槽10输出氧源气体，氧源气体进入反应腔中进行反应，反应完成后会有部分残留的氧源气体向第二出气槽20的方向横向流动，由于在第二出气槽20的两侧设有第二沉积部，因此残留的氧源气体会堆积在第二沉积部中，后面通过第二出气槽20通入有机源气体，在该位置残留的氧源气体能够与有机源气体产生反应，生成的粉尘会堆积于第二沉积部中，而不会直接堆积在第二出气槽20中，造成第二出气槽20位置粉尘的快速累积，避免粉尘堵塞出气板1的第二出气槽20。这种设置能够避免由于氧源气体和有机源气体混合产生的粉尘堵塞第二出气槽20进而导致出气不畅的情况，确保硅片沉积效果，且粉尘堆积在第二沉积部也能够便于清理，能够降低维保频次。

可选地，在其他实施例中第二出气槽20先输出有机源气体，有机源气体进入反应腔，反应完成后会有部分残留的有机源气体向第一出气槽10的方向横向流动，由于在第一出气槽10的两侧设有第一沉积部，因此残留的有机源气体会堆积在第一沉积部中，后面通过第一出气槽20通入氧源气体，在该位置残留的有机源气体能够与氧源气体产生反应，生成的粉尘会堆积于第一沉积部中，而不会直接堆积在第一出气槽10中，造成第一出气槽10位置粉尘的快速累积，同样能够避免粉尘堵塞出气板1的第一出气槽10，在此不做赘述。

可选地，在其他实施例中，出气板1可以根据实际充入的气体种类还可以包括第三出气槽、第四出气槽等，在此不做赘述。

进一步地，第一出气槽10与第二出气槽20均为长孔。具体地，本实施例中，出气板1设置于匀流板的下游，第一出气槽10与第二出气槽20均设置为长孔能够使得出气较为顺畅，且经过匀流板的出气孔输出的氧源气体与有机源气体经过出气板1后分别先进入第一出气槽10和第二出气槽20，使得氧源气体与有机源气体具有一定的缓冲。

进一步地，第一出气槽10与第二出气槽20均设置有多个，多个第一出气槽10与多个第二出气槽20平行且间隔设置。具体地，这样设置能够使得多个第一出气槽10与多个第二出气槽20分布较为均匀，能够确保第一出气槽10输出的氧源气体与第二出气槽20输出的有机源气体依次布置，有利于氧源气体与有机源气体的充分混合。

进一步地，第一沉积部包括第一沉积槽11，第一出气槽10的两侧均设置有第一沉积槽11，第二沉积部包括第二沉积槽21，第二出气槽20的两侧均设置有第二沉积槽21。具体地，本实施例中，由于第一出气槽10与第二出气槽20出气时，残留的反应源会沿板面向两侧流动，因此在第一出气槽10的两侧均设置有第一沉积槽11，在第二出气槽20的两侧均设置有第二沉积槽21，均能够提升沉积效果，避免粉尘沉积至出气板的出气槽处，堵塞出气槽，影响出气效果。可选地，本实施例中，第一出气槽10的一侧的设置有两个第一沉积槽11，第二出气槽20的一侧也设置有两个第二沉积槽21，设置于第一出气槽10的一侧的两个第一沉积槽11的长度不小于第一出气槽10的长度，设置于第二出气槽20的一侧的两个第二沉积槽21的长度不小于第二出气槽20的长度，能够确保硅片的沉积效果，确保不会堵塞匀流板的出气孔。

进一步地，位于第一出气槽10两侧的两个第一沉积槽11与第一出气槽10的距离相等，位于第二出气槽20两侧的两个第二沉积槽21与第二出气槽20的距离相等。

更进一步地，至少第二沉积槽21靠近第二出气槽20的一侧的侧壁具有倾斜面。具体地，本实施例中，第二沉积槽21靠近第二出气槽20的一侧的侧壁具有倾斜面，该倾斜面能够让残留的氧气源气体堆积至第二沉积槽21中，堆积在第二沉积槽21中的氧气源气体与后通入的有机源气体反应产生的粉尘，该粉尘直接沉积在第二沉积槽21中，避免产生的粉尘沉积至第二出气槽20中，从而避免粉尘堵塞出气板的第二出气槽20。

进一步地，位于第二沉积槽21两侧的两个第二沉积槽21的两个倾斜面首尾连接形成环形沉积面23。具体地，本实施例中，这样设置能够确保残留的部分氧源气体能够沿四周的环形沉积面23沉积至第二沉积槽21，避免氧源气体沿着出气板1的板面继续扩散，提升有机源气体的沉积效果。

需要理解的是，为了更好地提升出气效果，第一沉积槽11可以设置成与第二沉积槽21相同的结构，第一沉积槽11靠近第一出气槽100的一侧的侧壁同样具有倾斜面，该倾斜面能够让残留的有机源气体堆积至第一沉积槽11中，堆积在第一沉积槽11中的有机源气体与后通入的氧源气体反应产生的粉尘，该粉尘直接沉积在第一沉积槽11中，从而避免粉尘堵塞出气板的第一出气槽10。

进一步地，第一沉积槽11与第二沉积槽21均设置有至少一个加强筋24。具体地，本实施例中，为了确保避免沉积粉尘的效果，第一沉积槽11与第二沉积槽21的长度均较长，在第一沉积槽11与第二沉积槽21中均设置有至少一个加强筋24，能够确保出气板1具有较好的机械性能，确保与匀流板连接的稳定性和密封性。可选地，本实施例中，第一沉积槽11与第二沉积槽21中的加强筋24均设置有一个，在其他实施例中，加强筋24的数量可以根据使用需要进行具体的设置，例如：2个、3个甚至更多，在此不做赘述。

进一步地，出气板1开设有连接孔30。具体地，本实施例中，出气板1与匀流板通过螺栓连接，所以在出气板1与匀流板连接的位置均开设有连接孔30，采用螺纹连接具有较好的稳定性，且能够便于拆卸维护。

本实施例还提供一种进气装置，该进气装置包括匀流板和上述的出气板1，该出气板1沿气体的输送方向设置于匀流板的下游，该出气板1能够避免有机源气体与氧源气体产生的粉尘堵塞出气板的出气槽，降低出气不顺的隐患，确保出气效率，提升沉积效果，且维护清理方便，能够降低维保频次。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.出气板，其特征在于，所述出气板(1)开设有第一出气槽(10)和第二出气槽(20)，所述第一出气槽(10)用于输出第一反应源，所述第二出气槽(20)用于输出第二反应源，且所述第一出气槽(10)与所述第二出气槽(20)不同时输出反应源，至少部分所述第一出气槽(10)的外周设置有第一沉积部，至少部分所述第二出气槽(20)的外周设置有第二沉积部。

2.根据权利要求1所述的出气板，其特征在于，所述第一出气槽(10)与所述第二出气槽(20)均为长孔。

3.根据权利要求2所述的出气板，其特征在于，所述第一出气槽(10)与所述第二出气槽(20)均设置有多个，多个所述第一出气槽(10)与多个所述第二出气槽(20)平行且间隔设置。

4.根据权利要求3所述的出气板，其特征在于，所述第一沉积部包括第一沉积槽(11)，所述第一出气槽(10)的两侧均设置有所述第一沉积槽(11)，所述第二沉积部包括第二沉积槽(21)，所述第二出气槽(20)的两侧均设置有所述第二沉积槽(21)。

5.根据权利要求4所述的出气板，其特征在于，位于所述第一出气槽(10)两侧的两个所述第一沉积槽(11)与所述第一出气槽(10)的距离相等，位于所述第二出气槽(20)两侧的两个所述第二沉积槽(21)与所述第二出气槽(20)的距离相等。

6.根据权利要求5所述的出气板，其特征在于，至少所述第二沉积槽(21)靠近所述第二出气槽(20)的一侧的侧壁具有倾斜面。

7.根据权利要求6所述的出气板，其特征在于，位于所述第二沉积槽(21)两侧的两个所述第二沉积槽(21)的两个所述倾斜面首尾连接形成环形沉积面(23)。

8.根据权利要求4-7任一项所述的出气板，其特征在于，所述第一沉积槽(11)与所述第二沉积槽(21)均设置有至少一个加强筋(24)。

9.根据权利要求1所述的出气板，其特征在于，所述出气板(1)开设有连接孔(30)。

10.进气装置，其特征在于，所述进气装置包括如权利要求1-9任一项所述的出气板(1)。