CN219611616U - 一种箝位驱动一体化的尺蠖直线电机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及电机设备领域，提出一种箝位驱动一体化的尺蠖直线电机，包括机座、中间动子、第一箝位驱动机构和第二箝位驱动机构及其控制器；第一箝位驱动机构和第二箝位驱动机构分别位于中间动子的两侧；第一箝位驱动机构和第二箝位驱动机构均包括至少两个箝位驱动足，每个箝位驱动足包括有驱动单元和箝位单元，驱动单元与箝位单元触接；驱动单元分别夹持中间动子的两个相对设置的夹持面、并带动中间动子的滑动面在机座所设的导轨上做直线运动。本实用新型简化了箝位机构和驱动机构的结构和连接关系，使得尺蠖型直线电机结构紧凑，减小了整体体积。

Description

一种箝位驱动一体化的尺蠖直线电机

技术领域

本实用新型涉及电机设备领域，更具体地，涉及一种箝位驱动一体化的尺蠖直线电机。

背景技术

纳米级精度的超精密驱动器是纳米技术的核心动力部分。大行程及高分辨率精密定位系统的驱动方式主要有直线电机、直线电机同压电执行器相结合、新型直线电机等方式。目前，压电尺蠖式直线电机使用两组箝位装置和一个伸缩驱动装置，采用仿生运动原理“箝位-驱动-箝位”，模仿自然界中尺蠖的爬行方式，通过对压电叠堆微小步距的累加能够实现大行程、小步长及高精度的双向步进运动。

现有一种一体式尺蠖直线电机，其包括定平台、动平台和交叉滚珠导轨，动平台通过交叉滚珠导轨滑动连接在定平台上，动平台下方设有两条沿其长度方向上分布的凸筋，凸筋下部向下延伸设有两条导向筋，两条导向筋之间设有两个垂直于导向筋做伸缩运动的箝位机构，两个箝位机构之间设有沿导向筋长度方向运动的驱动机构，驱动机构右侧连接有转接杆，转接杆右侧向外延伸一体成型有连接杆，连接杆另一端与位于右侧的箝位机构相连。

然而，上述直线电机的驱动机构与两侧的箝位机构的连接仍过于复杂，结构不够紧凑，仍存在体积过大的问题。

实用新型内容

本实用新型为克服现有尺蠖型直线电机存在的结构不够紧凑，体积过大的问题的缺陷，提供一种箝位驱动一体化的尺蠖直线电机。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案如下：

本实用新型提出一种箝位驱动一体化的尺蠖直线电机包括机座、中间动子、第一箝位驱动机构和第二箝位驱动机构及其控制器；其中中间动子、第一箝位驱动机构和第二箝位驱动机构均装设在所述机座上，且第一箝位驱动机构和第二箝位驱动机构分别位于中间动子的两侧；所述第一箝位驱动机构和第二箝位驱动机构均包括至少两个箝位驱动足，每个所述箝位驱动足包括有驱动单元和箝位单元，所述驱动单元与箝位单元触接；所述第一箝位驱动机构和所述第二箝位驱动机构的驱动单元分别夹持中间动子的两个相对设置的夹持面、并带动中间动子的滑动面在机座所设的导轨上做直线运动；所述驱动单元和所述箝位单元与控制器电连接，所述控制器控制所述驱动单元和所述箝位单元通放电；所述箝位单元通电后产生垂直于中间动子夹持面方向的形变，所述驱动单元通电后产生平行于中间动子夹持面方向的形变。

在本技术方案中，控制器控制箝位单元通电后产生垂直于中间动子夹持面方向的形变，具体表现为体积缩小处于释放状态；驱动单元通电后，根据通电方向不同可以发生平行于中间动子夹持面方向的形变，当驱动单元通过正方向的电流时驱动单元向下端偏移，当驱动单元通过负方向的电流时驱动单元向上端偏移，具体表现为向驱动单元整体向上端偏移或向下端偏移，当驱动单元不通电时则处于中间初始状态。

在一个具体实施例中，在第一箝位驱动机构和第二箝位驱动机构中，首先对相对处于高处的箝位驱动足中的箝位单元进行通电，使其处于释放状态，箝位单元体积往远离中间动子夹持面的方向压缩，使得驱动单元不再接触中间动子的夹持面，然后对相对处于低处的箝位驱动足中的箝位单元进行断电，使其处于箝位状态，此时对相对处于低处的驱动单元进行通电，当对驱动足通过负方向的电流时驱动足向上端偏移，进而带动中间动子向上做直线运动，当对驱动单元通过正方向的电流时驱动足向下端偏移，进而带动中间动子向下做直线运动。

作为优选的技术方案，机座所设的导轨包括轨道和轨体，机座上开设有与所述轨道相配合的第一凹槽，所述轨道固定设置在所述第一凹槽上；所述中间动子的表面开设有与所述轨体相配合的第二凹槽，所述轨体固定设置在所述第二凹槽上；所述轨道开设有与所述轨体相配合的第三凹槽，所述轨体通过所述第三凹槽与所述轨道滑动连接。

作为优选的技术方案，所述电机还包括上限位装置，所述上限位装置包括限位凸块和支撑立柱，支撑立柱的下端固定在所述机座上，所述限位凸块固定在支撑立柱的上端，且所述限位凸块位于所述中间动子的上方。

作为优选的技术方案，所述上限位装置的底部两侧设置有底座；所述底座开设有第一螺纹孔，所述机座的上端面开设有与所述第一螺纹孔相匹配的第二螺纹孔，所述上限位装置通过所述第一螺纹孔、所述第二螺纹孔以及螺纹杆与所述机座连接。

作为优选的技术方案，所述中间动子包括横梁和方柱；所述横梁与所述方柱垂直，且与所述方柱的上端面可拆卸连接；所述第二凹槽开设在所述方柱的一个侧面上，所述驱动足分别与开设有第二凹槽的侧面的相邻两个侧面接触。

作为优选的技术方案，所述电机还包括下限位装置，下限位装置为装设在方柱顶部的横梁，当所述中间动子运动到下限位时，轨道的顶端与所述横梁接触。

作为优选的技术方案，所述横梁的中部开设有与所述限位凸块的大小和位置相匹配的挖槽。

作为优选的技术方案，所述第一箝位驱动机构和所述第二箝位驱动机构通过固定板与机座连接，所述第一箝位驱动机构和第二箝位驱动机构的至少两个箝位驱动足装设在固定板上，且固定板的一侧通过柔性铰链与机座铰接。

作为优选的技术方案，所述驱动单元和箝位单元由压电陶瓷制成，并粘接在一起。

作为优选的技术方案，所述第一箝位驱动机构和第二箝位驱动机构均包括4个箝位驱动足，所述4个箝位驱动足为2*2的矩阵排列。

与现有技术相比，本实用新型技术方案的有益效果是：本实用新型通过在中间动子的两侧分别设置第一箝位驱动机构和第二箝位驱动机构，所述第一箝位驱动机构和第二箝位驱动机构均设置有一体化粘连的箝位单元和驱动单元，通过通电使所述箝位单元和驱动单元产生形变，改变箝位驱动机构的箝位和驱动状态，即可带动中间动子向上或向下做直线运动，简化了箝位机构和驱动机构的结构和连接关系，使得尺蠖型直线电机结构紧凑，减小了整体体积。

附图说明

图1为本申请实施例的尺蠖直线电机的拆解图。

图2为本申请实施例的尺蠖直线电机的立体图。

图3为本申请实施例中分别具有4个箝位驱动足第一箝位驱动机构和第二箝位驱动机构的结构示意图Ⅰ。

图4为本申请实施例中分别具有4个箝位驱动足第一箝位驱动机构和第二箝位驱动机构的结构示意图Ⅱ。

图5为本申请实施例的中间动子往下端做直线运动的工作状态示意图Ⅰ。

图6为本申请实施例的中间动子往下端做直线运动的工作状态示意图Ⅱ。

图7为本申请实施例的中间动子往下端做直线运动的工作状态示意图Ⅲ。

图8为本申请实施例的中间动子往下端做直线运动的工作状态示意图Ⅳ。

图9为本申请实施例的中间动子往下端做直线运动的工作状态示意图Ⅴ。

图10为本申请实施例的中间动子往下端做直线运动的工作状态示意图Ⅵ。

图11为本申请实施例的导轨的结构示意图。

图12为本申请实施例的中间动子的结构示意图。

图13为本申请实施例的机座的结构示意图。

图14为本申请实施例的上限位装置的结构示意图。

其中，1-机座，101-第一凹槽，2-中间动子，201-横梁，202-方柱，2021第二凹槽，3-第一箝位驱动机构，4-第二箝位驱动机构，5-箝位驱动足，501-驱动足，502-箝位单元，5A-箝位驱动足(A)，501-驱动单元(A)，502-箝位单元(A)，5B-箝位驱动足(B)，501B-驱动单元(B)，502B-箝位单元(B)，5C-箝位驱动足(C)，501C-驱动单元(C)，502C-箝位单元(C)，5D-箝位驱动足(D)，501D-驱动单元(D)，502D-箝位单元(D)，5E-箝位驱动足(E)，501E-驱动单元(E)，502E-箝位单元(E)，5F-箝位驱动足(F)，501F-驱动单元(F)，502F-箝位单元(F)，5G-箝位驱动足(G)，501G-驱动单元(G)，502G-箝位单元(G)，5H-箝位驱动足(H)，501H-驱动单元(H)，502H-箝位单元(H)，6-导轨，601-轨道，6011第三凹槽，602-轨体，7-上限位装置，701-限位凸块，702-底座，703-限位凹槽，支撑立柱-704，8-固定板。

具体实施方式

这里将详细地对示例性实施例进行说明，其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的方式并不代表与本申请相一致的所有方式。相反，它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本申请的一些方面相一致的装置和方法的例子。

在本申请使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本申请。在本申请和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。还应当理解，本文中使用的术语“和/或”是指并包含一个或多个相关联的列出项目的任何或所有可能组合。

应当理解，本申请说明书以及权利要求书中使用的“第一”“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”或者“一”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。除非另行指出，“前部”、“后部”、“下部”和/或“上部”等类似词语只是为了便于说明，而并非限于一个位置或者一种空间定向。“包括”或者“包含”等类似词语意指出现在“包括”或者“包含”前面的元件或者物件涵盖出现在“包括”或者“包含”后面列举的元件或者物件及其等同，并不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而且可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本公开的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本公开的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本公开。

下面结合附图，对本申请实施例进行详细说明。在不冲突的情况下，下述的实施例中的特征可以相互组合。

下面结合附图和实施例对本实用新型的技术方案做进一步的说明。

实施例一

参阅图1-图2，本实施例提出一种箝位驱动一体化的尺蠖直线电机包括机座1、中间动子2、第一箝位驱动机构3和第二箝位驱动机构4及其控制器；其中中间动子2、第一箝位驱动机构3和第二箝位驱动机构4均装设在所述机座1上，且第一箝位驱动机构3和第二箝位驱动机构4分别位于中间动子2的两侧；所述第一箝位驱动机构3和第二箝位驱动机构4均包括至少两个箝位驱动足5，每个所述箝位驱动足包括有驱动单元501和箝位单元502，所述驱动单元501与箝位单元502触接；所述第一箝位驱动机构3和所述第二箝位驱动机构4的驱动单元501分别夹持中间动子2的两个相对设置的夹持面、并带动中间动子2的滑动面在机座1所设的导轨6上做直线运动；所述驱动单元501和所述箝位单元502与控制器电连接，所述控制器控制所述驱动单元501和所述箝位单元502通放电；所述箝位单元502通电后产生垂直于中间动子2夹持面方向的形变，所述驱动单元501通电后产生平行于中间动子2夹持面方向的形变。

在具体实施过程中，在第一箝位驱动机构3和第二箝位驱动机构4中，首先对相对处于高处的箝位驱动足5中的箝位单元502进行通电，使其处于释放状态，箝位单元502体积往远离中间动子2的夹持面的方向压缩，使得驱动单元501不再接触中间动子2的夹持面，然后对相对处于低处的箝位驱动足5中的箝位单元502进行断电，使其处于箝位状态，此时对相对处于低处的驱动足5进行通电，当对驱动单元501通过负方向的电流时驱动单元501向上端偏移，进而带动中间动子2向上做直线运动，当对驱动单元501通过正方向的电流时驱动足向下端偏移，进而带动中间动子2向下做直线运动。

本实施例所提出的尺蠖直线电机，通过在中间动子2的两侧分别设置第一箝位驱动机构3和第二箝位驱动机构4，所述第一箝位驱动机构3和第二箝位驱动机构4均设置有一体化粘连的箝位单元502和驱动单元501，通过通电使所述箝位单元502和驱动单元501产生形变，改变箝位驱动机构5的箝位和驱动状态，即可带动中间动子2向上或向下做直线运动，简化了箝位机构和驱动机构的结构和连接关系，使得尺蠖型直线电机结构紧凑，减小了整体体积。

实施例二

本实施例在实施例一提出的箝位驱动一体化的尺蠖直线电机的基础上，提出一种第一箝位驱动机构3和第二箝位驱动机构4均包括4个箝位驱动足的箝位驱动一体化的尺蠖直线电机。

如图3和图4所示，所述第一箝位驱动机构3包括4个箝位驱动足，包括箝位驱动足(A)5A、箝位驱动足(B)5B、箝位驱动足(C)5C、和箝位驱动足(D)5D；所述箝位驱动足(A)5A、箝位驱动足(B)5B、箝位驱动足(C)5C、和箝位驱动足(D)5D为2*2的矩阵排列。所述箝位驱动足(A)5A包括一体化粘连的驱动单元(A)501A和箝位单元(A)502A，所述箝位驱动足(B)5B包括一体化粘连的驱动单元(B)501B和箝位单元(B)502B，所述箝位驱动足(C)5C包括一体化粘连的驱动单元(C)501C和箝位单元(C)502C，所述箝位驱动足(D)5D包括一体化粘连的驱动单元(D)501D和箝位单元(D)502D。

所述第二箝位驱动机构4包括4个箝位驱动足，包括箝位驱动足(E)5E、箝位驱动足(F)5F、箝位驱动足(G)5G、和箝位驱动足(H)5H；箝位驱动足(E)5E、箝位驱动足(F)5F、箝位驱动足(G)5G、和箝位驱动足(H)5H为2*2的矩阵排列。所述箝位驱动足(E)5E包括一体化粘连的驱动单元(E)501E和箝位单元(E)502E，所述箝位驱动足(F)5F包括一体化粘连的驱动单元(F)501F和箝位单元(F)502F，所述箝位驱动足(G)5G包括一体化粘连的驱动单元(G)501G和箝位单元(G)502G，所述箝位驱动足(H)5H包括一体化粘连的驱动单元(H)501H和箝位单元(H)502H。

本实施例展示中间动子2向下端做直线运动的过程，具体的步骤为：

步骤一：如图5所示，第一箝位驱动机构3和第二箝位驱动机构4中所有的箝位驱动足均断电，所有驱动单元的和箝位单元均处于断电状态，即驱动单元处于初始状态，箝位单元处于箝位状态，此时第一箝位驱动机构3和第二箝位驱动机构4断电自锁。

步骤二：如图6所示，在第一箝位驱动机构3中，箝位驱动足(C)5C中的箝位单元(C)502C和箝位驱动足(D)5D中的箝位单元(D)502D均通电，箝位单元(C)502C和箝位单元(D)502D产生垂直于中间动子2的夹持面方向的形变，体积缩小，使得箝位单元(C)502C和箝位单元(D)502D处于释放状态，箝位驱动足(A)5A中的箝位单元(A)502A和箝位驱动足(B)5B中的箝位单元(B)502B均断电，箝位单元(A)502A和箝位单元(B)502B处于箝位状态，驱动单元(A)501A、(B)、(C)和(D)均断电，处于初始状态。在第二箝位驱动机构4中，箝位驱动足(G)5G中的箝位单元(G)502G和箝位驱动足(H)5H中的箝位单元(H)502H均通电，箝位单元(G)502G和箝位单元(H)502H产生垂直于中间动子2的夹持面方向的形变，体积缩小，使得箝位单元(G)502G和箝位单元(H)502H处于释放状态，箝位驱动足(E)5E中的箝位单元(E)502E和箝位驱动足(F)5F中的箝位单元(F)502F均断电，箝位单元(E)502E和箝位单元(F)502F处于箝位状态，驱动单元(E)501E、(F)、(G)和J均断电，处于初始状态。

步骤三：如图7所示，对驱动单元(A)501A、驱动单元(B)501B、驱动单元(E)501E和驱动单元(F)501F通正方向的电流，驱动单元(A)501A、驱动单元(B)501B、驱动单元(E)501E和驱动单元(F)501F发生平行于中间动子2夹持面下端方向的形变，向中间动子2下端方向偏移，进而带动中间动子2向下做直线运动。驱动单元(C)501C、驱动单元(D)501D、驱动单元(G)501G和驱动单元(H)501H通负方向的电流，驱动单元(C)501C、驱动单元(D)501D、驱动单元(G)501G和驱动单元(H)501H发生平行于中间动子2下端方向的形变，向中间动子2上端方向偏移。

步骤四：如图8所示，第一箝位驱动机构3和第二箝位驱动机构4中所有箝位驱动足均处于断电状态，所有箝位单元处于箝位状态。此时继续对驱动单元(A)501A、驱动单元(B)501B、驱动单元(E)501E和驱动单元(F)501F通正方向的电流，驱动单元(A)501A、驱动单元(B)501B、驱动单元(E)501E和驱动单元(F)501F发生平行于中间动子2下端方向的形变，向中间动子2下端方向偏移；继续对驱动单元(C)501C、驱动单元(D)501D、驱动单元(G)501G和驱动单元(H)501H通负方向的电流，驱动单元(C)501C、驱动单元(D)501D、驱动单元(G)501G和驱动单元(H)501H发生平行于中间动子2夹持面下端方向的形变，向中间动子2上端方向偏移。

步骤五：如图9所示，箝位驱动足(A)5A中的箝位单元(A)502A和箝位驱动足(B)5B中的箝位单元(B)502B均通电，箝位单元(A)502A和箝位单元(B)502B产生垂直于中间动子2的夹持面方向的形变，体积缩小，使得箝位单元(A)502A和箝位单元(B)502B处于释放状态，箝位驱动足(C)5C中的箝位单元(C)502C和箝位驱动足(D)5D中的箝位单元(D)502D均断电，箝位单元(C)502C和箝位单元(D)502D处于箝位状态；箝位驱动足(E)5E中的箝位单元(E)502E和箝位驱动足(F)5F中的箝位单元(F)502F均通电，箝位单元(E)502E和箝位单元(F)502F产生垂直于中间动子2的夹持面方向的形变，体积缩小，使得箝位单元(E)502E和箝位单元(F)502F处于释放状态，箝位驱动足(G)5G中的箝位单元(G)502G和箝位驱动足(H)5H中的箝位单元(H)502H均断电，箝位单元(G)502G和箝位单元(H)502H处于箝位状态。此时，继续对驱动单元(A)501A、驱动单元(B)501B、驱动单元(E)501E和驱动单元(F)501F通正方向的电流，驱动单元(A)501A、驱动单元(B)501B、驱动单元(E)501E和驱动单元(F)501F发生平行于中间动子2夹持面下端方向的形变，向中间动子2下端方向偏移；继续对驱动单元(C)501C、驱动单元(D)501D、驱动单元(G)501G和驱动单元(H)501H通负方向的电流，驱动单元(C)501C、驱动单元(D)501D、驱动单元(G)501G和驱动单元(H)501H发生平行于中间动子2夹持面上端方向的形变，向中间动子2上端方向偏移。

步骤六：如图10所示，对驱动单元(A)501A、驱动单元(B)501B、驱动单元(C)501C、驱动单元(D)501D、驱动单元(E)501E、驱动单元(F)501F、驱动单元(G)501G和驱动单元(H)501H均进行断电，此时所有驱动足都回到初始状态，进而带动中间动子2向下做直线运动。

一个压电周期内直线电机可以实现两步运动，重复步骤一-步骤六，中间动子2便可连续向下做直线运动。通过改变驱动足的通电方向，便可使中间动子2向上做直线运动。

实施例三

本实施例在实施例一提出的箝位驱动一体化的尺蠖直线电机的基础上作出改进。

本实施例中，如图11-13所示，机座1所设的导轨6包括轨道601和轨体602，机座1上开设有与所述轨道601相配合的第一凹槽101，所述轨道601固定设置在所述第一凹槽101上；所述中间动子2的表面开设有与所述轨体602相配合的第二凹槽2021，所述轨体602固定设置在所述第二凹槽2021上；所述轨道601开设有与所述轨体602相配合的第三凹槽6011，所述轨体602通过所述第三凹槽6011与所述轨道601滑动连接。所述中间动子2包括横梁201和方柱202；所述横梁201与所述方柱202垂直，且与所述方柱202的上端面可拆卸连接；所述第二凹槽2021开设在所述方柱202的一个侧面上，所述驱动足分别与开设有第二凹槽2021的侧面的相邻两个侧面接触。所述横梁201的中部开设有与所述限位凸块701的大小和位置相匹配的挖槽，当中间动子2接近上限位时，所述挖槽刚好能够时限位凸块701通过横梁201，接触方柱202的上端面。所述电机还包括下限位装置，下限位装置为装设在方柱202顶部的横梁201，当所述中间动子2运动到下限位时，轨道601的顶端与所述横梁201接触，达到下限位的目的。

本实施例中，所述第一箝位驱动机构3和所述第二箝位驱动机构4通过固定板8与机座1连接，所述第一箝位驱动机构3和第二箝位驱动机构4的至少两个箝位驱动足5装设在固定板8上，且固定板8的一侧通过柔性铰链与机座1铰接。所述驱动单元501和箝位单元502由压电陶瓷制成，并粘接在一起。

本实施例中，如图14所示，所述尺蠖直线电机还包括上限位装置7，所述上限位装置7包括限位凸块701和支撑立柱704，支撑立柱704的下端固定在所述机座1上，所述限位凸块701固定在支撑立柱704的上端，且所述限位凸块701位于所述中间动子2的上方。所述上限位装置7的底部两侧设置有底座702；所述底座702开设有第一螺纹孔，所述机座1的上端面开设有与所述第一螺纹孔相匹配的第二螺纹孔，所述上限位装置7通过所述第一螺纹孔、所述第二螺纹孔以及螺纹杆与所述机座1连接。

在具体实施过程中，所述轨道601固定设置在所述第一凹槽101上，使得轨道601固定在机座1上。所述轨体602通过所述第三凹槽6011与所述轨道601滑动连接，使得轨体602能够在轨道601上进行竖直运动。所述轨体602固定设置在所述第二凹槽2021上，使得轨体602固定在中间动子2上，当中间动子2运动到下限位时，轨道601的顶部将与中间动子2上的横梁201相接触，达到下限位的目的。当中间动子2运动至上限位时，限位凸块701与中间动子2的方柱202的上端面相接触，达到上限位的目的。

相同或相似的标号对应相同或相似的部件；

附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制；

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为清楚地说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种箝位驱动一体化的尺蠖直线电机，其特征在于，包括机座（1）、中间动子（2）、第一箝位驱动机构（3）和第二箝位驱动机构（4）及其控制器；

其中中间动子（2）、第一箝位驱动机构（3）和第二箝位驱动机构（4）均装设在所述机座（1）上，且第一箝位驱动机构（3）和第二箝位驱动机构（4）分别位于中间动子（2）的两侧；

所述第一箝位驱动机构（3）和第二箝位驱动机构（4）均包括至少两个箝位驱动足（5），每个所述箝位驱动足包括有驱动单元（501）和箝位单元（502），所述驱动单元（501）与箝位单元（502）触接；

所述第一箝位驱动机构（3）和所述第二箝位驱动机构（4）的驱动单元（501）分别夹持中间动子（2）的两个相对设置的夹持面、并带动中间动子（2）的滑动面在机座（1）所设的导轨（6）上做直线运动；

所述驱动单元（501）和所述箝位单元（502）与控制器电连接，所述控制器控制所述驱动单元（501）和所述箝位单元（502）通放电；所述箝位单元（502）通电后产生垂直于中间动子（2）夹持面方向的形变，所述驱动单元（501）通电后产生平行于中间动子（2）夹持面方向的形变。

2.根据权利要求1所述的箝位驱动一体化的尺蠖直线电机，其特征在于，机座（1）所设的导轨（6）包括轨道（601）和轨体（602），机座（1）上开设有与所述轨道（601）相配合的第一凹槽（101），所述轨道（601）固定设置在所述第一凹槽（101）上；

所述中间动子（2）的表面开设有与所述轨体（602）相配合的第二凹槽（2021），所述轨体（602）固定设置在所述第二凹槽（2021）上；

所述轨道（601）开设有与所述轨体（602）相配合的第三凹槽（6011），所述轨体（602）通过所述第三凹槽（6011）与所述轨道（601）滑动连接。

3.根据权利要求2所述的箝位驱动一体化的尺蠖直线电机，其特征在于，还包括上限位装置（7），所述上限位装置（7）包括限位凸块（701）和支撑立柱（704），支撑立柱（704）的下端固定在所述机座（1）上，所述限位凸块（701）固定在支撑立柱（704）的上端，且所述限位凸块（701）位于所述中间动子（2）的上方。

4.根据权利要求3所述的箝位驱动一体化的尺蠖直线电机，其特征在于，所述上限位装置（7）的底部两侧设置有底座（702）；所述底座（702）开设有第一螺纹孔，所述机座（1）的上端面开设有与所述第一螺纹孔相匹配的第二螺纹孔，所述上限位装置（7）通过所述第一螺纹孔、所述第二螺纹孔以及螺纹杆与所述机座（1）连接。

5.根据权利要求3所述的箝位驱动一体化的尺蠖直线电机，其特征在于，所述中间动子（2）包括横梁（201）和方柱（202）；所述横梁（201）与所述方柱（202）垂直，且与所述方柱（202）的上端面可拆卸连接；

所述第二凹槽（2021）开设在所述方柱（202）的一个侧面上，所述驱动足分别与开设有第二凹槽（2021）的侧面的相邻两个侧面接触。

6.根据权利要求5所述的箝位驱动一体化的尺蠖直线电机，其特征在于，还包括下限位装置，下限位装置为装设在方柱（202）顶部的横梁（201），当所述中间动子（2）运动到下限位时，轨道（601）的顶端与所述横梁（201）接触。

7.根据权利要求5所述的箝位驱动一体化的尺蠖直线电机，其特征在于，所述横梁（201）的中部开设有与所述限位凸块（701）的大小和位置相匹配的挖槽。

8.根据权利要求1所述的箝位驱动一体化的尺蠖直线电机，其特征在于，所述第一箝位驱动机构（3）和所述第二箝位驱动机构（4）通过固定板（8）与机座（1）连接，所述第一箝位驱动机构（3）和第二箝位驱动机构（4）的至少两个箝位驱动足（5）装设在固定板（8）上，且固定板（8）的一侧通过柔性铰链与机座（1）铰接。

9.根据权利要求1所述的箝位驱动一体化的尺蠖直线电机，其特征在于，所述驱动单元（501）和箝位单元（502）由压电陶瓷制成，并粘接在一起。

10.根据权利要求1~9任一项所述的箝位驱动一体化的尺蠖直线电机，其特征在于，所述第一箝位驱动机构（3）和第二箝位驱动机构（4）均包括4个箝位驱动足（5），所述4个箝位驱动足（5）为2*2的矩阵排列。