CN219610409U - 一种晶圆吸盘粘合夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体生产制造技术领域，尤其为一种晶圆吸盘粘合夹具，包括有底座，所述底座的上端设置有多个定位销，所述底座的上端开设有底模槽，所述底模槽的底部开设有多个模孔，所述底座的上端设置有产品下部，所述底座的上方设置有产品上部，所述底座的上方设置有上盖板，所述上盖板的下端开设有多个定位孔。该晶圆吸盘粘合夹具，设置了四个定位销，为底座与上盖板的对准作业辅助定位，四个方向上的定位对齐效果好，操作简单，定位销与底座螺纹连接，连接方式简单，模块化的设置制造成本低，便于维护。

Description

一种晶圆吸盘粘合夹具

技术领域

本实用新型涉及半导体生产制造技术领域，具体为一种晶圆吸盘粘合夹具。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶片，也就是晶圆。

在对晶圆进行加工时，常采用晶圆手臂对晶圆进行夹取、固定，为保证晶圆不会轻易从晶圆手臂脱落，一般还会在晶圆手臂上设置吸盘，用以吸附晶圆，在现有技术中该部件多为陶瓷烧制而成，加工难度大，成本高，易碎等缺点。

如公告号CN218241799U的中国实用新型专利公开了吸盘及晶圆手臂，其公开的吸盘及晶圆手臂采用陶瓷手臂加工难度大，成本高及易碎，使用不便。

由此可见，提供一种成本低且稳定可靠的晶圆吸盘粘合夹具为本领域亟需解决的问题。

实用新型内容

针对现有晶圆手臂上设置的吸盘所存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种晶圆吸盘粘合夹具，其成本低且稳定可靠性，可有效解决背景技术部分中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供的晶圆吸盘粘合夹具，包括有底座，所述底座的上端设置有多个定位销，所述底座的上端开设有底模槽，所述底模槽的底部开设有多个模孔，所述底座的上端设置有产品下部，所述底座的上方设置有产品上部，所述底座的上方设置有上盖板，所述上盖板的下端开设有多个定位孔，所述上盖板的下端设置有顶模。

优选的，所述定位销设置有四个，四个所述定位销均匀分布在底座的四个方向上。

通过上述技术方案，设置了四个定位销，为底座与上盖板的对准作业辅助定位，四个方向上的定位对齐效果好，操作简单。

优选的，所述底座开设四个圆孔且圆孔内开设有螺纹，所述定位销的下端开设有螺纹，所述底座与定位销螺纹连接。

通过上述技术方案，定位销与底座螺纹连接，连接方式简单，定位销磨损或损坏时便于更换，模块化的设置制造成本低，便于维护。

优选的，所述底模槽与产品下部相适配，所述产品下部与产品上部相适配。

通过上述技术方案，设置了底模槽，晶圆吸盘粘合夹具在使用时将产品下部放置在底模槽内部，将产品下部上端和产品上部下端部均匀涂抹进口胶水，将产品上部放置在产品上部上端，上盖板通过定位销与定位孔限位连接，使顶模与底模槽相接触，将底座与上盖板的上下端施加适当压力，使产品上部与产品下部牢固粘接，设置了模孔，便于脱模，避免产品下部与底模槽之间产生真空导致脱模困难。

优选的，所述上盖板的尺寸与底座的尺寸相同，所述上盖板开设四个定位孔与定位销相适配。

通过上述技术方案，设置了尺寸相同的上盖板与底座，便于大规模制造，制造成本低，上盖板开设的定位孔与定位销相适配，定位效果好，粘合作业操作简单。

优选的，所述顶模与底模槽相适配，所述底座、定位销、上盖板的材质为耐磨合金材料，所述产品下部和产品上部的材质为铝合金材料。

通过上述技术方案，设置了耐磨合金材料的底座、定位销、上盖板，提升了夹具的使用寿命，产品下部和产品上部的材质为铝合金材料，相较于现有陶瓷烧制的该部件，加工难度小，制造成本低，耐用，不易碎，制造周期短，非常实用。

与现有技术相比，本实用新型提供的晶圆吸盘粘合夹具相对于现有技术，具有如下有益效果：

1.该晶圆吸盘粘合夹具，设置了四个定位销，为底座与上盖板的对准作业辅助定位，四个方向上的定位对齐效果好，操作简单，定位销与底座螺纹连接，连接方式简单，定位销磨损或损坏时便于更换，模块化的设置制造成本低，便于维护，设置了底模槽，晶圆吸盘粘合夹具在使用时将产品下部放置在底模槽内部，将产品下部上端和产品上部下端部均匀涂抹进口胶水，将产品上部放置在产品上部上端，上盖板通过定位销与定位孔限位连接，使顶模与底模槽相接触，将底座与上盖板的上下端施加适当压力，使产品上部与产品下部牢固粘接，设置了模孔，便于脱模，避免产品下部与底模槽之间产生真空导致脱模困难；

2.该晶圆吸盘粘合夹具，设置了尺寸相同的上盖板与底座，便于大规模制造，制造成本低，上盖板开设的定位孔与定位销相适配，定位效果好，粘合作业操作简单，设置了耐磨合金材料的底座、定位销、上盖板，提升了夹具的使用寿命，产品下部和产品上部的材质为铝合金材料，相较于现有陶瓷烧制的该部件，加工难度小，制造成本低，耐用，不易碎，制造周期短，非常实用。

附图说明

图1为本实用新型拆分结构第一视角示意图；

图2为本实用新型拆分结构第二视角示意图；

图3为本实用新型拆分结构第三视角示意图；

图4为本实用新型中底座组合结构示意图。

图中：1、底座；2、定位销；3、底模槽；4、模孔；5、产品下部；6、产品上部；7、上盖板；8、定位孔；9、顶模。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例一：

如图1-4所示，图中所示为本实用新型提供的晶圆吸盘粘合夹具的构成结构。

由图可知，本晶圆吸盘粘合夹具包括有底座1，定位销2、上盖板7以及顶模9等。

具体的，底座1的上端设置有多个定位销2，同时在底座1的上端开设有底模槽3，底模槽3的底部开设有多个模孔4，底座1的上端设置有产品下部5，底座1的上方设置有产品上部6，底座1的上方设置有上盖板7，上盖板7的下端开设有多个定位孔8，上盖板7的下端设置有顶模9。

据此形成的晶圆吸盘粘合夹具其结构合理，使用时将产品下部5放置在底模槽3内部，将产品下部5上端和产品上部6下端部均匀涂抹进口胶水，将产品上部6放置在产品上部6上端，上盖板7通过定位销2与定位孔8限位连接，使顶模9与底模槽3相接触，将底座1与上盖板7的上下端施加适当压力，使产品上部6与产品下部5牢固粘接，设置了模孔4，便于脱模，避免产品下部5与底模槽3之间产生真空导致脱模困难。

在本实用新型的一些实施方式中，定位销2设置有四个，四个定位销2均匀分布在底座1的四个方向上。优点是，设置了四个定位销2，为底座1与上盖板7的对准作业辅助定位，四个方向上的定位对齐效果好，操作简单。

在本实用新型的一些实施方式中，底座1开设四个圆孔且圆孔内开设有螺纹，定位销2的下端开设有螺纹，底座1与定位销2螺纹连接。优点是，定位销2与底座1螺纹连接，连接方式简单，定位销2磨损或损坏时便于更换，模块化的设置制造成本低，便于维护。

在本实用新型的一些实施方式中，底模槽3与产品下部5相适配，产品下部5与产品上部6相适配。优点是，设置了底模槽3，晶圆吸盘粘合夹具在使用时将产品下部5放置在底模槽3内部，将产品下部5上端和产品上部6下端部均匀涂抹进口胶水，将产品上部6放置在产品上部6上端，上盖板7通过定位销2与定位孔8限位连接，使顶模9与底模槽3相接触，将底座1与上盖板7的上下端施加适当压力，使产品上部6与产品下部5牢固粘接，设置了模孔4，便于脱模，避免产品下部5与底模槽3之间产生真空导致脱模困难。

实施例二：

同样结合图1-4，本实例作为对实施例1给出的方案改进实施例。

在本实例的一些实施方式中，晶圆吸盘粘合夹具中的上盖板7的尺寸与底座1的尺寸相同，上盖板7具体开设四个定位孔8与定位销2相适配。优点是，设置了尺寸相同的上盖板7与底座1，便于大规模制造，制造成本低，上盖板7开设的定位孔8与定位销2相适配，定位效果好，粘合作业操作简单。

在本实例的一些实施方式中，晶圆吸盘粘合夹具中的顶模9与底模槽3相适配，底座1、定位销2、上盖板7的材质为耐磨合金材料，产品下部5和产品上部6的材质为铝合金材料。优点是，设置了耐磨合金材料的底座1、定位销2、上盖板7，提升了夹具的使用寿命，产品下部5和产品上部6的材质为铝合金材料，相较于现有陶瓷烧制的该部件，加工难度小，制造成本低，耐用，不易碎，制造周期短，非常实用。

针对基于上述实例所形成的晶圆吸盘粘合夹具，以下举例说明一下其工作运行过程。

本晶圆吸盘粘合夹具，使用时将产品下部5放置在底模槽3内部，将产品下部5上端和产品上部6下端部均匀涂抹进口胶水，将产品上部6放置在产品上部6上端，上盖板7通过定位销2与定位孔8限位连接，使顶模9与底模槽3相接触，将底座1与上盖板7的上下端施加适当压力，使产品上部6与产品下部5牢固粘接，设置了模孔4，便于脱模，避免产品下部5与底模槽3之间产生真空导致脱模困难。

最后应说明的是：以上仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种晶圆吸盘粘合夹具，包括有底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的上端设置有多个定位销(2)，所述底座(1)的上端开设有底模槽(3)，所述底模槽(3)的底部开设有多个模孔(4)，所述底座(1)的上端设置有产品下部(5)，所述底座(1)的上方设置有产品上部(6)，所述底座(1)的上方设置有上盖板(7)，所述上盖板(7)的下端开设有多个定位孔(8)，所述上盖板(7)的下端设置有顶模(9)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆吸盘粘合夹具，其特征在于：所述定位销(2)设置有四个，四个所述定位销(2)均匀分布在底座(1)的四个方向上。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆吸盘粘合夹具，其特征在于：所述底座(1)开设四个圆孔且圆孔内开设有螺纹，所述定位销(2)的下端开设有螺纹，所述底座(1)与定位销(2)螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆吸盘粘合夹具，其特征在于：所述底模槽(3)与产品下部(5)相适配，所述产品下部(5)与产品上部(6)相适配。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆吸盘粘合夹具，其特征在于：所述上盖板(7)的尺寸与底座(1)的尺寸相同，所述上盖板(7)开设四个定位孔(8)与定位销(2)相适配。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆吸盘粘合夹具，其特征在于：所述顶模(9)与底模槽(3)相适配，所述底座(1)、定位销(2)、上盖板(7)的材质为耐磨合金材料，所述产品下部(5)和产品上部(6)的材质为铝合金材料。