CN219605531U - 一种运行稳定的往复泵 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种运行稳定的往复泵，包括，换向组件，包括推拉杆；动力组件，连接于换向组件以为其提供驱动流体；两个风囊，通过推拉杆连接；泵壳，套设于风囊的外侧；风囊包括，安装部，与换向组件密封配合，以限定形成驱动流体室，且与泵壳密封配合，以限定形成对象流体室；头部，可轴向运动使得对象流体室吸入或排出对象流体，具有与运动方向相垂直的抵压面；波纹管部，设于安装部和头部之间，首端与头部外边沿相连；抵压面朝向波纹管部，且单侧径向宽度大于波纹管部。本实用新型风囊的波纹管部首端与头部外边沿相连，抵压面的面积较大，高压驱动流体可更多作用在抵压面上，延长风囊使用寿命；避免高压流体使波纹管部径向外侧膨胀。

Description

一种运行稳定的往复泵

技术领域

本实用新型属于往复泵技术领域，尤其是涉及一种运行稳定的往复泵。

背景技术

往复泵是半导体生产产业链中不可或缺的泵体设备，其采用压缩空气为动力，内部风囊往复运动，带动流体输送。风囊的泵腔分为两个工作腔，每个工作腔分为气相工作腔和液相工作腔两部分，压缩空气进入泵的气相工作腔后，压缩风囊变形移动，通过动力组件控制压缩空气依次进入两个气相工作腔工作，利用液相工作腔的交替吸液排液，实现对流体的输送。在半导体制造中需要使用到各种流体，例如研磨液，刻蚀工序的酸碱，有机腐蚀剂等，这些流体在泵体提供原始动力后在各个设备之间输送。

现有技术中的往复泵，通常将波纹管部的首端连接在头部的中环区域，以使得波纹管部外圈与头部的外圈相对齐平，上述结构在220次/min的往复运动周期下，波纹管部容易发生损坏，或者波纹管部与换向组件之间的连接处容易发生松动，存在易泄漏、使用寿命短的问题，不但会导致流体泄漏造成浪费，甚至可能灼伤操作者的皮肤，存在较大的安全隐患。

发明内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一种运行稳定的往复泵，其将风囊的波纹管部首端连接在头部的外边沿，头部形成面积较大的抵压面，可以避免波纹管部局部拉伸过度，延长波纹管部的使用寿命。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种运行稳定的往复泵，包括：

泵壳；

两个风囊，在泵壳内部对称设置；

第一流道，可输入驱动流体以驱动风囊膨胀或收缩；

第二流道，可供对象流体在其内部流动，且具有连接外部管路的入口和出口；

所述风囊包括：

安装部，其将风囊密封设置在泵壳内部，以形成相互隔绝的驱动流体室和对象流体室；所述驱动流体室连通第一流道，所述对象流体室连通第二流道；

头部，可轴向运动以使得所述对象流体室吸入或排出对象流体，该头部具有与运动方向相垂直的抵压面；或，所述头部具有弧形且对称设置的抵压面，且该抵压面的对称面包含风囊中轴线；

波纹管部，设于安装部和头部之间，其首端与头部外边沿相连；

所述抵压面朝向波纹管部，且其单侧径向宽度大于所述波纹管部的单侧径向宽度。

本实用新型中风囊的波纹管部首端与头部外边沿相连，抵压面的横向宽度增大，其面积较大，高压驱动流体可更多作用在该抵压面上，以轴向推动头部向外运动，避免风囊因局部拉伸过渡而造成的寿命短；另一方面，也可避免高压流体使波纹管部的一处或多处向径向外侧膨胀，不利于对象流体向泵室出口运动，因为径向膨胀会推动料液径向运动，而料液进出口位于对象流体室的轴侧，使得料液向出口方向运动的压降过大，也会导致波纹管部的寿命变短；再者，风囊的预设运动方向平行于推拉杆的轴向，更大的抵压面垂直于运动方向可避免推拉杆在长期使用中倾斜并产生磨损，同时可保证波纹管部周向各处的均衡收缩。

进一步的，所述波纹管部的单侧包括多个首尾相连的腿部，所述腿部的径向长度为L₁，相邻腿部的间隙为L₂，则L₂≥2L₁*Sin2°。

如此设置，风囊在被伸长或压缩时，腿部通过较小的变化角度波纹管部即可具有较大的轴向运动距离；在风囊被压缩时，保证相邻腿部具有足够的间隙相互靠近。

进一步的，所述波纹管的单侧径向最大宽度为L，所述抵压面的单侧径向宽度为D，则D/L＝1.1-1.5。

如此设置，在抵压面面积足够大的前提下，保证波纹管部具有足够的单侧径向宽度，使得高压驱动流体作用在抵压面上推动头部轴向向外运动时，风囊也能受到相对均衡的外力，保证风囊对驱动流体的有效驱动，同时延长风囊的使用寿命。

进一步的，所述腿部的至少一端具有弧形区，相邻腿部通过该弧形区光滑过渡连接。

如此形状设置，相邻腿部拼合形成U形的波纹管节，多个波纹管节组合形成波纹管部，可以避免应力集中，延长波纹管部的使用寿命。

进一步的，所述头部形成连接凸起，波纹管部的首端与该连接凸起相连，并在波纹管部和抵压面之间形成供所述驱动流体进入的第一间隙。

连接凸起的设置避免波纹管部直接连接在头部，分摊头部和波纹管部连接处的应力，避免应力过度集中；第一间隙的存在可以避免波纹管部在伸缩时，首端的腿部不能充分发挥伸缩作用，也给驱动流体进入抵压面和波纹管部之间提供了足够的容纳空间。

进一步的，所述连接凸起与波纹管部的首端圆弧过渡；所述连接凸起具有头部端和腿部端，该头部端的厚度大于腿部端的厚度。

连接凸起的头部端与头部外边沿连接，腿部端与波纹管部的首端连接，连接凸起只有与波纹管部一体连接的大致一半部分发生形变伸展或压缩，而其另大致一半部分基本不发生形变，头部端是相对较少发生形变的部分，其厚度可以做得相对较大，保证连接凸起与头部连接的稳定性，而腿部端是相对较多发生形变的部分，其厚度相对较小，便于其受力形变，分摊头部和波纹管部连接处的应力，避免应力过度集中。

进一步的，所述安装部形成防护层，其沿径向延伸，以在波纹管部的尾端和防护层之间形成第二间隙。

通过防护层可避免腿部过大范围的伸展并接触导气盘，提供了相对的缓冲作用，从而增加波纹管部的使用寿命；第二间隙的存在也可以避免腿部在风囊的最大行程为S需求中过渡拉伸，继而增加波纹管部的使用寿命。

进一步的，所述安装部包括位于波纹管部径向外侧的密封主体，及自密封主体外圈向波纹管部所在方向延伸的突出部，所述防护层自所述密封主体内圈沿径向向内延伸形成。

防护层与密封主体的相对位置设计合理，密封主体位于波纹管部径向外侧，使得波纹管部的伸缩不收密封主体的影响，同时也给密封主体与泵壳之间的装配提供了充分的空间；防护层的外圈与密封主体相对固定，防护层的内圈在受到腿部的挤压作用下，可以发生一定的形变，不会因为长时间反复被撞击而变形或损坏，延长了防护层的使用寿命。

进一步的，所述安装部的外圈形成缺口部，该缺口部的轴向侧壁与所述突出部的外侧壁齐平。

如此设置，缺口部和突出部相邻且共用一个侧壁，在安装部与换向座的密封配合结构中，密封主体将密封圈向换向座所在方向抵压；在安装部与泵壳的密封配合结构中，突出部与泵壳端面的插槽密封插接配合，形成插槽的侧壁伸入缺口部内，保证突出部和插槽具有足够的接触面，继而保证良好的密封效果。

进一步的，所述头部朝向对象流体室的一侧设有连接孔，所述推拉杆的两端分别连接两侧风囊的连接孔；所述推拉杆通过T型转接件与连接孔螺纹连接。

T型转接件可以提高推拉杆与风囊的安装稳定性，避免推拉杆与风囊脱离，进而可使风囊稳定地往复运动。

本实用新型的有益效果是：风囊的波纹管部首端与头部外边沿相连，抵压面的横向宽度增大，其面积较大，高压驱动流体可更多作用在该抵压面上，以轴向推动头部向外运动，避免风囊因局部拉伸过渡而造成的寿命短；另一方面，也可避免高压流体使波纹管部的一处或多处向径向外侧膨胀，不利于对象流体向泵室出口运动；再者，风囊的预设运动方向平行于推拉杆的轴向，更大的抵压面垂直于运动方向可避免推拉杆在长期使用中倾斜并产生磨损，同时可保证波纹管部周向各处的均衡收缩；风囊在被伸长或压缩时，腿部通过较小的变化角度波纹管即可具有较大的轴向运动距离，波纹管部的相邻腿部具有足够的间隙相互靠近；腿部的结构设计可以避免应力集中，延长波纹管部的使用寿命；第一间隙的存在可以避免波纹管部在伸缩时，首端的腿部不能充分发挥伸缩作用，也给驱动流体进入抵压面和波纹管部之间提供了足够的容纳空间；连接凸起与头部连接的稳定性高，且其结构设计可以避免应力过度集中；防护层可避免腿部过大范围的伸展并接触导气盘，提供了相对的缓冲作用，从而增加波纹管部的使用寿命；第二间隙的存在也可以避免腿部在风囊的最大行程为S需求中过渡拉伸，继而增加波纹管部的使用寿命；T型转接件可以提高推拉杆与风囊的安装稳定性，避免推拉杆与风囊脱离，进而可使风囊稳定地往复运动。

附图说明

图1为本实用新型提供的往复泵的立体图。

图2为本实用新型提供的往复泵的剖视图。

图3为本实用新型提供的换向组件和风囊配合的剖视图。

图4为本实用新型提供的换向组件和风囊配合的分解结构示意图。

图5为本实用新型提供的风囊的立体结构示意图。

图6为本实用新型提供的风囊的剖视图。

图7为图6中的A处结构放大图。

图8为本实用新型提供的波纹管部的腿部剖视图。

图9为本实用新型提供的腿部在风囊往复运动时的极限位置状态简示图。

图10是实施例二中头部的示意简图。

图11是另一实施例中头部的示意简图。

其中，1-换向组件，11-推拉杆，12-转接件，13-换向座，14-导气盘，2-动力组件，21-第二流道，3-风囊，31-安装部，311-防护层，312-密封主体，313-突出部，314-缺口部，32-头部，321-抵压面，322-连接凸起，323-头部端，324-腿部端，325-连接孔，33-波纹管部，331-腿部，332-弧形区，34-第一间隙，35-第二间隙，4-泵壳，41-插槽，5-驱动流体室，6-对象流体室。

具体实施方式

如图1-图4所示，本实施例中的往复泵，其包括换向组件1，连接在换向组件1上的动力组件2，对称设置在换向组件1两侧的两个风囊3，及套设在风囊3外侧的泵壳4。

换向组件1至少包括位于往复泵中间的换向座13，连接在换向座13上的换向阀，横向穿过换向座13的推拉杆11，及安装在换向座13两侧的导气盘14。

动力组件2包括气体驱动泵(图未示出)，其为换向组件1提供驱动流体，动力组件2和换向组件1之间通过管路连接。换向座13使得往复泵可以立在平面上，换向座13上设置有多个可以与换向阀、导气盘14以及大气连通的气体流道。换向组件1和动力组件2的实现结构可以是现有技术中的任意结构，例如机械式或电控式的，具体不作限制；换向组件1和动力组件2可为往复泵的一部分，也可设置在往复泵使用的系统中，具体也不作限制。

两个风囊3通过推拉杆11连接，并密封连接在两侧的导气盘14上。如图5-图8所示，风囊3包括安装部31，头部32，及设置在安装部31和头部32之间的波纹管部33。本实施例以单侧风囊3进行说明，另一侧风囊3为对称结构。安装部31与换向组件1密封配合，具体是与换向组件1的导气盘14密封配合，从而在换向组件1和风囊3内壁之间限定形成驱动流体室5，并且安装部31与泵壳4密封配合，从而在泵壳4内壁和风囊3外壁之间限定形成对象流体室6。当风囊3需要膨胀以排出对象流体室6内的流体时，导气盘14向风囊3输出驱动流体，高压驱动流体作用在抵压面321上，从而在轴向推动头部32向外运动，带动推拉杆11活动，使得另一端的风囊3内的驱动流体排出；当风囊3需要收缩使得对象流体室6内吸附流体时，风囊3内的驱动流体通过导气盘14排出到大气。需要说明的是，本实施例中两对称设置的风囊通过推拉杆实现协同工作，在另一实施例中也可直接通过电控实现。

头部32可以轴向运动，从而使得对象流体室6吸入或排出对象流体，头部32具有与其运动方向相垂直的抵压面321，此处头部32的运动方向指的是推拉杆11的轴线方向，或者说是波纹管部33的轴线方向，具体来说，风囊3膨胀时头部32向外运动推出对象流体，风囊3收缩时头部32向内运动对象流体室6吸入对象流体。以图6所示方向为例说明，上侧为波纹管部33的首端，下侧为波纹管部33的尾端，波纹管部33的首端与头部32外边沿相连，头部32为圆形，此处头部32外边沿指的是头部32的外圈，换句话说，在波纹管部33与头部32的连接处即为头部32的最外圈位置。

即本实施例中的第一流道(图未视出)设置在换向座1和导气盘14内，其两个风囊开口正对地对称设置在换向组件的两侧，且与导气盘14密封设置，第一流道位于中间，向两侧风囊输送驱动流体；具体地，在一侧第一流道进入驱动气体后，该侧风囊3的抵压面收到气压作用实现轴向膨胀，对象流体室6内的流体通过第二流道21排出泵体外侧；另一侧风囊3在推拉杆11的拉动作用下收缩，该侧对象流体室6内的流体通过第二流道21吸入对象流体室。

需要说明的是，在本实施例中对象流体室6可视作第二流道21的一部分，用于暂时性储存对象流体，该对象流体室与第二流道21的出口211和入口212之间都具有单向阀。

还需要说明的是，本实用新型中对第一流道、第二流道21的位置不作限制；在另一实施例中，风囊3也在泵壳1内部开口正对地对称设置，第一流道位于风囊3的外侧，第二流道位于风囊3的开口内侧并在风囊3内部形成对象流体室；具体的，当第一流道输入驱动流体时，该侧风囊收缩并泵出风囊内部的驱动流体，另一侧风囊其对象流体室膨胀并输入对象流体，该过程可由传感器电控部件实现。

进一步需要说明的是，本实用新型对风囊的朝向也不做限定，即风囊也可开口相背地对称设置。

以图6所示方向为例说明，上下方向为头部32的运动方向，则抵压面321为平面方向延伸，抵压面321朝向波纹管部33，且其单侧径向宽度大于波纹管部33的单侧径向宽度，即图6中，抵压面321的单侧径向宽度为D，波纹管部33的单侧径向最大宽度为L，则D＞L。换句话说，抵压面321的横向宽度较大，其水平投影会完全覆盖波纹管部33的水平投影。抵压面321的面积较大，高压驱动流体可更多作用在该抵压面321上，可以轴向推动头部32向外运动，避免风囊3因局部拉伸过渡而造成的寿命短；另一方面，也可避免高压流体使波纹管部33的一处或多处向径向外侧膨胀，不利于对象流体向泵室出口运动，因为径向膨胀会推动料液径向运动，而料液进出口位于对象流体室6的轴侧，使得料液向出口方向运动的压降过大，也会导致风囊3，特别是波纹管部33，的寿命变短；再者，风囊3的预设运动方向平行于推拉杆11的轴向，更大的抵压面321垂直于运动方向可避免推拉杆11在长期使用中倾斜并产生磨损，同时可保证波纹管部33周向各处的均衡收缩。

如图7所示，波纹管部33的单侧包括多个首尾相连的腿部331，腿部331的径向长度为L₁，优选L₁＝13mm，相邻腿部的间隙为L₂，优选L₂＝1.5mm，则L₂≥2L₁*sin2°。具体的，在本实施例中，波纹管部33具有n条腿部331，腿部331的径向长度L₁为13mm，相邻腿部331之间的间隙L₂为1.5mm，确切地说，是腿部331不具有弧形区332时相邻腿部331的间隙L₂为1.5mm。与此同时，风囊3的最大行程为S，则腿部331单侧伸展或单侧收缩的行程为1/2S，每条腿部331的单侧行程为S/2n，根据三角函数即可得出sinα＝S/2n L₁。腿部331初始状态位于B1位置，伸展状态位于B3位置，收缩状态位于B2位置，如图9所示。L₂≥2L₁*sin2°则风囊3在被伸长或压缩时，腿部331通过较小的变化角度波纹管部33即可具有较大的轴向运动距离；在风囊3被压缩时，保证相邻腿部331具有足够的间隙相互靠近。在本实施例中，S优选20mm，n优选14。

上述中，抵压面321的单侧径向宽度为D，波纹管部33的单侧径向最大宽度为L，则D＞L，更具体的，D/L＝1.1-1.5，如此设置，在抵压面321面积足够大的前提下，保证波纹管部33具有足够的单侧径向宽度，使得高压驱动流体作用在抵压面321上推动头部32轴向向外运动时，风囊3也能受到相对均衡的外力，保证风囊3对驱动流体的有效驱动，同时延长风囊3的使用寿命。

如图8所示，腿部331的至少一端具有弧形区332，相邻腿部331通过该弧形区332光滑过渡连接，在本实施例中，腿部331的两端均具有弧形区332，且两个弧形区332的朝向相反。从而相邻腿部331拼合形成U形的波纹管节，多个波纹管节组合形成波纹管部33，如此形状设置可以避免应力集中，延长波纹管部33的使用寿命。在本实施例中，波纹管部33由车加工或机加工制作，波纹管节之间一体设置。

如图6所示，头部32形成连接凸起322，波纹管部33的首端与该连接凸起322相连，并且在波纹管部33和抵压面321之间形成供驱动流体进入的第一间隙34。连接凸起322与波纹管部33的首端圆弧过渡，避免波纹管部33直接连接在头部32，更具体的，连接凸起322具有头部端323和腿部端324，头部端323与头部32外边沿连接，腿部端324与波纹管部33的首端连接，头部端323的厚度大于腿部端324的厚度。连接凸起322只有与波纹管部33一体连接的大致一半部分发生形变伸展或压缩，而其另大致一半部分基本不发生形变，头部端323是相对较少发生形变的部分，其厚度可以做得相对较大，保证连接凸起322与头部32连接的稳定性，而腿部端324是相对较多发生形变的部分，其厚度相对较小，便于其受力形变，分摊头部32和波纹管部33连接处的应力，避免应力过度集中。上述第一间隙34的存在也可以避免波纹管部33在伸缩时，首端的腿部331不能充分发挥伸缩作用，也给驱动流体进入抵压面321和波纹管部33之间提供了足够的容纳空间。

头部32朝向对象流体室6的一侧设有连接孔323，推拉杆11的两端分别连接两侧风囊3的连接孔325，连接孔325内形成内螺纹，推拉杆11可以直接连接在连接孔325内，也可以通过T型转接件12与连接孔323螺纹连接。T型转接件12的外壁带有外螺纹，当连接孔323、T型转接件12和推拉杆1完成装配连接时，T型转接件12的横向部分两侧面分别与抵压面321和推拉杆11相抵接，形成稳固的支撑结构，提高推拉杆11与风囊3的安装稳定性，避免推拉杆11与风囊3脱离，进而可使风囊3稳定地往复运动。

安装部31形成防护层311，该防护层311沿径向延伸，从而在波纹管部33的尾端和防护层311之间形成第二间隙35。防护层311的单侧径向宽度小于波纹管部33的单侧径向最大宽度，即图6中d＜L。从而避免防护层311对驱动流体向波纹管部33流动形成阻碍，与此同时，如果腿部331和导气盘14在220次/mim的接触撞击下会导致尾端腿部331磨损严重，通过防护层311可避免腿部331过大范围的伸展并接触导气盘14，提供了相对的缓冲作用，从而增加波纹管部33的使用寿命。上述第二间隙35的存在也可以避免腿部331在风囊3的最大行程为S需求中过渡拉伸，继而增加波纹管部33的使用寿命。

如图5、图6所示，安装部31包括位于波纹管部33径向外侧的密封主体312，从密封主体312外圈向波纹管部33所在方向延伸的突出部313，及形成在安装部31外圈的缺口部314。上述的防护层311从密封主体313内圈沿着径向向内延伸形成，防护层311的外圈与密封主体312相对固定，防护层311的内圈在受到腿部331的挤压作用下，可以发生一定的形变，不会因为长时间反复被撞击而变形或损坏，延长了防护层311的使用寿命。缺口部314的轴向侧壁与突出部313的外侧壁齐平，换句话说，缺口部314和突出部313相邻且共用一个侧壁。在安装部31与换向座13的密封配合结构中，密封主体312将密封圈向换向座13所在方向抵压；在安装部31与泵壳4的密封配合结构中，突出部313与泵壳4端面的插槽41密封插接配合，形成插槽41的侧壁伸入缺口部314内，保证突出部313和插槽41具有足够的接触面，继而保证良好的密封效果。

实施例二：

本实施例与实施例一中往复泵的结构基本相同，所不同之处在于；本实施例中风囊的头部具有弧形且对称设置的抵压面，且该抵压面的对称面包含风囊中轴线。

如此设置，当驱动流体作用到抵压面后，除轴向外的力都能相互抵消，风囊的头部也可保持轴向运动。具体地，如图10所示，头部为回转体，抵压面3211为该回转体上的弧形面。

如图11所示，在另一实施例中，头部为回转体上两侧对称切除了部分后形成的实体，抵压面3212为该实体上的弧形面。

上述具体实施方式用来解释说明本实用新型，而不是对本实用新型进行限制，在本实用新型的精神和权利要求的保护范围内，对本实用新型作出的任何修改和改变，都落入本实用新型的保护范围。

Claims (11)

1.一种运行稳定的往复泵，包括：

泵壳；

两个风囊，在泵壳内部对称设置；

第一流道，可输入驱动流体以驱动风囊膨胀或收缩；

第二流道，可供对象流体在其内部流动，且具有连接外部管路的入口和出口；

其特征在于，所述风囊包括：

安装部，其将风囊密封设置在泵壳内部，以形成相互隔绝的驱动流体室和对象流体室；所述驱动流体室连通第一流道，所述对象流体室连通第二流道；

头部，可轴向运动以使得所述对象流体室吸入或排出对象流体，该头部具有与运动方向相垂直的抵压面；

波纹管部，设于安装部和头部之间，其首端与头部外边沿相连；

所述抵压面朝向波纹管部，且其单侧径向宽度大于所述波纹管部的单侧径向宽度。

2.根据权利要求1所述的运行稳定的往复泵，其特征在于：所述波纹管部的单侧包括多个首尾相连的腿部，所述腿部的径向长度为L₁，相邻腿部的间隙为L₂，则L₂≥2L₁*Sin2°。

3.根据权利要求2所述的运行稳定的往复泵，其特征在于：所述腿部的至少一端具有弧形区，相邻腿部通过该弧形区光滑过渡连接。

4.根据权利要求1所述的运行稳定的往复泵，其特征在于：所述波纹管的单侧径向最大宽度为L，所述抵压面的单侧径向宽度为D，则D/L＝1.1-1.5。

5.根据权利要求1所述的运行稳定的往复泵，其特征在于：所述头部形成连接凸起，波纹管部的首端与该连接凸起相连，并在波纹管部和抵压面之间形成供所述驱动流体进入的第一间隙。

6.根据权利要求5所述的运行稳定的往复泵，其特征在于：所述连接凸起与波纹管部的首端圆弧过渡；所述连接凸起具有头部端和腿部端，该头部端的厚度大于腿部端的厚度。

7.根据权利要求1所述的运行稳定的往复泵，其特征在于：所述安装部形成防护层，其沿径向延伸，以在波纹管部的尾端和防护层之间形成第二间隙。

8.根据权利要求7所述的运行稳定的往复泵，其特征在于：所述安装部包括位于波纹管部径向外侧的密封主体，及自密封主体外圈向波纹管部所在方向延伸的突出部，所述防护层自所述密封主体内圈沿径向向内延伸形成。

9.根据权利要求8所述的运行稳定的往复泵，其特征在于：所述安装部的外圈形成缺口部，该缺口部的轴向侧壁与所述突出部的外侧壁齐平。

10.根据权利要求1所述的运行稳定的往复泵，其特征在于：所述头部朝向对象流体室的一侧设有连接孔；所述往复泵还包括推拉杆，该推拉杆的两端分别连接两侧风囊的连接孔；所述推拉杆通过T型转接件与连接孔螺纹连接。

11.一种运行稳定的往复泵，包括：

泵壳；

两个风囊，在泵壳内部对称设置；

第一流道，可输入驱动流体以驱动风囊膨胀或收缩；

第二流道，可供对象流体在其内部流动，且具有连接外部管路的入口和出口；

其特征在于，所述风囊包括：

安装部，其将风囊密封设置在泵壳内部，以形成相互隔绝的驱动流体室和对象流体室；所述驱动流体室连通第一流道，所述对象流体室连通第二流道；

头部，可轴向运动以使得所述对象流体室吸入或排出对象流体；所述头部具有弧形且对称设置的抵压面，且该抵压面的对称面包含风囊中轴线；

波纹管部，设于安装部和头部之间，其首端与头部外边沿相连；

所述抵压面朝向波纹管部，且其单侧径向宽度大于所述波纹管部的单侧径向宽度。