CN219589603U - 一种用于测量坩埚气孔深度的工具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种用于测量坩埚气孔深度的工具,包括千分表和支撑架,所述支撑架设置在所述千分表的测量杆上,用于将所述千分表支撑在石英坩埚表面,所述测量杆的端部设有探针,所述探针可伸入气孔内,所述探针端部与所述气孔底部接触,所述测量杆带动所述探针收缩,所述千分表可测量所述探针伸入所述气孔的深度,即为所述气孔的深度。本实用新型的有益效果是提高了石英坩埚气孔深度的测量精度和检验效率,结构简单,操作便捷。
Description
技术领域
本实用新型属于测量技术领域,尤其是涉及一种用于测量坩埚气孔深度的工具。
背景技术
在光伏制造过程中,单晶硅熔点为1420℃,拉晶时需将硅料融化,石英的熔点为1750℃,石英坩埚就成为了一种仅有的可盛装硅料的容器,其凭借高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定的优势在光伏制造过程中承担了重要角色。在石英坩埚的制造过程中,受到加工过程的影响,石英坩埚表面会形成一种气泡,冷却后,气泡会形成一个气孔。在单晶加热过程中高,由于受到高温,石英坩埚上的气孔会逐渐变形,影响整个石英坩埚的使用寿命,增加生产成本的同时还存在着安全隐患,因此气孔的深度需要控制在一定的范围内。
在现有技术中,石英坩埚进厂检验时,无法明确量取气孔的深度,肉眼观测后,使用一个非金属细棒,深入气孔中进行标记,取出后使用直尺进行量取,测量的结果就是气孔的深度,测量结果误差较大,检验效率较低,无法保证石英坩埚的正常使用。
实用新型内容
为解决上述技术问题,本实用新型提供一种用于测量坩埚气孔深度的工具,有效的解决了石英坩埚气孔深度测量误差较大,检验效率较低的问题,克服了现有技术的不足。
本实用新型采用的技术方案是:一种用于测量坩埚气孔深度的工具,包括千分表和支撑架,所述支撑架设置在所述千分表的测量杆上,用于将所述千分表支撑在石英坩埚表面,所述测量杆的端部设有探针,所述探针可伸入气孔内,所述探针端部与所述气孔底部接触,所述测量杆带动所述探针收缩,所述千分表可测量所述探针伸入所述气孔的深度,即为所述气孔的深度。
进一步,所述支撑架上设有安装孔,所述测量杆穿过所述安装孔与所述支撑架可拆卸式连接。
进一步,所述支撑架侧面设有定位销,所述定位销与所述测量杆可拆卸式连接。
进一步,所述支撑架包括本体和支架,所述本体设置在所述测量杆上,所述支架对称设置在所述本体靠近所述石英坩埚表面的一侧。
进一步,所述支撑架为筒体,套设在所述测量杆外侧。
进一步,所述探针远离所述气孔底部的一端与所述测量杆的端部采用螺纹连接。
进一步,所述支撑架底部设有金属隔离层。
进一步,所述探针设置为非金属结构。
进一步,所述非金属结构为陶瓷结构。
本实用新型具有的优点和积极效果是:由于采用上述技术方案,提高了石英坩埚气孔深度的测量精度和检验效率,结构简单,操作便捷。
附图说明
图1是本实用新型实施例一种用于测量坩埚气孔深度的工具的结构示意图。
图2是本实用新型实施例一种用于测量坩埚气孔深度的工具的结构示意图。
图中:
1、表头 2、固定套筒 3、活动杆
4、探针 5、定位销 6、本体
7、支架 8、筒体 9、气孔
10、石英坩埚
具体实施方式
本实用新型实施例提供了一种用于测量坩埚气孔深度的工具,下面结合附图对本实用新型的实施例做出说明。
在本实用新型实施例的描述中,需要理解的是,术语“顶部”、“底部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“设置”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
如图1-2所示,本实用新型实施例一种用于测量坩埚气孔深度的工具,包括千分表和支撑架。千分表通过齿轮或杠杆将一般的直线位移转换成指针的旋转运动,然后在刻度盘上进行读数的长度测量仪器。千分表由表头1和测量杆组成,表头1内置精密齿轮或杠杆,测量杆由固定套筒2和活动杆3组成,活动杆3可沿固定套筒2上下移动。千分表将活动杆3的直线位移,通过机械传动转变为指针在表头1上的角度变化,从而进行长度的精密测量。千分表为现有技术,在此不做赘述。支撑架设置在测量杆的固定套筒2上,用于将千分表支撑在石英坩埚10表面。测量杆的活动杆3的端部安装有探针4,探针4可深入气孔9内,端部与气孔9底部接触,活动杆3带动探针4沿固定套筒2向上移动。千分表可测量探针4深入气孔9的深度,即为气孔9的深度。
为了便于安装与拆卸,支撑架上开设有安装孔,固定套筒2穿过安装孔与其间隙配合,在支撑架的侧面安装有定位销5,定位销5与支撑架上的固定套筒2可拆卸式连接。在某些实施例中,定位销5为定位螺栓,支撑架侧面开设有螺纹孔,定位螺栓与螺纹孔适配。定位螺栓从外侧拧入螺纹孔,定位螺栓的端部与测量杆的固定套筒2抵持。固定支撑架时,要确保探针4伸出支撑架底部的距离要大于所测气孔9的深度,否则无法进行测量。一般气孔9的深度为2-3mm,探针4伸出支撑架底部的距离为7-8mm。
在某些实施例中,如图1所示,支撑架包括本体6和支架7,测量杆竖直穿过本体6,支架7对称设置在本体6靠近石英坩埚10表面的一侧。支架7的数量不做具体限制。测量时,支架7放置在石英坩埚10表面。
在某些实施例中,如图2所示,支撑架为筒体8,套设在测量杆外侧。筒体8的外形不做限制,可以是圆柱状,也可是长方体或者其他形状。测量时,筒体8的端面放置在石英坩埚10表面,不会将石英坩埚10表面划伤。
为了防止金属制造的支撑架对石英坩埚10表面造成损伤,支撑架底部可设置金属隔离层。金属隔离层的具体材质不做限制,可以是四氟材料或者PTFE,只要不影响测量精度即可。
为了避免探针4伸入气孔9内部对石英坩埚10造成损坏,探针4采用非金属制作,在某些实施例中采用陶瓷材料制作。
实施例一:如图1所示,一种用于测量坩埚气孔深度的工具,包括千分表和支撑架,支撑架包括本体6和支架7。本体6上开设有安装孔,千分表的测量杆穿过安装孔,本体6侧面安装有定位螺栓,定位螺栓端部抵持测量杆的固定套筒2,将支撑架固定在测量杆上。本体6底部对称设有两个支架7,两个支架7中间的距离为5-20mm,支架7放置在石英坩埚10表面,将千分表架设在气孔9上部。为了避免支架7底部对石英坩埚10造成损坏,可在支架7底部粘贴一层四氟垫作为金属隔离层。测量杆的活动杆3上采用螺纹连接有探针4,探针4可深入气孔9内,端部与气孔9底部接触,活动杆3带动探针4沿固定套筒2向上移动,千分表可测量探针4伸入气孔9的深度,即为气孔9的深度。探针4的直径为0.2-3mm,采用陶瓷材料制成。
实施例二:如图2所示,一种用于测量坩埚气孔深度的工具,与实施例一不同的是支撑架为圆柱筒体8,圆柱筒体8套设在千分表测量杆的外部,圆柱筒体8外部设有定位螺栓,将圆柱筒体8与测量杆的固定套筒2固定连接。测量时,圆柱筒体8的底部端面与石英坩埚10表面接触,对千分表进行支撑,不易对石英坩埚10造成损伤。为了进一步保护石英坩埚10,可在圆柱筒体8的底部端面上粘贴一层四氟垫作为金属隔离层。
使用方法:
首先将探针与支撑架放置于平台上对千分表进行清零,然后将探针伸入气孔底部,使支撑架的底部架设于石英坩埚表面,此时千分表显示的的数值即为该气孔的深度。本实用新型不仅仅局限于测量石英坩埚表面气孔的深度,也可用于其它测量深度的场合。
本实用新型具有的优点和积极效果是:
由于采用上述技术方案,可以方便快捷的测试出气孔深度,同时避免了金属与石英坩埚的接触,提高了石英坩埚气孔深度的测量精度和检验效率,保证了石英坩埚的正常使用。
以上对本实用新型的实施例进行了详细说明,但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例,不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等,均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。
Claims (9)
1.一种用于测量坩埚气孔深度的工具,其特征在于:包括千分表和支撑架,所述支撑架设置在所述千分表的测量杆上,用于将所述千分表支撑在石英坩埚表面,所述测量杆的端部设有探针,所述探针可伸入气孔内,所述探针端部与所述气孔底部接触,所述测量杆带动所述探针收缩,所述千分表可测量所述探针伸入所述气孔的深度,即为所述气孔的深度。
2.根据权利要求1所述的一种用于测量坩埚气孔深度的工具,其特征在于:所述支撑架上设有安装孔,所述测量杆穿过所述安装孔与所述支撑架可拆卸式连接。
3.根据权利要求2所述的一种用于测量坩埚气孔深度的工具,其特征在于:所述支撑架侧面设有定位销,所述定位销与所述测量杆可拆卸式连接。
4.根据权利要求1所述的一种用于测量坩埚气孔深度的工具,其特征在于:所述支撑架包括本体和支架,所述本体设置在所述测量杆上,所述支架对称设置在所述本体靠近所述石英坩埚表面的一侧。
5.根据权利要求1所述的一种用于测量坩埚气孔深度的工具,其特征在于:所述支撑架为筒体,套设在所述测量杆外侧。
6.根据权利要求1所述的一种用于测量坩埚气孔深度的工具,其特征在于:所述探针远离所述气孔底部的一端与所述测量杆的端部采用螺纹连接。
7.根据权利要求1-6任一所述的一种用于测量坩埚气孔深度的工具,其特征在于:所述支撑架底部设有金属隔离层。
8.根据权利要求1-6任一所述的一种用于测量坩埚气孔深度的工具,其特征在于:所述探针设置为非金属结构。
9.根据权利要求8所述的一种用于测量坩埚气孔深度的工具,其特征在于:所述非金属结构为陶瓷结构。
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