CN219575598U - 一种晶圆加工用定位装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体加工领域，具体是一种晶圆加工用定位装置，包括底座、滑动座、安装板以及夹持板，两组所述滑动座滑动连接在底座两侧，并由底座上的驱动件带动镜像移动，两组安装板分别安装在对应滑动座上，并与滑动座弹性连接，夹持板其上设置适配晶圆的卡槽，其底部设置有两组定位柱，两组定位柱定位插入安装板上对应设置的定位孔，并由安装板上设置的锁紧结构进行固定，锁紧结构通过连接件与安装板上的施力件连接，由施力件移动，带动锁紧结构解锁，使得人员可对夹持板进行替换，避免了目前晶圆加工定位装置内的常用的晶圆夹板常通过多组紧固螺栓进行固定安装，在进行拆卸时需要对多组紧固螺栓进行拆卸，操作步骤较为繁琐的问题。

Description

一种晶圆加工用定位装置

技术领域

本实用新型涉及半导体加工领域，具体是一种晶圆加工用定位装置。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。

在进行晶圆的加工时，需要将晶圆坯料放置在定位装置上进行夹持固定，在定位装置中在进行不同规格的晶圆定位固定时，需要进行对应规格的晶圆夹板的拆装，目前常用的晶圆夹板常通过多组紧固螺栓固定安装在定位装置内，在进行拆卸时需要对多组紧固螺栓进行拆卸，操作步骤较为繁琐。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆加工用定位装置，用以解决目前晶圆加工定位装置内的常用的晶圆夹板常通过多组紧固螺栓进行固定安装，在进行拆卸时需要对多组紧固螺栓进行拆卸，操作步骤较为繁琐的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供一种晶圆加工用定位装置，包括：

底座；

滑动座，数量为两组，滑动连接在底座两侧，两组所述滑动座由安装在底座上的驱动件带动镜像移动；

安装板，分别安装在对应滑动座上，并通过第一弹力件与滑动座弹性连接；

夹持板，其上设置适配晶圆的卡槽，其底部设置有两组定位柱，两组所述定位柱定位插入安装板上对应设置的定位孔，并由安装板上设置的锁紧结构进行固定，所述锁紧结构包括两组锁紧销，所述锁紧销滑动安装在定位孔侧面设置的限位孔内，所述定位柱上设置有供锁紧销插入锁紧孔，两组所述锁紧销通过第二弹力件弹性连接，且通过连接件与安装板上的施力件连接，由施力件移动，带动两组锁紧销缩进至限位孔内。

作为本实用新型进一步的方案，所述底座包括框体以及固定杆，多组所述固定杆平行安装在框体内，两组所述滑动座与固定杆滑动连接。

作为本实用新型进一步的方案，所述驱动件为双向螺杆，所述双向螺杆转动连接在框体内，其两侧镜像设置有两组螺纹部，所述双向螺杆两侧与对应滑动座形成螺旋副传动，由所述双向螺杆转动带动两组滑动座镜像移动。

作为本实用新型进一步的方案，两组所述安装板的远离侧安装有多组导向杆，多组所述导向杆滑动连接在对应滑动座上的导向孔内，所述第一弹力件用于带动安装板沿导向杆线性导向方向滑动。

作为本实用新型进一步的方案，所述连接件为连接绳，两组所述连接绳的一端分别连接在两组锁紧销的靠近侧，另一端与施力件固定连接。

作为本实用新型进一步的方案，所述施力件为拉杆，两组所述拉杆滑动连接在对应安装板上，且位于两组安装板的远离侧。

与现有技术相比，本实用新型中，通过锁紧结构内的两组锁紧销端部插入定位柱上的锁紧孔内，对夹持板底部的两组定位柱进行锁紧，进而实现对夹持板的固定，同时当进行夹持板的拆卸时，通过拉杆拉动两组锁紧销缩进至限位孔内，使得锁紧销与定位柱脱离接触，从而对定位柱进行解锁，从而代替目前选用紧固螺栓对夹持板进行固定，在进行拆卸时无需要对多组紧固螺栓进行拆卸，避免操作步骤较为繁琐的问题。

附图说明

图1为本实用新型提供的一种晶圆加工用定位装置的结构示意图。

图2为本实用新型提供的图1中A处的放大示意图。

图3为本实用新型提供的锁紧销的结构示意图。

附图中：1、框体；2、固定杆；3、滑动座；4、双向螺杆；5、手轮；6、安装板；601、定位孔；7、锁紧销；8、第一弹力件；9、连接绳；10、拉杆；11、夹持板；12、第二弹力件。

具体实施方式

下面结合具体实施方式对本实用新型的技术方案作进一步详细地说明。

如图1以及图2所示，本实用新型实施例中，一种晶圆加工用定位装置，包括底座；滑动座3，数量为两组，滑动连接在底座两侧，两组所述滑动座3由安装在底座上的驱动件带动镜像移动；安装板6，分别安装在对应滑动座3上，并通过第一弹力件8与滑动座3弹性连接；夹持板11，其上设置适配晶圆的卡槽，其底部设置有两组定位柱，两组所述定位柱定位插入安装板6上对应设置的定位孔601，并由安装板6上设置的锁紧结构进行固定，所述锁紧结构包括两组锁紧销7，所述锁紧销7滑动安装在定位孔601侧面设置的限位孔内，所述定位柱上设置有供锁紧销7插入锁紧孔，两组所述锁紧销7通过第二弹力件12弹性连接，且通过连接件与安装板6上的施力件连接，由施力件移动，带动两组锁紧销7缩进至限位孔内；

本实用新型中，优选所述锁紧结构对夹持板11底部的两组定位柱进行锁紧，通过锁紧结构内的两组锁紧销7端部插入定位柱上的锁紧孔内，对两组定位柱进行固定限位，进而实现对夹持板11的固定，同时当进行夹持板11的拆卸时，通过施力件拉动两组锁紧销7缩进至限位孔内，使得锁紧销7与定位柱脱离接触，从而对定位柱进行解锁。

如图1所示，本实用新型实施例中，所述底座包括框体1以及固定杆2，多组所述固定杆2平行安装在框体1内，两组所述滑动座3与固定杆2滑动连接，本实用新型中在框体1内部两侧分别安装一组固定杆2，通过两组固定杆2对滑动座3的滑动进行限位；

进一步的，所述驱动件为双向螺杆4，所述双向螺杆4转动连接在框体1内，其两侧镜像设置有两组螺纹部，所述双向螺杆4两侧与对应滑动座3形成螺旋副传动，由所述双向螺杆4转动带动两组滑动座3镜像移动，其中所述双向螺杆4的驱动力可选用为机械动力或者人力驱动，本实用新型中，双向螺杆4的一端上伸出框体1，并在端部安装供人员转动的手轮5，通过转动手轮5，带动双向螺杆4转动。

如图1所示，本实用新型实施例中，两组所述安装板6的远离侧安装有多组导向杆，多组所述导向杆滑动连接在对应滑动座3上的导向孔内，所述第一弹力件8用于带动安装板6沿导向杆线性导向方向滑动，其中第一弹力件8为第一弹簧，本实用新型将通过多组第一弹簧套设在对应导向杆上，当通过双向螺杆4转动带动两组滑动座3镜像靠近，驱动两组安装板6靠近对晶圆进行固定夹持时，此时第一弹簧处于压缩状态，通过第一弹簧的弹力支撑安装板6对晶圆的固定。

如图2和图3所示，本实用新型实施例中，所述连接件为连接绳9，两组所述连接绳9的一端分别连接在两组锁紧销7的靠近侧，另一端与施力件固定连接

进一步的所述施力件为拉杆10，两组所述拉杆10滑动连接在对应安装板6上，且位于两组安装板6的远离侧，本实用新型中通过拉动拉杆10，通过连接绳9传动带动锁紧销7对应进行移动，同时放松连接绳9时，通过第二弹力件12的弹力，支撑两组锁紧销7远离，伸出对应限位孔；

进一步的，所述第二弹力件12优选为第二弹簧，通过第二弹簧带动将两组锁紧销7固定连接。

综合以上所述，本实用新型中，通过锁紧结构内的两组锁紧销7端部插入定位柱上的锁紧孔内，对夹持板11底部的两组定位柱进行锁紧，进而实现对夹持板11的固定，同时当进行夹持板11的拆卸时，通过拉杆10拉动两组锁紧销7缩进至限位孔内，使得锁紧销7与定位柱脱离接触，从而对定位柱进行解锁，从而代替目前选用紧固螺栓对夹持板11进行固定，在进行拆卸时无需要对多组紧固螺栓进行拆卸，避免操作步骤较为繁琐的问题。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

上面对本实用新型的较佳实施方式作了详细说明，但是本实用新型并不限于上述实施方式，在本领域的普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下作出各种变化。

Claims (6)

1.一种晶圆加工用定位装置，其特征在于，包括：

底座；

滑动座，数量为两组，滑动连接在底座两侧，两组所述滑动座由安装在底座上的驱动件带动镜像移动；

安装板，分别安装在对应滑动座上，并通过第一弹力件与滑动座弹性连接；

夹持板，其上设置适配晶圆的卡槽，其底部设置有两组定位柱，两组所述定位柱定位插入安装板上对应设置的定位孔，并由安装板上设置的锁紧结构进行固定，所述锁紧结构包括两组锁紧销，所述锁紧销滑动安装在定位孔侧面设置的限位孔内，所述定位柱上设置有供锁紧销插入锁紧孔，两组所述锁紧销通过第二弹力件弹性连接，且通过连接件与安装板上的施力件连接，由施力件移动，带动两组锁紧销缩进至限位孔内。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用定位装置，其特征在于，所述底座包括框体以及固定杆，多组所述固定杆平行安装在框体内，两组所述滑动座与固定杆滑动连接。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆加工用定位装置，其特征在于，所述驱动件为双向螺杆，所述双向螺杆转动连接在框体内，其两侧镜像设置有两组螺纹部，所述双向螺杆两侧与对应滑动座形成螺旋副传动，由所述双向螺杆转动带动两组滑动座镜像移动。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用定位装置，其特征在于，两组所述安装板的远离侧安装有多组导向杆，多组所述导向杆滑动连接在对应滑动座上的导向孔内，所述第一弹力件用于带动安装板沿导向杆线性导向方向滑动。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用定位装置，其特征在于，所述连接件为连接绳，两组所述连接绳的一端分别连接在两组锁紧销的靠近侧，另一端与施力件固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆加工用定位装置，其特征在于，所述施力件为拉杆，两组所述拉杆滑动连接在对应安装板上，且位于两组安装板的远离侧。