CN219563137U - 一种适用于小尺寸掩膜版的固定治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于光刻技术领域，公开了一种适用于小尺寸掩膜版的固定治具，包括对称设置的第一夹爪、可移动的第二夹爪和连接块，待固定掩膜版置于第一夹爪和第二夹爪之间，并被第一夹爪和第二夹爪由两相对的侧面固定；第一夹爪朝向待固定掩膜版的侧面上设置有第一导气槽，第一导气槽的两内端面和两内侧面均不超过待固定掩膜版，第一导气槽的一内侧面上穿透有若干第一导气孔，第一导气槽靠近连接块的内端面上穿透有第二导气孔，第二导气孔通过第一导气管连接有抽真空设备；第一夹爪上穿透有第一导气孔的外表面和待固定掩膜版与放置台面接触的表面共面；本实用新型的固定治具，使得小尺寸的掩膜版能够快速在台面上完成放版和固定，操作简单可靠。

Description

一种适用于小尺寸掩膜版的固定治具

技术领域

本实用新型属于掩膜版光刻技术领域，更具体的说涉及一种适用于小尺寸掩膜版的固定治具。

背景技术

掩膜版生产加工或测试时，往往需要将掩膜版放置在台面上，且需要确保掩膜版与被放置的台面完全接触，避免掩膜版与台面之间悬空，或者在加工时，需要确保掩膜版固定与台面上，且在加工或测试过程中掩膜版不会发生移动等问题。为解决上述问题，现有技术中在放版时，一般在将掩膜版呈倾斜状态缓慢下放，使得逐步排出台面与掩膜版之间的空气，使得掩膜版与台面贴合，在贴合后，尺寸较大的掩膜版会在自身重量作用下与台面相对固定，不易发生移动。然而对于一些小尺寸的掩膜版，在倾斜缓慢下放时，会造成掩膜版弯曲或变形，使得掩膜版难以与台面贴合，同时在放版后，因掩膜版自身重量较轻，极易会出现偏移或移动问题，导致掩膜版不能很好的固定，影响掩膜版的加工或测试。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种适用于小尺寸掩膜版的固定治具，使得小尺寸的掩膜版能够快速在台面上完成放版和固定，操作简单可靠。

本实用新型技术方案一种适用于小尺寸掩膜版的固定治具，包括对称设置的第一夹爪和第二夹爪以及连接所述第一夹爪和所述第二夹爪的连接块，所述第二夹爪与所述连接块移动连接，待固定掩膜版置于所述第一夹爪和所述第二夹爪之间，并被所述第一夹爪和所述第二夹爪由两相对的侧面固定；所述第一夹爪朝向待固定掩膜版的侧面上设置有第一导气槽，第一导气槽的两内端面和两内侧面均不超过待固定掩膜版，所述第一导气槽的一内侧面上穿透有若干第一导气孔，所述第一导气槽靠近所述连接块的内端面上穿透有第二导气孔，所述第二导气孔通过第一导气管连接有抽真空设备；所述第一夹爪上穿透有第一导气孔的外表面和待固定掩膜版与放置台面接触的表面共面。

优选地，所述第一夹爪与所述连接块固接，所述连接块内设置有与所述第二导气孔同轴且密封连通的第三导气孔，所述第三导气孔远离所述第二导气孔的端部固接所述第一导气管。

优选地，所述连接块上设置有连接所述第二夹爪和所述连接块的移动连接组件，所述移动连接组件包括连接槽、第一避让槽、所述锁紧螺母和锁紧螺钉；所述连接槽设置在连接块上与第二导气孔垂直行的侧面上，所述第一避让槽设置在连接块上与所述第二导气孔平行的侧面上，所述第一避让槽与所述连接槽长度相适应并连通且两轴线平行，所述锁紧螺母设置在所述连接槽内，所述锁紧螺钉穿过所述第一避让槽和所述锁紧螺母并顶紧所述第二夹爪至所述连接槽内。

优选地，所述第二夹爪置于连接槽内部分的侧面上设置有限位盲孔，所述锁紧螺钉由所述限位盲孔位置顶紧所述第二夹爪。

优选地，所述第二夹爪朝向待固定掩膜版的侧面上设置有第二导气槽，第二导气槽的两内端面和两内侧面均不超过待固定掩膜版，所述第二导气槽的一内侧面上穿透有若干第四导气孔，所述第二导气槽靠近所述连接块的内端面上穿透有第五导气孔，所述第五导气孔通过第二导气管连接所述抽真空设备；所述第二夹爪上穿透有第四导气孔的外表面和待固定掩膜版与放置台面接触的表面共面。

优选地，所述连接槽的内底面上设置有第二避让槽，所述第二避让槽轴线与所述连接槽轴线平行且长度相适应，所述第二导气管与第五导气孔远离第二导气槽的端部固接并由所述第二避让槽穿出。

优选地，所述第二避让槽宽度小于连接槽宽度，在连接槽的内底面上形成支撑肩台，所述第二夹爪置于所述支撑肩台上。

优选地，所述连接块朝向带固定掩膜版的侧面上固接有定位块。

本实用新型技术方案一种适用于小尺寸掩膜版的固定治具的有益效果是：

通过对称设置的第一夹爪和第二夹爪，实现对掩膜版进行夹紧。通过设置在第一夹爪上的第一导气槽、第一导气孔和第二导气孔以及与第二导气孔连通的抽真空设备，对放置在台面上的掩膜版与台面之间进行抽真空，使得掩膜版吸附在台面上，实现掩膜版在台面上的固定放置。

附图说明

图1为本技术方案一种适用于小尺寸掩膜版的固定治具的结构示意图，也即本固定治具的正面结构示意图。

图2为本技术方案一种适用于小尺寸掩膜版的固定治具的背面结构示意图。

图3为本技术方案一种适用于小尺寸掩膜版的固定治具的立体结构示意图。

图4为本技术方案一种适用于小尺寸掩膜版的固定治具的主视图。

图5为本技术方案一种适用于小尺寸掩膜版的固定治具在放置台面上放置状态示意图。

图6为本技术方案一种适用于小尺寸掩膜版的固定治具工作状态示意图。

其中有，1、第一夹爪；11第一导气槽、；12第一导气孔、；13、第二导气孔；2、第二夹爪；20、限位盲孔；21、第二导气槽；22、第四导气孔；23、第五导气孔；3连接块、；31、第三导气孔；32、第二避让槽；41、第一导气管；42、第二导气管；5、移动连接组件，51、第一避让槽；52、限位槽；53、锁紧螺钉；54、锁紧螺母；6、定位块；100、放置台面；200、待固定掩膜版。

具体实施方式

为便于本领域技术人员理解本实用新型技术方案，现结合具体实施例和说明书附图对本实用新型技术方案做进一步的说明。

如图1至图4为本实用新型技术方案一种适用于小尺寸掩膜版的固定治具结构示意图，图5至图6为本实用新型技术方案一种适用于小尺寸掩膜版的固定治具的使用状态示意图。下面结合图1至图6对本本实用新型技术方案一种适用于小尺寸掩膜版的固定治具的结构和工作方式等进行详细描述。

本实用新型技术方案一种适用于小尺寸掩膜版的固定治具，包括对称设置的第一夹爪1和第二夹爪2以及连接第一夹爪1和第二夹爪2的连接块3。第二夹爪2与连接块3移动连接，第二夹爪2能够做靠近或远离第一夹爪1的移动，改变第一夹爪和第二夹爪之间距离，实现对不同尺寸的掩膜版的夹紧。待固定掩膜版200置于第一夹爪1和第二夹爪2之间，并被第一夹爪1和第二夹爪2由两相对的侧面固定。第一夹爪1朝向待固定掩膜版200的侧面上设置有第一导气槽11，第一导气槽11的两内端面和两内侧面均不超过待固定掩膜版，第一导气槽11的口部与待固定掩膜版200的侧面接触并被待固定掩膜版200的侧面平面密封。第一导气槽11的一内侧面上穿透有若干第一导气孔12，第一导气槽11靠近连接块3的内端面上穿透有第二导气孔13，第二导气孔13通过第一导气管41连接有抽真空设备。第一夹爪1上穿透有第一导气孔12的外表面和待固定掩膜版200与放置台面100接触的表面共面。

待固定掩膜版表面平整且精度高，第一夹爪1和房放置台面通过加工控制精度，表面平整且精度高。本固定治具工作时，首先将本固定治具放置在放置台面100上，如图6所示状态。然后将待固定掩膜版放置在放置台面100上且位于第一夹爪1和第二夹爪2之间，且确保待固定掩膜版靠近第一夹爪放置，然后通过移动第二夹爪2向待固定掩膜版侧移动，第二夹爪2会推动待固定掩膜版向第一夹爪移动微量距离，使得待固定掩膜版被第一夹爪和第二夹爪夹紧，锁紧第二夹爪，使得待固定掩膜版被固定。此时，第一夹爪1朝向放置台面100的侧面和待固定掩膜版朝向放置台面100的侧面应均与放置台面100接触。此时，第一导气槽11的口部也会与待固定掩膜版侧面接触并被待固定掩膜版侧面面密封。因为在待固定掩膜版放置到放置台面100上时，待固定掩膜版与放置台面之间会出现局部残存气体的问题，此时启动抽真空设备，抽真空设备工作，通过第二导气孔13、第一导气槽11和第一导气孔12连通待固定掩膜版与放置台面100之间空间，将待固定掩膜版与放置台面100之间空间内的空气抽出，同时也使得第一夹爪吸附在放置台面上。

基于上述技术方案，通过第一夹爪和第二夹爪实现对待固定掩膜版进行夹紧，夹紧操作简单方便快捷，且在夹紧操作中，不会在待固定掩膜版的某一局部施加夹紧力，确保了待固定掩膜版的完整性，避免待固定掩膜版出现局部变形的问题。通过第一夹爪和第二夹爪实现对待固定掩膜版进行夹紧，可以实现对任意尺寸的掩膜版进行夹紧，适应性好。

基于上述技术方案，通过抽真空的方式，将待固定掩膜版与放置台面之间空气抽出，使得待固定掩膜版与放置台面接触良好。通过抽真空方式，使得待固定掩膜版与放置台面之间抽真空，使得能够将待固定掩膜版牢牢的吸附在放置台面上，实现了待固定掩膜版的固定，避免待固定掩膜版在加工或测试中出现移动等问题。

第一夹爪1与连接块3固接，一般的是通过粘合的方式将第一夹爪1粘合在连接块3上。连接块3内设置有与第二导气孔13同轴且密封连通的第三导气孔31，第二导气孔13和第三导气孔31相对并连通，第一夹爪1粘合在连接块3上，第二导气孔13和第三导气孔31之间密封粘合。第三导气孔31远离第二导气孔13的端部固接第一导气管41。第一导气管41通过密封粘合的方式粘合在连接块上并与第三导气孔31连通。第一夹爪1与连接块3固接为一整体，在对掩膜版夹紧时，作为基准，掩膜版靠近第一夹爪放置，缩小待固定掩膜版移动距离，便于掩膜版夹紧操作，避免掩膜版的磨损。

连接块3上设置有连接第二夹爪2和连接块3的移动连接组件5。移动连接组件5包括连接槽51、第一避让槽52、锁紧螺母54和锁紧螺钉53。连接槽51设置在连接块3上与第二导气孔13垂直行的侧面上，第一避让槽52设置在连接块3上与第二导气孔13平行的侧面上，第一避让槽52与连接槽51长度相适应并连通且两轴线平行。锁紧螺母54设置在连接槽51内，锁紧螺钉53穿过第一避让槽52和锁紧螺母54并顶紧第二夹爪2至连接槽51内。锁紧螺钉53为平头螺钉，前端顶靠在第二夹爪上。通过锁紧螺母54实现对锁紧螺钉53的固定，锁紧螺母一侧面顶靠在连接槽51靠近第一避让槽52的内侧面上，这样，在锁紧螺钉前端顶靠在第二夹爪上后，锁紧螺钉就被限位，不能移动，即实现了第二夹爪与连接块的固定。基于上述技术方案，第二夹爪在连接块上固定简单，操作快捷。

为进一步实现对第二夹爪的固定，避免第二夹爪在工作中出现微量移动等，对第二夹爪增加一个限位，即第二夹爪2置于连接槽51内部分的侧面上设置有限位盲孔20，锁紧螺钉53由限位盲孔20位置顶紧第二夹爪2。限位盲孔20深度小于第二夹爪厚度，锁紧螺钉前端直径与限位盲孔内径相适应，并伸入限位盲孔内，对第二夹爪施加一个限位，使得第二夹爪移动沿限位盲孔径向方向移动。

上述在第一夹爪上连接抽真空设备即能实现将掩膜版吸附固定在放置台面上。但是此时，在对掩膜版与放置台面抽真空时，气体仅一个运动方向，工作效率较低，同时与距离第一夹爪较远位置的掩膜版上局部区域吸附能力较弱，所以，这里在第二夹爪上增加导气结构，并连通抽真空装置，使得由第二夹爪位置也能够对掩膜版侧面与放置台面之间抽真空，使得抽真空效率更好，掩膜版上受吸附力也更为均匀。即在第二夹爪2朝向待固定掩膜版200的侧面上设置第二导气槽21，第二导气槽21的两内端面和两内侧面均不超过待固定掩膜版，第二导气槽21的一内侧面上穿透有若干第四导气孔22，第二导气槽21靠近连接块3的内端面上穿透有第五导气孔23，第五导气孔23通过第二导气管42连接抽真空设备。第二夹爪2上穿透有第四导气孔22的外表面和待固定掩膜版与放置台面接触的表面共面。抽真空设备工作，依次通过第二导气管42、第五导气孔23、第二导气槽21和第四导气孔22吸出掩膜版与放置台面之间的空气，实现将掩膜版吸附在放置台面上。

连接槽51的内底面上设置有第二避让槽32，第二避让槽32轴线与连接槽51轴线平行且长度相适应。第二导气管42与第五导气孔23远离第二导气槽21的端部固接并由第二避让槽32穿出。第二避让槽32的设置，使得第二导气管42穿出，使得第二导气管42与第一导气管41同向设置，便于布置，同时也避免第二导气管42出现与放置台面或第二夹爪或掩膜版干涉等问题，然后通过三通连接同一抽真空设备即可。

第二避让槽32宽度小于连接槽51宽度，在连接槽51的内底面上形成支撑肩台，第二夹爪2置于支撑肩台上，支撑肩台实现对第二夹爪2沿长度方向的定位，避免在掩膜版与第二导气槽21长度出现接近临界值时或尺寸及其接近时，因第二夹爪插入连接槽51内深度变化或插入深度不在指定位置时，导致第二导气槽21口部不能被待固定掩膜版密封的问题，影响抽真空设备通过第二夹爪对掩膜版与放置台面之间抽真空。

连接块3朝向带固定掩膜版的侧面上固接有定位块6。工作时，定位块6顶靠在放置台面的侧面，实现对本固定治具进行定位，也实现对第一夹爪和第二夹爪靠近连接块端距离放置台面侧面距离进行限位。

本实用新型技术方案的固定治具，适用于对小尺寸掩膜版的固定，这里的小尺寸掩膜版一般指6英寸以下的掩膜版尺寸，尺寸在152.4mm×152.4mm×2.3mm以内。第一夹爪和第二夹爪宽度在10mm-15mm，厚度在2mm-3mm，高度在170mm-180mm，第一导气槽和第二导气槽的长度在掩膜版长度尺寸范围内。

本实用新型技术方案的固定治具，第一夹爪、第二夹爪为peek材质，因在第一夹爪和第二夹爪上需要设计第二导气孔和第五导气孔，第二导气孔和第五导气孔直径在1mm-1.5mm，长度在5mm-15mm，可见第二导气孔和第五导气孔的内径小，相对于内径来说，长度大，难以加工成型，一般的是可以将第一夹爪、第二夹爪沿长度方向分割呈多个部分，每个部分单独通过模具成型，成型后将各个部分进行粘合，这样不但能够保证第一夹爪、第二夹爪的加工精度和质量，还能降低第一夹爪、第二夹爪的加工难度。

本实用新型技术方案在上面结合实施例及附图对实用新型进行了示例性描述，显然本实用新型具体实现并不受上述方式的限制，只要采用了本实用新型的方法构思和技术方案进行的各种非实质性改进，或未经改进将实用新型的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种适用于小尺寸掩膜版的固定治具，其特征在于，包括对称设置的第一夹爪和第二夹爪以及连接所述第一夹爪和所述第二夹爪的连接块，所述第二夹爪与所述连接块移动连接，待固定掩膜版置于所述第一夹爪和所述第二夹爪之间，并被所述第一夹爪和所述第二夹爪由两相对的侧面固定；所述第一夹爪朝向待固定掩膜版的侧面上设置有第一导气槽，第一导气槽的两内端面和两内侧面均不超过待固定掩膜版，所述第一导气槽的一内侧面上穿透有若干第一导气孔，所述第一导气槽靠近所述连接块的内端面上穿透有第二导气孔，所述第二导气孔通过第一导气管连接有抽真空设备；所述第一夹爪上穿透有第一导气孔的外表面和待固定掩膜版与放置台面接触的表面共面。

2.根据权利要求1所述的适用于小尺寸掩膜版的固定治具，其特征在于，所述第一夹爪与所述连接块固接，所述连接块内设置有与所述第二导气孔同轴且密封连通的第三导气孔，所述第三导气孔远离所述第二导气孔的端部固接所述第一导气管。

3.根据权利要求1所述的适用于小尺寸掩膜版的固定治具，其特征在于，所述连接块上设置有连接所述第二夹爪和所述连接块的移动连接组件，所述移动连接组件包括连接槽、第一避让槽、锁紧螺母和锁紧螺钉；所述连接槽设置在连接块上与第二导气孔垂直行的侧面上，所述第一避让槽设置在连接块上与所述第二导气孔平行的侧面上，所述第一避让槽与所述连接槽长度相适应并连通且两轴线平行，所述锁紧螺母设置在所述连接槽内，所述锁紧螺钉穿过所述第一避让槽和所述锁紧螺母并顶紧所述第二夹爪至所述连接槽内。

4.根据权利要求3所述的适用于小尺寸掩膜版的固定治具，其特征在于，所述第二夹爪置于连接槽内部分的侧面上设置有限位盲孔，所述锁紧螺钉由所述限位盲孔位置顶紧所述第二夹爪。

5.根据权利要求3所述的适用于小尺寸掩膜版的固定治具，其特征在于，所述第二夹爪朝向待固定掩膜版的侧面上设置有第二导气槽，第二导气槽的两内端面和两内侧面均不超过待固定掩膜版，所述第二导气槽的一内侧面上穿透有若干第四导气孔，所述第二导气槽靠近所述连接块的内端面上穿透有第五导气孔，所述第五导气孔通过第二导气管连接所述抽真空设备；所述第二夹爪上穿透有第四导气孔的外表面和待固定掩膜版与放置台面接触的表面共面。

6.根据权利要求5所述的适用于小尺寸掩膜版的固定治具，其特征在于，所述连接槽的内底面上设置有第二避让槽，所述第二避让槽轴线与所述连接槽轴线平行且长度相适应，所述第二导气管与第五导气孔远离第二导气槽的端部固接并由所述第二避让槽穿出。

7.根据权利要求6所述的适用于小尺寸掩膜版的固定治具，其特征在于，所述第二避让槽宽度小于连接槽宽度，在连接槽的内底面上形成支撑肩台，所述第二夹爪置于所述支撑肩台上。

8.根据权利要求1所述的适用于小尺寸掩膜版的固定治具，其特征在于，所述连接块朝向带固定掩膜版的侧面上固接有定位块。