CN219560696U - 一种显影液内循环混配生产线的清洗系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种显影液内循环混配生产线的清洗系统。包括配置有补水管路和清洗剂管路的清洗液箱，在清洗液箱上安装有搅拌组件，在清洗液箱的底部安装有输出管路；还包括输送泵，输出管路连接至输送泵的入口；还包括主清洗泵，输送泵的出口通过输送管路连接至主清洗泵的入口，在主清洗泵的出口上安装有管道过滤器，在管道过滤器上连接有第一清洗管路且在第一清洗管路上安装有第一清洗泵和第一电加热器；在第一清洗管路上、第一清洗泵与管道过滤器之间还连接有第三清洗管路和第二清洗管路，在第二清洗管路上安装有第二电加热器和第二清洗泵。本实用新型的清洗系统结构设计合理，提供常温清洗和升温清洗功能，提升清洗效率。

Description

一种显影液内循环混配生产线的清洗系统

技术领域

本实用新型属于显影液生产设备技术领域，尤其涉及一种显影液内循环混配生产线的清洗系统。

背景技术

显影液是一种常用于电子行业的化学溶剂，是一种重要的湿电子化学品，也是半导体、显示面板、太阳能电池制作过程中关键的原材料之一。显影液的生产过程包括混配和灌装，混配是指将显影液的组成成分按照质量配比称重并且混合均匀，灌装是指将混配后检测合格的显影液产品向包装瓶、包装桶内分装灌装。按照应用行业的不同，显影液产品分为多种型号，各型号的成分配比是不同的。采用同一套生产设备生产不同型号的显影液产品时，结束上一种型号显影液的生产之后、开始下一种型号的显影液的生产之前，通常需要对混配生产线进行清洗，具体地是指采用混有清洗剂的清洗水源对原料罐、混配罐等进行清洗。

清洗作业通常包括常温清洗和升温清洗两种类型，其中常温清洗是指采用常温的混有清洗剂的清洗水源进行清洗，升温清洗是指采用升温后的混有清洗剂的清洗水源进行清洗，一般情况下，对原料罐通常采用常温清洗的方式，对混配罐通常采用升温清洗的方式，以保证清洗的效果。现有技术中缺少适配的清洗系统，导致无法以合适的条件对混配生产线执行清洗作业，现有的清洗方式较为依赖人工控制的清洗管路，清洗效率低，影响混配生产线的生产效率。因此，需要开发设计适配的清洗系统，以解决前述技术问题。

实用新型内容

本实用新型为解决公知技术中存在的技术问题而提供一种结构设计合理、提供常温清洗和升温清洗功能、提升清洗效率的显影液内循环混配生产线的清洗系统。

本实用新型为解决公知技术中存在的技术问题所采取的技术方案是：一种显影液内循环混配生产线的清洗系统包括配置有补水管路和清洗剂管路的清洗液箱，在清洗液箱上安装有搅拌组件，在清洗液箱的底部安装有输出管路；还包括输送泵，输出管路连接至输送泵的入口；还包括主清洗泵，输送泵的出口通过输送管路连接至主清洗泵的入口，在主清洗泵的出口上安装有管道过滤器，在管道过滤器上连接有第一清洗管路且在第一清洗管路上安装有第一清洗泵和第一电加热器；在第一清洗管路上、第一清洗泵与管道过滤器之间还连接有第三清洗管路；在第一清洗管路上、第一清洗泵与管道过滤器之间还连接有第二清洗管路，在第二清洗管路上安装有第二电加热器和第二清洗泵。

优选地：在清洗液箱的顶部安装有两个过滤组件，过滤组件包括下端与清洗液箱贯通的过滤筒，在过滤筒的中部设有滤布支架，在滤布支架上设有滤布，清洗剂管路与过滤筒的上部连接。

优选地：清洗液箱具有锥形底且在锥形底上设有两个清洗液出口，输出管路包括两个分支管路和一个总管路，两个分支管路分别连接至两个清洗液出口；在两个分支管路上还连接有带有球阀的排废管路。

优选地：搅拌组件包括安装在清洗液箱顶壁上的搅拌电机，在搅拌电机的输出轴上连接有搅拌轴，在搅拌轴的下端安装有搅拌叶片。

优选地：输送泵包括并列设置的第一输送泵和第二输送泵，输出管路同时连接至第一输送泵和第二输送泵的入口，输送管路同时连接至第一输送泵和第二输送泵的出口且在连接位置安装有选通电磁阀。

优选地：在第二清洗管路上还连接有旁通管路且在旁通管路上安装有辅助清洗泵。

优选地：清洗液箱安装在一个箱体支架上，第一输送泵和第二输送泵安装在第一泵支架上，主清洗泵和第一清洗泵安装在第二泵支架上，第二清洗泵和辅助清洗泵安装在第三泵支架上。

本实用新型的优点和积极效果是：

本实用新型提供了一种结构设计合理的显影液内循环混配生产线的清洗系统，与现有的清洗系统和清洗方式相比，本实用新型中开发设计了一种适配性的专用清洗系统，为显影液内循环混配生产线提供多个清洗支路，供生产线的不同设备使用。通过设置配置有补水管路、清洗剂管路和搅拌组件的清洗液箱，实现了清洗液的稳定制备和供应。

通过设置输送泵，实现了对清洗液的增压输送。通过设置管道过滤器，实现了对清洗液的在线过滤，避免清洗液中的颗粒物导致混配生产线的管线产生堵塞问题。本清洗系统配置了三个清洗支路，分别为带有第一清洗泵和第一电加热器的第一清洗管路、带有第二清洗泵和第二电加热器的第二清洗管路以及直连至主清洗泵出口的第三清洗管路，其中第一清洗管路提供大流量的常温清洗液，第二和第三清洗管路提供小流量的升温清洗液，因此本清洗系统具备混配生产线所需的常温清洗功能和升温清洗功能，适配清洗需求，对混配生产线达到更优的清洗效果。通过控制清洗系统内各泵的起停，能够控制清洗液向混配生产线的不同位置进行供应，快速完成特定位置的清洗操作，提升了清洗效率。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型中清洗液箱部分的结构示意图；

图3是本实用新型中清洗泵部分的结构示意图。

图中：

1、清洗液箱；2、补水管路；3、箱体支架；4、清洗剂管路；5、过滤组件；6、搅拌组件；7、输出管路；8、第一泵支架；9、第一输送泵；10、第二输送泵；11、选通电磁阀；12、输送管路；13、第一清洗泵；14、主清洗泵；15、第三清洗管路；16、管道过滤器；17、转移管路；18、第二电加热器；19、第二泵支架；20、第二清洗泵；21、第二清洗管路；22、辅助清洗泵；23、第三泵支架；24、第一电加热器；25、第一清洗管路；26、旁通管路；27、排废管路。

具体实施方式

为能进一步了解本实用新型的发明内容、特点及功效，兹举以下实施例详细说明。

本实用新型的清洗系统适用于显影液内循环混配生产线，显影液内循环混配生产线由原料罐、混配罐、输送管线以及管道泵等构建而成，其工作方式是将需要混配的组分注入混配罐内，并且在循环流动的过程中混配均匀。

请参见图1、图2和图3，本实用新型中的清洗系统包括配置有补水管路2和清洗剂管路4的清洗液箱1，在清洗液箱1上安装有搅拌组件6。如图中所示，清洗液箱1安装在一个箱体支架3上。

补水管路2用于向清洗液箱1内注入洁净水，通常为生产车间现场制备的去离子水，补水管路连接至水源供应装置，如图中所示，补水管路2包括总管路和两个分支管路，两个分支管路分别连接至清洗液箱1顶部的前部位置和后部位置。

搅拌组件6用于对清洗液箱1内的清洗液进行搅拌混匀，本实施例中，搅拌组件6包括安装在清洗液箱1顶壁上的搅拌电机，在搅拌电机的输出轴上连接有搅拌轴，在搅拌轴的下端安装有搅拌叶片。搅拌组件6设置有前后两个，保证对内部清洗液的混匀效果。

清洗剂管路4用于向清洗液箱1内注入液态的清洗剂，考虑到清洗剂内可能含有颗粒物、凝结物等，本实施例中在清洗液箱1的顶部安装过滤组件5对其进行过滤。如图中所示，在向清洗液箱1的顶部设有左右两个过滤组件5。过滤组件5包括下端与清洗液箱1贯通的过滤筒，在过滤筒的中部设有滤布支架，在滤布支架上设有滤布。如图中所示，清洗剂管路4包括总管路和两个分支管路，两个分支管路分别与两个过滤筒的上部连接。运行时，清洗剂经由清洗剂管路4注入过滤筒的上部空间，经滤布过滤后向下落入清洗液箱1的内部。

在清洗液箱1的底部安装有输出管路7，搅拌混合后的清洗液经由输出管路7排出。本实施例中，清洗液箱1具有锥形底且在锥形底上设有两个清洗液出口，输出管路7包括两个分支管路和一个总管路，两个分支管路分别连接至两个清洗液出口，由两个清洗液出口排出的清洗液汇集至输出管路7的总管路。

在输出管路7的两个分支管路上还连接有带有球阀的排废管路27，排废管路27用于在清洁维护本清洗系统时将内部的废液等排出。

还包括输送泵，输出管路7连接至输送泵的入口，输送泵为清洗液提供转移流动的动力。还包括主清洗泵14，输送泵的出口通过输送管路12连接至主清洗泵14的入口。

本实施例中，输送泵包括并列设置的第一输送泵9和第二输送泵10，两者构成一备一用，输出管路7同时连接至第一输送泵9和第二输送泵10的入口，输送管路12同时连接至第一输送泵9和第二输送泵10的出口且在连接位置安装有选通电磁阀11。系统运行时，其中一个选通电磁阀11打开、另一个选通电磁阀11关闭，相应地将第一输送泵9或者第二输送泵10投入使用，当前的输送泵发生故障时，将另一个输送泵选通，保证清洗系统处于可靠的连续运行状态。

如图中所示，第一输送泵9和第二输送泵10安装在第一泵支架8上。

在主清洗泵14的出口上安装有管道过滤器16，主清洗泵14对清洗液进行增压输送，管道过滤器16用于对清洗液进行在线过滤，滤除可能含有的颗粒物、凝结物等，避免颗粒物、凝结物等在清洗过程中进入显影液混配生产线。

在管道过滤器16上连接有第一清洗管路25且在第一清洗管路25上安装有第一清洗泵13和第一电加热器24，如图中所示，主清洗泵14和第一清洗泵13安装在第二泵支架19上。由主清洗泵14输送的清洗液，被第一清洗泵13进一步增压、被第一电加热器24加热升温后向外供应，本清洗支路为升温清洗支路。

在第一清洗管路25上、第一清洗泵13与管道过滤器16之间还连接有第三清洗管路15，由主清洗泵14输送的清洗液可以直接由第三清洗管路15向外输出，本清洗支路为常温清洗支路，由于连接至主清洗泵14，因此本常温清洗支路的清洗液流量较大。

在第一清洗管路25上、第一清洗泵13与管道过滤器16之间还连接有第二清洗管路21，在第二清洗管路21上安装有第二电加热器18和第二清洗泵20。由主清洗泵14输送的清洗液，被第二清洗泵20进一步增压、被第二电加热器18加热升温后向外供应，本清洗支路为另一个升温清洗支路。

本实施例中，在第二清洗管路21上还连接有旁通管路26且在旁通管路26上安装有辅助清洗泵22。在必要时，辅助清洗泵22可以投入运转，与第二清洗泵20同时运行，进一步为第二清洗管路21内的清洗液提供动力，增加清洗液的流动性。

如图中所示，第二清洗泵20和辅助清洗泵22安装在第三泵支架23上。

本清洗系统的三个清洗支路分别连接至显影液混配生产线的不同位置，并且在三个清洗支路与混配生产线的连接位置设置电磁阀，通过控制电磁阀的通断控制各清洗支路同时接入混配生产线或者单独接入混配生产线。

工作过程：

通过补水管路2向清洗液箱1内注入洁净水，通过清洗剂管路4向清洗液箱1内注入液态清洗剂，洁净水和清洗剂注入的同时启动搅拌组件6进行持续搅拌，令内部的清洗液混匀；

通过控制电磁阀的通断控制各清洗支路同时接入混配生产线或者单独接入混配生产线；选通启动其中一个输送泵，同时启动主清洗泵14；若启动了第一清洗支路，则启动第一清洗泵13和第一电加热器24，若启动了第一清洗支路，则启动第二清洗泵20和第二电加热器18(必要时启动辅助清洗泵22)，各清洗支路内的清洗液以常温或者升温的方式向显影液混配生产线的不同位置注入，对混配生产线进行清洗，清洗后的废液由混配生产线的各排废节点排出。

Claims (7)

1.一种显影液内循环混配生产线的清洗系统，其特征是：包括配置有补水管路(2)和清洗剂管路(4)的清洗液箱(1)，在清洗液箱(1)上安装有搅拌组件(6)，在清洗液箱(1)的底部安装有输出管路(7)；还包括输送泵，输出管路(7)连接至输送泵的入口；还包括主清洗泵(14)，输送泵的出口通过输送管路(12)连接至主清洗泵(14)的入口，在主清洗泵(14)的出口上安装有管道过滤器(16)，在管道过滤器(16)上连接有第一清洗管路(25)且在第一清洗管路(25)上安装有第一清洗泵(13)和第一电加热器(24)；在第一清洗管路(25)上、第一清洗泵(13)与管道过滤器(16)之间还连接有第三清洗管路(15)；在第一清洗管路(25)上、第一清洗泵(13)与管道过滤器(16)之间还连接有第二清洗管路(21)，在第二清洗管路(21)上安装有第二电加热器(18)和第二清洗泵(20)。

2.如权利要求1所述的显影液内循环混配生产线的清洗系统，其特征是：在清洗液箱(1)的顶部安装有两个过滤组件(5)，过滤组件(5)包括下端与清洗液箱(1)贯通的过滤筒，在过滤筒的中部设有滤布支架，在滤布支架上设有滤布，清洗剂管路(4)与过滤筒的上部连接。

3.如权利要求2所述的显影液内循环混配生产线的清洗系统，其特征是：清洗液箱(1)具有锥形底且在锥形底上设有两个清洗液出口，输出管路(7)包括两个分支管路和一个总管路，两个分支管路分别连接至两个清洗液出口；在两个分支管路上还连接有带有球阀的排废管路(17)。

4.如权利要求3所述的显影液内循环混配生产线的清洗系统，其特征是：搅拌组件(6)包括安装在清洗液箱(1)顶壁上的搅拌电机，在搅拌电机的输出轴上连接有搅拌轴，在搅拌轴的下端安装有搅拌叶片。

5.如权利要求4所述的显影液内循环混配生产线的清洗系统，其特征是：输送泵包括并列设置的第一输送泵(9)和第二输送泵(10)，输出管路(7)同时连接至第一输送泵(9)和第二输送泵(10)的入口，输送管路(12)同时连接至第一输送泵(9)和第二输送泵(10)的出口且在连接位置安装有选通电磁阀(11)。

6.如权利要求5所述的显影液内循环混配生产线的清洗系统，其特征是：在第二清洗管路(21)上还连接有旁通管路(26)且在旁通管路(26)上安装有辅助清洗泵(22)。

7.如权利要求6所述的显影液内循环混配生产线的清洗系统，其特征是：清洗液箱(1)安装在一个箱体支架(3)上，第一输送泵(9)和第二输送泵(10)安装在第一泵支架(8)上，主清洗泵(14)和第一清洗泵(13)安装在第二泵支架(19)上，第二清洗泵(20)和辅助清洗泵(22)安装在第三泵支架(23)上。