CN219533421U - 扫片装置和晶圆传输设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型实施例公开了一种扫片装置和晶圆传输设备，其中，所述扫片装置例如包括：移动组件；安装支架，安装在所述移动组件上；对射传感器和反射传感器，所述对射传感器和所述反射传感器可选择性的安装在所述安装支架上；其中，所述安装支架可随所述移动组件的移动而移动。本实用新型实施例通过设置安装支架，使得扫片装置能够同时兼容对射传感器和反射传感器，可依照实际应用场景的需求选择合适的传感器，满足用户的不同需求。

Description

扫片装置和晶圆传输设备

技术领域

本实用新型涉及晶圆扫片装置领域，尤其涉及一种扫片装置和一种晶圆传输设备。

背景技术

在晶圆检测设备检测晶圆的过程中，在对晶圆进行取片之前，首先需要确认片盒内每一层是否有晶圆存在，这个过程就是扫片。扫片一般需要通过传感器根据传感器反射的光以及接收到光的距离来判断片盒内是否存在有晶圆。

但是，目前的扫片功能在检测环境下有局限性：容易受环境干扰、检测距离受限以及难以适应多尺寸晶圆兼容等缺点。因此，亟需提供一种扫片装置以满足多种情况下对晶圆的检测方式。

发明内容

因此，为了克服现有技术中的部分缺陷，本实用新型实施例提供了一种扫片装置和一种晶圆传输设备。

一方面，本实用新型实施例提供了一种扫片装置，包括：移动组件；安装支架，安装在所述移动组件上；对射传感器和反射传感器，所述对射传感器和所述反射传感器可选择性的安装在所述安装支架上；其中，所述安装支架可随所述移动组件的移动而移动。

在本实用新型的一个实施例中，所述安装支架包括连接部，所述连接部安装在所述移动组件上；第一安装部，与所述连接部远离所述移动组件的一侧连接；所述反射传感器与所述第一安装部可拆卸连接；第二安装部，位于所述第一安装部的远离所述连接部的第一方向上；所述对射传感器与所述第二安装部可拆卸连接。

在本实用新型的一个实施例中，所述反射传感器可拆卸连接在所述第一安装部；所述反射传感器位于第二方向上、且设置在所述第一安装部远离连接部的一侧上；所述对射传感器位于所述第一方向上、且设置在所述第二安装部远离所述第一安装部的一侧上。

在本实用新型的一个实施例中，所述第二安装部包括位于所述第一安装部相对的两端且朝所述第一安装部远离所述连接部一侧凸出的两个凸出部；所述对射传感器包括发射部和接收部，所述发射部可拆卸连接在所述两个凸出部中的其中一个凸出部上，所述接收部可拆卸连接在所述两个凸出部中的另外一个凸出部上。

在本实用新型的一个实施例中，所述两个凸出部上均设置有限位卡槽；两个限位卡槽内分别安装有所述发射部和接收部。

在本实用新型的一个实施例中，所述两个凸出部各自包括一个凸出于所述第一安装部的底板，所述限位卡槽可拆卸连接所述底板。

在本实用新型的一个实施例中，所述反射传感器包括反射传感器本体和固定支架，所述反射传感器本体固定连接固定支架，所述固定支架可拆卸连接在所述第一安装部上。

在本实用新型的一个实施例中，所述固定支架包括固定板和延伸板，所述固定板固定在所述第一安装部上，所述延伸板固定连接所述固定板，且向远离所述连接部的方向延伸；所述反射传感器本体固定在所述延伸板上。

在本实用新型的一个实施例中，所述移动组件为用于传送晶圆的机械手。

另一方面，本发明实施例提供的一种晶圆传输设备，包括：如上实施例所述的扫片装置；传输装置，连接所述扫片装置，用于控制所述扫片装置检测是否存在晶圆，若存在，则对所述晶圆进行取片操作。

由上可知，本实用新型上述实施例可以达成以下一个或多个有益效果：

1、通过设置安装支架，使得扫片装置能够同时兼容对射传感器和反射传感器，可依照实际应用场景的需求选择合适的传感器，满足用户的不同需求；

2、对射传感器和反射传感器均可拆卸安装在安装支架，可达到对不同的传感器简易更换的目的。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的第一实施例提供的一种扫片装置的示意图。

图2为图1所示的一种扫边组件的结构示意图。

图3为图2所示的另一角度的结构示意图。

图4为图2所示的限位部的结构示意图。

图5为本实用新型提供的另一种扫片装置的结构示意图。

图6为本实用新型提供的再一种扫片装置的结构示意图。

图7为本实用新型提供的一种晶圆传输设备的结构示意图。

图8为本实用新型提供的一种晶圆检测系统的结构示意图。

附图标号说明

1：扫片装置；11：移动组件；12：安装支架；13：对射传感器；14：反射传感器；20：晶圆传输设备；21：传输装置；30：晶圆检测系统；101：第一方向；102：第二方向；121：第一安装部；122：连接部；123：第二安装部；1231：凸出部；1232：限位卡槽；12311：底板；131：发射部；132：接收部；141：反射传感器本体；142：固定支架；1421：固定板；1422：延伸板。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。

为了使本领域普通技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是，本实用新型的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应当理解这样使用的术语在适当情况下可以互换，以便这里描述的本实用新型实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或单元。

还需要说明的是，本实用新型中多个实施例的划分仅是为了描述的方便，不应构成特别的限定，各种实施例中的特征在不矛盾的情况下可以相结合，相互引用。

如图8所示，本实用新型实施例提供了一种晶圆检测系统30，晶圆检测系统30包括：晶圆传输设备20。

所述晶圆检测系统30用于对晶圆进行检测，检测晶圆上是否存在有缺陷。

所述晶圆传输设备20用于在晶圆检测系统30对晶圆进行缺陷检测之前，需要将晶圆从放置晶圆的片盒内将晶圆取出，再放置到平台上，以及在系统对晶圆检测完成后，需要将晶圆从平台取出再放置在片盒内。但是，由于在取出和放置晶圆之前，都需要检测片盒内以及平台上是否存在有晶圆，即需要在取出和放置晶圆之前，需要进行扫片操作，扫片的目的就是检测其范围内是否存在有晶圆。所以本实施例的晶圆传输设备20包括有传输装置21和扫片装置1。扫片装置1设置在传输装置21上；当传输装置21在传输之前，通过扫片装置检测片盒或者平台内是否存在有晶圆，如果在检测晶圆缺陷之前，扫片装置1检测出片盒存在晶圆，则通过传输装置21将晶圆从片盒内取出，并放置在平台上进行晶圆缺陷检测，或者在晶圆检测系统30检测完晶圆缺陷后，扫片装置1检测出平台上存在晶圆，则通过传输装置21将晶圆从平台上取出，并放置在片盒内，完成整个晶圆缺陷检测步骤。

如图1-6所示，本实用新型第一实施例提供了一种扫片装置1，其例如包括：移动组件11、安装支架12、对射传感器13和反射传感器14。其中，所述安装支架12可固定连接移动组件11，对射传感器13和反射传感器14可选择性的安装在所述安装支架12上。

所述移动组件11可例如为机械移动组件，例如机械手等等，所述安装支架12可固定在机械手的手臂上，当机械手移动时，可带动安装支架12以及安装在安装支架12上的对射传感器13和反射传感器14一起移动。在其他实施例中，也可以在安装支架12上安装其他的扫描类传感器，具体此处不做限定。

其中可选择性的安装例如是：如图5所示，只选择对射传感器13安装在安装支架12上。或者，如图6所示，只选择反射传感器14安装在安装支架12上。或者，如图2-3所示，可选择对射传感器13和反射传感器14均安装在安装支架12上。可根据实际需求只安装对射传感器13或者只安装反射传感器14或者对射传感器13和反射传感器14均安装。本实施例对此不做限定。

本实用新型实施例通过设置安装支架12，使得扫片装置1能够同时兼容对射传感器13和反射传感器14，可依照实际应用场景的需求选择合适的传感器，可满足用户的不同需求。即当用户需要检测的晶圆的尺寸较大时，由于对射传感器13的之间的距离太小，此时可以选择拆下或者不拆下对射传感器13，如果拆下，则可在安装支架12上直接安装反射传感器14(如图6所示)，并使用反射传感器14进行检测，从而使得扫片装置1可以兼容更多尺寸的晶圆。如果选择不拆下对射传感器13，则可以将反射传感器14安装至对射传感器13无法影响其判断范围是否有晶圆的高度，然后使用反射传感器14进行检测(如图2-3所示)。当用户需要检测的晶圆的距离大于反射传感器14检测的距离时，可选择拆下反射传感器14，将对射传感器13安装至安装支架12上(如图5所示)，然后通过移动组件11移动对射传感器13至需要检测的晶圆位置，以方便扫片装置1检测；或者不选择拆下反射传感器14；则将对射传感器13安装至反射传感器14无法影响其检测晶圆的位置，然后将对射传感器13安装至安装支架12上(如图2-3所示)，以方便扫片装置1检测。

在一个实施方式中，如图2-3所示，所述安装支架12上设置有连接部122、第一安装部121和第二安装部123，所述连接部122安装在所述移动组件11上。在本实施例中，对射传感器13可设置在相对反射传感器14更远的位置，从而使得对射传感器13和反射传感器14不会相互影响。第一安装部121与所述连接部122远离所述移动组件11的一侧连接，所述反射传感器14与所述第一安装部121可拆卸连接。第二安装部123位于所述第一安装部121的远离所述连接部122的第一方向101上，所述对射传感器13与所述第二安装部123可拆卸连接。

在本实施例的一个较佳实施例中，如图2所示，所述反射传感器14可拆卸连接在所述第一安装部121，所述反射传感器14位于第二方向102上、且设置在所述第一安装部121远离所述连接部122的一侧上，即反射传感器14设置在第一安装部121的上侧位置。在其他实施例中，所述反射传感器14可拆卸连接在所述第一安装部121、且可位于第二方向102相反的方向上，即反射传感器14可设置在第一安装部121的下侧位置。由于对射传感器工作状态不会影响到反射传感器的工作状态；即反射传感器可安装在如图2所示的上侧或者下侧位置均可，只要不影响反射传感器的正常工作即可。所述第二安装部123位于第一方向102上。所述对射传感器13也位于所述第二方向102上、且设置在所述第二安装部123远离所述第一安装部211的一侧上。在本实施例中，第二方向102可与第一方向101相互垂直；在其他实施例中，第二方向102可与第一方向101相交的夹角可大于0度和小于180度之间；反射传感器14和对射传感器13之间安装的位置不相互影响即可，具体此处不做限定。

其中，在本实施例的一个较佳实施例中，如图2所示，第二安装部123包括：两个凸出部1231，所述两个凸出部1231位于所述第一安装部121相对的两端且朝所述第一安装部123远离所述连接部122一侧凸出的位置。所述对射传感器13包括发射部131和接收部132，所述发射部131可拆卸连接在所述两个凸出部1231中的其中一个凸出部上，所述接收部13可拆卸连接在所述两个凸出部1231中另外一个凸出部上。通过设置凸出部1231，使得对射传感器13的安装位置离反射传感器14的安装位置更远，使得对射传感器13和反射传感器14两者分别在工作时，不会相互影响。

如图2-3所示，所述两个凸出部1231上均设置有限位卡槽1232，两个限位卡槽1232内分别可拆卸连接有所述发射部131和接收部132，即两个限位卡槽1232中的一个限位卡槽可拆卸连接发射部131，两个限位卡槽1232中的另一个限位卡槽可拆卸连接接收部132。所述两个凸出部1231上均包括有一个凸出于所述第一安装部121的底板12311，所述限位卡槽1231可拆卸连接所述底板12311；通过在凸出部1231上设置限位卡槽1232，使得对射传感器13的发射部131和接收部132可固定并限位在限位卡槽1232内，防止对射传感器13因移动组件11的移动而发生位移，导致脱落等情况的发生。

如图4-5所示，在本实施例的一个实施方式中，所述反射传感器14包括反射传感器本体141和固定支架142，所述反射传感器本体141固定连接固定支架142，所述固定支架142可拆卸连接在所述第一安装部121上。在本实施例中，所述固定支架142包括固定板1421和延伸板1422，所述固定板1421固定在所述安装片121上，所述延伸板1422固定连接所述固定板1421，且向远离所述连接部122的方向延伸，所述反射传感器本体141固定连接在所述延伸板1422上。在本实施例中，通过将反射传感器141固定设置在固定支架142的延伸板1422上，可将反射传感器141固定在第一安装部121上，且不会被对射传感器13发出的光线所影响。可使得扫片装置1也可同时通过反射传感器14和对射传感器13来确认片盒内是否存在有晶圆。从而可满足用户的不同需求，以及可满足不同的场景需求。

扫片装置1的工作原理：当用户发现片盒内或者平台上需要检测的晶圆的尺寸较大时，由于对射传感器13的之间的检测距离不够大导致对射传感器13检测的晶圆尺寸有限，此时可以选择拆下或者不拆下对射传感器13，如果拆下，则将对射传感器13从限位卡槽1231中拆卸下来，然后在第一安装部121上直接安装反射传感器14(如图6所示)，并使用反射传感器14的反射原理对片盒内或者平台上的晶圆进行检测，从而使得扫片装置1可以兼容更多尺寸的晶圆。如果选择不拆下对射传感器13，则可以将反射传感器14直接安装在第一安装部121上，然后使用反射传感器14进行检测(如图2所示)。当用户发现需要检测的晶圆的距离大于反射传感器14检测的距离时，可选择拆下反射传感器14，将对射传感器13安装至安装支架12的限位卡槽1232上(如图5所示)，以方便扫片装置1中的移动组件11移动安装支架12以使得对射传感器能够检测片盒内或者平台上的晶圆；或者不选择拆下反射传感器14；则将对射传感器13直接安装至限位卡槽1232上，然后将对射传感器13安装至安装支架12上(如图2所示)，以方便扫片装置1检测，由于第一安装部121和第二安装部123之间的距离较远，两个安装部上安装的传感器不会相互影响。所以对射传感器13和反射传感器14可以根据实际需要选择拆下或者不拆下，均不会影响到扫片装置1对晶圆的存在检测功能。

本实用新型实施例通过设置安装支架12，使得扫片装置1能够同时兼容对射传感器13和反射传感器14，可依照实际应用场景的需求选择合适的传感器，可满足用户的不同需求、以及可同时通过反射传感器14和对射传感器13来确认片盒内是否存在有晶圆，从而可满足用户的不同需求，以及可满足不同的场景需求。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。

Claims (10)

1.一种扫片装置(1)，其特征在于，包括：

移动组件(11)；

安装支架(12)，安装在所述移动组件(11)上；

对射传感器(13)和反射传感器(14)，所述对射传感器(13)和所述反射传感器(14)可选择性的安装在所述安装支架(12)上；

其中，所述安装支架(12)可随所述移动组件(11)的移动而移动。

2.根据权利要求1所述的扫片装置(1)，其特征在于，所述安装支架(12)包括：连接部(122)，所述连接部(122)安装在所述移动组件(11)上；

第一安装部(121)，与所述连接部(122)远离所述移动组件(11)的一侧连接；所述反射传感器(14)与所述第一安装部(121)可拆卸连接；

第二安装部(123)，位于所述第一安装部(121)的远离所述连接部(122)的第一方向(101)上；所述对射传感器(13)与所述第二安装部(123)可拆卸连接。

3.根据权利要求2所述的扫片装置(1)，其特征在于，所述反射传感器(14)可拆卸连接在所述第一安装部(121)，所述反射传感器(14)位于第二方向(102)上，且设置在所述第一安装部(121)远离连接部(122)的一侧上；所述对射传感器(13)位于所述第一方向(101)上、且设置在第二安装部(123)远离所述第一安装部(121)的一侧上。

4.根据权利要求2所述的扫片装置(1)，其特征在于，所述第二安装部(123)包括位于所述第一安装部(121)相对的两端且朝所述第一安装部(121)远离所述连接部(122)一侧凸出的两个凸出部(1231)；所述对射传感器(13)包括发射部(131)和接收部(132)，所述发射部(131)可拆卸连接在所述两个凸出部(1231)中的其中一个凸出部上，所述接收部(132)可拆卸连接在所述两个凸出部(1231)中的另外一个凸出部上。

5.根据权利要求4所述的扫片装置(1)，其特征在于，所述两个凸出部(1231)上均设置有限位卡槽(1232)；两个限位卡槽(1232)内分别安装有所述发射部(131)和接收部(132)。

6.根据权利要求5所述的扫片装置，其特征在于，所述两个凸出部(1231)各自包括一个凸出于所述第一安装部(121)的底板(12311)，所述限位卡槽(1232)可拆卸连接所述底板(12311)。

7.根据权利要求2所述的扫片装置(1)，其特征在于，所述反射传感器(14)包括反射传感器本体(141)和固定支架(142)，所述反射传感器本体(141)固定连接固定支架(142)，所述固定支架(142)可拆卸连接在所述第一安装部(121)上。

8.根据权利要求7所述的扫片装置(1)，其特征在于，所述固定支架(142)包括固定板(1421)和延伸板(1422)，所述固定板(1421)可拆卸连接在所述第一安装部(121)上，所述延伸板(1422)固定连接所述固定板(1421)，且向远离所述连接部(122)的方向延伸；所述反射传感器本体(141)固定在所述延伸板(1422)上。

9.根据权利要求1所述的扫片装置(1)，其特征在于，所述移动组件(11)为用于传送晶圆的机械手。

10.一种晶圆传输设备(20)，其特征在于，包括：

如权利要求1-9任一项所述的扫片装置(1)；

传输装置(21)，连接所述扫片装置(1)，用于控制所述扫片装置(1)检测是否存在晶圆，若存在，则对所述晶圆进行取片操作。