CN219533274U - 一种导电薄膜方阻检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了导电薄膜生产技术领域中的一种导电薄膜方阻检测装置，包括：安装架、电动竖推杆、检测探头，安装架包括两个侧板、连接两个侧板的横杆，电动竖推杆与横杆连接，检测探头包括探针安装架、多个探针，探针安装架的顶部设有弹性组件，弹性组件的顶部设有压力传感器，压力传感器的顶部与电动竖推杆的运动端连接，驱动机构驱动电动竖推杆上下运动，使得探针与导电薄膜的膜面接触。为了解决现有的方阻检测仪检测探头对导电薄膜的挤压力度不可调节的问题，通过压力传感器能够检测到探针接触薄膜表面时的压力，可以对电动推杆的伸缩量进行控制，使得检测探头对导电薄膜表面的压力在安全范围内，防止检测探头对导电薄膜的膜面造成机械损伤。

Description

一种导电薄膜方阻检测装置

技术领域

本实用新型涉及导电薄膜生产技术领域，具体地说，是涉及一种导电薄膜方阻检测装置。

背景技术

导电薄膜在生产完成后，需要对其进行方块电阻的检测。方块电阻，简称方阻，又称膜电阻，任意大小的正方形的电阻测量值都是一样的，方阻的大小仅与导电薄膜的厚度有关，因此，方块电阻的测量广泛应用于检测导电薄膜的厚度，在导电薄膜生产过程中监控膜厚均匀性。四探针测量方法被广泛应用于各个领域中方块电阻的测量，四探针测量是各类导电薄膜相关制备工艺检测的必备手段。方阻仪是目前比较常用的方块电阻测试装置，其通过四个探针与待检测导电薄膜接触导通，从而使探针、导电薄膜和电源之间形成测量回路，从而能够测量得到导电薄膜的方块电阻。

现有的方阻仪只能在导电薄膜制成之后再进行测量，无法做到实时在线检测。当导电薄膜不合格时再进行“返工”，这样增加了薄膜产品的生产工序，无法做到生产时的在线调整。为了解决上述技术问题，申请号为 CN202120057354.5的中国专利中，公开了一种真空镀膜在线方阻检测仪，其方阻仪的检测探头伸入真空镀膜装置的内部，实现了薄膜产品膜面的在线检测，检测探头包括导电轴和设于导电轴上的四个导轮，该检测探头与真空镀膜装置内的过辊挤压配合，且镀膜从该过辊与导轮之间穿过，使得导轮与真空镀膜装置内的膜面接触，并对镀膜进行方阻检测。

然而，上述真空镀膜在线方阻检测仪，过辊与检测探头相互挤压时，检测探头为硬质金属，过辊与检测探头挤压的力度不可调节，在测试的时候由于力道不好把握，若过辊与检测探头挤压的力度过大，易对导电薄膜材料的测试表面造成机械损伤，使得探针和样品之间接触不良，使测试过程无法顺利进行；若过辊与检测探头挤压的力度过小，则检测探头与导电薄膜材料接触不到位，测试无法正常进行。

实用新型内容

为了解决现有的方阻检测仪检测探头对导电薄膜材料的挤压力度不可调节，挤压的力度过大容易对导电薄膜材料的测试表面造成机械损伤，挤压的力度过小，使得测试无法正常进行的问题，本实用新型提供一种导电薄膜方阻检测装置。

本实用新型技术方案如下所述：

一种导电薄膜方阻检测装置，包括：

安装架，包括两个侧板、连接两个所述侧板的横杆；

电动竖推杆，所述电动竖推杆与所述横杆连接；

检测探头，包括探针安装架、设置在所述探针安装架上的多个探针，所述探针安装架的顶部设有弹性组件，所述弹性组件的顶部设有压力传感器，所述压力传感器的顶部与所述电动竖推杆的运动端连接，驱动机构驱动所述电动竖推杆上下运动，使得所述探针与导电薄膜的膜面接触。

进一步的，所述探针安装架的宽度与所述导电薄膜的幅宽相同。

进一步的，所述探针安装架的宽度小于所述导电薄膜的幅宽。

更进一步的，还包括丝杆，所述丝杆与所述横杆平行设置，所述横杆上滑动设置有移动块，且所述丝杆穿过所述移动块与所述驱动机构连接，所述电动竖推杆与所述移动块连接，所述驱动机构驱动所述丝杆运动，使得所述移动块带动所述电动竖推杆沿着所述丝杆、所述横杆的长度方向移动。

进一步的，所述移动块的底部设有导向轴，所述导向轴与所述电动竖推杆平行设置，且所述导向轴穿过所述弹性组件与所述探针安装板抵接。

进一步的，所述探针包括探针筒，所述探针筒的一端具有开口，另一端设有设有封盖，所述开口内设有球形探针头，所述球形探针头与所述导电薄膜的膜面滚动接触。

更进一步的，所述探针筒内还设有支撑块，所述支撑块通过第一弹簧与所述封盖连接，所述支撑块的底部设有半圆形凹槽，所述球形探针头设置在所述半圆形凹槽内。

进一步的，所述探针筒内还设有对所述支撑块起到限位作用的限位块，所述限位块设置在所述支撑块的上方。

进一步的，所述安装架底部设有对所述导电薄膜起到支撑作用的导向辊，所述导向辊的轴线位于所述球形探针头的正下方。

进一步的，所述弹性组件包括连接块、伸缩杆、第二弹簧，所述连接块的顶部与所述压力传感器的底部连接，所述连接块的底部与所述伸缩杆的顶部连接，所述伸缩杆的底部与所述探针连接板的顶部连接，所述第二弹簧套设在所述伸缩杆上。

根据上述方案的本实用新型，其有益效果在于：

上述导电薄膜方阻检测装置，在电动竖推杆和检测探头之间设置有压力传感器，通过压力传感器能够检测到探针接触薄膜表面时的压力，从而工作人员可以对电动推杆的伸缩量进行控制，使得检测探头对导电薄膜表面的压力在安全范围内，防止检测探头对导电薄膜的膜面造成机械损伤，且并使得探针与薄膜表面充分接触，避免探针与导电薄膜之间接触不良，保证测试过程的顺利进行。

同时，在探针安装架的顶部设置弹性组件，电动竖推杆的推力通过弹性组件再传到检测探头上，弹性组件起到缓冲的作用，减少导电薄膜膜面的机械损伤。

此外，球形探针头可在与导电薄膜滚动接触，能够在导电薄膜走膜过程中起到检测作用，同时减少探针与导电薄膜之间的摩擦力，避免探针刮伤导电薄膜的膜面。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为检测探头的结构示意图；

图3为弹性组件的结构示意图；

图4为球形探针头的内部结构示意图。

在图中，11、侧板；12、横杆；13、导向辊；14、丝杆；15、移动块；16、导向轴；2、电动竖推杆；3、检测探头；31、探针安装架；32、探针；321、探针筒；322、封盖；323、支撑块；324、第一弹簧；325、球形探针头；4、弹性组件；41、连接块；42、伸缩杆；43、第二弹簧；5、压力传感器；6、驱动机构。

实施方式

下面结合附图以及实施方式对本实用新型进行进一步的描述：

如图1所示，本实用新型提供了一种导电薄膜方阻检测装置，包括：安装架、电动竖推杆2、检测探头3，安装架包括两个侧板11、连接两个侧板11的横杆12，电动竖推杆2与横杆12连接；检测探头3包括探针32安装架31、设置在探针32安装架31上的多个探针32，探针32安装架31的顶部设有弹性组件4，弹性组件4的顶部设有压力传感器5，压力传感器5的顶部与电动竖推杆2的运动端连接，驱动机构6驱动电动竖推杆2上下运动，使得探针32与导电薄膜的膜面接触。

如图1所示，在本实施例中，安装架底部设有导向辊13，导向辊13的轴线位于探针32的正下方。通过导向辊13对导电薄膜起到支撑作用，便于探针32与薄膜充分接触。在导电薄膜生产完成后，在收卷之前，将导电薄膜从导向辊13和检测探头3之间通过，利用探针32对导电薄膜进行方阻检测，减少导电薄膜在收卷和放卷上的时间，提高工作效率。

在本实施例中，探针32安装架31的宽度小于导电薄膜的幅宽，探针32安装架31上设有四个探针32，四个探针32呈线性间距均匀安装在所述探针32安装板上。两个侧板11之间还设有丝杆14，丝杆14转动安装在侧板11上，丝杆14与横杆12平行设置，横杆12上滑动设置有移动块15，移动块15上具有螺纹孔，移动块15通过螺纹孔旋接在丝杆14上，丝杆14穿过移动块15上的螺纹孔与驱动机构6连接。移动块15与横杆12插接配合设置，使移动块15的移动更加稳定，能够防止探针32的位置偏移。

如图1、图2所示，在本实施例中，驱动机构6驱动丝杆14转动，使得移动块15带动电动竖推杆2沿着丝杆14、横杆12的长度方向移动，实现对导电薄膜的幅宽方向的不同位置上进行方阻检测。同时，驱动机构6驱动电动竖推杆2上下运动，进行导电薄膜的方阻检测时，电动竖推杆2带动检测探头3下降，使得探针32与导电薄膜的膜面接触，对导电薄膜该位置处的膜面进行方阻检测，对该位置处的导电薄膜的膜面检测完成后，电动竖推杆2带动检测探头3上升，本导电薄膜方阻检测装置继续对下一位置的导电薄膜进行方阻检测。此外，驱动机构6可以设置为电机，电机固定安装在一个侧板11上，电机的输出端通过联轴器与丝杆14连接，当然，驱动机构6也可以设计为其他结构，在实际设计时，可以根据实际的需要来设计驱动机构6的结构。

在本实施例中，电动竖推杆2竖直设置，电动竖推杆2的顶部固定在移动块15上，电动竖推杆2的底部为运动端并与压力传感器5的顶部连接，压力传感器5的底部与弹性组件4固定连接。驱动机构6驱动电动竖推杆2向下运动，使得探针32与导电薄膜的膜面接触，通过压力传感器5能够检测到探针32头接触到导电薄膜膜面时的压力，工作人员可以对电动竖推杆2的伸缩量进行控制，控制检测探头3对导电薄膜膜面挤压的力度，使其压力在安全范围内，防止检测探头3导电薄膜的测试表面造成机械损伤，并使检测探头3与薄膜表面充分接触，避免探针32与导电薄膜之间接触不良，保证测试过程的顺利进行。

如图3所示，在本实施例中，弹性组件4包括连接块41、伸缩杆42、第二弹簧43，连接块41的顶部与压力传感器5的底部连接，连接块41的底部与伸缩杆42的顶部连接，伸缩杆42的底部与探针32连接板的顶部连接，第二弹簧43套设在伸缩杆42上，伸缩杆42无外力作用时，伸缩杆42呈伸长状态。电动竖推杆2向下运动，使得检测探头3向下运动并接触导电薄膜的膜面，在这过程中，电动竖推杆2的推力通过弹性组件4再传到检测探头3上，伸缩杆42和第二弹簧43起到缓冲的作用，减少导电薄膜膜面的机械损伤。

在本实施例中，移动块15底部设有导向轴16，导向轴16与电动竖推杆2平行设置，连接块41上设有通孔，导向轴16穿过连接块41上的通孔与探针32安装板抵接。连接块41通过通孔与导向轴16滑动设置，能够防止探针32在受力收缩后位置不发生偏移，保证检测结果的准确性。

如图4所示，在本实施例中，探针32包括探针筒321，探针筒321的一端具有开口，另一端设有设有封盖322，探针筒321内靠近开口的一侧设有支撑块323，支撑块323通过第一弹簧324与封盖322连接，支撑块323的底部设有半圆形凹槽，球形探针32头设置在半圆形凹槽内，增大球形探针32头与支撑块323的接触面积，便于电流流通，提高检测精度。通过第一弹簧324在探针32悬空时将球形探针32头定位在开口处，方便进行导电薄膜的方阻检测时，探针32下降，球形探针32头与导弹薄膜的膜面接触。此外，球形探针32头在检测时可沿着导电薄膜的膜面滚动，球形探针32头能够在导电薄膜走膜过程中起到检测作用，同时，球形探针32头滚动设置，有利于减少球形探针32头与导电薄膜之间的摩擦力，大大减少薄膜被刮伤的现象。另外，探针筒321内还设有对支撑块323起到限位作用的限位块，限位块设置在支撑块323的上，防止进行方阻检测时球形探针32头全部被压缩至探针筒321内。

在另一个实施中，探针32安装架31的宽度与导电薄膜的幅宽相同，探针32安装架31上设有四个探针32，四个探针32沿着导电薄膜的幅宽方向呈线性间距均匀安装在所述探针32安装板上。安装架底部设有导向辊13，导向辊13的轴线位于探针32的正下方。通过导向辊13对导电薄膜起到支撑作用，便于探针32与薄膜充分接触。在导电薄膜生产完成后，在收卷之前，将导电薄膜从导向辊13和检测探头3之间通过，利用探针32对导电薄膜进行方阻检测，减少导电薄膜在收卷和放卷上的时间，提高工作效率。同时，探针32安装架31的宽度与导电薄膜的幅宽相同，无需在导电薄膜的幅宽方向上移动检测探头3即可进行导电薄膜的方阻检测，提高检测效率。

应当理解的是，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，而所有这些改进和变换都应属于本实用新型所附权利要求的保护范围。

上面结合附图对本实用新型专利进行了示例性的描述，显然本实用新型专利的实现并不受上述方式的限制，只要采用了本实用新型专利的方法构思和技术方案进行的各种改进，或未经改进将本实用新型专利的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均在本实用新型的保护范围内。

Claims (10)

1.一种导电薄膜方阻检测装置，其特征在于，包括：

安装架，包括两个侧板、连接两个所述侧板的横杆；

电动竖推杆，所述电动竖推杆与所述横杆连接；

检测探头，包括探针安装架、设置在所述探针安装架上的多个探针，所述探针安装架的顶部设有弹性组件，所述弹性组件的顶部设有压力传感器，所述压力传感器的顶部与所述电动竖推杆的运动端连接，驱动机构驱动所述电动竖推杆上下运动，使得所述探针与导电薄膜的膜面接触。

2.根据权利要求1所述的导电薄膜方阻检测装置，其特征在于，所述探针安装架的宽度与所述导电薄膜的幅宽相同。

3.根据权利要求1所述的导电薄膜方阻检测装置，其特征在于，所述探针安装架的宽度小于所述导电薄膜的幅宽。

4.根据权利要求3所述的导电薄膜方阻检测装置，其特征在于，还包括丝杆，所述丝杆与所述横杆平行设置，所述横杆上滑动设置有移动块，且所述丝杆穿过所述移动块与所述驱动机构连接，所述电动竖推杆与所述移动块连接，所述驱动机构驱动所述丝杆运动，使得所述移动块带动所述电动竖推杆沿着所述丝杆、所述横杆的长度方向移动。

5.根据权利要求4所述的导电薄膜方阻检测装置，其特征在于，所述移动块的底部设有导向轴，所述导向轴与所述电动竖推杆平行设置，且所述导向轴穿过所述弹性组件与所述探针安装板抵接。

6.根据权利要求1所述的导电薄膜方阻检测装置，其特征在于，所述探针包括探针筒，所述探针筒的一端具有开口，另一端设有设有封盖，所述开口内设有球形探针头，所述球形探针头与所述导电薄膜的膜面滚动接触。

7.根据权利要求6所述的导电薄膜方阻检测装置，其特征在于，所述探针筒内还设有支撑块，所述支撑块通过第一弹簧与所述封盖连接，所述支撑块的底部设有半圆形凹槽，所述球形探针头设置在所述半圆形凹槽内。

8.根据权利要求7所述的导电薄膜方阻检测装置，其特征在于，所述探针筒内还设有对所述支撑块起到限位作用的限位块，所述限位块设置在所述支撑块的上方。

9.根据权利要求7所述的导电薄膜方阻检测装置，其特征在于，所述安装架底部设有对所述导电薄膜起到支撑作用的导向辊，所述导向辊的轴线位于所述球形探针头的正下方。

10.根据权利要求1所述的导电薄膜方阻检测装置，其特征在于，所述弹性组件包括连接块、伸缩杆、第二弹簧，所述连接块的顶部与所述压力传感器的底部连接，所述连接块的底部与所述伸缩杆的顶部连接，所述伸缩杆的底部与所述探针连接板的顶部连接，所述第二弹簧套设在所述伸缩杆上。