CN219522044U - 加工检测平台及检测系统 - Google Patents

加工检测平台及检测系统 Download PDF

Info

Publication number
CN219522044U
CN219522044U CN202320363732.1U CN202320363732U CN219522044U CN 219522044 U CN219522044 U CN 219522044U CN 202320363732 U CN202320363732 U CN 202320363732U CN 219522044 U CN219522044 U CN 219522044U
Authority
CN
China
Prior art keywords
motor module
platform
moving platform
guide rail
rail assembly
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202320363732.1U
Other languages
English (en)
Inventor
徐大明
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shenzhen Hannuo Precision Technology Co ltd
Original Assignee
Shenzhen Hannuo Precision Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shenzhen Hannuo Precision Technology Co ltd filed Critical Shenzhen Hannuo Precision Technology Co ltd
Priority to CN202320363732.1U priority Critical patent/CN219522044U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN219522044U publication Critical patent/CN219522044U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Machine Tool Units (AREA)

Abstract

本申请实施例涉及机械设备技术领域,公开了一种加工检测平台及检测系统,所述加工检测平台包括基座、第一电机模组、第二电机模组和升降电机模组。第一电机模组包括第一直线电机、第一导轨组件和第一移动平台,第一导轨组件沿第一方向设置于基座表面,第一移动平台设置于第一导轨组件,第一直线电机驱动第一移动平台沿第一导轨组件往复运动,第二电机模组沿第二方向设置于第一移动平台,其中第一方向和第二方向垂直,升降电机模组设置于第二电机模组,升降电机模组可沿垂直于基座表面的方向往复升降。通过使用第一直线电机驱动第一移动平台,可以减少第一移动平台与第一导轨组件之间的摩擦损耗,从而可以提升加工检测平台的加工精度。

Description

加工检测平台及检测系统
技术领域
本申请实施例涉及机械设备技术领域,特别是涉及一种加工检测平台及检测系统。
背景技术
加工检测平台主要用于半导体制造设备、激光切割设备、精密机床制造设备、医疗器械设备、自动化物流运输设备、PCB电路板加工设备、印刷设备、精密加工检测仪器、纺织与军工机械设备等。
本申请实施例在实施过程中,发明人发现:现有的加工检测平台的传动装置大多数实用传统的齿轮组和螺杆来传动,机械传动的方式磨损较大,在使用一段时间后,传动装置的精度变差,无法满足生产检测的要求。
实用新型内容
本申请实施例主要解决的技术问题是提供一种加工检测平台及检测系统,能够有效解决磨损大,加工检测精度低的问题。
为解决上述技术问题,本申请实施例采用的一个技术方案是:提供一种加工检测平台,包括基座、第一电机模组、第二电机模组和升降电机模组,第一电机模组包括第一直线电机、第一导轨组件和第一移动平台,所述第一导轨组件沿第一方向设置于所述基座,所述第一移动平台设置于所述第一导轨组件,所述第一直线电机用于驱动所述第一移动平台在所述第一导轨组件上往复运动;第二电机模组沿第二方向设置于所述第一移动平台,其中所述第二方向与所述第一方向垂直设置;升降电机模组设置于所述第二电机模组,所述升降电机模组可沿垂直所述基座的表面的方向往复升降。
可选地,所述第一直线电机包括第一定子和第一动子,所述第一定子包括安装架、上磁铁和下磁铁,所述上磁铁和所述下磁铁均安装于所述安装架并且所述上磁铁与所述下磁铁之间形成活动槽,所述第一动子设置于所述活动槽内,并且所述第一动子与所述第一移动平台连接。
可选地,所述第二电机模组包括第二直线电机、第二导轨组件和第二移动平台,所述第二导轨组件沿第二方向设置于所述第一移动平台,所述第二移动平台设置于所述第二导轨组件,所述第二直线电机用于驱动所述第二移动平台在所述第二导轨组件上往复运动;所述升降电机模组设置于所述第二移动平台。
可选地,所述第一电机模组还包括第一编码器,所述第一编码器与所述第一直线电机电信号连接;所述第二电机模组还包括第二编码器,所述第二编码器与所述第二直线电机电信号连接。
可选地,所述升降电机模组包括升降底座、驱动组件、主动支架以及从动支架,所述升降底座设置于所述第二移动平台,所述从动支架设置于升降底座,所述主动支架与所述从动支架连接,所述驱动组件用于驱动所述主动支架运动,从而带动所述从动支架作垂直于所述第二移动平台方向的往复运动。
可选地,所述升降电机模组还包括多个滚动件和支撑架,所述多个滚动件设置于所述支撑架;所述主动支架设有第一倾斜槽,所述从动支架设有与所述第一倾斜槽对应的第二倾斜槽,所述支撑架设置于所述第一倾斜槽与所述第二倾斜槽之间,所述滚动件分别与所述第一倾斜槽和所述第二倾斜槽连接。
可选地,所述升降电机模组还包括负载转接板,所述负载转接板设置于所述从动支架,所述负载转接板用于安装待加工检测件。
可选地,所述升降电机模组还包括转动组件,所述转动组件设置于所述从动支架,所述负载转接板设置于所述转动组件,所述转动组件用于驱动所述负载转接板转动。
可选地,所述加工检测平台还包括气浮减震器,所述气浮减震器设置于所述基座背离所述第一电机模组的一侧。
为解决上述技术问题,本申请实施例采用的另一个技术方案是:提供一种检测系统,包括如上所述的加工检测平台。
本申请实施例加工检测平台包括基座、第一电机模组、第二电机模组和升降电机模组。第一电机模组包括第一直线电机、第一导轨组件和第一移动平台,第一导轨组件沿第一方向设置于基座表面,第一移动平台设置于第一导轨组件,第一直线电机驱动第一移动平台沿第一导轨组件往复运动,第二电机模组沿第二方向设置于第一移动平台,其中第一方向和第二方向垂直,升降电机模组设置于第二电机模组,升降电机模组可沿垂直于基座表面的方向往复升降。通过使用第一直线电机驱动第一移动平台,可以减少第一移动平台与第一导轨组件之间的摩擦损耗,从而可以提升加工检测平台的加工精度。
附图说明
为了更清楚地说明本申请具体实施例或现有技术中的技术方案,下面将对具体实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中,类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中,各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。
图1是本申请实施例加工检测平台一视角的示意图。
图2是本申请实施例加工检测平台另一视角的爆炸图。
图3是本申请实施例加工检测平台的第一电机模组一视角的爆炸图。
图4是图3中局部A的放大图。
图5是本申请实施例加工检测平台的第二电机模组的一视角的爆炸图。
图6是本申请实施例加工检测平台的升降电机模组的一视角的爆炸图。
图7是本申请实施例加工检测平台的滚动件和支撑架的示意图。
图8是本申请实施例加工检测平台的升降电机模组的部分零部件的爆炸图。
具体实施方式
为了便于理解本申请,下面结合附图和具体实施例,对本申请进行更详细的说明。需要说明的是,当元件被表述“固定于”另一个元件,它可以直接在另一个元件上、或者其间可以存在一个或多个居中的元件。当一个元件被表述“连接”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件、或者其间可以存在一个或多个居中的元件。本说明书所使用的术语“上”、“下”、“内”、“外”、“垂直的”、“水平的”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本申请和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本申请的限制。此外,术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
除非另有定义,本说明书所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的,不是用于限制本申请。本说明书所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
此外,下面所描述的本申请不同实施例中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
请参阅图1和图2,加工检测平台100包括基座10、第一电机模组20、第二电机模组30和升降电机模组40。第一电机模组20设置于基座10表面,第二电机模组30设置于第一电机模组20,升降电机模组40设置于第二电机模组30。第一电机模组20用于驱动第二电机模组30沿第一方向X做直线往复运动,第二电机模组30用于驱动升降电机模组40沿第二方向Y做直线往复运动,升降电机模组40用于承载待加工检测件,并且升降电机模组40能够沿垂直于基座10表面的方向往复升降,通过上述结构设置,可以使得加工检测平台100可以在三轴方向的运动,从而更好地对待加工检测件进行加工和检测。
请参阅图3和图4,第一电机模组20包括第一直线电机21、第一导轨组件22和第一移动平台23。第一导轨组件22沿第一方向X设置于基座10表面,第一移动平台23与第一导轨组件22连接,第一直线电机21设置于基座10并且与第一移动平台23连接。第一直线电机21用于驱动第一移动平台23在第一导轨组件22上往复运动。通过第一直线电机21直接驱动第一移动平台23运动,可以减少间接的传动零部件,从而减少能量的损耗。
第一直线电机21包括第一定子211和第一动子212。第一定子211设置于基座10,第一定子211包括安装架2111、多个上磁铁2112和多个下磁铁2113。多个上磁铁2112并排设置于安装架2111的上端,多个下磁铁2113并排设置于安装架2111的下端,并且上磁铁2112和下磁铁2113之间形成有活动槽2114,第一动子212设置于活动槽2114内,并且第一动子212与第一移动平台23连接。其中上磁铁2112和下磁铁2113之间形成有稳定的磁场,当向第一动子212供电时,第一动子212可以在磁场内运动,以使得第一移动平台23与第一动子212同步运动。可以理解的是,供向第一动子212的电流方向可变,并且通过改变电流的方向,从而调节第一动子212在磁场内的运动方向。通过上述结构,可以大大减少了第一动子212与第一定子211之间的摩擦,从而降低了第一直线电机21运动过程中的磨损,有效提升了第一移动平台23的移动精确度。
第一电机模组20还包括第一编码器24。第一编码器24设置于基座10或者第一移动平台23,第一编码器24分别与外部的控制器和第一直线电机21电信号连接,从而使得第一直线电机21更加准确的驱动第一移动平台23在第一方向X上的运动,实现精准定位。
请参阅图5,第二电机模组30包括第二直线电机31、第二导轨组件32和第二移动平台33。第二导轨组件32沿第二方向Y设置于第一移动平台23,第二移动平台33与第二导轨组件32连接,第二直线电机31设置于第一移动平台23,并且第二直线电机31用于驱动第二移动平台33在第二轨道组件上沿第二方向Y往复运动。同样地,采用第二直线电机31驱动第二移动平台33运动,可以减少第二移动平台33与第二导轨组件32之间的磨损,提高移动的精准度。
可以理解的是,第二直线电机31可以与第一直线电机21的结构相同,具体可参考第一直线电机21的具体结构。
第二电机模组30还包括第二编码器34。第二编码器34设置于第一移动平台23或者第二移动平台33,第二编码器34分别与外界的控制器和第二直线电机31电信号连接,从而使得第二直线电机31更加准确的驱动第二移动平台33在第二方向Y上的运动,实现精准定位。
请参阅图6至图8,升降电机模组40包括升降底座41、驱动组件42、主动支架43和从动支架44。升降底座41设置于第二移动平台33,从动支架44设置于升降底座41,并且从动支架44可以在升降底座41上沿垂直于第二移动平台33或者垂直基座10表面的方向相对于升降底座41做往复升降运动。驱动组件42设置于第二移动平台33,主动支架43与从动支架44连接。驱动组件42用于驱动主动支架43运动,从而带动从动支架44在升降底座41上做往复升降运动。
可以理解的是,在一些实施例中,驱动组件42可以包括电动机和丝杆,丝杆与主动支架43螺旋连接,电动机驱动丝杆转动,从而带动主动支架43运动。或者,驱动组件42还可以是步进电机、齿轮齿条、涡轮蜗杆等驱动结构。
主动支架43设有第一倾斜槽431,从动支架44设有第二倾斜槽441。升降电机模组40还包括支撑件和多个滚动件45。多个滚动件45设置于支撑件上,以使得多个滚动件45的运动更加平稳和统一。支撑架46设置于第一倾斜槽431和第二倾斜槽441之间,滚动件45分别与第一倾斜槽431和第二倾斜槽441抵接连接。当驱动组件42驱动主动支架43运动时,主动支架43通过滚动件45驱动从动支架44运动,从而使得从动支架44实现在升降底座41上做升降运动。通过在第一倾斜槽431和第二倾斜槽441之间设置多个滚动件45,可以使得主动支架43和从动支架44之间的运动由滑动改为滚动,大大降低了主动支架43和从动支架44之间的磨损,能够延长二者的使用寿命,同时也能够提升升降电机模组40的升降精度。可以理解的是,滚动件45可以是球状的滚珠,也可以是圆柱状的滚轮。
升降电机模组40还包括第三编码器47。第三编码器47设置于第二移动平台33,第三编码器47分别与外部的控制器和驱动组件42电信号连接,从而使得外部控制器能够准确控制驱动组件42驱动主动支架43运动。
升降电机模组40还包括负载转接板48。负载转接板48设置于从动支架44,负载转接板48用于安装待加工检测件。
升降电机模组40还包括转动组件49,转动组件49设置于第二移动平台33,负载转接板48设置于转动组件49。转动组件49可以驱动负载转接板48相对于第二移动平台33转动,从而使得夹持在负载转接板48上的待加工检测件能够完成旋转运动,便于加工和检测。可以理解的是,转动组件49可以是转动马达。
请继续参阅图1和图2,加工检测平台100还包括气浮减震器50。气浮减震器50设置于基座10背离第一电机模组20的一侧,气浮减震器50与外部的气源装置连接。气浮减震器50一方面可以用于调节基座10的水平度,从而使得基座10处于水平状态,另一方面可以降低加工检测平台100在工作的过程中的震动对第一电机模组20、第二电机模组30以及升降模组的运动精度。
本申请实施例加工检测平台100包括基座10、第一电机模组20、第二电机模组30和升降电机模组40。第一电机模组20包括第一直线电机21、第一导轨组件22和第一移动平台23,第一导轨组件22沿第一方向X设置于基座10表面,第一移动平台23设置于第一导轨组件22,第一直线电机21驱动第一移动平台23沿第一导轨组件22往复运动,第二电机模组30沿第二方向Y设置于第一移动平台23,其中第一方向X和第二方向Y垂直,升降电机模组40设置于第二电机模组30,升降电机模组40可沿垂直于基座10表面的方向往复升降。通过使用第一直线电机21驱动第一移动平台23,可以减少第一移动平台23与第一导轨组件22之间的摩擦损耗,从而可以提升加工检测平台100的加工精度。
本申请又提供检测系统实施例,所述检测系统包括上述的加工检测平台100,对于加工检测平台100的具体结构和功能可参阅上述实施例,此处不再赘述。
以上所述仅为本申请的实施例,并非因此限制本申请的专利范围,凡是利用本申请说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换,或直接或间接运用在其他相关的技术领域,均同理包括在本申请的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种加工检测平台,其特征在于,包括:
基座;
第一电机模组,包括第一直线电机、第一导轨组件和第一移动平台,所述第一导轨组件沿第一方向设置于所述基座,所述第一移动平台设置于所述第一导轨组件,所述第一直线电机用于驱动所述第一移动平台在所述第一导轨组件上往复运动;
第二电机模组,沿第二方向设置于所述第一移动平台,其中所述第二方向与所述第一方向垂直设置;
升降电机模组,设置于所述第二电机模组,所述升降电机模组可沿垂直所述基座的表面的方向往复升降。
2.根据权利要求1所述的加工检测平台,其特征在于,
所述第一直线电机包括第一定子和第一动子,所述第一定子包括安装架、上磁铁和下磁铁,所述上磁铁和所述下磁铁均安装于所述安装架并且所述上磁铁与所述下磁铁之间形成活动槽,所述第一动子设置于所述活动槽内,并且所述第一动子与所述第一移动平台连接。
3.根据权利要求2所述的加工检测平台,其特征在于,
所述第二电机模组包括第二直线电机、第二导轨组件和第二移动平台,所述第二导轨组件沿第二方向设置于所述第一移动平台,所述第二移动平台设置于所述第二导轨组件,所述第二直线电机用于驱动所述第二移动平台在所述第二导轨组件上往复运动;所述升降电机模组设置于所述第二移动平台。
4.根据权利要求3所述的加工检测平台,其特征在于,
所述第一电机模组还包括第一编码器,所述第一编码器与所述第一直线电机电信号连接;
所述第二电机模组还包括第二编码器,所述第二编码器与所述第二直线电机电信号连接。
5.根据权利要求3所述的加工检测平台,其特征在于,
所述升降电机模组包括升降底座、驱动组件、主动支架以及从动支架,所述升降底座设置于所述第二移动平台,所述从动支架设置于升降底座,所述主动支架与所述从动支架连接,所述驱动组件用于驱动所述主动支架运动,从而带动所述从动支架作垂直于所述第二移动平台方向的往复运动。
6.根据权利要求5所述的加工检测平台,其特征在于,
所述升降电机模组还包括多个滚动件和支撑架,所述多个滚动件设置于所述支撑架;
所述主动支架设有第一倾斜槽,所述从动支架设有与所述第一倾斜槽对应的第二倾斜槽,所述支撑架设置于所述第一倾斜槽与所述第二倾斜槽之间,所述滚动件分别与所述第一倾斜槽和所述第二倾斜槽连接。
7.根据权利要求5所述的加工检测平台,其特征在于,
所述升降电机模组还包括负载转接板,所述负载转接板设置于所述从动支架,所述负载转接板用于安装待加工检测件。
8.根据权利要求7所述的加工检测平台,其特征在于,
所述升降电机模组还包括转动组件,所述转动组件设置于所述从动支架,所述负载转接板设置于所述转动组件,所述转动组件用于驱动所述负载转接板转动。
9.根据权利要求1所述的加工检测平台,其特征在于,
所述加工检测平台还包括气浮减震器,所述气浮减震器设置于所述基座背离所述第一电机模组的一侧。
10.一种检测系统,其特征在于,包括如权利要求1-9任意一项所述的加工检测平台。
CN202320363732.1U 2023-02-22 2023-02-22 加工检测平台及检测系统 Active CN219522044U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202320363732.1U CN219522044U (zh) 2023-02-22 2023-02-22 加工检测平台及检测系统

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202320363732.1U CN219522044U (zh) 2023-02-22 2023-02-22 加工检测平台及检测系统

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN219522044U true CN219522044U (zh) 2023-08-15

Family

ID=87629393

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202320363732.1U Active CN219522044U (zh) 2023-02-22 2023-02-22 加工检测平台及检测系统

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN219522044U (zh)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA2777465C (en) Motorized stage
CN101924450A (zh) 一种固定音圈电机直驱式x-y微动平台
US20080246358A1 (en) Magnetic bearing spindle device for machine tool
CN113977294A (zh) 一种高精度直线驱动气浮定位平台
JP2024514729A (ja) リニアモータモジュール
CN219522044U (zh) 加工检测平台及检测系统
CN215601185U (zh) 一种直线运动装置
CN202028928U (zh) 一种低载荷的高速xy工作台
CN110977949A (zh) 一种平面坐标调节机构
CN214693103U (zh) 一种自平衡直线电机升降平台
CN216179544U (zh) 一种复合加工的珩磨机床
CN215316991U (zh) Xyz轴高速运转平台
CN206321258U (zh) 高精度电动扫描台
CN204893894U (zh) 一种x-y平面精密快速运动平台
CN210475122U (zh) 折弯机多点扰度补偿机构
CN215772799U (zh) 一种电机以及驱动平台
CN210476863U (zh) 一种高精度定位平台
CN220762315U (zh) 一种精密uvw中空对位平台
CN110736857A (zh) 差分式轮速传感器测试工装
CN111306195A (zh) 一种气浮导轨模组
CN215825318U (zh) 一种紧凑型二维运动滑台组件
CN110270788B (zh) 一种高速精密焊线平台及其控制方法
CN216503429U (zh) 一种机械智能化机床导轨
CN218771713U (zh) 一种迷你型高精度直线电机zr轴模组
CN219391840U (zh) 一种检测设备

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant