CN219518140U - 一种排灰除尘器 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种排灰除尘器，涉及半导体制备技术领域，包括上壳体、下壳体、气包、二次氧化气包和若干滤袋，上壳体与下壳体连接，上壳体上开设有出风口，下壳体上开设有进风口和清灰口，上壳体和下壳体之间设置有花板，上壳体与花板之间的空间为净气室，气包与净气室连通，若干滤袋设置在净气室内，各滤袋的下端均与花板上的通孔连通，净气室内还设置有振打结构，振打结构用于对滤袋进行振打，下壳体与花板之间的空间为浊气室，浊气室内设置有喷嘴，气包与喷嘴连通，二次氧化气包用于盛放氧化气体，二次氧化气包与浊气室连通。本实用新型无需人工进行清灰，清灰过程在密闭环境中进行，避免了操作过程中产生的扬尘以及车间环境的二次污染。

Description

一种排灰除尘器

技术领域

本实用新型涉及半导体制备技术领域，特别是涉及一种单晶硅、多晶硅、重掺硅单晶等工业生产中工艺粉尘处理的排灰除尘器。

背景技术

单/多晶炉拉晶过程产生大量遇空气可自燃的SiO粉尘，简谐式真空除尘器将这些SiO粉尘过滤后储存在灰仓中，灰仓中的粉尘达到一定的量后需进行泄灰作业。目前，传统除尘器卸灰，一般采用灰仓振打，清灰口星型卸灰阀卸灰。对于小型除尘器，由于灰仓较小，采用人工掏、铲、扫等原始方式达到卸灰的目的。

鉴于SiO粉尘遇空气可自燃甚至爆炸的特性，人工清灰前必须对SiO粉尘进行缓慢氧化，将SiO粉尘缓慢氧化为SiO₂粉尘，人工手动清除时，需穿戴好防护服、护目镜、口罩。使用刮板和扫把把灰尘收集到袋子中，操作的过程中会产生扬尘，使车间环境造成二次污染。给后续车间的保洁，设备的保养增加了负担。

现开发一种可用于单晶硅、多晶硅、重掺硅单晶等工业生产中SiO工艺粉尘处理的排灰除尘器。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种排灰除尘器，以解决上述现有技术存在的问题，减少企业的用工成本，实现密闭环境下收灰。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下方案：

本实用新型提供了一种排灰除尘器，包括上壳体、下壳体、气包、二次氧化气包和若干滤袋，所述上壳体与所述下壳体连接，所述上壳体上开设有出风口，所述下壳体上开设有进风口和清灰口，所述上壳体和所述下壳体之间设置有花板，所述上壳体与所述花板之间的空间为净气室，所述气包与所述净气室连通，若干所述滤袋设置在所述净气室内，各所述滤袋的下端均与所述花板上的通孔连通，所述净气室内还设置有振打结构，所述振打结构用于对所述滤袋进行振打，所述下壳体与所述花板之间的空间为浊气室，所述浊气室内设置有喷嘴，所述气包与所述喷嘴连通，所述二次氧化气包用于盛放氧化气体，所述二次氧化气包与所述浊气室连通。

优选地，所述气包通过喷吹管路与所述净气室连通，所述喷吹管路上设置有脉冲阀和第一气动球阀，所述气包上还设置有安全阀、第一电磁阀和第一手动球阀。

优选地，所述喷嘴设置在所述清灰口的对面，所述气包与各所述喷嘴分别通过一吹扫管路连通，各吹扫管路上均设置有第二电磁阀和第二气动球阀。

优选地，所述振打结构位于所述滤袋的上方，各所述振打结构包括气缸、弹簧和活动吊架，所述气缸的缸体与所述上壳体连接，所述气缸的活塞杆用于推动所述活动吊架，所述弹簧的一端与所述上壳体中的固定吊架连接，所述弹簧的另一端与所述活动吊架连接，所述活动吊架与所述滤袋的上端连接。

优选地，还包括支架，所述支架的下端与所述花板连接，所述支架的上端设置有所述固定吊架。

优选地，还包括导向结构，所述导向结构包括导向套和导向杆，所述导向套套设在所述导向杆的外侧，所述导向套与所述固定吊架连接，所述导向杆与所述活动吊架连接。

优选地，所述上壳体上开设有上测温口，所述下壳体上开设有下测温口。

优选地，所述二次氧化气包上设置有第二手动球阀、第三手动球阀和第三电磁阀，所述第三电磁阀位于所述第二手动球阀的外侧。

优选地，还包括气控箱和电控箱，所述气控箱和所述电控箱均位于所述上壳体的外侧，且所述气控箱和所述电控箱位于同一侧。

优选地，所述出风口和所述清灰口分别用于与一真空设备连接，所述清灰口连接的真空设备与所述喷嘴配合实现粉尘的清理。

本实用新型相对于现有技术取得了以下技术效果：

含尘气体由本实用新型的进风口进入下壳体的浊气室中，然后由滤袋的下端进入滤袋内，经过滤袋过滤后的气体由出风口排出，滤袋内的粉尘一部分在重力的作用下下落至浊气室中，另一部分附着在滤袋内表面，通过气包内的气体对滤袋进行喷吹以及配合振打结构对滤袋进行振动，使得滤袋内表面的附着物下落至浊气室，然后通过二次氧化气包内的气体对粉尘进行氧化，氧化完成后，气包内的气体通过喷嘴将氧化后的粉尘吹向清灰口。本实用新型无需人工进行清灰，整个清灰过程在密闭环境中进行，避免了操作过程中产生的扬尘，避免了车间环境的二次污染。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的排灰除尘器主视图；

图2为本实用新型的排灰除尘器后视图；

图3为本实用新型的排灰除尘器侧视图一；

图4为本实用新型的排灰除尘器侧视图二；

图5为本实用新型的排灰除尘器内部示意图；

图6为本实用新型的下壳体俯视图；

图7为本实用新型的花板示意图；

其中：1-上壳体，2-气控箱，3-电控箱，4-下壳体，5-清灰口，6-第二气动球阀，7-第二电磁阀，8-气包，9-脉冲阀，10-第一气动球阀，11-第一电磁阀，12-第一手动球阀，13-下测温口，14-上测温口，15-连接管路，16-安全阀，17-喷嘴，18-进风口，19-出风口，20-固定吊架，21-气缸，22-气缸固定座，23-弹簧，24-导向机构，25-活动吊架，26-螺钉，27-滤袋，28-支架，29-花板，30-二次氧化气包，31-第二手动球阀，32-第三电磁阀，33-第三手动球阀。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型的目的是提供一种排灰除尘器，以解决上述现有技术存在的问题，减少企业的用工成本，实现密闭环境下收灰。

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

如图1-图7所示：本实施例提供了一种排灰除尘器，包括上壳体1、下壳体4、二次氧化气包30和若干滤袋27，上壳体1与下壳体4通过法兰密封连接，内部形成密闭腔室，上壳体1和下壳体4之间设置有花板29，上壳体1与花板29之间的空间为净气室，若干滤袋27设置在净气室内，各滤袋27的下端均与花板29上的通孔连通且滤袋27通过卡箍与花板连接，下壳体4与花板29之间的空间为浊气室，上壳体1上开设有出风口19，下壳体4上开设有进风口18和清灰口5，进风口18用于连接外部设备，接入含尘气体，出风口19和清灰口5分别用于与一真空设备连接，过滤后的气体经出风口19排出，二次氧化气包30位于下壳体4的外侧，二次氧化气包30与浊气室连通，二次氧化气包30用于盛放氧化气体，用于下壳体4内收集的易燃粉尘可控氧化。含尘气体由本实施例的进风口18进入下壳体4的浊气室中，然后由滤袋27的下端进入滤袋27内，经过滤袋27过滤后的气体由出风口19排出，滤袋27内的粉尘一部分在重力的作用下下落至浊气室中，另一部分附着在滤袋27内表面，通过气包8内的气体对滤袋27进行喷吹以及配合振打结构对滤袋27进行振动，使得滤袋27内表面的附着物下落至浊气室，然后通过二次氧化气包30内的气体对粉尘进行氧化，氧化完成后，气包8内的气体通过喷嘴17将氧化后的粉尘吹向清灰口，清灰口连接的真空设备与喷嘴17配合实现粉尘的清理。本实施例无需人工进行清灰，整个清灰过程在密闭环境中进行，避免了操作过程中产生的扬尘，避免了车间环境的二次污染。

具体地，本实施例中，还包括气包8，气包8用于盛放惰性气体，气包8位于上壳体1的外侧，且与出风口19同侧，气包8通过喷吹管路与净气室连通，气包8为喷吹提供持续稳定的气源，喷吹管路上设置有脉冲阀9和第一气动球阀10，喷吹管路的一端位于滤袋27的上方；安装在气包8上方的安全阀16用于气包8的限压，气包8通过安装进气口处的第一电磁阀11开启和关断外部供气管路，安装在气包8下方的第一手动球阀12用于检修放气、排水。

本实施例中，浊气室内设置有喷嘴17，喷嘴17设置在清灰口5的对面，以清灰口5为中心点，清灰口5对面60度范围等分布置4个喷嘴17为最佳，气包8与连接管路15的一端连通，连接管路15的另一端与各吹扫管路的一端连通，各吹扫管路的另一端分别与一喷嘴17连通，气包8为吹扫提供持续稳定的气源，各吹扫管路上均设置有第二电磁阀7和第二气动球阀6。

本实施例中还包括振打结构，振打结构设置在上壳体1中且位于滤袋27的上方，本实施例的上壳体1中还设置有四个支架28，各支架28的下端与花板29连接，三个支架28沿花板的外圈均布，另一个支架28位于花板29的中心处，各振打结构包括气缸21、弹簧23和活动吊架25，气缸21的缸体与上壳体1上的气缸固定座22通过法兰连接，气缸固定座22与上壳体1通过法兰连接，气缸21的缸体的端面与气缸固定座22的法兰结合面建立密封，将上壳体1与外界大气隔开，各支架28的上端设置有固定吊架20，活动吊架25位于固定吊架20的下方，气缸21的活塞杆用于推动活动吊架25且气缸21的活塞杆与活动吊架25不连接，弹簧23的一端与固定吊架20连接，弹簧23的另一端与活动吊架25连接，活动吊架25与滤袋27的上端通过螺钉26连接，通过调整螺钉26来控制滤袋27的松紧。本实施例通过气缸21与弹簧23配合，推动或收缩活动吊架25进行往复运动，实现对滤袋27的振打(简谐式振动)，清除滤袋27内部的附着物。

本实施例包括导向结构，导向结构包括导向套和导向杆，导向套的上端与固定吊架20连接，导向杆的下端与活动吊架25连接，导向套套设在导向杆的外侧，且导向杆的上端由导向套的下端伸入至导向套中。

本实施例中，活动吊架25为三个，各活动吊架25对应有三个导向机构24、六个弹簧23和十二个滤袋27。

本实施例中，上壳体1上开设有上测温口14，上测温口14位于上壳体1侧壁中间位置，上测温口14用于放置监测上壳体1内温度的测温元件；下壳体4上开设有下测温口13，下测温口13靠近下壳体4底部，下测温口13用于放置监测下壳体4内温度的测温元件。

本实施例中，二次氧化气包30上设置有第二手动球阀31、第三手动球阀33和第三电磁阀32，第二手动球阀31和第三手动球阀33分别安装在二次氧化气包30的上端和下端，用于紧急情况下与外部空气的打开与关断，第三电磁阀32位于第二手动球阀31的上方，用于二次氧化气包30与外部气路进气的关断控制。

本实施例中，还包括气控箱2和电控箱3，气控箱2和电控箱3均位于上壳体1的外侧，电控箱3位于气控箱2的下方，且气控箱2、电控箱3和清灰口5位于同一侧。气控箱2通过管路与上壳体1内部相连，用于气动元件的控制及数据采集，电控箱3为排灰除尘器的电气元件提供电源和控制信号。

本实施例的排灰除尘器有两种工作状态，分别是过滤状态和排灰状态。当处于过滤状态时，只对滤袋27内表面附着物通过振打结构进行振打除灰；当处于排灰状态时，先通过喷吹管路对滤袋27喷吹，之后通过振打结构对滤袋27进行振打除灰，最后通过二次氧化气包30氧化浊气室中的粉尘。

本实施例旨在装置结构的改进，控制过程为现有技术。

具体地，进行过滤作业时，含尘气体由进风口18通入下壳体4的浊气室中，经固定在花板29上的滤袋27的下端进入滤袋27内，经过滤后，净气从出风口19通过真空设备产生的负压排出，粉尘一部分由于重力落入下壳体4的浊气室中，一部分附着在滤袋27的内表面；工作一段时间后，滤袋27内表面的附着物导致滤袋27的透气阻力增大，需通过振打结构清除滤袋27内表面的附着物，此时气缸21的活塞杆伸长推动活动吊架25，弹簧23被拉紧，滤袋27处于松弛状态，气缸21的活塞杆回缩，弹簧23在活塞杆回缩后，将活动吊架25快速拉回，由于滤袋27的下端与花板29固定，滤袋27的上端通过螺钉26与活动吊架25连接，滤袋27在弹簧23的作用下被快速拉紧，滤袋27内表面的粉尘在惯性与重力的作用下快速抖落，通过气缸21的活塞杆的伸长与回缩，反复实现对滤袋27的振打除灰，依次启停三个气缸21对活动吊架25进行振打，持续数秒后停止振打除灰作业。

进行排灰作业时，运行一个工作周期后，停止过滤作业。关闭通入含尘气体的管道以及进风口18和出风口19的阀门；气包8通过脉冲阀9、第一气动球阀10沿喷吹管路向上壳体1内瞬时、间断释放高压大流量的惰性气流，滤袋27外表面受到瞬间压力变化冲击，滤袋27经压力形变，气流对滤袋27外表面反吹，清除滤袋27内表面的粉尘，粉尘落入下壳体4的浊气室中；然后对滤袋27再次振打除灰，持续数秒；打开二次氧化气包30的第三电磁阀32，接通外部气路，外部气源通过二次氧化气包30通入下壳体4的浊气室中，对浊气室内粉尘中的SiO进行可控缓慢氧化；氧化作业完成后，开始排灰作业，打开外部真空清灰管道上阀门的同时，打开第一电磁阀11接入外部气源进入气包8，启动一条吹扫管路上的第二电磁阀7和第二气动球阀6，其余各吹扫管路上的第二电磁阀7和第二气动球阀6不工作，高速高压气体通过气包8、吹扫管路流经喷嘴17，气流带动积灰飞扬。清灰口5连接外部真空管道，与下壳体4的浊气室之间存在着压力差，携带粉尘的气流通过清灰口5和外部真空管道把积灰带走；同上，依次启停其余各吹扫管路上其余第二电磁阀7和第二气动球阀6，实现对下壳体4中的浊气室的积灰进行喷吹，和外部真空设备一起配合完成排灰作业，实现了积灰的管道输送。

本实施例通过封闭环境进行输送，输送效率高，改善了车间的工作环境。本实施例解决了除尘器灰仓人工清理效率低，容易造成二次污染的问题，减少了对工作环境的二次污染，极大的改善了工作环境，为企业打造智能工厂又迈进了一步。

本说明书中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处。综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (10)

1.一种排灰除尘器，其特征在于：包括上壳体、下壳体、气包、二次氧化气包和若干滤袋，所述上壳体与所述下壳体连接，所述上壳体上开设有出风口，所述下壳体上开设有进风口和清灰口，所述上壳体和所述下壳体之间设置有花板，所述上壳体与所述花板之间的空间为净气室，所述气包与所述净气室连通，若干所述滤袋设置在所述净气室内，各所述滤袋的下端均与所述花板上的通孔连通，所述净气室内还设置有振打结构，所述振打结构用于对所述滤袋进行振打，所述下壳体与所述花板之间的空间为浊气室，所述浊气室内设置有喷嘴，所述气包与所述喷嘴连通，所述二次氧化气包用于盛放氧化气体，所述二次氧化气包与所述浊气室连通。

2.根据权利要求1所述的排灰除尘器，其特征在于：所述气包通过喷吹管路与所述净气室连通，所述喷吹管路上设置有脉冲阀和第一气动球阀，所述气包上还设置有安全阀、第一电磁阀和第一手动球阀。

3.根据权利要求1所述的排灰除尘器，其特征在于：所述喷嘴设置在所述清灰口的对面，所述气包与各所述喷嘴分别通过一吹扫管路连通，各吹扫管路上均设置有第二电磁阀和第二气动球阀。

4.根据权利要求1所述的排灰除尘器，其特征在于：所述振打结构位于所述滤袋的上方，各所述振打结构包括气缸、弹簧和活动吊架，所述气缸的缸体与所述上壳体连接，所述气缸的活塞杆用于推动所述活动吊架，所述弹簧的一端与所述上壳体中的固定吊架连接，所述弹簧的另一端与所述活动吊架连接，所述活动吊架与所述滤袋的上端连接。

5.根据权利要求4所述的排灰除尘器，其特征在于：还包括支架，所述支架的下端与所述花板连接，所述支架的上端设置有所述固定吊架。

6.根据权利要求5所述的排灰除尘器，其特征在于：还包括导向结构，所述导向结构包括导向套和导向杆，所述导向套套设在所述导向杆的外侧，所述导向套与所述固定吊架连接，所述导向杆与所述活动吊架连接。

7.根据权利要求1所述的排灰除尘器，其特征在于：所述上壳体上开设有上测温口，所述下壳体上开设有下测温口。

8.根据权利要求1所述的排灰除尘器，其特征在于：所述二次氧化气包上设置有第二手动球阀、第三手动球阀和第三电磁阀，所述第三电磁阀位于所述第二手动球阀的外侧。

9.根据权利要求1所述的排灰除尘器，其特征在于：还包括气控箱和电控箱，所述气控箱和所述电控箱均位于所述上壳体的外侧，且所述气控箱和所述电控箱位于同一侧。

10.根据权利要求3所述的排灰除尘器，其特征在于：所述出风口和所述清灰口分别用于与一真空设备连接，所述清灰口连接的真空设备与所述喷嘴配合实现粉尘的清理。