CN219490232U - 一种坩埚装料防护装置及坩埚装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种坩埚装料防护装置，包括：防护盖板，设置有用于向坩埚放料的入料孔，入料孔的内壁与防护盖板的外侧之间为用于与坩埚的坩埚口的端面相贴合的承载部，且承载部向坩埚口的中心延伸，以使得入料孔的内壁与坩埚的内壁的距离大于0。本实用新型提供的坩埚装料防护装置通过入料孔向坩埚内腔添加原料，而入料孔内壁与防护盖板的外侧之间的承载部则向坩埚口的中心延伸，使得入料孔的内壁与坩埚的内壁的距离大于0，以对坩埚口的边沿进行遮挡，从而在再通过入料孔向坩埚内腔添加原料过程中，入料孔内壁可阻挡工作人员的衣物和原料直接与坩埚的接触碰撞，有效的降低了对坩埚产生污染及损伤的风险。本实用新型还公开了一种坩埚装置。

Description

一种坩埚装料防护装置及坩埚装置

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种坩埚装料防护装置和坩埚装置。

背景技术

在制备单晶硅过程中，需要将单晶硅原料放入坩埚中，以对单晶硅原料进行加热。但是，工作人员向坩埚添加单晶硅原料过程中，存在工作人员的衣物与坩埚内壁发生接触的风险，而对坩埚造成污染。同时，放料过程中单晶硅原料与坩埚的边沿的碰撞，可能损伤坩埚，进而增大拉晶过程中坩埚发生渗硅漏硅的事故概率。

因此，在向坩埚放入单晶硅原料过程中，如何降低衣物污染坩埚以及单晶硅原料对坩埚的边沿碰撞损坏的风险，是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种坩埚装料防护装置，以降低衣物污染坩埚以及单晶硅原料对坩埚的边沿碰撞损坏的风险；

本实用新型的另一目的在于提供一种具有上述坩埚装料防护装置的坩埚装置。

为了实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：

一种坩埚装料防护装置，包括：

防护盖板，设置有用于向坩埚放料的入料孔，所述入料孔的内壁与所述防护盖板的外侧之间为用于与所述坩埚的坩埚口的端面相贴合的承载部，且所述承载部向所述坩埚口的中心延伸，以使得所述入料孔的内壁与所述坩埚的内壁的距离大于0。

可选地，在上述坩埚装料防护装置中，所述入料孔内径小于所述坩埚口的内径，且所述入料孔的中心与所述坩埚口的中心同轴，以使得所述承载部均匀向所述坩埚口的中心延伸。

可选地，在上述坩埚装料防护装置中，所述承载部与所述坩埚口的端面贴合的端面设置有第一防护垫，所述第一防护垫用于缓冲所述承载部与所述坩埚口端面的碰撞。

可选地，在上述坩埚装料防护装置中，所述防护盖板面向所述坩埚的端面设置有防脱部，所述防脱部向所述坩埚底的部延伸，且所述防脱部套设于所述坩埚的外壁。

可选地，在上述坩埚装料防护装置中，所述防脱部与所述坩埚的外壁设置有安装间隙。

可选地，在上述坩埚装料防护装置中，所述防脱部为环形结构，且所述环形结构的中心与所述坩埚的中心位于同一轴线上。

可选地，在上述坩埚装料防护装置中，所述防脱部远离所述防护盖板的端面设置有安装倒角，且所述安装倒角位于所述防脱部面向所述坩埚的外壁的一侧。

可选地，在上述坩埚装料防护装置中，所述防脱部与所述防护盖板为一体结构，和/或；

且所述防脱部和所述防护盖板的材料均为聚丙烯。

可选地，在上述坩埚装料防护装置中，所述防脱部面向所述坩埚的外壁的一侧设置有第二防护垫，所述第二防护垫用于缓冲所述防脱部与所述坩埚的外壁的碰撞。

本实用新型提供的坩埚装料防护装置的防护盖板开设有入料孔，从而通过入料孔向坩埚内腔添加原料。而入料孔内壁与防护盖板的外侧之间的承载部则与坩埚口的端面相贴合，使得防护盖板可安放于坩埚上，而承载部向坩埚口的中心延伸，使得入料孔的内壁与坩埚的内壁之间的距离大于0，以对坩埚口边沿完全遮挡，从而在再通过入料孔向坩埚内腔添加原料过程中，入料孔内壁可阻挡工作人员的衣物和原料直接与坩埚的接触碰撞，有效的降低了对坩埚产生污染及损伤的风险。

一种坩埚装置，包括坩埚和坩埚装料防护装置，所述坩埚装料防护装置为如上任一项所述的坩埚装料防护装置。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例公开的坩埚装料防护装置结构的剖视示意图；

图2为本实用新型实施例公开的坩埚装料防护装置的结构示意图；

图3为本实用新型实施例公开的坩埚装置的结构示意图。

其中，100为防护盖板，110为入料孔，120为承载部，130为防脱部，131为安装倒角；

200为坩埚。

具体实施方式

本实用新型的核心在于提供一种坩埚装料防护装置，以降低衣物污染坩埚以及单晶硅原料对坩埚的边沿碰撞损坏的风险；

本实用新型的另一核心在于提供一种具有上述坩埚装料防护装置的坩埚装置。

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1所示，本实用新型实施例公开了一种坩埚装料防护装置，用于在向坩埚200添加原料过程，防止工作人员的衣物触碰坩埚内壁以及原料磕碰坩埚口的边沿，显著降低了坩埚被污染和损坏的风险。本实施列提供的坩埚装料防护装置中的防护盖板100设置有入料孔110，从而通过入料孔110可向坩埚200的内部添加原料，而入料孔110内壁与防护盖板100外侧之间的承载部120则用于与坩埚口的端面贴合，以实现防护盖板100与坩埚的安装，而承载部120向坩埚口的中心延伸，使得入料孔110的内壁与坩埚200的内壁大于0，以对坩埚口边沿完全遮挡，从而在添加原料过程中，入料孔110的内壁可将衣物和原料与坩埚200隔开。

如图2所示，入料孔110内径小于坩埚口的内径，且入料孔110的中心与坩埚口的中心同轴，使得承载部120均匀向坩埚口的中心延伸，以使入料孔110内壁与坩埚200的内壁之间的距离在各个方向均保持相同。提高本实施列提供的坩埚装料防护装置对坩埚200防护的可靠性。在一具体的实施例中，而入料孔110的内壁与坩埚200的内壁之间的距离范围为15mm-25mm。或者，本领域人员根据实际需求设计入料孔110内径尺寸，进而设计入料孔110的内壁与坩埚200的内壁之间的距离，本文不再一一列举。

在防护盖板100与坩埚口的端面安放过程，为了缓冲承载部120对坩埚口的端面的碰撞，在承载部120与坩埚口的端面贴合的端面设置有第一防护垫，从而有效降低了承载部120对坩埚200的边沿碰撞损坏的风险，在一具体实施例中，第一防护垫为橡胶垫。

如图2所示，在防护盖板100面向坩埚200的端面设置有防脱部130，且防脱部130向坩埚200的底部延伸，而防脱部130套设于坩埚200的外壁，从而在向坩埚200的内腔放料过程中，防止了防护盖板100从坩埚200上脱落下来。同时，限制了防护盖板100在坩埚口产生较大移动，而避免了入料孔110的内壁与坩埚200的内壁之间的距离缩减。

另外，为了使得防护盖板100可快速安装于坩埚口端面，防脱部130与坩埚200的外壁之间设置有安装间隙，以便于防护盖板100的防脱部130与坩埚200的安装和拆卸，且防止了防护盖板100在坩埚口反生较大的位移，在一具体的实施例中，安装间隙的范围为3mm-5mm。

如图2所示，防脱部130为环形结构，且环形结构的中心与坩埚200的中心位于同一轴线上，从而使得防脱部130沿坩埚200的边沿均匀对防护盖板100进行限位。或者防脱部130为多个凸块，且各个凸块均匀分布于坩埚200的外侧。

如图1所示，在防脱部130远离防护盖板100的端面设置有安装倒角131，且安装倒角131位于防脱部130面向坩埚200的外壁的一侧，以提高防护盖板100在坩埚口安装的顺畅性。

进一步地，防脱部130与防护盖板100为一体加工而成，不仅提高了防脱部130与防护盖板100连接可靠性，而且提高了本实施例提供的坩埚装料防护装置加工制作的效率。另外，防脱部130与防护盖板100的材料均为聚丙烯，进而使得本实施例提供的坩埚装料防护装置的整体重量较轻和成本较低，且具有吸水率低，良好的耐化学腐蚀性、耐磨性及抗疲劳等特性，使得本实施例提供的坩埚装料防护装置具有较长的使用寿命。或者，本领域人员根据实际需求选择其他材料，本文不再一一列举。

同理，在填料过程中，为了缓解防脱部130对坩埚200的外壁的碰撞，在防脱部130面向坩埚200的外壁的一侧设置有第二防护垫，从而缓冲防脱部130对坩埚200的外壁的撞击，降低了防脱部130对坩埚200损坏的风险，在一具体的实施例中，第二防护垫也可为橡胶垫。

本实用新型实施例还公开了一种坩埚装置，如图3所示包括坩埚200和坩埚装料防护装置。

由于该坩埚装置具有上述坩埚装料防护装置，因此兼具上述坩埚装料防护装置的所有技术效果，本文在此不再赘述。

需要说明的是，本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。

如本申请和权利要求书中所示，除非上下文明确提示例外情形，“一”、“一个”、“一种”和/或“该”等词并非特指单数，也可包括复数。一般说来，术语“包括”与“包含”仅提示包括已明确标识的步骤和元素，而这些步骤和元素不构成一个排它性的罗列，方法或者设备也可能包含其它的步骤或元素。由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括要素的过程、方法、商品或者设备中还存在另外的相同要素。

其中，在本申请实施例的描述中，除非另有说明，“/”表示或的意思，例如，A/B可以表示A或B；本文中的“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，在本申请实施例的描述中，“多个”是指两个或多于两个。

术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。

本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以对本实用新型进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本实用新型权利要求的保护范围内。

Claims (10)

1.一种坩埚装料防护装置，其特征在于，包括：

防护盖板(100)，设置有用于向坩埚(200)放料的入料孔(110)，所述入料孔(110)的内壁与所述防护盖板(100)的外侧之间为用于与所述坩埚(200)的坩埚口的端面相贴合的承载部(120)，且所述承载部(120)向所述坩埚口的中心延伸，以使得所述入料孔(110)的内壁与所述坩埚(200)的内壁的距离大于0。

2.根据权利要求1所述的坩埚装料防护装置，其特征在于，所述入料孔(110)内径小于所述坩埚口的内径，且所述入料孔(110)的中心与所述坩埚口的中心同轴，以使得所述承载部(120)均匀向所述坩埚口的中心延伸。

3.根据权利要求2所述的坩埚装料防护装置，其特征在于，所述承载部(120)与所述坩埚口的端面贴合的端面设置有第一防护垫，所述第一防护垫用于缓冲所述承载部(120)与所述坩埚口的端面的碰撞。

4.根据权利要求1所述的坩埚装料防护装置，其特征在于，所述防护盖板(100)面向所述坩埚(200)的端面设置有防脱部(130)，所述防脱部(130)向所述坩埚(200)的底部延伸，且所述防脱部(130)套设于所述坩埚(200)的外壁。

5.根据权利要求4所述的坩埚装料防护装置，其特征在于，所述防脱部(130)与所述坩埚(200)的外壁设置有安装间隙。

6.根据权利要求5所述的坩埚装料防护装置，其特征在于，所述防脱部(130)为环形结构，且所述环形结构的中心与所述坩埚(200)的中心位于同一轴线上。

7.根据权利要求6所述的坩埚装料防护装置，其特征在于，所述防脱部(130)远离所述防护盖板(100)的端面设置有安装倒角(131)，且所述安装倒角(131)位于所述防脱部(130)面向所述坩埚(200)的外壁的一侧。

8.根据权利要求4-6任一项所述的坩埚装料防护装置，其特征在于，所述防脱部(130)与所述防护盖板(100)为一体结构，和/或；

所述防脱部(130)和所述防护盖板(100)的材料均为聚丙烯。

9.根据权利要求4所述的坩埚装料防护装置，其特征在于，所述防脱部(130)面向所述坩埚(200)的外壁的一侧设置有第二防护垫，所述第二防护垫用于缓冲所述防脱部(130)与所述坩埚(200)的外壁的碰撞。

10.一种坩埚装置，其特征在于，包括坩埚(200)和坩埚装料防护装置，所述坩埚装料防护装置为如权利要求1-9任一项所述的坩埚装料防护装置。