CN219476636U - 一种高效型退火炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种高效型退火炉，涉及退火炉技术领域。包括操作台，所述操作台顶部设有退火炉本体，所述操作台一侧设有推动装置，所述推动装置顶部内部设有固定装置，所述固定装置包括放置板，所述放置板、第一放置槽、第二放置槽、第二电动推杆、固定板、防滑垫和分隔板，所述推动装置顶部滑动安装有放置板，所述放置板顶部分别开设有第一放置槽和第二放置槽,所述第一放置槽内部对称设有第二电动推杆，所述第二电动推杆一侧焊接固定板，该一种高效型退火炉，能够根据物料的大小，及时的更换不同的放置箱，且能够对放置箱进行有效的固定，避免其在移动过程中容易发生晃动，从而发生偏移，避免了在放置箱内部物料掉落。

Description

一种高效型退火炉

技术领域

本实用新型涉及退火炉技术领域，具体为一种高效型退火炉。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的，目前现有的退火炉由于只有一个送料口，导致物料的上料或下料只能由此处进行，在物料加工完毕后，需要等待物料取出后再放入进料才能继续加工，在换料的过程中，需等待较长的时间，其操作无疑会影响整体加工的效率，给工作人员带来了许多的困扰。

经检索，中国专利授权号为CN 216815023 U的专利，公开了一种高效型退火炉，结构简单、设计合理，其采用双送料口的设计，可保证物料连续加工，省去换料等待的时间，大大提高了整体的工作效率，使用灵活，实用性强，满足现有市场上的使用需求，但依然存在的问题是，目前常有的退火炉结构简单，不能及时的根据物料的大小，及时的更换不同的放置箱，且不能对放置箱进行有效的固定，导致其在移动过程中容易发生晃动，从而发生偏移，容易在放置箱内部物料过多时掉落，容易造成物料的损坏。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种高效型退火炉，解决了背景技术中所提出的问题。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：本实用新型提供了一种高效型退火炉，包括操作台，所述操作台顶部设有退火炉本体，所述操作台一侧设有推动装置，所述推动装置顶部内部设有固定装置，所述固定装置包括放置板，所述放置板、第一放置槽、第二放置槽、第二电动推杆、固定板、防滑垫和分隔板，所述推动装置顶部滑动安装有放置板，所述放置板顶部分别开设有第一放置槽和第二放置槽,所述第一放置槽内部对称设有第二电动推杆，所述第二电动推杆一侧焊接固定板，所述固定板外壁均匀包裹有防滑垫，所述第二放置槽内壁焊接分隔板。

优选的，所述推动装置包括安装板、第一电动推杆、第一限位槽、第一滑轨和第一滑块，所述操作台外壁焊接安装板，所述安装板顶部设有第一电动推杆，所述第一电动推杆一侧焊接在放置板外壁。

优选的，所述操作台顶部开设有第一限位槽，所述第一限位槽内壁两侧对称开设有第一滑轨，所述第一滑轨内部滑动安装第一滑块，所述第一滑块焊接在放置板外壁两侧。

优选的，所述退火炉本体外壁两侧对称设有密封装置，所述密封装置包括第二限位槽、第二滑轨、第二滑块、固定柱、液压缸、液压杆、第三滑轨、第三滑块和密封板，所述退火炉本体顶部两侧对称开设有第二限位槽。

优选的，所述退火炉本体内壁两侧对称开设有第二滑轨，所述第二滑轨内壁滑动安装有第二滑块，所述第二滑块焊接在密封板外壁，所述退火炉本体外壁对称焊接固定柱。

优选的，所述固定柱顶部设有液压缸，所述液压缸底部套接液压杆，所述固定柱外壁开设有第三滑轨，所述第三滑轨内壁滑动安装第三滑块，所述第三滑块外壁焊接第二滑块。

本实用新型提供了一种高效型退火炉。具备以下有益效果：

该一种高效型退火炉，通过固定装置的设置，增加了目前常有的退火炉的结构，使其功能上更加的完善，能够根据物料的大小，及时的更换不同的放置箱，且能够对放置箱进行有效的固定，避免其在移动过程中容易发生晃动，从而发生偏移，避免了在放置箱内部物料掉落。

附图说明

图1为本实用新型整体的结构示意图；

图2为本实用新型推动装置的结构示意图；

图3为本实用新型固定装置的结构示意图；

图4为本实用新型密封装置的结构示意图。

图中，1、操作台；2、退火炉本体；3、推动装置；31、安装板；32、第一电动推杆；33、第一限位槽；34、第一滑轨；35、第一滑块；4、固定装置；41、放置板；42、第一放置槽；43、第二放置槽；44、第二电动推杆；45、固定板；46、防滑垫；47、分隔板；5、密封装置；51、第二限位槽；52、第二滑轨；53、第二滑块；54、固定柱；55、液压缸；56、液压杆；57、第三滑轨；58、第三滑块；59、密封板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型实施例提供一种技术方案：一种高效型退火炉，包括操作台1，所述操作台1顶部设有退火炉本体2，所述操作台1一侧设有推动装置3，所述推动装置3顶部内部设有固定装置4，所述固定装置4包括放置板41，所述放置板41、第一放置槽42、第二放置槽43、第二电动推杆44、固定板45、防滑垫46和分隔板47，所述推动装置3顶部滑动安装有放置板41，所述放置板41顶部分别开设有第一放置槽42和第二放置槽43,所述第一放置槽42内部对称设有第二电动推杆44，所述第二电动推杆44一侧焊接固定板45，所述固定板45外壁均匀包裹有防滑垫46，所述第二放置槽43内壁焊接分隔板47。

通过第一放置槽42内部的第二电动推杆44推动第二放置槽43内部的固定板45向中间靠拢，有效地对第二放置槽43内部的放置箱进行固定，避免其在移动过程中容易发生晃动，从而发生偏移，避免了在放置箱内部物料掉落。

所述推动装置3包括安装板31、第一电动推杆32、第一限位槽33、第一滑轨34和第一滑块35，所述操作台1外壁焊接安装板31，所述安装板31顶部设有第一电动推杆32，所述第一电动推杆32一侧焊接在放置板41外壁，所述操作台1顶部开设有第一限位槽33，所述第一限位槽33内壁两侧对称开设有第一滑轨34，所述第一滑轨34内部滑动安装第一滑块35，所述第一滑块35焊接在放置板41外壁两侧。

通过第一电动推杆32推动一侧的放置板41外壁第一限位槽33内部滑动，从而有效地对放置板41的位置进行调整，以及通过第一滑轨34和第一滑块35的组合设置，减少了放置板41与第一限位槽33之间的磨损。

所述退火炉本体2外壁两侧对称设有密封装置5，所述密封装置5包括第二限位槽51、第二滑轨52、第二滑块53、固定柱54、液压缸55、液压杆56、第三滑轨57、第三滑块58和密封板59，所述退火炉本体2顶部两侧对称开设有第二限位槽51，所述退火炉本体2内壁两侧对称开设有第二滑轨52，所述第二滑轨52内壁滑动安装有第二滑块53，所述第二滑块53焊接在密封板59外壁，所述退火炉本体2外壁对称焊接固定柱54。

通过第二限位槽51、第二滑轨52和第二滑块53的组合设置，方便密封板59更好地安装在退火炉本体2外壁两侧。

所述固定柱54顶部设有液压缸55，所述液压缸55底部套接液压杆56，所述固定柱54外壁开设有第三滑轨57，所述第三滑轨57内壁滑动安装第三滑块58，所述第三滑块58外壁焊接第二滑块53。

通过液压缸55底部的液压油推动液压杆56在固定柱54一侧的第三滑轨57内部向下移动，带动液压杆56底部的第三滑块58向下移动，从而实现了对第三滑块58外壁的第二滑块53和密封板59位置的调整，使其可以有效地贴合在退火炉本体2的底部。

工作原理：使用时，首先通过第一放置槽42内部的第二电动推杆44推动第二放置槽43内部的固定板45向中间靠拢，有效地对第二放置槽43内部的放置箱进行固定，避免其在移动过程中容易发生晃动，从而发生偏移，避免了在放置箱内部物料掉落，其次防滑垫46的设置，避免了对放置箱固定时出现打滑的现象，更加的牢固，以及通过分隔板47的设置，有效地将第二放置槽43一分为二，方便其更好地进行上料和下料，节省了更换物料的时间，接着通过第一电动推杆32推动一侧的放置板41外壁第一限位槽33内部滑动，从而有效地对放置板41的位置进行调整，方便控制其进入退火炉本体2内部的位置，以及通过第一滑轨34和第一滑块35的组合设置，减少了放置板41与第一限位槽33之间的磨损，然后通过液压缸55底部的液压油推动液压杆56在固定柱54一侧的第三滑轨57内部向下移动，最后通过液压杆56带动底部的第三滑块58向下移动，从而实现了对第三滑块58外壁的第二滑块53和密封板59位置的调整，使其可以有效地贴合在退火炉本体2的底部。

本实用新型的1、操作台；2、退火炉本体；3、推动装置；31、安装板；32、第一电动推杆；33、第一限位槽；34、第一滑轨；35、第一滑块；4、固定装置；41、放置板；42、第一放置槽；43、第二放置槽；44、第二电动推杆；45、固定板；46、防滑垫；47、分隔板；5、密封装置；51、第二限位槽；52、第二滑轨；53、第二滑块；54、固定柱；55、液压缸；56、液压杆；57、第三滑轨；58、第三滑块；59、密封板，部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点，对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (6)

1.一种高效型退火炉，包括操作台(1)，其特征在于：所述操作台(1)顶部设有退火炉本体(2)，所述操作台(1)一侧设有推动装置(3)，所述推动装置(3)顶部内部设有固定装置(4)，所述固定装置(4)包括放置板(41)，所述放置板(41)、第一放置槽(42)、第二放置槽(43)、第二电动推杆(44)、固定板(45)、防滑垫(46)和分隔板(47)，所述推动装置(3)顶部滑动安装有放置板(41)，所述放置板(41)顶部分别开设有第一放置槽(42)和第二放置槽(43),所述第一放置槽(42)内部对称设有第二电动推杆(44)，所述第二电动推杆(44)一侧焊接固定板(45)，所述固定板(45)外壁均匀包裹有防滑垫(46)，所述第二放置槽(43)内壁焊接分隔板(47)。

2.根据权利要求1所述的一种高效型退火炉，其特征在于：所述推动装置(3)包括安装板(31)、第一电动推杆(32)、第一限位槽(33)、第一滑轨(34)和第一滑块(35)，所述操作台(1)外壁焊接安装板(31)，所述安装板(31)顶部设有第一电动推杆(32)，所述第一电动推杆(32)一侧焊接在放置板(41)外壁。

3.根据权利要求2所述的一种高效型退火炉，其特征在于：所述操作台(1)顶部开设有第一限位槽(33)，所述第一限位槽(33)内壁两侧对称开设有第一滑轨(34)，所述第一滑轨(34)内部滑动安装第一滑块(35)，所述第一滑块(35)焊接在放置板(41)外壁两侧。

4.根据权利要求1所述的一种高效型退火炉，其特征在于：所述退火炉本体(2)外壁两侧对称设有密封装置(5)，所述密封装置(5)包括第二限位槽(51)、第二滑轨(52)、第二滑块(53)、固定柱(54)、液压缸(55)、液压杆(56)、第三滑轨(57)、第三滑块(58)和密封板(59)，所述退火炉本体(2)顶部两侧对称开设有第二限位槽(51)。

5.根据权利要求4所述的一种高效型退火炉，其特征在于：所述退火炉本体(2)内壁两侧对称开设有第二滑轨(52)，所述第二滑轨(52)内壁滑动安装有第二滑块(53)，所述第二滑块(53)焊接在密封板(59)外壁，所述退火炉本体(2)外壁对称焊接固定柱(54)。

6.根据权利要求5所述的一种高效型退火炉，其特征在于：所述固定柱(54)顶部设有液压缸(55)，所述液压缸(55)底部套接液压杆(56)，所述固定柱(54)外壁开设有第三滑轨(57)，所述第三滑轨(57)内壁滑动安装第三滑块(58)，所述第三滑块(58)外壁焊接第二滑块(53)。