CN219475986U - 一种涂胶显影机工作台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种涂胶显影机工作台，包括工作台板、连接在工作台板上的转轴组件以及机械臂组件，所述工作台板上还设有驱动电机和承载台，所述机械臂组件与所述转轴组件连接，所述工作台板上设有夹仓盖板，所述夹仓盖板与工作台板之间设有夹仓空间，所述夹仓空间的夹仓壁上设有排气口和回液口，所述夹仓盖板上设有通气孔，所述机械臂组件包括机械臂和设在机械臂一端的注胶口，所述机械臂为中空管路结构，注胶管通过穿过机械臂内部到达所述注胶口进行注胶。本实用新型提供的一种涂胶显影机工作台，能够避免在涂胶过程中高速旋转产生的涡流气体影响胶膜的质量，提高工作效率。

Description

一种涂胶显影机工作台

技术领域

本实用新型涉及涂胶显影机，尤其涉及一种涂胶显影机工作台。

背景技术

涂胶显影机是制造半导体的常用设备，一般用于光刻胶涂布及显影等工艺。光刻胶涂布的过程一般包括：将晶圆安置于涂胶显影机，由涂胶显影机的光刻胶喷嘴向晶圆表面喷上光刻胶，光刻胶在高速旋转的过程中会被甩出，一般在涂胶显影机下会设有排液管道，但是受到机台排液口和排液管道的结构限制，光刻胶很容易堵塞排液口和排液管道，影响工作效率，并且在高速旋转的过程中容易产生涡流气体影响胶膜的质量高，因此需要一种便于排气和排液的涂胶显影机工作台。

实用新型内容

鉴于目前涂胶显影机存在的上述不足，本实用新型提供一种涂胶显影机工作台，能够避免在涂胶过程中高速旋转产生的涡流气体影响胶膜的质量，提高工作效率。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

一种涂胶显影机工作台，包括工作台板、连接在工作台板上的转轴组件以及机械臂组件，所述工作台板上还设有驱动电机和承载台，所述机械臂组件与所述转轴组件连接，所述工作台板上设有夹仓盖板，所述夹仓盖板与工作台板之间设有夹仓空间，所述夹仓空间的夹仓壁上设有排气口和回液口，所述夹仓盖板上设有通气孔，所述机械臂组件包括机械臂和设在机械臂一端的注胶口，所述机械臂为中空管路结构，注胶管通过穿过机械臂内部到达所述注胶口进行注胶。

依照本实用新型的一个方面，所述机械臂包括第一机械臂和第二机械臂，所述第一机械臂和第二机械臂可旋转的连接，所述第一机械臂的一端为注胶口，所述第二机械臂的一端固定连接在工作台板上。

依照本实用新型的一个方面，所述工作台板的底部设有排气口接头和宝塔接头，所述宝塔接头连接至回液口，所述排气口接头的一端连接至排气口，另一端连接有接头卡箍。

依照本实用新型的一个方面，所述注胶口处连接有注胶嘴限位块，所述注胶嘴限位块上设有若干用于放置注胶管的凹槽。

依照本实用新型的一个方面，所述驱动电机为中空伺服电机，所述工作台板的下方设有电机安装座，所述驱动电机设在电机安装座内，所述驱动电机的外端设有真空源接口，所述真空源接口处连接有快拧接头。

依照本实用新型的一个方面，所述承载台由支撑座以及设在支撑座上的真空吸盘组成，所述支撑座的中部设有真空通道，所述真空通道与真空吸盘连通，所述支撑座的底部与驱动电机连接。

依照本实用新型的一个方面，所述注胶嘴限位块、真空通道、驱动电机、快拧接头同轴设置。

依照本实用新型的一个方面，所述转轴组件由电机固定座以及伺服电机组成，所述电机固定座连接在工作台板的下方，所述伺服电机固定连接在电机固定座内，所述伺服电机上设有旋转轴，所述旋转轴上设有主动齿轮。

依照本实用新型的一个方面，所述转轴组件还包括轴管、设在轴管上的轴承座以及从动齿轮，所述轴承座和轴管之间设有多个轴承，所述轴管与所述第二机械臂同轴设置，并且连通，所述从动齿轮与所述主动齿轮相配合连接。

本实用新型实施的优点：一种涂胶显影机工作台，包括工作台板、连接在工作台板上的转轴组件以及机械臂组件，工作台板上设有驱动电机、承载台和夹仓盖板，夹仓盖板与工作台板之间设有夹仓空间，夹仓空间的夹仓壁上设有排气口和回液口，在涂胶显影机工作台进行工作时，排气口和回液口的设置可以同时排出废气和废液，避免了承载台旋转时产生的涡流气体影响胶膜的质量；机械臂组件包括机械臂和设在机械臂一端的注胶口，机械臂为中空管路结构，注胶管通过穿过机械臂内壁到达注胶口进行注胶，由于中空管路的设置注胶管可不限于一条，可根据实际情况设置所需注胶管，操作方便，提高工作效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型所述的一种涂胶显影机工作台的立体视图；

图2为本实用新型所述的一种涂胶显影机工作台的剖面示意图；

图3为本实用新型所述的一种涂胶显影机工作台的外观示意图。

图中：1、工作台板；11、驱动电机；12、承载台；121、真空吸盘；122、支撑座；123、真空通道；13、夹仓盖板；14、夹仓空间；141、排气口；142、回液口；143、通气孔；144、排气口接头；145、宝塔接头；146、接头卡箍；2、机械臂；21、第一机械臂；211、注胶口；212、注胶嘴限位块；22、第二机械臂；3、电机安装座；31、真空源接口；32、快拧接头；4、电机固定座；41、伺服电机；411、旋转轴；42、主动齿轮；5、轴管；51、从动齿轮。

具体实施方式

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体的连接：可以是机械连接，也可以是电连接：可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1、图2、图3所示，一种涂胶显影机工作台，包括工作台板1、连接在工作台板1上的转轴组件以及机械臂组件，工作台板1上还设有驱动电机11和承载台12，机械臂组件与转轴组件连接。

工作台板1上设有夹仓盖板13，夹仓盖板13与工作台板1之间设有夹仓空间14，夹仓空间14的夹仓壁上设有排气口141和回液口142，夹仓盖板13上设有通气孔143，其中通气孔143均匀分布在夹仓盖板13上，通气孔143可以用来通废气也可以作为废液的流出孔；机械臂组件包括机械臂2和设在机械臂2一端的注胶口211，机械臂2为中空管路结构，注胶管通过穿过机械臂2内部到达注胶口211进行注胶。

其中，注胶口211处连接有注胶嘴限位块212，注胶嘴限位块212上设有若干用于放置注胶管的凹槽，本装置的注胶管包括黏附剂管、光刻胶管、显影液管、定影液管、超纯水管、氮气管等管路，凹槽数量可根据实际需要的管路数量进行设置。

在实际应用中，机械臂2包括第一机械臂21和第二机械臂22，第一机械臂21和第二机械臂22可旋转的连接，第一机械臂21与第二机械臂22的连接处设有卡箍接头进行固定，第一机械臂21和第二机械臂22可以是垂直连接。

第一机械臂21的一端为注胶口211，另一端与第二机械臂22连接，第二机械臂22的另一端固定连接在工作台板1上。

在实际应用中，工作台板1的底部设有排气口接头144和宝塔接头145，宝塔接头145连接至回液口142，排气口接头144的一端连接至排气口141，另一端连接有接头卡箍146，搜集废气的设备的管道可以通过接头卡箍146与工作台板1连接。

在实际应用中，驱动电机11为中空伺服电机，额定转速5000转/每分钟，最高转速6000转/每分钟，功率500W；工作台板1的下方设有电机安装座3，驱动电机11设在电机安装座3内，驱动电机11的外端设有真空源接口31，真空源接口31处连接有快拧接头32，抽真空设备与真空源接口31连接。

承载台12由支撑座122以及设在支撑座122上的真空吸盘121组成，真空吸盘121是塑料件，支撑座122的中部设有真空通道123，真空通道123与真空吸盘121连通，支撑座122的底部与驱动电机11连接，驱动电机11用来控制支撑座122的旋转从而带动真空吸盘121旋转，抽真空设备进行真空吸盘121的抽真空操作，空气通过真空吸盘121、真空通道123、电机安装座3、真空源接口31的流向进行抽出，抽真空设备可以是真空发生器。

注胶嘴限位块212、真空通道123、驱动电机11、快拧接头32同轴设置。

在实际应用中，转轴组件由电机固定座4以及伺服电机41组成，电机固定座4连接在工作台板1的下方，伺服电机41固定连接在电机固定座4内，伺服电机41上设有旋转轴411，旋转轴411上设有主动齿轮42。

转轴组件还包括轴管5、设在轴管5上的轴承座以及从动齿轮51，从动齿轮51固定在轴管5上，轴承座和轴管5之间设有多个轴承，轴管5与第二机械臂22同轴设置，并且连通，从动齿轮51与主动齿轮42相配合连接；当伺服电机41在使用时，主动齿轮42旋转带动从动齿轮51旋转，第二机械臂22与轴管5通过键与平键的方式连接，进而带动第二机械臂22旋转。

在实际使用过程中，本装置适用于12英寸以下晶圆的半自动涂胶、显影，在真空吸盘121上放置晶圆，启动设备，中空伺服电机带动承载台12旋转，抽真空设备使晶圆被真空吸附在真空吸盘121上，转轴组件中的伺服电机41进行工作，通过主动齿轮42与从动齿轮51的旋转配合，带动第二机械臂22进行旋转，从而带动第一机械臂21进行旋转，当第一机械臂21旋转至某一注胶嘴与真空吸盘121的圆心重合后进行注胶，在承载台12旋转甩胶的过程中，废气和废液通过通气孔143进入夹仓空间14，通过外部的废气和废液的搜集装置，将废气通过排气口141排出，废液通过宝塔接头145排出，避免了承载台12旋转产生的涡流气体影响胶膜的质量。

本实用新型实施的优点：一种涂胶显影机工作台，包括工作台板、连接在工作台板上的转轴组件以及机械臂组件，工作台板上设有驱动电机、承载台和夹仓盖板，夹仓盖板与工作台板之间设有夹仓空间，夹仓空间的夹仓壁上设有排气口和回液口，在涂胶显影机工作台进行工作时，排气口和回液口的设置可以同时排出废气和废液，避免了承载台旋转时产生的涡流气体影响胶膜的质量；机械臂组件包括机械臂和设在机械臂一端的注胶口，机械臂为中空管路结构，注胶管通过穿过机械臂内壁到达注胶口进行注胶，由于中空管路的设置注胶管可不限于一条，可根据实际情况设置所需注胶管，操作方便，提高工作效率。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本领域技术的技术人员在本实用新型公开的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (9)

1.一种涂胶显影机工作台，包括工作台板(1)、连接在工作台板(1)上的转轴组件以及机械臂组件，所述工作台板(1)上还设有驱动电机(11)和承载台(12)，所述机械臂组件与所述转轴组件连接，其特征在于，所述工作台板(1)上设有夹仓盖板(13)，所述夹仓盖板(13)与工作台板(1)之间设有夹仓空间(14)，所述夹仓空间(14)的夹仓壁上设有排气口(141)和回液口(142)，所述夹仓盖板(13)上设有通气孔(143)，所述机械臂组件包括机械臂(2)和设在机械臂(2)一端的注胶口(211)，所述机械臂(2)为中空管路结构，注胶管通过穿过机械臂(2)内部到达所述注胶口(211)进行注胶。

2.根据权利要求1所述的涂胶显影机工作台，其特征在于，所述机械臂(2)包括第一机械臂(21)和第二机械臂(22)，所述第一机械臂(21)和第二机械臂(22)可旋转的连接，所述第一机械臂(21)的一端为注胶口(211)，所述第二机械臂(22)的一端固定连接在工作台板(1)上。

3.根据权利要求1所述的涂胶显影机工作台，其特征在于，所述工作台板(1)的底部设有排气口接头(144)和宝塔接头(145)，所述宝塔接头(145)连接至回液口(142)，所述排气口接头(144)的一端连接至排气口(141)，另一端连接有接头卡箍(146)。

4.根据权利要求1所述的涂胶显影机工作台，其特征在于，所述注胶口(211)处连接有注胶嘴限位块(212)，所述注胶嘴限位块(212)上设有若干用于放置注胶管的凹槽。

5.根据权利要求4所述的涂胶显影机工作台，其特征在于，所述驱动电机(11)为中空伺服电机，所述工作台板(1)的下方设有电机安装座(3)，所述驱动电机(11)设在电机安装座(3)内，所述驱动电机(11)的外端设有真空源接口(31)，所述真空源接口(31)处连接有快拧接头(32)。

6.根据权利要求5所述的涂胶显影机工作台，其特征在于，所述承载台(12)由支撑座(122)以及设在支撑座(122)上的真空吸盘(121)组成，所述支撑座(122)的中部设有真空通道(123)，所述真空通道(123)与真空吸盘(121)连通，所述支撑座(122)的底部与驱动电机(11)连接。

7.根据权利要求6所述的涂胶显影机工作台，其特征在于，所述注胶嘴限位块(212)、真空通道(123)、驱动电机(11)、快拧接头(32)同轴设置。

8.根据权利要求2所述的涂胶显影机工作台，其特征在于，所述转轴组件由电机固定座(4)以及伺服电机(41)组成，所述电机固定座(4)连接在工作台板(1)的下方，所述伺服电机(41)固定连接在电机固定座(4)内，所述伺服电机(41)上设有旋转轴(411)，所述旋转轴(411)上设有主动齿轮(42)。

9.根据权利要求8所述的涂胶显影机工作台，其特征在于，所述转轴组件还包括轴管(5)、设在轴管(5)上的轴承座以及从动齿轮(51)，所述轴承座和轴管(5)之间设有多个轴承，所述轴管(5)与所述第二机械臂(22)同轴设置，并且连通，所述从动齿轮(51)与所述主动齿轮(42)相配合连接。