CN219470166U - 用于旋转阴极的连接结构 - Google Patents
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- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 64
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 claims description 8
- 239000010963 304 stainless steel Substances 0.000 claims description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910000589 SAE 304 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 7
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 5
- 230000009471 action Effects 0.000 abstract description 3
- 210000004907 gland Anatomy 0.000 description 10
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000011435 rock Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
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- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
Abstract
本实用新型涉及机械工装技术领域，公开了一种用于旋转阴极的连接结构。本实用新型的连接结构，包括：动力转盘、过水套、多根弹簧和多根导电带，过水套与驱动轴连接，弹簧设置在动力转盘和过水套之间，弹簧的两端分别与过水套及动力转盘相抵持，导电带的两端分别设置在动力转盘和过水套上，与外部电源电性连接。本实用新型的连接结构，设置在阴极靶与驱动轴之间，在过水套预紧力的作用下，弹簧推动动力转盘，使动力转盘与阴极靶保持紧密贴合。导电带传输电荷，使得电流进入阴极靶过程中不会产生电势差，阴极靶的电位分布均匀，始终与动力转盘的正电位相等，阴极靶在旋转时不会产生电弧打火放电的现象，保证镀膜的质量。
Description
技术领域
本实用新型实施例涉及机械工装技术领域，具体涉及一种用于旋转阴极的连接结构。
背景技术
阴极靶与驱动轴连接，在生产过程中，驱动轴带动阴极靶不间断的旋转运动。
本申请的发明人发现，由于阴极靶与驱动轴之间不可避免的存在装配间隙，在旋转过程中，阴极靶在轴向和径向上会发生晃动，造成阴极靶的电位分布不均匀，从而产生电弧打火放电，影响了产品质量。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种用于旋转阴极的连接结构，使阴极靶的电位分布均匀，以解决上述背景技术中的问题。
本实用新型实施例提供一种用于旋转阴极的连接结构，包括：动力转盘、过水套、多根弹簧和多根导电带；
所述过水套用于与驱动轴连接；
多根所述弹簧设置在所述动力转盘和所述过水套之间，所述弹簧的一端与所述过水套相抵持，另一端与所述动力转盘相抵持，所述弹簧用于推动所述动力转盘，使所述动力转盘与阴极靶相抵持；
多根所述导电带的一端设置在所述动力转盘上，另一端设置在所述过水套上，所述导电带用于与外部电源电性连接，使所述阴极靶通电。
基于上述方案可知，本实用新型的用于旋转阴极的连接结构，通过设置动力转盘、过水套、多根弹簧和多根导电带，过水套与驱动轴连接，弹簧设置在动力转盘和过水套之间，弹簧的两端分别与过水套和动力转盘相抵持，导电带的两端分别设置在动力转盘和过水套上，导电带与外部电源电性连接。本实用新型的用于旋转阴极的连接结构，安装在阴极靶与驱动轴之间，过水套固定后，在过水套预紧力的作用下，弹簧推动动力转盘，使动力转盘与阴极靶的靶筒压盖保持紧密贴合。导电带传输电荷，使得靶筒压盖和阴极靶在旋转运动时，电流进入阴极靶过程中不会产生电势差，阴极靶的电位分布均匀，始终与动力转盘的正电位相等，阴极靶在旋转时不会产生电弧打火放电的现象，保证镀膜的质量。
在一种可行的方案中，还包括：限位柱；
所述动力转盘设有第一安装槽，所述过水套设有第二安装槽，所述限位柱的底端和顶端分别可滑动的穿设在所述第一安装槽和所述第二安装槽内，所述限位柱用于限制所述动力转盘与所述过水套的相互靠近。
在一种可行的方案中，所述动力转盘设有第一容置槽，所述过水套设有第二容置槽，所述弹簧的底端和顶端分别嵌入在所述第一容置槽和所述第二容置槽内。
在一种可行的方案中，所述弹簧设有八根，八根所述弹簧沿圆周方向均匀布设。
在一种可行的方案中，所述导电带设有四根，四根所述导电带沿圆周方向均匀布设。
在一种可行的方案中，所述导电带为镀锡铜编织带。
在一种可行的方案中，所述动力转盘设有限位卡槽，所述过水套设有缺口槽，所述限位卡槽和所述缺口槽分别用于供所述导电带插入。
在一种可行的方案中，所述导电带设有第一连接孔；
所述动力转盘在所述限位卡槽处设有第二连接孔和第一螺纹孔，使所述导电带通过连接螺钉固定在所述动力转盘的第一螺纹孔上；
所述过水套在所述缺口槽处设有第二螺纹孔，使所述导电带通过连接螺钉固定在所述过水套的第二螺纹孔上。
在一种可行的方案中，所述动力转盘、所述过水套、所述弹簧和所述限位柱的材质均为304不锈钢。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型实施例中的用于旋转阴极的连接结构的示意图；
图2为本实用新型实施例中的连接结构的爆炸示意图；
图3为本实用新型实施例中的动力转盘的示意图；
图4为本实用新型实施例中的过水套的示意图。
图中标号：
1、动力转盘；11、第一安装槽；12、第一容置槽；13、限位卡槽；131、第二连接孔；132、第一螺纹孔；2、过水套；21、第二安装槽；22、第二容置槽；23、缺口槽；231、第二螺纹孔；3、弹簧；4、导电带；5、限位柱；100、磁钢支座套；200、阴极靶；210、靶筒压盖。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，也可以是成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，也可以是通讯连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介的间接连接，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
下面以具体地实施例对本实用新型的技术方案进行详细说明。下面这几个具体的实施例可以相互结合，对于相同或相似的概念或过程可能在某些实施例不再赘述。
如本申请背景技术中的描述，阴极靶与驱动轴连接，在生产过程中，驱动轴带动阴极靶不间断的旋转运动。
本申请的发明人发现，由于阴极靶与驱动轴之间不可避免的存在装配间隙，在旋转过程中，阴极靶在轴向和径向上会发生晃动，造成阴极靶的电位分布不均匀；且在旋转过程中，阴极靶的轴向及径向会在多个方向不同程度的对驱动端造成作用力，使阴极靶内部结构件产生微观变形，从而产生电弧打火放电的现象，影响了产品质量(镀膜质量)。
为了解决上述问题，本申请发明人提出了本申请的技术方案，具体实施例如下：
图1为本实用新型实施例中的用于旋转阴极的连接结构的示意图，图2为本实用新型实施例中的连接结构的爆炸示意图，图3为本实用新型实施例中的动力转盘的示意图，图4为本实用新型实施例中的过水套的示意图。如图1至图4所示，本实施例的用于旋转阴极的连接结构，包括：动力转盘1、过水套2、弹簧3和导电带4。
过水套2通过连接螺栓与驱动轴的磁钢支座套100固定连接。
动力转盘1套设在驱动轴的磁钢支座100与阴极靶200之间，动力转盘1的底端端面与阴极靶200的靶筒压盖210相抵持。
弹簧3设有多根，多根弹簧3间隔的设置在动力转盘1与过水套2之间，弹簧3的一端(顶端)与过水套2的底面相抵持，弹簧3的另一端(底端)与动力转盘1的顶面相抵持。在过水套2的预紧力作用下，弹簧3向下推动动力转盘1，使动力转盘1与阴极靶100的靶筒压盖110紧密贴合，阴极靶100在旋转时，动力转盘1与靶筒压盖110之间不会松动。
导电带4设有多根，多根导电带4的一端(底端)设置在动力转盘1上，导电带4的另一端(顶端)设置在过水套2上，导电带4的顶端与外部电源电性连接，通过导电带4和动力转盘1的电性传导，使得靶筒压盖210和阴极靶200通电。
本实施例中，所述的连接结构设置在阴极靶与驱动轴之间，过水套固定后，在过水套预紧力的作用下，弹簧向下推动动力转盘，使动力转盘与阴极靶的靶筒压盖保持紧密贴合，动力转盘与阴极靶之间不会跳动和晃动。导电带传输电荷，使得靶筒压盖和阴极靶在旋转运动时，电流进入阴极靶过程中不会产生电势差，阴极靶的电位分布均匀，且始终与动力转盘的正电位相等，阴极靶在旋转时不会产生电弧打火放电的现象，保证镀膜的质量。
通过上述内容不难发现，本实施例的用于旋转阴极的连接结构，通过设置动力转盘、过水套、多根弹簧和多根导电带，过水套与驱动轴连接，弹簧设置在动力转盘和过水套之间，弹簧的两端分别与过水套和动力转盘相抵持，导电带的两端分别设置在动力转盘和过水套上，导电带与外部电源电性连接。本实施例的用于旋转阴极的连接结构，设置在阴极靶与驱动轴之间，过水套固定后，在过水套预紧力的作用下，弹簧推动动力转盘，使动力转盘与阴极靶的靶筒压盖保持紧密贴合。导电带传输电荷，使得靶筒压盖和阴极靶在旋转运动时，电流进入阴极靶过程中不会产生电势差，阴极靶的电位分布均匀，始终与动力转盘的正电位相等，阴极靶在旋转时不会产生电弧打火放电的现象，保证镀膜的质量。
可选的，如图2、图3、图4所示，本实施例中的用于旋转阴极的连接结构，还包括：限位柱5。
动力转盘1的顶面上设有第一安装槽11，过水套2的底面设有第二安装槽21。
限位柱5设有两根，两根限位柱5对称设置。限位柱5的底端可滑动的穿设在动力转盘1的第一安装槽11内，限位柱5的顶端可滑动的穿设在过水套2的第二安装槽21内。限位柱5的底端和顶端分别与动力转盘1和过水套2相抵持时，动力转盘1与过水套2之间无法再继续靠近，以防止弹簧3被过度压缩。
进一步的，本实施例中的用于旋转阴极的连接结构，动力转盘1的顶面设有第一容置槽12，过水套2的底面设有第二容置槽22。弹簧3的底端和顶端分别嵌入在动力转盘1的第一容置槽12和过水套2的第二容置槽22内，使弹簧3保持稳定，防止弹簧3滑出。
进一步的，本实施例中的用于旋转阴极的连接结构，弹簧3共设有八根，八根弹簧3沿圆周方向均匀布设，使动力转盘1受力更加的均匀，动力转盘1传输的电荷更加的均匀，使得阴极靶的电位分布更加的均匀。
进一步的，本实施例中的用于旋转阴极的连接结构，导电带4共设有四根，四根导电带4沿圆周方向均匀布设。
进一步的，本实施例中的用于旋转阴极的连接结构，导电带4为镀锡铜编织带，使导电带4具有更好的导电性，并具有一定的柔柔性，方便导电带4的安装固定。
进一步的，本实施例中的用于旋转阴极的连接结构，动力转盘1的顶面设有限位卡槽13，导电带3的底端插入在动力转盘1的限位卡槽13内。
过水套2的圆周侧壁设有缺口槽23，导电带4的顶端嵌入在过水套2的缺口槽23内。
进一步的，本实施例中的用于旋转阴极的连接结构，导电带4的底端和顶端设有多个第一连接孔。
动力转盘1在限位卡槽13的两侧侧壁处分别设有第二连接孔131和第一螺纹孔132，连接螺钉穿过动力转盘1的第二连接孔131和导电带4的第一连接孔，并啮合在动力转盘1的第一螺纹孔132上，使导电带4的底端固定在动力转盘1上，方便导电带与动力转盘的连接固定。
过水套2在缺口槽23处设有第二螺纹孔231，连接螺钉穿过导电带4的第一连接孔，并啮合在过水套2的第一螺纹孔231上，使导电带4的顶端固定在过水套2上，方便导电带与过水套的连接固定。
进一步的，本实施例中的用于旋转阴极的连接结构，动力转盘1、过水套2、弹簧3和限位柱5的材质均为304不锈钢。
在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一特征和第二特征直接接触，或第一特征和第二特征通过中间媒介间接接触。
而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可以是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度低于第二特征。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”或“一些示例”等的描述，意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任意一个或者多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。
Claims (9)
1.一种用于旋转阴极的连接结构，其特征在于，包括：动力转盘、过水套、多根弹簧和多根导电带；
所述过水套用于与驱动轴连接；
多根所述弹簧设置在所述动力转盘和所述过水套之间，所述弹簧的一端与所述过水套相抵持，另一端与所述动力转盘相抵持，所述弹簧用于推动所述动力转盘，使所述动力转盘与阴极靶相抵持；
多根所述导电带的一端设置在所述动力转盘上，另一端设置在所述过水套上，所述导电带用于与外部电源电性连接，使所述阴极靶通电。
2.根据权利要求1所述的用于旋转阴极的连接结构，其特征在于，还包括：限位柱；
所述动力转盘设有第一安装槽，所述过水套设有第二安装槽，所述限位柱的底端和顶端分别可滑动的穿设在所述第一安装槽和所述第二安装槽内，所述限位柱用于限制所述动力转盘与所述过水套的相互靠近。
3.根据权利要求2所述的用于旋转阴极的连接结构，其特征在于，所述动力转盘设有第一容置槽，所述过水套设有第二容置槽，所述弹簧的底端和顶端分别嵌入在所述第一容置槽和所述第二容置槽内。
4.根据权利要求3所述的用于旋转阴极的连接结构，其特征在于，所述弹簧设有八根，八根所述弹簧沿圆周方向均匀布设。
5.根据权利要求2所述的用于旋转阴极的连接结构，其特征在于，所述导电带设有四根，四根所述导电带沿圆周方向均匀布设。
6.根据权利要求5所述的用于旋转阴极的连接结构，其特征在于，所述导电带为镀锡铜编织带。
7.根据权利要求6所述的用于旋转阴极的连接结构，其特征在于，所述动力转盘设有限位卡槽，所述过水套设有缺口槽，所述限位卡槽和所述缺口槽分别用于供所述导电带插入。
8.根据权利要求7所述的用于旋转阴极的连接结构，其特征在于，所述导电带设有第一连接孔；
所述动力转盘在所述限位卡槽处设有第二连接孔和第一螺纹孔，使所述导电带通过连接螺钉固定在所述动力转盘的第一螺纹孔上；
所述过水套在所述缺口槽处设有第二螺纹孔，使所述导电带通过连接螺钉固定在所述过水套的第二螺纹孔上。
9.根据权利要求2至8中任意一项所述的用于旋转阴极的连接结构，其特征在于，所述动力转盘、所述过水套、所述弹簧和所述限位柱的材质均为304不锈钢。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202320090965.9U CN219470166U (zh) | 2023-01-31 | 2023-01-31 | 用于旋转阴极的连接结构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202320090965.9U CN219470166U (zh) | 2023-01-31 | 2023-01-31 | 用于旋转阴极的连接结构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN219470166U true CN219470166U (zh) | 2023-08-04 |
Family
ID=87466057
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202320090965.9U Active CN219470166U (zh) | 2023-01-31 | 2023-01-31 | 用于旋转阴极的连接结构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN219470166U (zh) |
-
2023
- 2023-01-31 CN CN202320090965.9U patent/CN219470166U/zh active Active
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|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |