CN219442564U - 一种硅片收片机构及收片装置 - Google Patents

一种硅片收片机构及收片装置 Download PDF

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CN219442564U CN202223108250.6U CN202223108250U CN219442564U CN 219442564 U CN219442564 U CN 219442564U CN 202223108250 U CN202223108250 U CN 202223108250U CN 219442564 U CN219442564 U CN 219442564U
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李昶
卞海峰
刘世挺
闫东
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Abstract

本申请公开了一种硅片收片机构及收片装置,包括切换单元、沿垂直于硅片输送方向依次设置的第一料盒单元和第二料盒单元,第一料盒单元连接在切换单元的驱动端,切换单元用于驱动第一料盒单元从与第二料盒单元同一高位的第一收片位运动到位于第二料盒单元下方的第一取片位。通过设置切换单元,将第一料盒单元在第一收片位和第一取片位之间切换,方便收取第一料盒单元内的硅片,可以提高硅片的收片效率。

Description

一种硅片收片机构及收片装置
技术领域
本申请属于硅片分选领域,具体地说,涉及一种硅片收片机构及收片装置。
背景技术
硅片经过分选机分选检测后,要根据分选后的等级对硅片进行分类收片,将不同等级的硅片收至不同的料盒中。申请号为CN201210587669.6的发明专利中附图1所展示的硅片收料区,在沿垂直于输送线的输送线的两侧间隔设置两个料盒时,在收取靠近输送线的料盒内的硅片时,取片不方便,取片效率较低。
因此,如何解决靠近输送线的料盒内的硅片收取不便的问题,是目前亟需解决的一个技术问题。
发明内容
针对当前靠近输送线的料盒内的硅片收取不便的问题,本申请提出了一种硅片收片机构及收片装置。
第一方面,本申请提出了一种硅片收片机构,包括切换单元、沿垂直于硅片输送方向依次设置的第一料盒单元和第二料盒单元,第一料盒单元连接在切换单元的驱动端,切换单元用于驱动第一料盒单元从与第二料盒单元同一高位的第一收片位运动到位于第二料盒单元下方的第一取片位。
通过设置切换单元,将第一料盒单元在第一收片位和第一取片位之间切换,方便收取第一料盒单元内的硅片,可以提高硅片的收片效率。
可选的,硅片收片机构还包括光电传感器,光电传感器设置在第一收片位处的预定满料位置,位于预定满料位置处的光电传感器在第一料盒单元的料盒满料时信号发生变化。
通过在预定满料位置设置光电传感器,可以检测位于第一收片位的第一料盒单元内的硅片是否处于满料状态,防止继续向其送片,发生碰撞。
可选的,硅片收片机构还包括第一感应装置和/或第二感应装置,第一感应装置设置在第一收片位下方,位于第一收片位下方的第一感应装置在第一料盒单元运动到第一收片位下方时信号发生变化;第二感应装置设置在第一取片位处,位于第一取片位的第二感应装置在第一料盒单元运动到第一取片位时信号发生变化。
通过设置第一感应装置和/或第二感应装置,对第一料盒单元在切换位置时进行位置监测,以确保第一料盒单元运动到相应的位置。
可选的,硅片收片机构还包括第一安装架和侧板,第一安装架上设置有竖直方向的第一导向部,侧板滑动设置在第一导向部上,且侧板上设置有水平方向的第二导向部,第一料盒单元通过连接板滑动设置在第二导向部上;切换单元驱动第一料盒单元沿第一导向部升降以及沿第二导向部横移。
通过设置竖直方向的第一导向部、水平方向的第二导向部,分别对第一料盒单元进行竖向和横向的导向,增加第一料盒单元在竖向和横向方向上运动时稳定性,减少位置切换过程中第一料盒单元的抖动,保证第一料盒单元内的硅片质量,也能进一步提高位置切换的流畅度,提高收片机构的效率。
可选的,切换单元包括第一气缸,第一气缸的固定端铰接在第一安装架上,第一气缸的驱动端铰接在连接板上;第一气缸通过驱动连接板带动第一料盒单元沿第一导向部升降以及沿第二导向部横移。
通过第一气缸的驱动,实现第一料盒单元的竖向及横向运动,结构简单,成本可控。
可选的,切换单元包括第一驱动和摆杆滑块,摆杆滑块的第一端与第一驱动连接,摆杆滑块的第二端与连接板铰接;第一驱动通过驱动摆杆滑块驱动连接板带动第一料盒单元沿第一导向部升降以及沿第二导向部横移。
通过设置第一驱动和摆杆滑块,利用第一驱动驱动摆杆滑块,进而驱动第一料盒单元的竖向及横向运动,实现第一料盒单元在第一收片位和第一取片位之间的切换,摆杆滑块可以灵活控制位置切换过程中第一料盒单元的启停。
可选的,切换单元还包括传动部,传动部与第一驱动连接;摆杆滑块包括摆杆和滑块,摆杆与传动部连接,滑块的第一端滑动套设在摆杆上,滑块的第二端与连接板铰接。
通过控制摆杆的角度,可以灵活地控制滑块在摆杆上的位置,进而通过滑块控制使第一料盒单元停留在任意位置,可以满足不同的收片场景。
可选的,切换单元包括第二驱动、第一链轮、第二链轮、第三链轮、链条和链节轴销,第一链轮和第二链轮沿竖直方向共线设置,第二链轮和第三链轮沿横向方向共线设置,链条套设在第一链轮、第二链轮和第三链轮上;链节轴销固定连接链条与连接板;第二驱动通过驱动第三链轮带动第一料盒单元沿第一导向部升降以及沿第二导向部横移。
通过设置第二驱动和链轮链条传动机构,将第一料盒单元通过链节轴销固定在链条上,通过第二驱动,带动链条转动,从而带动第一料盒单元升降、横移,成本低,且能将第一料盒单元驱动到任意位置。
可选的,切换单元包括第三驱动、异型轨道、与异型轨道配合的滚动件,异型轨道包括依次衔接的竖向轨道、过渡轨道和横向轨道,滚动件与所述第一料盒单元固定连接,滚动件与第一料盒单元固定连接,第三驱动通过驱动滚动件沿异型轨道转动带动第一料盒单元沿第一导向部升降以及沿第二导向部横移。
通过设置第三驱动、异型轨道和滚动件,实现第一料盒单元在竖向和横向上的位移,滚动件与异型轨道的配合方式简单稳定。
可选的,侧板的端部设置有限位块,连接板朝向限位块的端部设置有与限位块相配合的豁口。
侧板端部的限位块和连接板上的豁口,可以相互配合,对第一料盒单元在侧板上沿第二导向部横移时,进行位置限位,防止第一料盒单元在第二导向部上发生过度横移。
可选的,硅片收片机构还包括升降立板和竖向导轨,升降立板固定设置在第一安装架上,竖向导轨竖向固定在升降立板上;连接板上还设置有从动凸轮,当第一料盒单元沿第一导向部升降时,从动凸轮沿竖向导轨升降。
通过在连接板上设置从动凸轮,在升降立板上设置竖向导轨,利用从动凸轮和竖向导轨的配合,实现对第一料盒单元升降的辅助导向,提高第一料盒单元升降时的稳定性。
可选的,硅片收片机构还包括斜坡,斜坡设置在第一安装架上,且斜坡的斜面向竖向导轨的方向抬升。
在第一安装架上设置斜坡,在从动凸轮从第一安装架上升到与竖向导轨配合之前、从与竖向导轨配合到下降到第一安装架上,对从动凸轮的上升和下降分别具有引导、缓冲的作用,可以进一步提高第一料盒单元升降时的稳定性。
可选的,第一料盒单元和第二料盒单元的结构相同,均包括一个料盒、料盒安装板和固定托板,料盒倾斜固定在料盒安装板上,料盒安装板滑动设置在固定托板上;料盒安装板的一端设置有抽拉把手,固定托板远离抽拉把手的一端固定设置有磁铁,料盒安装板远离抽拉把手的一端与磁铁相互吸引。
第一料盒单元和第二料盒单元的机构相同,更便于安装、维修;将料盒倾斜固定在料盒安装板上,更便于料盒对硅片进行收片;将料盒安装板滑动设置在固定托板上,在对料盒内的硅片进行取片之前,可以先通过料盒安装板将料盒抽拉出来,更便于收取料盒内的硅片;在第一料盒安装板的一端设置把手,更便于抽拉料盒安装板;在固定托板的端部设置磁铁,在第一料盒单元进行位置切换时,能够保证料盒安装板和固定托板之间的相对固定,避免料盒发生抖动,影响料盒内硅片的质量或者影响后续料盒的精准到位。
可选的,硅片收片机构还包括第二安装架和第二气缸,第二料盒单元滑动设置在第二安装架上,第二气缸的驱动端与第二料盒单元固定连接,用于驱动第二料盒单元在第二安装架上升降。
将第二料盒单元设置成能够沿第二安装架升降,将料盒下降到一定的高度,在对第二料盒单元料盒内的硅片进行取片时,更加方便快捷。
第二方面,本申请提出了一种硅片收片装置,包括硅片输送线、直流料盒和若干个对称设置在硅片输送线两侧的如前述任意一种的硅片收片机构,第一料盒单元对称设置在靠近硅片输送线的内侧且能够在切换单元的驱动下从第一收片位运动到位于第二料盒单元正下方的第一取片位,第二料盒单元对称设置在远离硅片输送线的外侧,直流料盒位于硅片输送线的输出端。
在硅片输送线两侧采用本申请的收片机构,能够提高收片装置的收片效率。
附图说明
图1为硅片收片机构的第一种实施方式示意图;
图2为图1的硅片收片机构的第一料盒单元的切换示意图;
图3为图1的俯视图;
图4为图1的对侧方向示意图;
图5为图1的剖视图;
图6为硅片收片机构的第二种实施方式示意图;
图7为硅片收片机构的第三种实施方式示意图;
图8为硅片收片机构的第四种实施方式示意图;
图9为第一料盒单元的一种实施方式示意图;
图10为图9的另一方向示意图;
图11为硅片收片装置的一种实施方式示意图;
图中:第一料盒单元1、第二料盒单元2、切换单元3、光电传感器4、第一感应装置5、第二感应装置6、第一安装架7、第一导向部71、升降立板72、竖向导轨73、斜坡74、侧板8、第二导向部81、限位块82、连接板9、豁口91、从动凸轮92、安装支座93、第一气缸311、第一驱动321、摆杆322、滑块323、第二驱动331、第一链轮332、第二链轮333、第三链轮334、链条335、链节轴销336、滚动件342、竖向轨道343、过渡轨道344、横向轨道345、硅片输送线10、直流料盒20、料盒11、料盒安装板12、固定托板13、抽拉把手14、磁铁15。
具体实施方式
为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请中的技术方案进行清楚、完整地描述。其中,所描述的实施例是本申请一部分实施例,而不是全部的实施例。因此,以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围,而是仅仅表示本申请的选定实施例。
下文中将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。需要说明的是,在不冲突的情况下,本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
针对当前靠近输送线的料盒内的硅片收取不便的问题,本申请提出了一种硅片收片机构及收片装置。
第一方面,本申请提出了一种硅片收片机构,如图1所示,包括切换单元3、沿垂直于硅片输送方向依次设置的第一料盒单元1和第二料盒单元2,第一料盒单元1连接在切换单元3的驱动端,切换单元3用于驱动第一料盒单元1从与第二料盒单元2同一高位的第一收片位运动到位于第二料盒单元2下方的第一取片位。
通过设置切换单元3,将第一料盒单元1在第一收片位和第一取片位之间切换,方便收取第一料盒单元1内的硅片,可以提高硅片的收片效率。
如图2所示,当需要收取靠进输送线设置的内侧的第一料盒单元1中的硅片时,控制切换单元3带动第一料盒单元1自第一收片位A处沿竖直方向下降,当第一料盒单元1下降到一定距离后,继续控制切换单元3带动第一料盒单元1沿水平方向横移直至第一取片位B处。
需要说明的是,在第一料盒单元1在第一收片位和第一取片位之间切换的过程中,第二料盒单元2一直处于收片位置,当输送线有硅片待收片时,可以直接收片到第二料盒单元2,不会存在收片间隔,能大幅提高收片效率。
如图1、图3所示,在一种可选的实施方式中,硅片收片机构还包括光电传感器4,光电传感器4设置在第一收片位处的预定满料位置,位于预定满料位置处的光电传感器4在第一料盒单元1的料盒满料时信号发生变化。
通过在预定满料位置设置光电传感器4,可以检测位于第一收片位的第一料盒单元1内的硅片是否处于满料状态(主要可能是料盒已收满还没来得及取出硅片、料盒已收满忘记取出其中硅片),防止继续向其送片,发生碰撞。当然,对于预定满料位置可以根据用户不同的要求进行设定,不一定是第一料盒单元的最大承载状态。
如图4所示,在一种可选的实施方式中,硅片收片机构还包括第一感应装置5,第一感应装置5设置在第一收片位下方,位于第一收片位下方的第一感应装置5在第一料盒单元1运动到第一收片位下方时信号发生变化。
具体的,第一感应装置5包括间隔设置在第一收片位下方的对射光电即第一光电51和第二光电52、设置在第一料盒单元1(料盒安装板12上)的感应片53,当第一料盒单元1横移到第一收片位下方时,感应片53中断对射光电,第一感应装置5的信号发生变化,当第一感应装置5的信号发生变化时,说明第一料盒单元1被成功推送至第一收片位下方。
如图5所示,在一种可选的实施方式中,硅片收片机构还包括第二感应装置6,第二感应装置6设置在第一取片位处,位于第一取片位的第二感应装置6在第一料盒单元1运动到第一取片位时信号发生变化。
具体的,第二感应装置6包括设置在第一料盒单元1(料盒安装板12上)底部的感应件61,设置在第一取片位的光电开关62,当第一料盒单元1运动到第一取片位时,感应件61靠近光电开关62,使得光电开关62的信号发生变化,当第二感应装置6的信号发生变化时,说明第一料盒单元1被成功推送至第一取片位。
当然,在一种可选的实施方式中,硅片收片机构可以同时包括第一感应装置5和第二感应装置6。
通过设置第一感应装置5和/或第二感应装置6,对第一料盒单元1在切换位置时进行位置监测,以确保第一料盒单元1运动到相应的位置。
可选的,如图1、图4所示,硅片收片机构还包括第一安装架7和侧板8,第一安装架7上设置有竖直方向的第一导向部71,侧板8滑动设置在第一导向部71上,且侧板8上设置有水平方向的第二导向部81,第一料盒单元1通过连接板9滑动设置在第二导向部81上;切换单元3驱动第一料盒单元1沿第一导向部71升降以及沿第二导向部81横移。
具体的,对于第一导向部71,可以选择图1中所示的导向柱,且导向柱的数量可以为1根、2根等,当然也可以选择滑轨的方式以及其他可以实现导向的结构;
对于第二导向部81,可以选择图2中所示的横向导轨的方式,也可以选择导向柱、导向槽等其他方式,本申请不做限定。
通过设置竖直方向的第一导向部71、水平方向的第二导向部81,分别对第一料盒单元1进行竖向和横向的导向,增加第一料盒单元1在竖向和横向方向上运动时的稳定性,减少位置切换过程中第一料盒单元1的抖动,保证第一料盒单元1内的硅片质量,也能进一步提高位置切换的流畅度,提高收片机构的效率。
对于本申请中的切换单元3,具有多种不同的实施方式,以下结合附图进行详细说明:
如图1-5所示,为切换单元3的第一种实施方式,切换单元3包括第一驱动321和摆杆322滑块323,摆杆322滑块323的第一端与第一驱动321连接,摆杆322滑块323的第二端与连接板9铰接;第一驱动321通过驱动摆杆322滑块323驱动连接板9带动第一料盒单元1沿第一导向部71升降以及沿第二导向部81横移。
通过设置第一驱动321和摆杆322滑块323,利用第一驱动321驱动摆杆322滑块323,进而驱动第一料盒单元1的竖向及横向运动,实现第一料盒单元1在第一收片位和第一取片位之间的切换,摆杆322滑块323可以灵活控制位置切换过程中第一料盒单元1的启停。
可选的,切换单元3还包括传动部,传动部与第一驱动321连接;摆杆322滑块323包括摆杆322和滑块323,摆杆322与传动部连接,滑块323的第一端滑动套设在摆杆322上,滑块323的第二端与连接板9铰接。
可选的,如图3所示,滑块323的第二端与安装支座93铰接,安装支座93固定设置在连接板9上,当然,安装支座93也可以为连接板9上突出的一个安装板(即一体成型)。
如图2所示,当第一驱动321通过传动部驱动摆杆322转动的时候,由于滑块323滑动连接在摆杆322上,且滑块323的一端与第一料盒单元1铰接,因此随着摆杆322的摆动,能够带动第一料盒单元1升降、横移。
通过控制摆杆322的角度,可以灵活地控制滑块323在摆杆322上的位置,进而通过滑块323控制使第一料盒单元1停留在任意位置,可以满足不同的收片场景。
需要说明的是,对于传动部的选择,可以为图1中所示的同步带传动、也可以为链条传动、齿轮传动等不同的传动方式,只需要使得摆杆322与所连接的同步带轮(或者链轮或者齿轮)的转轴固定连接即可,即同步带轮(或者链轮或者齿轮)的转动能够带动摆杆322转动即可。
如图6所示,为切换单元3的第二种实施方式,切换单元3包括第一气缸311,第一气缸311的固定端铰接在第一安装架7上,第一气缸311的驱动端铰接在连接板9上;第一气缸311通过驱动连接板9带动第一料盒单元1沿第一导向部71升降以及沿第二导向部81横移。
如图6所示,当第一气缸311的活塞杆收缩时,会带动第一料盒单元1下降、横移;当第一气缸311的活塞杆伸出时,会推动第一料盒单元1横移、上升。
通过第一气缸311的驱动,实现第一料盒单元1的竖向及横向运动,结构简单,成本可控。
如图7所示,为切换单元3的第三种实施方式,切换单元3包括第二驱动331、第一链轮332、第二链轮333、第三链轮334、链条335和链节轴销336,第一链轮332和第二链轮333沿竖直方向共线设置,第二链轮333和第三链轮334沿横向方向共线设置,链条335套设在第一链轮332、第二链轮333和第三链轮334上;链节轴销336固定连接链条335与连接板9;第二驱动331通过驱动第三链轮334带动第一料盒单元1沿第一导向部升降以及沿第二导向部横移。
通过设置第二驱动331和链轮链条传动机构,将第一料盒单元1通过链节轴销336固定在链条335上,通过第二驱动331,带动链条335转动,从而带动第一料盒单元1升降、横移,成本低,且能将第一料盒单元1驱动到任意位置。
如图8所示,为切换单元3的第三种实施方式,切换单元3包括第三驱动341、异型轨道、与异型轨道配合的滚动件342,异型轨道包括依次衔接的竖向轨道343、过渡轨道344和横向轨道345,滚动件342与第一料盒单元1固定连接,第三驱动341通过驱动滚动件342沿异型轨道转动带动第一料盒单元1沿第一导向部71升降以及沿第二导向部81横移。
具体的,如图8所示,异型轨道为异型齿条,包括依次衔接的竖向齿条、过渡齿条和横向齿条,滚动件342为齿轮,通过齿轮与异型齿条的啮合,实现第一料盒单元1的升降、横移。
当然,也可以将异型轨道设计成摩擦轨道,将滚动件342设计成摩擦轮,完成第一料盒单元1的升降、横移。
通过设置第三驱动341、异型轨道和滚动件342,实现第一料盒单元1在竖向和横向上的位移,滚动件342与异型轨道的配合方式简单稳定。
可选的如图2所示,侧板8的端部设置有限位块82,连接板9朝向限位块82的端部设置有与限位块82相配合的豁口91。
侧板8端部的限位块82和连接板9上的豁口91,可以相互配合,对第一料盒单元1在侧板8上沿第二导向部81横移时,进行位置限位,防止第一料盒单元1在第二导向部81上发生过度横移。
可选的,如图5所示,硅片收片机构还包括升降立板72和竖向导轨73,升降立板72固定设置在第一安装架7上,竖向导轨73竖向固定在升降立板72上;连接板9上还设置有从动凸轮92,当第一料盒单元1沿第一导向部71升降时,从动凸轮92沿竖向导轨73升降。
通过在连接板9上设置从动凸轮92,在升降立板72上设置竖向导轨73,利用从动凸轮92和竖向导轨73的配合,实现对第一料盒单元1升降的辅助导向,提高第一料盒单元1升降时的稳定性。
可选的,硅片收片机构还包括斜坡74,斜坡74设置在第一安装架7上,且斜坡74的斜面向竖向导轨73的方向抬升。
在第一安装架7上设置斜坡74,在从动凸轮92从第一安装架7上升到与竖向导轨73配合之前、从与竖向导轨73配合到下降到第一安装架7上,对从动凸轮92的上升和下降分别具有引导、缓冲的作用,可以进一步提高第一料盒单元1升降时的稳定性。
可选的,第一料盒单元1和第二料盒单元2的结构相同,以第一料盒单元1为例说明,如图9、10所示,均包括一个料盒11、料盒安装板12和固定托板13,料盒11倾斜固定在料盒安装板12上,料盒安装板12滑动设置在固定托板13上;料盒安装板12的一端设置有抽拉把手14,固定托板13远离抽拉把手14的一端固定设置有磁铁15,料盒安装板12远离抽拉把手14的一端与磁铁15相互吸引。
第一料盒单元1和第二料盒单元2的机构相同,更便于安装、替换;将料盒11倾斜固定在料盒安装板12上,更便于料盒11对硅片进行收片;将料盒安装板12滑动设置在固定托板13上,在对料盒11内的硅片进行取片之前,可以先通过料盒安装板12将料盒抽拉出来,更便于收取料盒内的硅片;在第一料盒安装板12的一端设置把手,更便于抽拉料盒安装板12;在固定托板13的端部设置磁铁15,在第一料盒单元1进行位置切换时,能够保证料盒安装板12和固定托板13之间的相对固定,避免料盒11发生抖动,影响料盒内硅片的质量或者影响后续料盒的精准到位。
可选的,如图1所示,硅片收片机构还包括第二安装架75和第二气缸,第二料盒单元2滑动设置在第二安装架75上,第二气缸的驱动端与第二料盒单元2固定连接,用于驱动第二料盒单元2在第二安装架75上升降。
将第二料盒单元2设置成能够沿第二安装架75升降,将料盒下降到一定的高度,在对第二料盒单元2料盒内的硅片进行取片时,更加方便快捷。
第二方面,本申请提出了一种硅片收片装置,如图4所示,包括硅片输送线10、直流料盒20和若干个对称设置在硅片输送线10两侧的如前述任意一种的硅片收片机构,第一料盒单元1对称设置在靠近硅片输送线10的内侧且能够在切换单元3的驱动下从第一收片位运动到位于第二料盒单元2正下方的第一取片位,第二料盒单元2对称设置在远离硅片输送线10的外侧,直流料盒20位于硅片输送线10的输出端,直流料盒20用于接收未有检测结果的硅片或者是因设备异常未能向两侧分片的硅片。
当位于硅片输送线10内侧的第一料盒单元1中的硅片收满后,利用切换单元3将第一料盒单元1切换到第一取片位,在此过程中,第二料盒单元1的位置保持不变,可以继续接收硅片输送线10上的硅片,不会因为第一料盒单元1的切换而影响第二料盒单元3的收片,即不会影响硅片输送线10上的硅片收取效率,在硅片输送线10两侧采用本申请的收片机构,能够提高收片装置的收片效率。
以上示意性地对本申请创造及其实施方式进行了描述,该描述没有限制性,附图中所示的也只是本申请创造的实施方式之一,实际的结构并不局限于此。所以,如果本领域的普通技术人员受其启示,在不脱离本创造宗旨的情况下,不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例,均应属于本专利的保护范围。

Claims (15)

1.一种硅片收片机构,其特征在于,所述硅片收片机构包括切换单元、沿垂直于硅片输送方向依次设置的第一料盒单元和第二料盒单元,所述第一料盒单元连接在所述切换单元的驱动端,所述切换单元用于驱动所述第一料盒单元从与所述第二料盒单元同一高位的第一收片位运动到位于所述第二料盒单元下方的第一取片位。
2.如权利要求1所述的硅片收片机构,其特征在于,所述硅片收片机构还包括光电传感器,所述光电传感器设置在所述第一收片位处的预定满料位置,位于所述预定满料位置处的所述光电传感器在所述第一料盒单元的料盒满料时信号发生变化。
3.如权利要求1所述的硅片收片机构,其特征在于,所述硅片收片机构还包括第一感应装置和/或第二感应装置,所述第一感应装置设置在所述第一收片位下方,位于所述第一收片位下方的第一感应装置在所述第一料盒单元运动到所述第一收片位下方时信号发生变化;所述第二感应装置设置在所述第一取片位处,位于所述第一取片位的第二感应装置在所述第一料盒单元运动到所述第一取片位时信号发生变化。
4.如权利要求1所述的硅片收片机构,其特征在于,所述硅片收片机构还包括第一安装架和侧板,所述第一安装架上设置有竖直方向的第一导向部,所述侧板滑动设置在所述第一导向部上,且所述侧板上设置有水平方向的第二导向部,所述第一料盒单元通过连接板滑动设置在所述第二导向部上;
所述切换单元驱动所述第一料盒单元沿所述第一导向部升降以及沿所述第二导向部横移。
5.如权利要求4所述的硅片收片机构,其特征在于,所述切换单元包括第一气缸,所述第一气缸的固定端铰接在所述第一安装架上,所述第一气缸的驱动端铰接在所述连接板上;所述第一气缸通过驱动所述连接板带动所述第一料盒单元沿所述第一导向部升降以及沿所述第二导向部横移。
6.如权利要求4所述的硅片收片机构,其特征在于,所述切换单元包括第一驱动和摆杆滑块,所述摆杆滑块的第一端与所述第一驱动连接,所述摆杆滑块的第二端与所述连接板铰接;所述第一驱动通过驱动所述摆杆滑块驱动所述连接板带动所述第一料盒单元沿所述第一导向部升降以及沿所述第二导向部横移。
7.如权利要求6所述的硅片收片机构,其特征在于,所述切换单元还包括传动部,所述传动部与所述第一驱动连接;所述摆杆滑块包括摆杆和滑块,所述摆杆与所述传动部连接,所述滑块的第一端滑动套设在所述摆杆上,所述滑块的第二端与所述连接板铰接。
8.如权利要求4所述的硅片收片机构,其特征在于,所述切换单元包括第二驱动、第一链轮、第二链轮、第三链轮、链条和链节轴销,所述第一链轮和所述第二链轮沿竖直方向共线设置,所述第二链轮和所述第三链轮沿横向方向共线设置,所述链条套设在所述第一链轮、所述第二链轮和所述第三链轮上;所述链节轴销固定连接所述链条与所述连接板;所述第二驱动通过驱动所述第三链轮带动所述第一料盒单元沿所述第一导向部升降以及沿所述第二导向部横移。
9.如权利要求4所述的硅片收片机构,其特征在于,所述切换单元包括第三驱动、异型轨道、与所述异型轨道配合的滚动件,所述异型轨道包括依次衔接的竖向轨道、过渡轨道和横向轨道,所述滚动件与所述第一料盒单元固定连接,所述第三驱动通过驱动所述滚动件沿所述异型轨道转动带动所述第一料盒单元沿所述第一导向部升降以及沿所述第二导向部横移。
10.如权利要求4-9任意一项所述的硅片收片机构,其特征在于,所述侧板的端部设置有限位块,所述连接板朝向所述限位块的端部设置有与所述限位块相配合的豁口。
11.如权利要求5-7任意一项所述的硅片收片机构,其特征在于,所述硅片收片机构还包括升降立板和竖向导轨,所述升降立板固定设置在所述第一安装架上,所述竖向导轨竖向固定在所述升降立板上;所述连接板上还设置有从动凸轮,当所述第一料盒单元沿所述第一导向部升降时,所述从动凸轮沿所述竖向导轨升降。
12.如权利要求11所述的硅片收片机构,其特征在于,所述硅片收片机构还包括斜坡,所述斜坡设置在所述第一安装架上,且所述斜坡的斜面向所述竖向导轨的方向抬升。
13.如权利要求1所述的硅片收片机构,其特征在于,所述第一料盒单元和所述第二料盒单元的结构相同,均包括一个料盒、料盒安装板和固定托板,所述料盒倾斜固定在所述料盒安装板上,所述料盒安装板滑动设置在所述固定托板上;
所述料盒安装板的一端设置有抽拉把手,所述固定托板远离所述抽拉把手的一端固定设置有磁铁,所述料盒安装板远离所述抽拉把手的一端与所述磁铁相互吸引。
14.如权利要求13所述的硅片收片机构,其特征在于,所述硅片收片机构还包括第二安装架和第二气缸,所述第二料盒单元滑动设置在所述第二安装架上,所述第二气缸的驱动端与所述第二料盒单元固定连接,用于驱动所述第二料盒单元在所述第二安装架上升降。
15.一种硅片收片装置,其特征在于,所述硅片收片装置包括硅片输送线、直流料盒和若干个对称设置在所述硅片输送线两侧的如权利要求1-14任意一项所述的硅片收片机构,所述第一料盒单元对称设置在靠近所述硅片输送线的内侧且能够在所述切换单元的驱动下从所述第一收片位运动到位于所述第二料盒单元正下方的第一取片位,所述第二料盒单元对称设置在远离所述硅片输送线的外侧,所述直流料盒位于所述硅片输送线的输出端。
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