CN219432536U - 一种半导体尾气管道快速止回阀装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体尾气管道快速止回阀装置，包括装置本体，所述装置本体包括上进气管、下进气管和快速打开、闭合装置，所述上进气管安装在快速打开、闭合装置顶部，所述下进气管安装在快速打开、闭合装置底部；所述快速打开、闭合装置包括安装箱、气缸驱动器、连接杆和阀板，所述安装箱呈矩形状结构且内部为中空式结构，所述气缸驱动器、连接杆和阀板均安装在安装箱内，所述气缸驱动器驱动端与连接杆后端相连接，所述连接杆前端通过螺丝与阀板后端相连接。该种半导体尾气管道快速止回阀装置通过阀板的设计，使动作更迅速，密封更可靠，可控。

Description

一种半导体尾气管道快速止回阀装置

技术领域

本实用新型涉及废气处理设备技术领域，具体为一种半导体尾气管道快速止回阀装置。

背景技术

在泛半导体行业生产过程中，大量使用化学品和特殊气体，生产环节持续产生大量有毒有害气体的工艺废气。工艺废气需要与生产工艺同步进行收集、治理和排放，废气处理设备是生产工艺中不可分割的组成部分，其安全稳定性直接关系到产能利用率、产品良率、员工职业健康及生态环境。

现有的半导体废气处理设备有如下缺陷：

现有半导体废气处理设备在对废气管道进行打开时是通过阀门进行打开，而现有阀门打开速度、关闭慢，且密封不紧密，还不可控，从而影响工作人员进行使用，还影响对废气的处理。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种半导体尾气管道快速止回阀装置，解决了现有半导体废气处理设备在对废气管道进行打开时是通过阀门进行打开，而现有阀门打开速度、关闭慢，且密封不紧密，还不可控，从而影响工作人员进行使用，还影响对废气的处理的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种半导体尾气管道快速止回阀装置，包括装置本体，所述装置本体包括上进气管、下进气管和快速打开、闭合装置，所述上进气管安装在快速打开、闭合装置顶部，所述下进气管安装在快速打开、闭合装置底部；

优选的，所述快速打开、闭合装置包括安装箱、气缸驱动器、连接杆和阀板，所述安装箱呈矩形状结构且内部为中空式结构，所述气缸驱动器、连接杆和阀板均安装在安装箱内，所述气缸驱动器驱动端与连接杆后端相连接，所述连接杆前端通过螺丝与阀板后端相连接。

优选的，所述安装箱前端顶部和底部均开设有安装口，所述安装口呈圆形结构。

优选的，所述上进气管底部和下进气管顶部均设有连接垫片，所述连接垫片呈圆环状结构，所述连接垫片外侧设有密封垫圈，所述密封垫圈呈圆环状结构且为橡胶材质。

优选的，所述上进气管顶部和下进气管底部均设有连接块，所述连接块呈圆环状结构，所述连接块内侧开设有嵌合凹槽，所述嵌合凹槽呈圆形结构。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种半导体尾气管道快速止回阀装置。具备以下有益效果：

该种半导体尾气管道快速止回阀装置包括管道部分和阀板结构，阀体打开时，阀板收缩，阀体关闭时，阀板运行将近管道中间还会向前，利用向前的推力驱动机械结构自动将阀板撑开，将管道密封，不会因为管道的中的压差导致阀板松动漏气，相比传统的技术，本实用新型通过阀板的设计，使动作更迅速，密封更可靠，可控。

本装置可以用电机驱动，也可以用气缸驱动，安装电控装置，配合泵类或其它半导体设备连接通讯线，如果配合设备有异常情况，会立刻将阀体关闭，做到及时联动，避免因管道内气体瞬间波动气压变化，导致生产产品出现不良或报废。

附图说明

图1为本实用新型整体的结构示意图；

图2为本实用新型整体内部的结构示意图；

图3为本实用新型整体的俯视图。

图中，1、装置本体；2、上进气管；3、下进气管；4、快速打开、闭合装置；5、连接垫片；6、密封垫圈；7、连接块；8、嵌合凹槽；9、安装箱；10、气缸驱动器；11、连接杆；12、阀板；13、安装口。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型实施例提供一种技术方案：一种半导体尾气管道快速止回阀装置，包括装置本体1，所述装置本体1包括上进气管2、下进气管3和快速打开、闭合装置4，所述上进气管2安装在快速打开、闭合装置4顶部，所述下进气管3安装在快速打开、闭合装置4底部；

所述快速打开、闭合装置4包括安装箱9、气缸驱动器10、连接杆11和阀板12，所述安装箱9呈矩形状结构且内部为中空式结构，所述气缸驱动器10、连接杆11和阀板12均安装在安装箱9内，所述气缸驱动器10驱动端与连接杆11后端相连接，所述连接杆11前端通过螺丝与阀板12后端相连接，在使用时，工作人员对上进气管2和下进气管3之间的通道进行打开，工作人员启动快速打开、闭合装置4，从而快速打开、闭合装置4内的气缸驱动器10进行启动，从而对前端的连接杆11进行向后拉动，进一步使阀板12的位置后移，从而对上进气管2和下进气管3之间的通道进行打开，使废气进行流通，在关闭时，工作人员驱动气缸驱动器10，气缸驱动器10对连接杆11进行推动，连接杆11推动阀板12进行向前运动，进一步对上进气管2和下进气管之3之间的通道进行堵住，从而达到关闭的目的。

所述安装箱9前端顶部和底部均开设有安装口13，所述安装口13呈圆形结构，安装箱9顶部的安装口13是为了便于对上进气管2进行连接，而安装箱9底部的安装口13是为了便于下进气管3的连接。

所述上进气管2底部和下进气管3顶部均设有连接垫片5，所述连接垫片5呈圆环状结构，所述连接垫片5外侧设有密封垫圈6，所述密封垫圈6呈圆环状结构且为橡胶材质，上进气管2和下进气管3的连接垫片5是为了便于固定在安装箱9的安装口13，而连接垫片5底部的密封前端6是为了提高连接的紧密度，防止废气泄漏的情况发生。

所述上进气管2顶部和下进气管3底部均设有连接块7，所述连接块7呈圆环状结构，所述连接块7内侧开设有嵌合凹槽8，所述嵌合凹槽8呈圆形结构，上进气管3和下进气管3的连接块7可以便于对外接管道进行连接，而外接管道的管道口可以插入嵌合凹槽8内，进一步就可以提高对外接管道连接的紧密度。

工作原理：作业时，工作人员对上进气管2和下进气管3之间的通道进行打开，工作人员启动快速打开、闭合装置4，从而快速打开、闭合装置4内的气缸驱动器10进行启动，从而对前端的连接杆11进行向后拉动，进一步使阀板12的位置后移，从而对上进气管2和下进气管3之间的通道进行打开，使废气进行流通，在关闭时，工作人员驱动气缸驱动器10，气缸驱动器10对连接杆11进行推动，连接杆11推动阀板12进行向前运动，进一步对上进气管2和下进气管之3之间的通道进行堵住，从而达到关闭的目的。

本实用新型的1、装置本体；2、上进气管；3、下进气管；4、快速打开、闭合装置；5、连接垫片；6、密封垫圈；7、连接块；8、嵌合凹槽；9、安装箱；10、气缸驱动器；11、连接杆；12、阀板；13、安装口，部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知，本实用新型解决的问题是现有阀门打开速度、关闭慢，且密封不紧密，还不可控，从而影响工作人员进行使用，还影响对废气的处理的问题，本实用新型通过上述部件的互相组合，可以通过阀板的设计，使动作更迅速，密封更可靠，可控。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点,对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (4)

1.一种半导体尾气管道快速止回阀装置，其特征在于：包括装置本体(1)，所述装置本体(1)包括上进气管(2)、下进气管(3)和快速打开、闭合装置(4)，所述上进气管(2)安装在快速打开、闭合装置(4)顶部，所述下进气管(3)安装在快速打开、闭合装置(4)底部；

所述快速打开、闭合装置(4)包括安装箱(9)、气缸驱动器(10)、连接杆(11)和阀板(12)，所述安装箱(9)呈矩形状结构且内部为中空式结构，所述气缸驱动器(10)、连接杆(11)和阀板(12)均安装在安装箱(9)内，所述气缸驱动器(10)驱动端与连接杆(11)后端相连接，所述连接杆(11)前端通过螺丝与阀板(12)后端相连接。

2.根据权利要求1所述的一种半导体尾气管道快速止回阀装置，其特征在于：所述安装箱(9)前端顶部和底部均开设有安装口(13)，所述安装口(13)呈圆形结构。

3.根据权利要求1所述的一种半导体尾气管道快速止回阀装置，其特征在于：所述上进气管(2)底部和下进气管(3)顶部均设有连接垫片(5)，所述连接垫片(5)呈圆环状结构，所述连接垫片(5)外侧设有密封垫圈(6)，所述密封垫圈(6)呈圆环状结构且为橡胶材质。

4.根据权利要求1所述的一种半导体尾气管道快速止回阀装置，其特征在于：所述上进气管(2)顶部和下进气管(3)底部均设有连接块(7)，所述连接块(7)呈圆环状结构，所述连接块(7)内侧开设有嵌合凹槽(8)，所述嵌合凹槽(8)呈圆形结构。