CN219379658U - 一种带调节结构的晶圆储存盒组装机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种带调节结构的晶圆储存盒组装机构，包括支撑架，在所述支撑架的顶部上安装有安装架，所述支撑架的顶部侧边设置有调节机构，该调节机构包括：导向组件，一端固定在支撑架的顶端面上，另一端朝向支撑架的内侧倾斜延伸；调节组件，该调节组件由滑动件和调节件构成，其中滑动件安装在导向组件的底部，并与所述支撑架平面贴合，所述调节件设置在导向组件内；通过设计的调节机构，能够将上盖和底座的位置进行对齐调整，保证后期按压组装不会对晶圆盒造成损坏，有效提升了成品率，同时调节机构能够根据不同尺寸的晶圆盒做出对应调节，整体灵活性较高，完善了现有组装机构在组装中存在的不足。

Description

一种带调节结构的晶圆储存盒组装机构

技术领域

本实用新型属于晶圆储存盒加工技术领域，具体涉及一种带调节结构的晶圆储存盒组装机构。

背景技术

现有的光刻设备等一些晶圆加工设备中，其需要将晶圆多个放置的密封的储存盒中，一般的晶圆储存盒分为一体式注塑成型的上盖和底座，在前期生产组装中，会将上盖和底座组合连接完成安装。

由于组装机构自身不具备对上盖和底座的调节结构，因此在对储存盒组装中，需要人工将上盖和底座进行对齐放置在传输带上，一旦出现上盖与底座偏差较大，容易在后期的组装中造成安装失败，导致产生报废，因此现有的组装机构成品率较低，现有处理方式是对晶圆盒的上盖和底座上增设导向结构，方便前期工作人员的对齐，然而该种方式仍无法避免上述安装失败的问题，同时还增加了成本消耗，故在实际组装中，存在可改进的空间。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种带调节结构的晶圆储存盒组装机构，以解决上述背景技术中提出的现有组装机构上不具备对上盖和底座的位置做出调节功能的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种带调节结构的晶圆储存盒组装机构，包括支撑架，在所述支撑架的顶部上安装有安装架，所述支撑架的顶部侧边设置有调节机构，该调节机构包括：

导向组件，一端固定在支撑架的顶端面上，另一端朝向支撑架的内侧倾斜延伸；

调节组件，该调节组件由滑动件和调节件构成，其中滑动件安装在导向组件的底部，并与所述支撑架平面贴合，所述调节件设置在导向组件内。

优选的，所述导向组件包括两组对称设置在支撑架两侧的调节板，每组调节板的数量为两个，所述调节板另一端朝向安装架的方向延伸。

优选的，所述调节件包括连接柱，所述连接柱由上自下依次由调节柱、螺纹套以及固定柱构成；所述固定柱的顶部内嵌至螺纹套内，且两者螺纹连接，所述调节柱的底部形成有柱状体，而螺纹套的顶部通过弯折与柱状体交错限位。

优选的，所述滑动件包括固定在底部位置调节板外侧的安装框板，所述安装框板整体呈型结构并套设在安装架上，且安装框板的内侧底端面上开设有螺孔，在螺孔的内部贯穿有螺栓，螺栓与安装架的侧边底端面相抵。

优选的，所述安装框板的内侧上下面处开设有槽，在槽的内部内嵌有磁块，所述磁块与安装架磁连接。

优选的，所述安装架的顶部安装有气缸一，所述安装架的侧边安装有气缸二，在安装架的内侧还设置有海绵块，该海绵块与气缸二的输出端连接。

优选的，所述支撑架的内侧还安装有传输带，所述气缸一的输出端处于所述传输带的中点正上方。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

通过设计的调节机构，能够将上盖和底座的位置进行对齐调整，保证后期按压组装不会对晶圆盒造成损坏，有效提升了成品率，同时调节机构能够根据不同尺寸的晶圆盒做出对应调节，整体灵活性较高，完善了现有组装机构在组装中存在的不足。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型连接机构的组成示意图；

图3为本实用新型安装框板的结构示意图。

图中：100、安装架；101、气缸一；102、气缸二；102a、海绵块；200、支撑架；201、传输带；202、调节板；203、连接柱；203a、固定柱；203b、螺纹套；203c、调节柱；204、安装框板；204a、螺孔；204b、磁块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1

请参阅图1至图3，本实用新型提供了一种技术方案：一种带调节结构的晶圆储存盒组装机构，包括支撑架200，在支撑架200的顶部上安装有安装架100，支撑架200的顶部侧边设置有调节机构，该调节机构包括：

导向组件，一端固定在支撑架200的顶端面上，另一端朝向支撑架200的内侧倾斜延伸，在上盖和底盖进料时，能够将两者的位置调节，实现对齐；

调节组件，该调节组件由滑动件和调节件构成，其中滑动件安装在导向组件的底部，能够带动导向组件进行移动，并与支撑架200平面贴合，调节件设置在导向组件内。

本实施例中，优选的，导向组件包括两组对称设置在支撑架200两侧金属材质的调节板202，每组调节板202的数量为两个且厚度为2mm，在后期受压后能够出现形变，调节板202另一端的倾斜角度应当根据晶圆储存盒的体积做出调节，优选的调节板202内侧倾斜角度为135°，该调节板202另一端朝向安装架100的方向延伸，在组装中，当上盖和底座传输至调节板202的内部时，可以通过调节板202实现调节，保证上盖和底座对齐，处于同一竖直面上，方便后期的组装。

本实施例中，优选的，调节件包括采用不锈钢材质加工制成的圆柱体结构的连接柱203，连接柱203由上自下依次由调节柱203c、螺纹套203b以及固定柱203a构成；固定柱203a的直径应当小于调节板202的宽度，固定柱203a的直径为1.5mm，固定柱203a的顶部内嵌至螺纹套203b内，且两者螺纹连接，调节柱203c的底部形成有直径大于调节柱203c直径的柱状体，而螺纹套203b的顶部通过弯折与柱状体交错限位，在安装中，先将调节柱203c顶部从螺纹套203b内部贯穿，再将调节柱203c的顶部焊接在顶部位置的调节板202上即可，当需要调节的晶圆储存盒体积较大时，将螺纹套203b朝向远离固定柱203a的方向转动，203d回弹，将调节柱203c顶起，从而实现高度调节。

本实施例中，优选的，滑动件包括固定在底部位置调节板202外侧的安装框板204，安装框板204同样采用与调节板202相同材质的金属件构成，并且两者的端部通过焊接的方式实现固定，安装框板204整体呈C型结构并套设在安装架100上，当需要调节位置时，可以将安装框板204在安装架100上滑动，且安装框板204的内侧底端面上开设有螺孔204a，在螺孔204a的内部贯穿有螺栓，螺栓与安装架100的侧边底端面相抵完成安装，安装框板204的内侧上下面处开设有2mm的槽，在槽的内部内嵌有磁块204b，磁块204b与安装架100磁连接，实现辅助连接。

本实施例中，优选的，支撑架200的内侧还安装有用于传输晶圆盒的传输带201，气缸一101的输出端处于传输带201的中点正上方。

实施例2

请参阅图1，本实用新型提供了一种技术方案：安装架100的顶部安装有用于将上盖和底座压合完成组装的气缸一101，安装架100的侧边安装有气缸二102，在安装架100的内侧还设置有海绵块102a，该海绵块102a与气缸二102的输出端连接，当上盖和底座被调节板202导向调节后，还可以通过海绵块102a进一步实现夹持限位，随后再通过气缸一101实现组装。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种带调节结构的晶圆储存盒组装机构，包括支撑架（200），在所述支撑架（200）的顶部上安装有安装架（100），其特征在于：所述支撑架（200）的顶部侧边设置有调节机构，该调节机构包括：

导向组件，一端固定在支撑架（200）的顶端面上，另一端朝向支撑架（200）的内侧倾斜延伸；

调节组件，该调节组件由滑动件和调节件构成，其中滑动件安装在导向组件的底部，并与所述支撑架（200）平面贴合，所述调节件设置在导向组件内。

2.根据权利要求1所述的一种带调节结构的晶圆储存盒组装机构，其特征在于：所述导向组件包括两组对称设置在支撑架（200）两侧的调节板（202），每组调节板（202）的数量为两个，所述调节板（202）另一端朝向安装架（100）的方向延伸。

3.根据权利要求1所述的一种带调节结构的晶圆储存盒组装机构，其特征在于：所述调节件包括连接柱（203），所述连接柱（203）由上自下依次由调节柱（203c）、螺纹套（203b）以及固定柱（203a）构成；所述固定柱（203a）的顶部内嵌至螺纹套（203b）内，且两者螺纹连接，所述调节柱（203c）的底部形成有柱状体，而螺纹套（203b）的顶部通过弯折与柱状体交错限位。

4.根据权利要求1所述的一种带调节结构的晶圆储存盒组装机构，其特征在于：所述滑动件包括固定在底部位置调节板（202）外侧的安装框板（204），所述安装框板（204）整体呈C型结构并套设在安装架（100）上，且安装框板（204）的内侧底端面上开设有螺孔（204a），在螺孔（204a）的内部贯穿有螺栓，螺栓与安装架（100）的侧边底端面相抵。

5.根据权利要求4所述的一种带调节结构的晶圆储存盒组装机构，其特征在于：所述安装框板（204）的内侧上下面处开设有槽，在槽的内部内嵌有磁块（204b），所述磁块（204b）与安装架（100）磁连接。

6.根据权利要求1所述的一种带调节结构的晶圆储存盒组装机构，其特征在于：所述安装架（100）的顶部安装有气缸一（101），所述安装架（100）的侧边安装有气缸二（102），在安装架（100）的内侧还设置有海绵块（102a），该海绵块（102a）与气缸二（102）的输出端连接。

7.根据权利要求6所述的一种带调节结构的晶圆储存盒组装机构，其特征在于：所述支撑架（200）的内侧还安装有传输带（201），所述气缸一（101）的输出端处于所述传输带（201）的中点正上方。