CN219342378U - 一种托杆与托盘组装结构及单晶炉支撑装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种托杆与托盘组装结构，所述托杆位于托盘的下方，所述托杆与托盘通过螺纹连接。所述托杆与托盘通过螺纹连接具体为：在所述托盘的中心设置一个孔，所述孔的内周面设置内螺纹，所述托杆的上端外周面设置外螺纹，所述托杆的上端通过螺纹旋转嵌入于所述托盘。在所述托盘的上表面设置一个螺钉，所述螺钉连接所述孔的内周面与所述托杆的上端外周面用于二次加固。在所述托杆的外周面设置支撑托盘，托盘底面平行并相搭接在所述支撑托盘的上部。本实用新型的托杆与托盘组装结构可有效地减少高温下托盘被托杆胀裂破损现象的产生，使各部位更加牢固，各部分零件可进行更换，减少石墨件损失，延长使用寿命。

Description

一种托杆与托盘组装结构及单晶炉支撑装置

技术领域

本实用新型涉及单晶硅制造技术领域，具体涉及一种托杆与托盘组装结构及单晶炉。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。

单晶炉主要包括炉体、坩埚、坩埚托架、加热器和控制装置等。目前，现有市场上单晶炉的所使用的坩埚托架大多为整体式结构，其整体式结构制造成本过高；同时加工时间长，导致交货时间增加，出现损坏情况难以进行返修。在现有的一些分离式坩埚托架中，由于托杆与托盘之间的组装采用三个石墨销钉进行拼接而成，因公差问题和热胀冷缩问题会导致托盘撑裂，从而砸坏底部的加热器，造成石墨件损失严重，影响车间开炉进度和工作进度，并且无法返修。

实用新型内容

本实用新型的目的之一在于提供一种托杆与托盘组装结构，通过在托杆与托盘螺纹连接，托盘与托杆之间设置一个螺钉，解决了因公差问题和热胀冷缩导致托盘撑裂，组装不牢固，无法返修的问题。

本实用新型的目的之二在于提供一种单晶炉支撑装置，通过所述单晶炉进行单晶硅制备程序。

为解决上述技术问题，本实用新型采用了以下方案：

一种托杆与托盘组装结构，包括托杆和托盘，所述托杆位于托盘的下方，所述托杆与托盘通过螺纹连接。

优选地，所述托杆与托盘通过螺纹连接具体为：在所述托盘的底面中心设置一个孔，所述孔的内周面设置内螺纹，所述托杆的上端外周面设置外螺纹，所述托杆的上端通过螺纹旋转嵌入于托盘底面所述的孔中。

优选地，在所述托盘的上表面设置一个螺钉，所述螺钉连接所述孔的内周面与所述托杆的上端外周面用于二次加固。

优选地，在所述托杆的外周面设置支撑托盘，所述托盘的底面平行并搭接在所述支撑托盘的上部。

优选地，所述托杆与支撑托盘为一体结构，所述支撑托盘平行于托盘的面为圆形。

优选地，所述托杆、托盘和螺钉为石墨材质。

一种单晶炉支撑装置，包括坩埚、托杆和托盘，坩埚置于托盘上部，托盘置于托杆上部。

本实用新型的有益效果：

1、在本实用新型所述的一种托杆与托盘组装结构中，托杆与托盘进行螺纹连接，由于螺纹本身存在缝隙，极大地减少了因为公差和热胀冷缩导致托盘被托杆胀裂现象的发生。

2、在本实用新型所述的一种托杆与托盘组装结构中，螺钉的设置使托杆与托盘之间的组装更加牢固，各部分零件可进行更换，减少石墨件损失，延长使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型的俯视图；

图2为本实用新型的剖视图。

附图标记：1-托盘，2-螺钉，3-托杆，4-支撑托盘。

具体实施方式

下面结合实施例及附图，对本实用新型作进一步的详细说明，但本实用新型的实施方式不限于此。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖向”、“纵向”、“侧向”、“水平”、“内”、“外”、“前”、“后”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“开有”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

图1和图2为本实用新型的具体实施例。如图1和图2所示，在一种托杆3和托盘1组装结构中，包括托杆3和托盘1，托杆3位于托盘1的下方，托杆3与托盘1进行螺纹连接。在使用过程中，随着加热器温度的增加，托盘1和托杆3的温度也会随之增加，由于托杆3位于托盘1的中心位置，托杆3的热胀冷缩效应大于托盘1。由于托盘1与托杆3的连接方式为螺纹连接，并且螺纹自身存在缝隙，能够减少因热胀冷缩效应而导致托盘1被托杆3胀裂破损现象的发生。

在托盘1的底面中心位置设置一个孔，其孔的内表面设置一个内螺纹。在托杆3上端的外周面设置一个外螺纹。托杆3以托杆3上端外周面的外螺纹通过托盘1底面中心设置的孔的内螺纹进行螺纹连接。

进一步地，在托盘1的上表面设置一个螺钉2，螺钉2将托盘1底面中心孔的内周面与托杆3上端的外周面连接，对托杆3与托盘1之间的组装结构起二次加固的作用，同时螺钉2可拆卸构造能实现各别零件的返修，进而延长托杆3与托架的使用寿命。

进一步地，在托杆3的外周面设置一个支撑托盘4，托盘1与支撑托盘4相平行并搭接在支撑托盘4的上部。在支撑托盘4的作用下，可以更好地承接托盘1，从而达到整体的稳固。在托盘1直径范围内，可以根据具体的实际情况选择合适的支撑托盘4尺寸，支撑托盘4的尺寸越大，支撑托盘4与托盘1底面的接触面积越大，二者之间越稳固。

进一步地，托杆3与支撑托盘4为一体式结构，支撑托盘4平行于托盘1的面为圆形。有利于增强托盘1与托杆3之间的牢固性，使位于托盘1上方的坩埚更加的稳固，减少因不牢固而发生损伤影响工作进度。

进一步地，托杆3、托盘1和螺钉2均为石墨材质。

基于上述的托杆3和托盘1组装结构，本实用新型还提供一种单晶炉。

一种单晶炉支撑装置，包括坩埚、托盘1和托杆3，坩埚置于托盘1的上部，托盘1置于托杆3的上部。托盘1与托杆3螺纹连接，在托杆3与托盘1之间设置一个螺钉2，用于二次加固，同时，在托杆3的外周面设置支撑托盘4，进一步增强托杆3与托盘1之间的组装牢固性，有效地减少由于热胀冷缩导致托盘1被托杆3胀裂破损现象的产生，延长使用寿命。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，依据本实用新型的技术实质，在本实用新型的精神和原则之内，对以上实施例所作的任何简单的修改、等同替换与改进等，均仍属于本实用新型技术方案的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种托杆与托盘组装结构，包括托杆(3)和托盘(1)，其特征在于，所述托杆(3)位于托盘(1)的下方，所述托杆(3)与托盘(1)通过螺纹连接。

2.根据权利要求1所述的一种托杆与托盘组装结构，其特征在于，所述托杆(3)与托盘(1)通过螺纹连接具体为：在所述托盘(1)的底面中心设置一个孔，所述孔的内周面设置内螺纹，所述托杆(3)的上端外周面设置外螺纹，所述托杆(3)的上端通过螺纹旋转嵌入于托盘(1)底面所述的孔中。

3.根据权利要求2所述的一种托杆与托盘组装结构，其特征在于，在所述托盘(1)的上表面设置一个螺钉(2)，所述螺钉(2)连接所述孔的内周面与所述托杆(3)的上端外周面用于二次加固。

4.根据权利要求2所述的一种托杆与托盘组装结构，其特征在于，在所述托杆(3)的外周面设置支撑托盘(4)，所述托盘(1)的底面平行并搭接在所述支撑托盘(4)的上部。

5.根据权利要求4所述的一种托杆与托盘组装结构，其特征在于，所述托杆(3)与支撑托盘(4)为一体结构，所述支撑托盘(4)平行于托盘(1)的面为圆形。

6.根据权利要求4所述的一种托杆与托盘组装结构，其特征在于，所述托杆(3)、托盘(1)和螺钉(2)为石墨材质。

7.一种单晶炉支撑装置，包括坩埚、托杆(3)和托盘(1)，其特征在于，坩埚置于托盘(1)上部，托盘(1)置于托杆(3)上部。

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