CN219321304U - 一种晶圆片旋转机构 - Google Patents
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Abstract
本申请涉及一种晶圆片旋转机构，通过相互传动连接的第一旋转轴、第二旋转轴、第三旋转轴和第四旋转轴将动力从第一支撑安装板上的一端传递到第三支撑安装板上，从而实现了晶圆在晶圆容纳盒内的转动，也即，晶圆容纳盒内的晶圆可以在清洗时或者干燥时发生转动，使晶圆在晶圆容纳盒内的位置发生改变，通过晶圆面发生转动，晶圆面相对于晶圆容纳盒发生改变，比如被晶圆容纳盒底部阻挡的部分在晶圆旋转后被转动到上方以不受阻碍，从而提高清洗或者干燥效果。
Description
技术领域
本申请属于晶圆生产设备技术领域，尤其是涉及一种晶圆片旋转机构。
背景技术
晶圆的清洗干燥分为无篮处理和有篮处理，有篮处理即是将晶圆置于晶圆容纳盒中，之后由相关组件将晶圆容纳盒连通晶圆一起送入槽体内以完成清洗或者干燥处理，CN214753665U公开了一种载体摆动机构和处理设备，其中载体摆动机构包括：摆动平台，摆动平台的底部设有摆动轴；动力组件；传动组件，传动组件的两端分别连接动力组件和摆动平台，动力组件用于通过传动组件带动摆动平台绕摆动轴摆动。本实用新型的技术方案中，动力组件能够通过传动组件驱动摆动平台摆动，即摆动平台能够相对处理槽进行摆动，放置在摆动平台上的待处理件可以按要求做往复的倾斜角度变化，使待处理件在处理槽内能够按预设方向倾斜，从而达到动态清洗的目的。然而，受到晶圆盒对水流和气流的阻碍作用，如果晶圆在晶圆盒内的位置保持不变，那么必然也会存在这一定的死区，导致清洗效果不高。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种能够改变晶圆片在晶圆盒内位置的晶圆片旋转机构。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种晶圆片旋转机构，包括：
支撑安装组件，包括成Z形布置的依次连接的第一支撑安装板、第二支撑安装板和第三支撑安装板，其中第一支撑安装板水平布置，第三支撑安装板用于放置晶圆容纳盒；
旋转驱动组件，分别设置在第一支撑安装板、第二支撑安装板和第三支撑安装板上的第一旋转轴、第二旋转轴和第三旋转轴，第一旋转轴与第二旋转轴之间、第二旋转轴与第三旋转轴之间通过传动件连接，所述第三旋转轴表面设置有接触层，接触层用于与晶圆底部接触，在所述第三旋转轴旋转时带动晶圆一同旋转。
优选地，本实用新型的晶圆片旋转机构，包括：所述传动件为直角齿轮传动副。
优选地，本实用新型的晶圆片旋转机构，所述第三旋转轴和第四旋转轴均位于第三支撑安装板的顶面。
优选地，本实用新型的晶圆片旋转机构，第四旋转轴为平行的两根，两个所述第四旋转轴上的第二直齿轮与第一直齿轮共同啮合以实现共同转动。
优选地，本实用新型的晶圆片旋转机构，接触层的外轮廓的形状为凸轮或者椭圆形。
优选地，本实用新型的晶圆片旋转机构，所述第四旋转轴上的接触层的外轮廓的形状为凸轮或者椭圆形。
优选地，本实用新型的晶圆片旋转机构，两个第四旋转轴上的接触层的外轮廓的长轴相互垂直，或者形成一定的夹角。
优选地，本实用新型的晶圆片旋转机构，接触层的材料为PTFE材料。
优选地，本实用新型的晶圆片旋转机构，第三支撑安装板为水平布置或者倾斜布置。
优选地，本实用新型的晶圆片旋转机构，第四旋转轴旋转时，能够沿其轴向摆动。
本实用新型的有益效果是：
本实用新型的晶圆片旋转机构，通过相互传动连接的第一旋转轴、第二旋转轴、第三旋转轴和第四旋转轴将动力从第一支撑安装板上的一端传递到第三支撑安装板上，从而实现了晶圆在晶圆容纳盒内的转动，也即，晶圆容纳盒内的晶圆可以在清洗时或者干燥时发生转动，使晶圆在晶圆容纳盒内的位置发生改变，通过晶圆面发生转动，晶圆面相对于晶圆容纳盒发生改变，比如被晶圆容纳盒底部阻挡的部分在晶圆旋转后被转动到上方以不受阻碍，从而提高清洗或者干燥效果。
附图说明
下面结合附图和实施例对本申请的技术方案进一步说明。
图1是本申请实施例的晶圆片旋转机构置入槽内时的结构示意图；
图2是本申请实施例的晶圆片旋转机构的结构示意图；
图3是图2中隐藏了晶圆容纳盒的结构示意图；
图4是晶圆片旋转机构升降的示意图；
图5是图1中晶圆片旋转机构的俯视图。
图6是图1中晶圆片旋转机构另一个方向的立体图；
图中的附图标记为：
1 支撑安装组件；
2 旋转驱动组件；
8 槽体；
9 晶圆容纳盒；
11 第一支撑安装板；
12 第二支撑安装板；
13 第三支撑安装板；
21 第一旋转轴；
22 第二旋转轴；
23 第三旋转轴；
24 第四旋转轴；
25 第一直角齿轮传动副；
26 第二直角齿轮传动副；
27 第二直齿轮；
28第一直齿轮；
241接触层。
具体实施方式
需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请保护范围的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请的技术方案。
实施例
本实施例提供一种晶圆片旋转机构，如图1所示，包括：
支撑安装组件1，包括成Z形布置的依次连接的第一支撑安装板11、第二支撑安装板12和第三支撑安装板13，其中第一支撑安装板11水平布置，第三支撑安装板13用于放置晶圆容纳盒9，Z形布置的第一支撑安装板11、第二支撑安装板12和第三支撑安装板13方便第三支撑安装板13进出槽体8；
旋转驱动组件2，分别设置在第一支撑安装板11、第二支撑安装板12和第三支撑安装板13上的第一旋转轴21、第二旋转轴22和第三旋转轴23，第一旋转轴21与第二旋转轴22之间、第二旋转轴22与第三旋转轴23之间通过传动件连接，所述第三旋转轴23与设置在第三支撑安装板13上的第四旋转轴24传动连接，第四旋转轴24的表面与晶圆底部接触，在所述第四旋转轴24旋转时带动晶圆一同旋转。
本实施例的晶圆片旋转机构，通过相互传动连接的第一旋转轴21、第二旋转轴22、第三旋转轴23和第四旋转轴24将动力从第一支撑安装板11上的一端传递到第三支撑安装板13上，从而实现了晶圆在晶圆容纳盒9内的转动，也即，晶圆容纳盒9内的晶圆可以在清洗时或者干燥时发生转动，使晶圆在晶圆容纳盒9内的位置发生改变，通过晶圆面发生转动，晶圆面相对于晶圆容纳盒9发生改变，比如被晶圆容纳盒9底部阻挡的部分在晶圆旋转后被转动到上方以不受阻碍，从而提高清洗或者干燥效果。
第一旋转轴21与电机连接，电机在图上被省略了，按照通常的布置即可。
进一步地，第三旋转轴23和第四旋转轴24均位于第三支撑安装板13的顶面。作为替代的实施方式，第三旋转轴23和第四旋转轴24分别位于第三支撑安装板13的底面和顶面，第三支撑安装板13上开设有通孔，以供第三旋转轴23上的第一直齿轮28穿过以与第四旋转轴24上的第二直齿轮27啮合。
进一步地，传动件为直角齿轮传动副，也即第一旋转轴21、第二旋转轴22和第三旋转轴23的传动连接位置设置直角齿轮，通过啮合的直角齿轮以实现90°角的传动效果。
进一步地，第四旋转轴24为平行的两根，以对晶圆底部进行两点接触。
进一步地，两个所述第四旋转轴24上的第二直齿轮27与第一直齿轮28共同啮合以实现共同转动。
进一步地，接触层241的外轮廓的形状为椭圆形(或者凸轮)，以使得晶圆在转动时具有一定的起伏，但是椭圆的长轴和短轴之间的差值不宜过大，因晶圆的厚度和晶圆容纳盒的摩擦阻力有关，需要保证晶圆在起伏时不发生损坏即可。
进一步地，两个第四旋转轴24上的接触层241的外轮廓的长轴相互垂直，或者形成一定的夹角，只要不平行即可。这里的长轴是指椭圆额长轴，两个长轴不共线的椭圆在共同转动时，能够使晶圆的两侧的升降高度不同，从而加强抖动效果。
第四旋转轴24上表面具有的接触层241的材料优选为PTFE，当然，支撑安装组件1、旋转驱动组件2中的所有部件均为塑料材质，以防止某些对金属具有腐蚀作用的清洗液的腐蚀。
如图4所示，由其他部件带动支撑安装组件1升降而实现晶圆容纳盒9进出干燥槽或者清洗槽。如图3所示，第三支撑安装板13上设置的若干定位块以定位两个并列设置的晶圆容纳盒9。
进一步地，第三支撑安装板13可以是水平布置也可以是倾斜布置，此时，第二支撑安装板12和第三支撑安装板13的连接齿轮需要根据倾斜角度做出对应的调整。
需要说明的是，第一旋转轴21、第二旋转轴22、第三旋转轴23和第四旋转轴24均通过一系列的轴承安装在第一支撑安装板11、第二支撑安装板12和第三支撑安装板13上。第一直角齿轮传动副25和第二直角齿轮传动副26分别用于第一旋转轴21与第二旋转轴22之间、第二旋转轴22与第三旋转轴23之间的传动。
作为一种可选的实施方式，第四旋转轴24旋转时，能够沿其轴向摆动(在一定范围内来回运动)，由于是直齿轮的传动方式，在直齿轮宽度范围内的摆动不会影响传动效果，且摆动范围不能超过晶圆容纳盒9内单个晶圆片的容纳位宽度。具体实现轴向摆动的方式有多种，其中一种为在第四旋转轴24一端增加弹性件以实现轴向运动效果。这样能够使得晶圆在第四旋转轴24轴向上也增加一个运动效果。
支撑安装组件1的一端连接到摆动机构上，也可以实现晶圆的摆动效果。
以上述依据本申请的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项申请技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项申请的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
Claims (10)
1.一种晶圆片旋转机构，其特征在于，包括：
支撑安装组件(1)，包括成Z形布置的依次连接的第一支撑安装板(11)、第二支撑安装板(12)和第三支撑安装板(13)，其中第一支撑安装板(11)水平布置，第三支撑安装板(13)用于放置晶圆容纳盒(9)；
旋转驱动组件(2)，分别设置在第一支撑安装板(11)、第二支撑安装板(12)和第三支撑安装板(13)上的第一旋转轴(21)、第二旋转轴(22)和第三旋转轴(23)，第一旋转轴(21)与第二旋转轴(22)之间、第二旋转轴(22)与第三旋转轴(23)之间通过传动件连接，所述第三旋转轴(23)表面设置有接触层(241)，接触层(241)用于与晶圆底部接触，在所述第三旋转轴(23)旋转时带动晶圆一同旋转。
2.根据权利要求1所述的晶圆片旋转机构，其特征在于，包括：所述传动件为直角齿轮传动副。
3.根据权利要求1所述的晶圆片旋转机构，其特征在于，所述第三旋转轴(23)和第四旋转轴(24)均位于第三支撑安装板(13)的顶面。
4.根据权利要求3所述的晶圆片旋转机构，其特征在于，第四旋转轴(24)为平行的两根，两个所述第四旋转轴(24)上的第二直齿轮(27)与第一直齿轮(28)共同啮合以实现共同转动。
5.根据权利要求3或4所述的晶圆片旋转机构，其特征在于，接触层(241)的外轮廓的形状为凸轮或者椭圆形。
6.根据权利要求5所述的晶圆片旋转机构，其特征在于，所述第四旋转轴(24)上的接触层(241)的外轮廓的形状为凸轮或者椭圆形。
7.根据权利要求6所述的晶圆片旋转机构，其特征在于，两个第四旋转轴(24)上的接触层(241)的外轮廓的长轴相互垂直，或者形成一定的夹角。
8.根据权利要求6所述的晶圆片旋转机构，其特征在于，接触层(241)的材料为PTFE材料。
9.根据权利要求1所述的晶圆片旋转机构，其特征在于，第三支撑安装板(13)为水平布置或者倾斜布置。
10.根据权利要求1所述的晶圆片旋转机构，其特征在于，第四旋转轴(24)旋转时，能够沿其轴向摆动。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202223122141.XU CN219321304U (zh) | 2022-11-23 | 2022-11-23 | 一种晶圆片旋转机构 |
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Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN117438347A (zh) * | 2023-12-15 | 2024-01-23 | 山东联盛电子设备有限公司 | 一种晶圆腐蚀装置 |
| WO2024108915A1 (zh) * | 2022-11-23 | 2024-05-30 | 江苏亚电科技有限公司 | 一种晶圆盒内晶圆片旋转装置 |
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2022
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