CN219315051U - 一种随动压溅射靶材板装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种随动压溅射靶材板装置，能够提高靶材与背板之间的焊接稳定性。本申请中的随动压溅射靶材板装置包括：夹紧机构和压制机构；夹紧机构包括夹紧气缸、夹紧托板和限位边；压制机构包括固定架、弹性件、浮动接头和压块；夹紧托板的对接面上固定有夹紧气缸并设有限位边，限位边与夹紧气缸间设置有夹紧空间；夹紧托板的对接面上设置有向内凹陷的预留槽孔，固定架固定于夹紧托板上远离于对接面的一面，弹性件一端固定于固定架内，另一端与浮动接头的固定端连接，夹紧托板的预留槽孔内设置有穿孔，浮动接头穿过穿孔在夹紧托板的穿孔内滑动，浮动接头的浮动端部分穿过穿孔并与压块固定连接，弹性件处于放松状态时，弹性件抵顶浮动接头。

Description

一种随动压溅射靶材板装置

技术领域

本申请涉及溅射靶材压合设备领域，尤其涉及一种随动压溅射靶材板装置。

背景技术

溅射是制备薄膜材料的主要技术之一，它利用离子源产生的离子，在真空中经过加速聚集，而形成高速度能的离子束流，轰击固体表面，离子和固体表面原子发生动能交换，使固体表面的原子离开固体并沉积在基底表面，被轰击的固体是制备溅射法沉积薄膜的原材料，一般被称为溅射靶材。而溅射靶材通常是由靶材板和背板焊接成的组合体，一般由背板上的铟液这一结合介质将两者结合焊接在一起。

现有技术中，溅射靶材的靶材板一般由夹紧扣合装置夹紧，在靶材板的一个边侧与背板的一个边侧贴近对齐的情况下松开夹紧扣合装置，从而通过人手压扶靶材板辅助靶材板扣合到背板上，进而完成溅射靶材的焊接结合。

但在溅射靶材的扣合初始阶段中，溅射靶材的靶材板与背板之间存在一定的夹角，当夹紧扣合装置松开靶材板时，可能由于靶材板在向下落下扣合的过程中受力偏移程度较大等原因，使得靶材板在背板上随背板表面的铟液滑动，影响溅射靶材的焊接过程。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本申请提供了一种随动压溅射靶材板装置，能够提高靶材与背板之间的焊接稳定性，具体参考下述例子。

本申请提供了一种随动压溅射靶材板装置，包括：夹紧机构和压制机构；所述夹紧机构包括夹紧气缸、夹紧托板和限位边；所述压制机构包括固定架、弹性件、浮动接头和压块；

所述夹紧托板的对接面上固定连接有所述夹紧气缸并且设置有限位边，所述限位边与所述夹紧气缸的伸缩端之间设置有夹紧空间，所述夹紧空间用于放置溅射靶材，所述夹紧气缸用于配合所述限位边固定所述溅射靶材，所述夹紧托板的对接面为所述夹紧托板上用于靠近所述溅射靶材的一面；

所述夹紧托板的对接面上设置有向内凹陷的预留槽孔，所述固定架固定于所述夹紧托板上远离于所述夹紧托板的对接面的一面，所述弹性件一端固定于所述固定架内，另一端与所述浮动接头的固定端固定连接，所述夹紧托板的预留槽孔内设置有穿孔，所述浮动接头穿过所述穿孔，所述浮动接头通过所述弹性件的伸缩从而在所述夹紧托板的穿孔内滑动，所述浮动接头的浮动端至少部分穿过所述穿孔并与所述压块固定连接，所述弹性件处于放松状态时，所述弹性件抵顶所述浮动接头，以抵顶所述压块至少部分凸出于所述预留槽孔，所述浮动接头的浮动端用于配合所述压块受到的重力作用悬吊调整所述压块。

可选地，所述压制机构还包括导向轴；

所述固定架上设置有导向孔，所述导向轴外壁贴合所述导向孔并穿过所述导向孔，所述导向轴一端设置有限位部，另一端与所述浮动接头的固定端连接，所述导向轴的轴线与所述穿孔的轴线位于同一直线上，所述限位部的尺寸大于所述导向孔的尺寸，所述弹性件套设于所述导向轴外侧，所述导向轴用于引导所述浮动接头随所述弹性件的伸缩沿所述导向轴的轴线滑动。

可选地，所述弹性件、所述导向轴和所述浮动接头的数量均为两个，并分成两个连接组，所述连接组均位于所述压块底面与固定架之间，所述连接组包含所述弹性件、所述导向轴和所述浮动接头的数量均为一个，所述连接组内的所述弹性件、所述导向轴和所述浮动接头的轴线位于同一直线上。

可选地，所述压制机构还包括无油衬套；

所述无油衬套固定于所述固定架上，套设于所述导向轴外侧，位于所述弹性件和所述导向轴之间，所述无油衬套用于润滑所述弹性件。

可选地，所述随动压溅射靶材板装置还包括扣合电机；

所述扣合电机的轴与所述夹紧托板固定连接，所述扣合电机的轴垂直于所述夹紧气缸的轴线，所述夹紧托板随所述扣合电机的轴旋转扣合。

可选地，所述预留槽孔和所述压块均呈方体状，所述预留槽孔的截面尺寸大于所述压块的截面尺寸，所述预留槽孔的厚度大于或者等于所述压块厚度。

可选地，所述预留槽孔的边缘设置有圆角，所述压块的棱角边缘设置有圆角。

可选地，所述预留槽孔位于所述夹紧托板上远离于所述夹紧气缸的位置。

可选地，所述压块上设置有固定孔，所述浮动接头的浮动端穿过所述固定孔与所述压块通过螺钉固定连接。

可选地，所述固定架呈弓形，所述固定架两侧分别设置有固定边，所述固定边与所述夹紧托板贴合固定连接。

从以上技术方案可以看出，本申请具有以下优点：

本申请的随动压溅射靶材板装置的夹紧托板的对接面上固定连接有夹紧气缸，夹紧托板的对接面上设置有限位边，限位边与夹紧气缸的伸缩端之间设置有夹紧空间，夹紧托板的对接面上设置有向内凹陷的预留槽孔，固定架固定于夹紧托板上远离于夹紧托板的对接面的一面，弹性件一端固定于固定架上，另一端与浮动接头的固定端固定连接，浮动接头可滑动穿过夹紧托板，浮动接头的浮动端至少部分位于预留槽孔内并与压块固定连接。

在实际应用中，当夹紧托板对准待焊接的背板时，夹紧气缸松开，通过弹性件积攒的弹性形变和压块自身的重力作用，压块抵顶落下的靶材板在背板上，且由于压块落下过程中受到浮动接头的浮动端朝向重心的位置引导，使得压块向下抵顶过程尽可能调整其抵顶平面与地面平行，从而尽可能使得靶材板与平整放置的待焊接的背板相互平行，从而减小靶材板在扣合过程中出现偏移的可能性，提高靶材与背板之间的焊接稳定性。

附图说明

为了更清楚地说明本申请中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请中的随动压溅射靶材板装置的结构示意图；

图2为本申请中的压制机构的结构正视图；

图3为本申请中的压制机构的结构侧视图；

图4为本申请中的夹紧托板的结构正视图。

具体实施方式

在本申请中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“中”、“竖直”、“水平”、“横向”、“纵向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅用于说明各部件或组成部分之间的相对位置关系，并不特别限定各部件或组成部分的具体安装方位。

并且，上述部分术语除了可以用于表示方位或位置关系以外，还可能用于表示其他含义，例如术语“上”在某些情况下也可能用于表示某种依附关系或连接关系。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解这些术语在本申请中的具体含义。

此外，术语“安装”、“设置”、“设有”、“连接”、“相连”应做广义理解。例如，可以是固定连接，可拆卸连接，或整体式构造；可以是机械连接，或电连接；可以是直接相连，或者是通过中间媒介间接相连，又或者是两个装置、元件或组成部分之间内部的连通。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

此外，在本申请中所附图式所绘制的结构、比例、大小等，均仅用于配合说明书所揭示的内容，以供本领域技术人员了解与阅读，并非用于限定本申请可实施的限定条件，故不具有技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本申请所能产生的功效及所能达成的目的下，均仍应落在本申请所揭示的技术内容涵盖的范围内。

本申请提供了一种随动压溅射靶材板装置，能够提高靶材与背板之间的焊接稳定性。

请参阅图1至图4，本申请的随动压溅射靶材板装置包括：夹紧机构1和压制机构2；夹紧机构1包括夹紧气缸101、夹紧托板102和限位边103；压制机构2包括固定架201、弹性件202、浮动接头203和压块204；

夹紧托板102的对接面上固定连接有夹紧气缸101，夹紧托板102的对接面上设置有限位边103，限位边103与夹紧气缸101的伸缩端之间设置有夹紧空间6，夹紧空间6用于放置溅射靶材，夹紧气缸101用于配合限位边103固定溅射靶材，夹紧托板102的对接面为夹紧托板102上用于靠近溅射靶材的一面；

夹紧托板102的对接面上设置有向内凹陷的预留槽孔104，固定架201固定于夹紧托板102上远离于夹紧托板102的对接面的一面，弹性件202一端固定于固定架201内，另一端与浮动接头203的固定端固定连接，夹紧托板102上设置有穿孔，浮动接头203穿过穿孔，浮动接头203通过弹性件202的伸缩从而在夹紧托板102的穿孔内滑动，浮动接头203的浮动端至少部分穿过穿孔并与压块204固定连接，弹性件202处于放松状态时，弹性件202抵顶浮动接头203，以抵顶压块204至少部分凸出于预留槽孔104，浮动接头203的浮动端用于配合压块204受到的重力作用悬吊调整压块204。

可以理解的是，靶材板4扣合到背板5的过程与日常中书本翻页的过程类似，背板5位于夹紧托板102的对接面的对侧，例如背板5放置在地面上，靶材板4的一个边侧与背板5的一个边侧贴合，且靶材板4以该边侧连接处为转轴，从而形成类似于书页的翻页结构，靶材板4扣合到背板5的过程，可以类似理解为书本往前翻页的过程，即上一页翻合至下一页。其中，当夹紧气缸101松开时，靶材板4失去夹紧气缸101的夹紧作用，靶材板4会受到自身重力和压块204的抵顶作用力从而下落扣合至背板5上，并通过背板5上的铟液进行后续与背板5的焊接过程。

本申请的随动压溅射靶材板装置主要分为两大结构，固定夹紧结构和随动压结构，固定夹紧结构即上述文中的夹紧机构1，其中夹紧托板102的对接面用于托护并放置靶材板4，限位边103位于夹紧托板的对接面的边缘，并与夹紧气缸101的伸缩端正对设置，夹紧气缸101用于配合限位边103将靶材板4抵顶夹紧在限位边103与夹紧气缸101之间，随动压结构即上述文中的压制机构2，该压制机构2用于在靶材板4落下到背板5上的过程中对靶材板4进行压制辅助，在夹紧气缸101松开靶材板4后，利用弹性件202的弹力作用抵顶压块204从而通过压块204抵顶靶材板4朝向背板5的方向扣合，特别需要说明的是，位于弹性件202和压块204之间的浮动接头203内部可以采用球头构造，摆动灵活，轴向无间隙，偏摆角度大于5°，所以在与浮动接头203固定连接的压块204重力的带动下可以有效调整压块204的重心，以尽可能辅助调整压块204的抵顶平面与压块204的重力方向垂直，即使得压块204在靶材板4施加一个尽可能平行于地面的抵顶作用力，从而可以使得在扣合过程中，背板5与靶材板4两者尽可能趋于平行，可以降低靶材板4在落下扣合过程中向四周偏移的程度，从而提高靶材板4与背板5上铟液的贴合匹配程度，提高靶材与背板5之间的焊接稳定性。

具体地，在靶材板4扣合至背板5的准备阶段中，夹紧托板102的对接面，即夹紧托板102上放置并固定有靶材板4的一面朝向背板5，利用夹紧气缸101的伸缩端伸长抵顶夹紧住靶材板4，靶材板4为被夹紧固定状态，靶材板4由于自身重力和弹性件202的弹性抵顶作用，会受到朝向背板5方向的作用力，当夹紧气缸101的伸缩端收缩，即靶材板4为松开自然下落状态时，靶材板4在落下的过程中受到自身重力和压块204抵顶作用力，通过弹性件202的抵顶作用使得与弹性件202连接的压块204抵顶住靶材板4，并抵顶靶材板4扣合到背板5表面上，其中，压块204和弹性件202之间设置有浮动接头203，压块204与浮动接头203的浮动端连接，在浮动接头203的辅助下，压块204的重心在向下压制的过程中不断调整，其调节原理与过山缆车与吊环的之间的原理类似，压块204可比作缆车，浮力接头可比作吊环，在吊环的辅助下，使得缆车的底面尽可能相对于地面平行，即压块的底面尽可能保持与地面和背板5平行。可以理解的是，压块204可以为一个形状规则的立方体或者正方体等底面为平面的物体，压块204与靶材板4抵顶的一面为平面，在压块204压制靶材板4的过程中，通过浮动接头203的辅助可以使得压块204朝向靶材板4的一面尽可能地与地面平行，压制靶材板4与相对平行于地面的背板5扣合焊接在一起，尽可能地抵消靶材板4在向下扣合并落下的过程中的受力偏移，从而提高靶材与背板5之间的焊接稳定性。

可以理解的是，本申请的随动压溅射靶材板装置可以配合外部的旋转扣合装置3从而完成溅射靶材的扣合，其中，旋转扣合装置负责将本申请的随动压溅射靶材板装置进行整体翻转，从而使得夹紧托板102的对接面夹紧上的靶材板4从面朝上放置的状态翻转至面朝下对准溅射靶材的背板5的状态，该翻转过程与书本向前翻页的过程类似，具体地可以由外部的旋转扣合装置3的驱动电机为翻转过程提供动力，可以理解的是，上述的面朝上和面朝下是相对于地面重力的方向进行区分的，例如：靶材板4面朝上放置，即夹紧托板102的对接面此时背对于地面和背板5，靶材板4面朝下对准溅射靶材的背板5，即夹紧托板102的对接面此时面向地面和背板5，上述的靶材板4从面朝上至面朝下的翻转过程即为外部的旋转扣合装置3将夹紧托板102旋转的过程。

可选地，靶材板4面朝上放置在夹紧托板102的对接面上时，靶材板4自身的重力大于弹性件202抵顶在靶材板4上的弹力，以使得靶材板4与夹紧托板102表面贴合，并挤压压块204整体内置于预留槽孔104内，可以减少靶材板4与夹紧托板102表面之间的歪扭倾斜程度，尽可能地减小后续靶材板4在向下扣合并落下的过程中出现受力偏移较大情况的可能性，从而提高靶材板4与背板5之间的焊接稳定性。

可以理解的是，本申请中的弹性件202可以为橡胶弹簧、螺旋弹簧或者气囊等具有弹性的物体，此处不做限定。

可选地，压制机构2还包括导向轴205；

固定架201上设置有导向孔，导向轴205外壁贴合导向孔并穿过导向孔，导向轴205一端设置有限位部207，另一端与浮动接头203的固定端连接，导向轴205的轴线与导向孔的轴线位于同一直线上，限位部207的径向尺寸大于导向孔的径向尺寸，弹性件202套设于导向轴205外侧，导向轴205用于引导浮动接头203随弹性件202的伸缩沿导向轴205的轴线滑动。

例如，靶材板4压制在压块204上时，连带着浮动接头203也会被压制着远离于压块204，从而使得浮动接头203的固定端和固定架201内壁之间的距离减小，即弹性件202处于压缩状态，此时导向轴205凸出于固定架201外的长度较长，例如为3cm；靶材板4扣合至背板5的过程中，靶材板4受重力引导落下时，弹性件202的抵顶作用力抵顶在浮动接头203的固定端上，从而抵顶浮动接头203和导向轴205向压块204方向运动，此时导向轴205凸出于固定架201外的长度会变短，例如小于3cm。

其中，导向轴205的形状与针筒类似，压块204、导向轴205和浮动接头203可以理解为为可移动的整体部分，随着弹性件202的抵顶或者收缩，压块204、导向轴205和浮动接头203也随之进行滑动，具体地，当弹性件202处于抵顶伸长状态时，抵顶浮动接头203朝压块204方向移动，此时由于与浮动接头203固定连接的导向轴205和导向孔的作用，则可以利用导向轴205和导向孔对浮动接头203的移动方向进行导向作用，另外限位部207的径向尺寸大于导向孔的径向尺寸，则当压块204、导向轴205和浮动接头203移动一定距离长度时，可以通过较大径向尺寸的限位部207卡设在导向孔处，从而限制压块204、导向轴205和浮动接头203这一整体继续移动，可以理解的是，导向孔与导向轴205的外壁之间的贴合设置，从而可以限制导向轴205和浮动接头203的滑动方向，其过程与针筒的运动过程类似，具体此处不做赘述。

在本实施例中，导向轴205的作用可以理解为对弹性件202的弹力方向的导向作用，弹性件202为弹簧，套设在导向轴205上，通过导向轴205的限制和导向作用可以使得弹簧的弹力方向与穿孔的轴向尽可能相同，需要说明的是，该穿孔的轴向垂直于夹紧托板102的对接面。

可选地，弹性件202、导向轴205和浮动接头203的数量均为两个，并分成两个连接组，连接组均位于压块204底面与固定架201之间，连接组包含弹性件202、导向轴205和浮动接头203，每个连接组内包含对应弹性件202、导向轴205和浮动接头203的数量均为一个，连接组内的弹性件202、导向轴205和浮动接头203的轴线位于同一直线上。

在本实施例中，压块204由两组连接组进行抵顶从而压制靶材板4，压块204底面设置有两个力作用点，从而平衡压块204受到的抵顶作用力方向，尽量避免因为弹性件202或者浮动接头203的轴向出现偏差导致压块204的抵顶方向出现偏移的情况。

可选地，压制机构2还包括无油衬套206；

无油衬套206固定于所述固定架201上，套设于导向轴205外侧，位于弹性件202和导向轴205之间，无油衬套206用于润滑弹性件202。

在本实施例中，无油衬套206又称润滑轴承，维护频率低，可以在高温、低温的严苛条件下使用，与直线轴承比，衬套厚度薄、节省空间，可同时用于直线运动和旋转运动，且相比滚珠型直线轴承，无油衬套206适用于低速重载场合。

可选地，随动压溅射靶材板装置还包括扣合电机3；

扣合电机3的轴与夹紧托板102固定连接，扣合电机3的轴垂直于夹紧气缸101的轴线，夹紧托板102随扣合电机3的轴旋转扣合。

在本实施例中，该扣合电机3即为上述提到的外部旋转扣合装置的一部分，具体的扣合电机3驱动夹紧托板102翻转的过程已在上述解释描述，此处不做赘述。

可选地，预留槽孔104和压块204均呈方体状，预留槽孔104的截面尺寸大于压块204的截面尺寸，预留槽孔104的厚度大于或者等于压块204厚度。

可以理解的是，方体状的压块204可以在受到浮动接头203调整的过程中更好地调整抵顶平面平行于地面，从而尽可能减小压块204的抵顶平面压制靶材板4过程中出现偏移的可能性，而预留槽孔104的形状可以与压块204类似，预留槽孔104的尺寸体积均大于压块204的尺寸体积，可以使得靶材板4放置在夹紧托板102上时，由于压块204自身和溅射靶材的重力作用，弹性件202处于压缩状态且压块204收纳于预留槽孔104中，以便于靶材板4能够与夹紧托板102贴合，从而便于通过夹紧托板102与背板5进行扣合角度的调整。

可选地，预留槽孔104的边缘设置有圆角，压块204的棱角边缘设置有圆角。

在本实施例中，预留槽孔104和压块204圆角的设置，可以在压块204伸出预留槽孔104时减小压块204与预留槽孔104棱角之间的移动摩擦阻碍，从而便于压块204更好地受到浮动接头203浮动端的调整。

可选地，预留槽孔104位于夹紧托板102上远离于夹紧气缸101的位置。

可以理解的是，依据前文提到的，靶材板4扣合到背板5的过程与日常中关门的过程类似，夹紧气缸101一般设置于高悬于背板5的上方，即夹紧气缸101的位置可以比作日常门板上的门锁的位置，预留槽孔104位于夹紧托板102上远离于夹紧气缸101的位置，即预留槽孔104的位置可以比作在门板上靠近于门轴的位置，依据常识可知，压块204处于该靠近门轴的位置相对于远离于门轴位置可以更加稳定控制靶材板4朝向背板5的方向进行压制，尽可能减小压块204出现较大位移或者颤动从而导致的靶材板4在扣合过程中出现偏移的可能性。

可选地，压块204上设置有固定孔，浮动接头203的浮动端穿过固定孔与压块204通过螺钉固定连接。

除了通过螺钉的连接方式以外，压块204和浮动接头203之间还可以通过焊接或者轴联等方式进行固定连接，具体此处不做限定。

可选地，固定架201呈弓形，固定架201两侧分别设置有固定边208，固定边208与夹紧托板102贴合固定连接

在本实施例中，固定架201的弓形和固定边208的设置可以理解为对固定架201进行了多个加强筋的固定优化，通过固定架201的方折加强筋结构可以提高固定架201自身的结构强度。

需要声明的是，上述申请内容及具体实施方式意在证明本申请所提供技术方案的实际应用，不应解释为对本申请保护范围的限定。本领域技术人员在本申请的精神和原理内，当可作各种修改、等同替换或改进。本申请的保护范围以所附权利要求书为准。

Claims (10)

1.一种随动压溅射靶材板装置，其特征在于，包括：夹紧机构和压制机构；所述夹紧机构包括夹紧气缸、夹紧托板和限位边；所述压制机构包括固定架、弹性件、浮动接头和压块；

所述夹紧托板的对接面上固定连接有所述夹紧气缸并且设置有限位边，所述限位边与所述夹紧气缸的伸缩端之间设置有夹紧空间，所述夹紧空间用于放置溅射靶材，所述夹紧气缸用于配合所述限位边固定所述溅射靶材，所述夹紧托板的对接面为所述夹紧托板上用于靠近所述溅射靶材的一面；

所述夹紧托板的对接面上设置有向内凹陷的预留槽孔，所述固定架固定于所述夹紧托板上远离于所述夹紧托板的对接面的一面，所述弹性件一端固定于所述固定架内，另一端与所述浮动接头的固定端固定连接，所述夹紧托板的预留槽孔内设置有穿孔，所述浮动接头穿过所述穿孔，所述浮动接头通过所述弹性件的伸缩从而在所述夹紧托板的穿孔内滑动，所述浮动接头的浮动端至少部分穿过所述穿孔并与所述压块固定连接，所述弹性件处于放松状态时，所述弹性件抵顶所述浮动接头，以抵顶所述压块至少部分凸出于所述预留槽孔，所述浮动接头的浮动端用于配合所述压块受到的重力作用悬吊调整所述压块。

2.根据权利要求1中所述的随动压溅射靶材板装置，其特征在于，所述压制机构还包括导向轴；

所述固定架上设置有导向孔，所述导向轴外壁贴合所述导向孔并穿过所述导向孔，所述导向轴一端设置有限位部，另一端与所述浮动接头的固定端连接，所述导向轴的轴线与所述穿孔的轴线位于同一直线上，所述限位部的尺寸大于所述导向孔的尺寸，所述弹性件套设于所述导向轴外侧，所述导向轴用于引导所述浮动接头随所述弹性件的伸缩沿所述导向轴的轴线滑动。

3.根据权利要求2中所述的随动压溅射靶材板装置，其特征在于，所述弹性件、所述导向轴和所述浮动接头的数量均为两个，并分成两个连接组，所述连接组均位于所述压块底面与固定架之间，所述连接组包含所述弹性件、所述导向轴和所述浮动接头的数量均为一个，所述连接组内的所述弹性件、所述导向轴和所述浮动接头的轴线位于同一直线上。

4.根据权利要求3中所述的随动压溅射靶材板装置，其特征在于，所述压制机构还包括无油衬套；

所述无油衬套固定于所述固定架上，套设于所述导向轴外侧，位于所述弹性件和所述导向轴之间，所述无油衬套用于润滑所述弹性件。

5.根据权利要求1中所述的随动压溅射靶材板装置，其特征在于，所述随动压溅射靶材板装置还包括扣合电机；

所述扣合电机的轴与所述夹紧托板固定连接，所述扣合电机的轴垂直于所述夹紧气缸的轴线，所述夹紧托板随所述扣合电机的轴旋转扣合。

6.根据权利要求1中所述的随动压溅射靶材板装置，其特征在于，所述预留槽孔和所述压块均呈方体状，所述预留槽孔的截面尺寸大于所述压块的截面尺寸，所述预留槽孔的厚度大于或者等于所述压块厚度。

7.根据权利要求6中所述的随动压溅射靶材板装置，其特征在于，所述预留槽孔的边缘设置有圆角，所述压块的棱角边缘设置有圆角。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的随动压溅射靶材板装置，其特征在于，所述预留槽孔位于所述夹紧托板上远离于所述夹紧气缸的位置。

9.根据权利要求1至7中任一项所述的随动压溅射靶材板装置，其特征在于，所述压块上设置有固定孔，所述浮动接头的浮动端穿过所述固定孔与所述压块通过螺钉固定连接。

10.根据权利要求1至7中任一项所述的随动压溅射靶材板装置，其特征在于，所述固定架呈弓形，所述固定架两侧分别设置有固定边，所述固定边与所述夹紧托板贴合固定连接。

Images