CN219292114U - 探针清理装置及检测装置 - Google Patents

Abstract

本申请提供探针清理装置及检测装置。其中，探针清理装置包括：底座，包括定位部、设于定位部的导向部、和移动连接导向部的安装板；驱动组件，包括驱动机构和移动块，驱动机构带动移动块沿导向部的延伸方向移动；清理组件，包括清针板和连接板，清针板可拆卸地设于连接板，连接板固定连接移动块和安装板，连接板可以带动安装板沿导向部移动；相机定位组件，设于安装板，随安装板同步移动。如此，清理组件和相机定位组件设计在同一底座上，并由驱动组件统一驱动，便于精准的记录清针板与探针的位置，提升探针的清洁效果。还通过安装板导向连接板的移动方向，有效提高清理组件和相机定位组件的运动稳定性和运动精度。

Description

探针清理装置及检测装置

技术领域

本申请涉及半导体检测设备技术领域，具体而言，涉及探针清理装置及具有该探针清理装置的检测装置。

背景技术

在半导体器件的制造过程中，会使用探针台设备对晶圆的电性功能进行测试，在进行长时间测试之后，探针台上的探针针尖会产生污染物，从而影响功能性测试的优良率。为了保证功能性测试正常进行，必须每隔一段时间对探针进行清理。

现有的探针清理机构的定位精度较差，清针平台的运动稳定性低，容易造成探针针尖受到的压力过大或过小，使得探针被损坏或清洁效果不好。

实用新型内容

本申请提供探针清理装置及具有该探针清理装置的检测装置，以解决上述技术问题。

本申请的实施例提供一种探针清理装置，其包括：

底座，包括定位部、导向部和安装板，所述导向部设于所述定位部，所述安装板移动连接于所述导向部的侧边；

驱动组件，包括驱动机构和移动块，所述驱动机构设于所述定位部，所述移动块传动连接所述驱动机构，所述驱动机构带动所述移动块沿所述导向部的延伸方向移动；

清理组件，包括清针板和连接板，所述清针板可拆卸地设于所述连接板上，所述连接板固定连接所述移动块和所述安装板，所述移动块带动所述连接板移动时，所述连接板带动所述安装板沿所述导向部移动；

相机定位组件，设于所述安装板上，随所述安装板同步移动，所述相机定位组件用于检测探针的位置。

如此，清理组件和相机定位组件设计在同一底座上，并由驱动组件统一驱动，便于精准的记录清针板与探针的位置，提高定位精度，提升探针的清洁精度和清洁效果。此外，驱动组件的移动块带动连接板移动时，安装板可以在连接板的带动下沿导向部移动，从而导向连接板的移动方向，有效提高清理组件和相机定位组件的运动稳定性和运动精度。

在一种可能的实施方式中：两所述导向部沿第一方向对称连接于定位部的两侧，所述安装板包括第一安装板和第二安装板，所述第一安装板和所述第二安装板沿第二方向设于所述导向部的相对两侧，所述移动块位于两所述导向部、所述第一安装板和所述第二安装板围成的空间内，所述连接板固定连接所述第一安装板、所述第二安装板和所述移动块。

在一种可能的实施方式中：每一所述导向部的相对两侧均设有导轨机构，所述第一安装板和所述第二安装板均通过所述导轨机构移动连接两所述导向部。

在一种可能的实施方式中：所述驱动组件还包括丝杆，所述丝杆的轴向与导向部的延伸方向平行，所述移动块套设于所述丝杆，并与所述丝杆螺纹连接，所述驱动机构连接丝杆，驱动丝杆转动，带动所述移动块沿所述丝杆移动。

在一种可能的实施方式中：所述驱动机构包括驱动器和带传动组件，所述驱动器通过所述带传动组件连接所述丝杆；所述带传动组件包括同步带和同步轮，一所述同步轮连接于所述驱动器的输出端，另一所述同步轮连接所述丝杆，所述同步带套设于两所述同步轮上。

在一种可能的实施方式中：所述清理组件还包括安装底板和调节件；所述安装底板设于所述清针板与所述连接板之间，用于安装所述清针板至所述连接板；所述调节件连接所述安装底板与所述连接板，用于调整所述安装底板在所述连接板上的位置。

在一种可能的实施方式中：所述清针板的侧边还设有提拉件，所述提拉件凸出于所述清针板的侧边设置，用于移动所述清针板。

在一种可能的实施方式中：所述相机定位组件包括第一相机、第二相机、第一镜头和第二镜头，所述第一相机、所述第二相机、所述第一镜头和所述第二镜头均设于所述安装板的同一侧，所述第一相机连接所述第一镜头，所述第二相机连接所述第二镜头，且所述第一镜头与所述第二镜头错开设置；所述第一镜头的放大倍数高于所述第二镜头的放大倍数。

在一种可能的实施方式中：所述第一镜头和所述第二镜头的表面还设有网格图案，用于辅助判断所述探针与所述清针板之间的距离。

在一种可能的实施方式中：所述探针清理装置还包括检测组件，设置于所述导向部的外侧，用于检测所述安装板的移动距离；所述检测组件包括传感器、感应片和连接块，多个所述传感器沿所述导向部的延伸方向间隔设置于所述导向部的外侧面，所述连接块固定设于所述安装板的侧边，所述感应片的一端与所述连接块固定连接，所述安装板沿所述导向部移动时，所述感应片远离所述连接块的一端于多个所述传感器之间移动，

本申请的实施例还提供一种检测装置，其包括移动平台、探针组件和上述实施例所述的探针清理装置，所述探针清理装置设于所述移动平台上，所述移动平台用于根据所述相机定位组件的检测结果移动所述探针清理装置至与所述探针组件对应的位置。

本申请的探针清理装置和检测装置，通过将清理组件和相机定位组件设计在同一底座上，并由驱动组件统一驱动，便于精准的记录清针板与探针的位置，提高定位精度，提升探针的清洁精度和清洁效果。此外，驱动组件的移动块带动连接板移动时，安装板可以在连接板的带动下沿导向部移动，从而导向连接板的移动方向，有效提高清理组件和相机定位组件的运动稳定性和运动精度。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本申请一实施例的探针清理装置的结构示意图。

图2为图1所示探针清理装置在另一方向的结构示意图。

图3为图1所示探针清理装置的部分结构分解示意图。

图4为图1所示探针清理装置的正视图。

图5为图1所示探针清理装置的侧视图。

图6为图2所示探针清理装置沿VI方向的剖面图。

图7为图1所示探针清理装置的俯视图。

图8为图1所示探针清理装置中相机定位组件的结构示意图。

主要元件符号说明：

如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本申请。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。当一个元件被认为是“设置于”另一个元件，它可以是直接设置在另一个元件上或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本申请。本文所使用的术语“或/及”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

本申请的一些实施方式作详细说明。在不冲突的情况下，下述的实施方式及实施方式中的特征可以相互组合。

请参阅图1、图2和图3，在本申请的一实施例中，探针清理装置100包括底座1和设于所述底座1上的驱动组件2、清理组件3和相机定位组件4。所述驱动组件2用于带动所述清理组件3和所述相机定位组件4相对所述底座1移动。所述相机定位组件4用于检测探针的位置。所述清理组件3用于清洁所述探针。

具体地，所述底座1包括定位部11、导向部12和安装板13，所述导向部12固定设于所述定位部11上，所述安装板13移动连接于所述导向部12的侧边。所述驱动组件2包括驱动机构21和移动块23，所述驱动机构21设于所述定位部11，所述移动块23传动连接所述驱动机构21，所述驱动机构21带动所述移动块23沿所述导向部12的延伸方向移动。所述清理组件3包括清针板31和连接板33，所述连接板33固定连接所述移动块23和所述安装板13，所述移动块23沿所述丝杆22移动时带动所述连接板33和所述安装板13同步移动。所述清针板31可拆卸地设于所述连接板33上，用于清洁探针。所述相机定位组件4设于所述安装板13上，所述驱动组件2通过所述连接板33和所述安装板13带动所述相机定位组件4沿所述底座1的导向部12移动，以调节相机定位组件4中镜头与探针之间的物距，方便检测探针的位置。

如此，清理组件3和相机定位组件4设计在同一底座1上，并由驱动组件2统一驱动，便于精准的记录清针板31与探针的位置，提高定位精度，提升探针的清洁精度和清洁效果。此外，驱动组件2的移动块23带动连接板33移动时，安装板13可以在连接板33的带动下沿导向部12移动，从而导向连接板33的移动方向，有效提高清理组件3和相机定位组件4的运动稳定性和运动精度。

请继续参阅图4、图5和图6，在本申请的实施例中，所述导向部12与所述安装板13之间设有导轨机构14，导轨机构14包括导轨和滑块，导轨沿导向部12的延伸方向设置于导向部12的侧面，滑块固定连接安装板13并滑动连接导轨，从而使安装板13可沿导轨滑动，稳定导向连接板33的移动方向。在本申请的实施例中，导向部12沿竖直方向设置，竖直方向被定义为Z轴方向。可以理解，在其他实施例中，导向部12也可以沿其他方向设置，满足实际安装需求即可。

进一步地，两所述导向部12沿第一方向X对称连接于定位部11的两侧，所述安装板13包括第一安装板131和第二安装板132，沿第二方向Y设于导向部12的相对两侧，第一方向X与第二方向Y相互垂直。每一导向部12的相对两侧均设有导轨机构14，第一安装板131和第二安装板132均通过导轨机构14移动连接于两所述导向部12。移动块23位于两所述导向部12、第一安装板131和第二安装板132围成的空间内。连接板33固定连接于第一安装板131、第二安装板132和移动块23的同一端。如此，驱动机构21带动移动块23沿导向部12的延伸方向移动时，第一安装板131、第二安装板132和两导向部12之间的四组导轨机构14能够从连接板33的四周导向其移动方向，保证连接板33沿Z轴方向的运动稳定性，减少连接板33的晃动。设置在连接板33上的清针板31和通过安装板13与连接板33固定连接的相机定位组件4均能够与连接板33同步移动，实现了清理组件3和相机定位组件4的高刚性导向，清理组件3的清洁效果和相机定位组件4的检测精度也能得到有效提高。

在本申请的其中一实施例中，所述导向部12的端部还设有限位安装块15和限位柱16，所述限位柱16凸设于限位安装块15朝向导轨机构14的侧边，限位柱16用于抵顶导轨机构14上的滑块，从而限定安装板13与导向部12上的移动范围，避免安装板13从导向部12上脱落。

请再次参阅图1、图3和图6，在本申请的其中一实施例中，驱动组件2包括丝杆22，位于两导向部12之间，丝杆22的轴向与导向部12的延伸方向平行。移动块23套设于丝杆22，并与丝杆22螺纹连接，驱动机构21连接丝杆22，用于驱动丝杆22顺时针或逆时针转动，从而带动移动块23沿丝杆22往复移动。丝杆22的转动圈数可由驱动机构21精确控制，从而使移动块23沿丝杆22位移的距离精准可控，提高探针清理装置100的定位精度。本申请实施例的丝杆22为小导程的高精度研磨丝杆22，有利于提高驱动组件2的负载，减少探针清理装置100出现过载损坏的问题。连接板33上还设有避空丝杆22顶端的通孔，避免移动块23带动连接板33上下移动时，连接板33抵顶丝杆22而影响行程范围。丝杆22的顶端还设有第一端盖24，用于抵挡移动块23，防止移动块23从丝杆22的顶端脱落。

进一步地，驱动机构21包括驱动器211和带传动组件，所述驱动器211通过带传动组件连接所述丝杆22的底端，从而带动丝杆22转动。带传动组件包括同步带216和两同步轮215，一同步轮215连接于驱动器211的输出端，另一同步轮215连接丝杆22的底端，同步带216套设于两同步轮215上。驱动器211包括但不限于电机等动力装置，其输出的转动扭矩可通过同步轮215和同步带216传递至丝杆22，进而转换为移动块23的直线运动。带传动组件的设置有利于转换电机的输出转速，进而方便调整丝杆22的转动速度及圈数，提高移动块23的移动精度。

在其他实施例中，驱动机构21还可以包括直线电机，通过直线电机驱动移动块23沿Z轴方向往复移动，有利于简化驱动组件2的结构。

进一步地，驱动机构21还包括驱动安装板212、调节板213和调节块214。所述调节板213固定连接于所述底座1，所述驱动器211设于所述驱动安装板212上，所述驱动安装板212设于所述调节板213上。所述带传动组件于所述调节板213背离驱动器211的一侧连接所述驱动器211和丝杆22。所述调节块214设于所述驱动安装板212的一侧，用于调节驱动安装板212在调节板213上的相对位置，从而调整带传动组件中同步带216的张紧度。

具体地，所述底座1还包括固定部17，所述固定部17连接于两所述导向部12之间，并与所述定位部11间隔设置。固定部17有利于提升导向部12的稳定性，还用于定位驱动组件2于底座1上的安装位置。所述丝杆22贯穿所述固定部17设置，且丝杆22伸出固定部17的一端连接带传动组件。所述调节板213安装于所述固定部17朝向所述第一安装板131的一侧。驱动安装板212与调节板213堆叠设置并通过螺钉连接。驱动器211的输出端贯穿驱动安装板212和调节板213以连接带传动组件。调节块214设置于驱动安装板212背离固定部17的一侧，调节块214包括张紧螺栓，可通过旋转张紧螺栓使驱动安装板212在调节板213上小范围移动，从而调整驱动器211输出端与丝杆22之间的距离，达到调整同步带216张紧度的目的。

所述驱动机构21还包括保护壳217，所述保护壳217位于所述固定部17与所述定位部11之间，带传动组件收容于所述保护壳217内，维持驱动机构21的传动安全性和稳定性。

丝杆22的下端还设有限位件25和安装座26，所述安装座26设于固定部17与所述丝杆22的连接处，用于定位所述丝杆22在所述底座1上的安装位置，减少丝杆22的晃动。所述安装座26上还设有轴承，以便提高丝杆22的安装精度和转动稳定性。所述限位件25套设于所述丝杆22上，并位于安装座26朝向移动块23的一侧，所述限位件25一方面用于定位安装座26至固定部17，另一方面用于抵顶移动块23，限制移动块23的最低移动位置。

进一步地，丝杆22的底端还设有第二端盖27，所述第二端盖27用于抵顶连接丝杆22的同步轮215，避免同步轮215从丝杆22端部脱落。

请参阅图1至图7，在本申请其中一实施例中，清理组件3还包括安装底板32和调节件34。所述安装底板32设于清针板31与连接板33之间，用于安装清针板31至连接板33。调节件34连接所述安装底板32与所述连接板33，用于调整安装底板32在连接板33上的位置。在本申请的实施例中，多个调节件34对称设置于安装底板32的四角，并与安装底板32和连接板33螺纹连接，可通过旋转调节件34来调整安装底板32在连接板33上的水平位置，保证清针板31的安装水平度。调节件34包括但不限于调节螺栓。

所述安装底板32的一侧还设有挡板35，用于抵挡所述清针板31。在本申请的实施例中，所述挡板35的高度大于安装底板32的厚度，使挡板35至少部分凸出于安装底板32背离连接板33的一侧表面，以便能够抵挡清针板31的侧边，定位清针板31在安装底板32上的安装位置。

清针板31的侧边还设有提拉件36、连接件37和锁紧件38。所述提拉件36凸出于所述清针板31的侧边设置，可通过夹取提拉件36来移动清针板31，使清针板31从安装底板32上取下或放置，避免夹取清针板31的其他地方而导致清针板31的清理表面被污染。连接件37包括一体成型的第一部分和第二部分，第一部分固定连接清针板31的侧边，第二部通过锁紧件38固定连接于安装底板32。清针板31通过连接件37和锁紧件38固定设置在安装底板32上。锁紧件38包括螺丝等工件，旋转锁紧件38即可实现清针板31的拆卸或安装。

至少两连接件37对称设于清针板31的相对两侧，一方面限制清针板31在安装底板32上移动，另一方面是可以平衡清针板31受到的锁紧力。

在本申请的实施例中，清针板31的表面设有硅胶砂纸，驱动组件2带动清针板31朝向探针移动时，硅胶砂纸可在抵压探针针尖时，粘取探针针尖上的污染物，达到清洁探针的目的。可以理解，清针板31表面还可以设置其他清针材料，满足清理需求即可，本申请不对此进行限定。

请参阅图1至图8，在本申请的实施例中，相机定位组件4包括第一相机41、第二相机42、第一镜头43和第二镜头44。第一相机41、第二相机42、第一镜头43和第二镜头44均设于第二安装板132上，第一相机41连接第一镜头43，第二相机42连接第二镜头44，第一镜头43的放大倍数高于第二镜头44的放大倍数。第一镜头43与第二镜头44错开设置，以避免镜头之间相互遮挡而影响检测结果。

相机定位组件4检测探针位置时，驱动组件2通过连接板33带动第二安装板132沿Z轴方向运动，使相机定位组件4在Z轴方向运动达到相机调整物距，第二相机42通过放大倍数较低的第二镜头44的大视野环境寻找探针的位置，然后外部移动设备带动探针清理装置于XY平面移动，将放大倍数较高的第一镜头43移动至探针底部，第一相机41通过第一镜头43对探针进行精确定位。

进行清洁探针时，由驱动组件2驱动清针板31沿Z轴方向上下运动，当清针板31沿Z轴方向上升至距离探针2mm间距时(或其它间距)为清针待机位，工作时候，清针板31从清针待机位沿Z轴方向上升至2mm-2.5mm之间距离(具体根据距离根据探针而定)，使清针板31上的清针材料与探针卡上的探针接触，并对探针施加适当的压力。清针板31在2mm-2.5mm之间距离往复上下运动，可以使清针板31上的清针材料和探针针尖充分接触，接将探针针尖上的铝屑或其它粘连在探针针尖上的物质清洁干净。

在本申请的其中一实施中，所述第一镜头43和所述第二镜头44的表面还设有网格图案，可以使第一镜头43或第二镜头44在检测探针时，第一相机41或第二相机42根据探针在网格图案上的位置判断探针与清针板31之间的距离。

进一步地，所述相机定位组件4还包括相机安装板45、镜头安装板46，相机安装板45和镜头安装板46设置于第一安装板131背离导向部12的一侧。第一相机41通过第一调节板411安装于相机安装板45上，第二相机42通过第二调节板421安装于相机安装板45上，且第二相机42的安装位置低于第一相机41。第一调节板411和第二调节板421可相对相机安装板45小幅度移动，分别用于调整第一相机41和第二相机42于相机安装板45上的位置。第一镜头43与第一相机41螺纹连接，且第一镜头43与第一相机41的连接处通过第一盖板47固定设置在镜头安装板46上。第二镜头44与第二相机42螺纹连接，且第二镜头44与第二相机42的连接处通过第二盖板48固定设置在镜头安装板46上。如此，第一相机41、第二相机42、第一镜头43和第二镜头44可稳定安装在第二安装板132上，随第二安装板132同步移动。

在本申请的其中一实施例中，相机定位组件4还包括两光源件49，分别对应连接第一镜头43和第二镜头44，用于增加镜头的视野亮度，有利于提高检测准确度。光源件49包括但不限于点光源。进一步地，两光源件49上设有凸台，第一镜头43和第二镜头44的镜筒上设有沉台，一光源件49上的凸台安装于第一镜头43的沉台，另一光源件49上的凸台安装于第二镜头44的沉台，并在沉台的内侧通过顶丝固定，保证光源件49在镜头上的安装稳定性。

请再次参阅图2，在本申请的其中一实施例中，探针清理装置100还包括检测组件5，设置于导向部12的外侧，用于检测安装板13的移动距离。所述检测组件5包括传感器51、感应片52和连接块53。多个传感器51沿Z轴方向间隔设置于导向部12的外侧面。连接块53固定设于第一安装板131的侧边，感应片52的一端与连接块53固定连接，第一安装板131沿Z轴往复移动时，感应片52远离连接块53的一端于多个传感器51之间移动，根据不同传感器51对感应片52的检测情况判断第一安装板131的移动距离。

在本申请的实施例中，所述传感器51为光电传感器51，每一传感器51包括两个相对设置感应部，分别用于发射和接收检测激光。两相对设置的感应部之间设感应槽，感应片52随第一安装板131同步移动时，可以在多个感应槽之间移动。

在图2所示的实施例中，传感器51的数量为三个，分别用于标记原点、正极限位置和负极限位置。当最上端的传感器51检测到感应片52时，提示安装板13已经向上运动到正极限位置，同时传感器51发出警报信息以使控制终端或工作人员及时采取安全措施。当最下端的传感器51检测到感应片52时，提示安装板13已经向下运动到负极限位置，传感器51也发出警报信息。当位于中部的传感器51检测到感应片52时，表示安装板13回到原点，清理组件3和相机组件也随之复位。

可以理解，在其他实施例中，传感器51的数量还可以多于或少于三个，满足检测需求即可，本申请不对传感器51的数量进行限定。传感器51还可以为其他类型的传感器51，例如压力传感器51等，满足检测需求即可，本申请不对传感器51的类型进行限定。

本申请的实施例还提供一种检测装置，其包括移动平台、探针组件和上述实施例所述的探针清理装置100。探针清理装置100设于移动平台上，探针组件位于探针清理装置100的上方。移动平台可根据相机定位组件4的检测结果在XY平面内移动探针清理装置100至探针组件的下方。

具体地，驱动组件2通过连接板33带动第二安装板132沿Z轴方向运动，使相机定位组件4在Z轴方向运动达到相机调整物距，第二相机42通过放大倍数较低的第二镜头44的大视野环境寻找探针的位置，同时移动平台带动探针清理装置100在XY平面内移动，让第二镜头44在运动过程中寻找探针位置。当第二镜头44找到探针位置时，移动平台带动探针清理装置100于XY平面按计算轨迹移动，将放大倍数较高的第一镜头43移动至探针底部，第一相机41通过第一镜头43对探针进行精确定位，再通过第一镜头43与清针板31中心的固定距离，计算出探针清理装置100在XY平面实际要运动的距离，从而驱动移动平台上对应的电机，最终使探针清理装置100的清针板31运动到探针的下方。

移动平台带动探针清理装置100在XY平面内的运动可以使清针板31清洁到在XY运动行程范围内位置的探针，提高探针清理装置100的适用范围。

在本申请的其中一实施例中，检测装置还包括晶圆平台，设置于移动平台上，移动平台可将晶圆平台移动至探针组件所在位置处，以使探针组件对晶圆平台上的芯片进行功能性检测。

以上实施方式仅用以说明本申请的技术方案而非限制，尽管参照以上较佳实施方式对本申请进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本申请的技术方案进行修改或等同替换都不应脱离本申请技术方案的精神和范围。

Claims (11)

1.一种探针清理装置，其特征在于，包括：

底座，包括定位部、导向部和安装板，所述导向部设于所述定位部，所述安装板移动连接于所述导向部的侧边；

驱动组件，包括驱动机构和移动块，所述驱动机构设于所述定位部，所述移动块传动连接所述驱动机构，所述驱动机构带动所述移动块沿所述导向部的延伸方向移动；

清理组件，包括清针板和连接板，所述清针板可拆卸地设于所述连接板上，所述连接板固定连接所述移动块和所述安装板，所述移动块带动所述连接板移动时，所述连接板带动所述安装板沿所述导向部移动；

相机定位组件，设于所述安装板上，随所述安装板同步移动，所述相机定位组件用于检测探针的位置。

2.根据权利要求1所述的探针清理装置，其特征在于：

两所述导向部沿第一方向对称连接于定位部的两侧，所述安装板包括第一安装板和第二安装板，所述第一安装板和所述第二安装板沿第二方向设于所述导向部的相对两侧，所述移动块位于两所述导向部、所述第一安装板和所述第二安装板围成的空间内，所述连接板固定连接所述第一安装板、所述第二安装板和所述移动块。

3.根据权利要求2所述的探针清理装置，其特征在于：

每一所述导向部的相对两侧均设有导轨机构，所述第一安装板和所述第二安装板均通过所述导轨机构移动连接两所述导向部。

4.根据权利要求1所述的探针清理装置，其特征在于：

所述驱动组件还包括丝杆，所述丝杆的轴向与所述导向部的延伸方向平行，所述移动块套设于所述丝杆，并与所述丝杆螺纹连接，所述驱动机构连接丝杆，驱动丝杆转动，带动所述移动块沿所述丝杆移动。

5.根据权利要求4所述的探针清理装置，其特征在于：

所述驱动机构包括驱动器和带传动组件，所述驱动器通过所述带传动组件连接所述丝杆；

所述带传动组件包括同步带和同步轮，一所述同步轮连接于所述驱动器的输出端，另一所述同步轮连接所述丝杆，所述同步带套设于两所述同步轮上。

6.根据权利要求1所述的探针清理装置，其特征在于：

所述清理组件还包括安装底板和调节件；所述安装底板设于所述清针板与所述连接板之间，用于安装所述清针板至所述连接板；所述调节件连接所述安装底板与所述连接板，用于调整所述安装底板在所述连接板上的位置。

7.根据权利要求6所述的探针清理装置，其特征在于：

所述清针板的侧边还设有提拉件，所述提拉件凸出于所述清针板的侧边设置，用于移动所述清针板。

8.根据权利要求1所述的探针清理装置，其特征在于：

所述相机定位组件包括第一相机、第二相机、第一镜头和第二镜头，所述第一相机、所述第二相机、所述第一镜头和所述第二镜头均设于所述安装板的同一侧，所述第一相机连接所述第一镜头，所述第二相机连接所述第二镜头，且所述第一镜头与所述第二镜头错开设置；所述第一镜头的放大倍数高于所述第二镜头的放大倍数。

9.根据权利要求8所述的探针清理装置，其特征在于：

所述第一镜头和所述第二镜头的表面还设有网格图案，用于辅助判断所述探针与所述清针板之间的距离。

10.根据权利要求1所述的探针清理装置，其特征在于：

所述探针清理装置还包括检测组件，设置于所述导向部的外侧，用于检测所述安装板的移动距离；

所述检测组件包括传感器、感应片和连接块，多个所述传感器沿所述导向部的延伸方向间隔设置于所述导向部的外侧面，所述连接块固定设于所述安装板的侧边，所述感应片的一端与所述连接块固定连接，所述安装板沿所述导向部移动时，所述感应片远离所述连接块的一端于多个所述传感器之间移动。

11.一种检测装置，其特征在于，包括移动平台、探针组件和权利要求1-10任一项所述的探针清理装置，所述探针清理装置设于所述移动平台上，所述移动平台用于根据所述相机定位组件的检测结果移动所述探针清理装置至与所述探针组件对应的位置。

Images