CN219280019U - 翻板装置及镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本申请涉及真空镀膜设备技术领域，尤其是涉及一种翻板装置及镀膜设备，翻板装置包括驱动组件、连接组件和翻板部，所述翻板部经由所述连接组件与所述驱动组件连接，所述连接组件包括垫块部、连接部和预压部，所述连接部的第一部分经由所述垫块部与所述翻板部的连接，使得所述连接部的第二部分与所述翻板部之间形成安置间隙，所述预压部设置于所述安置间隙，且所述预压部的两端分别与所述连接部和所述翻板部连接。根据本申请提供的翻板装置及镀膜设备，有效地拓展了驱动组件对翻板部的施力范围，提高了翻板部的受力均匀性，有效地避免了因翻板部受力不均导致的翻板部发生翘边、嵌缝、漏气等气密性不良的现象。

Description

翻板装置及镀膜设备

技术领域

本申请涉及真空镀膜设备技术领域，尤其是涉及一种翻板装置及镀膜设备。

背景技术

物理气相沉积(Physical Vapor Deposition，PVD)技术是指在真空条件下采用物理方法将材料源(固体或液体)表面气化成气态原子或分子，或部分电离成离子，并通过低压气体(或等离子体)过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。PVD设备在镀膜过程中腔体的气密性直接影响镀膜产品的镀膜质量。

现今，通常在腔体的侧壁开设供待镀膜物进出腔体的进/出料口，并在进/出料口上设置翻板装置，通过翻板装置封堵和开启进/出料口。

翻板装置通常包括彼此连接的驱动部和翻板部，在翻板装置处于封堵进/出料口的状态下，翻板部在驱动部的作用下与腔体的侧壁贴合实现腔体的密封。随着技术发展，对镀膜生产效率要求逐渐提高，通常将进/出料口的尺寸设计的较大，以提高待镀膜物的进出料的效率。对应地，翻板部为满足封堵进/出料口的需求，也需要设置较大尺寸。这使得在翻板装置处于封堵进/出料口的状态下，驱动部难以对翻板部均匀施力，进而导致翻板部的远离驱动部的部分容易与腔体侧壁发生翘边、嵌缝、漏气等气密性不良的现象。导致腔体的气密性难以达到镀膜要求。

实用新型内容

本申请的目的在于提供一种翻板装置及镀膜设备，以在一定程度上解决现有技术中存在的通常将进/出料口的尺寸设计的较大，以提高待镀膜物的进出料的效率。对应地，翻板部为满足封堵进/出料口的需求，也需要设置较大尺寸。这使得在翻板装置处于封堵进/出料口的状态下，驱动部难以对翻板部均匀施力，进而导致翻板部的远离驱动部的部分容易与腔体侧壁发生翘边、嵌缝、漏气等气密性不良的现象。导致腔体的气密性难以达到镀膜要求的技术问题。

根据本申请的第一方面提供一种翻板装置，包括驱动组件、连接组件和翻板部，所述翻板部经由所述连接组件与所述驱动组件连接，所述连接组件包括垫块部、连接部和预压部，所述连接部的第一部分经由所述垫块部与所述翻板部的连接，使得所述连接部的第二部分与所述翻板部之间形成安置间隙，所述预压部设置于所述安置间隙，且所述预压部的两端分别与所述连接部和所述翻板部连接。

优选地，所述驱动组件包括沿第一方向延伸的驱动轴，所述连接组件的数量为多个，多个连接组件沿第一方向间隔设置，任一所述连接组件的连接部与所述驱动轴铰接。

优选地，所述预压部为弹性材料；

所述连接组件还包括缓冲部，所述缓冲部设置于所述连接部的背对所述翻板部的一侧。

优选地，所述驱动组件还包括驱动部，所述驱动部包括直线驱动和凸轮部，所述驱动轴与所述凸轮部同轴设置，所述直线驱动与所述凸轮部的侧部铰接，以驱动所述翻板部绕所述驱动轴旋转。

优选地，所述驱动部还包括：

关节轴承，所述直线驱动和所述凸轮部两者将以所述关节轴承铰接；

感应部，设置于所述直线驱动的一侧，以检测所述直线驱动的行程；

调速部，与所述直线驱动连接。

优选地，所述驱动组件还包括轴承部，所述轴承部设置于所述驱动轴的两端，且套设于所述驱动轴外侧；

所述轴承部包括轴承部分、壳本体和密封部分，所述密封部分和所述轴承部分均与所述驱动轴同轴设置，所述壳本体设置于所述密封部分和所述轴承部分两者的外侧，所述密封部分设置于所述轴承部分的靠近所述翻板部的一侧，且所述密封部分压装于所述驱动轴与所述壳本体之间。

根据本申请的第二方面提供一种镀膜设备，包括上述任一技术方案所述的翻板装置，因而，具有该翻板装置的全部有益技术效果，在此，不再赘述。

优选地，所述镀膜设备还包括镀膜腔室，所述镀膜腔室包括在第二方向上彼此相对设置的进料口和出料口，所述翻板装置的数量为两个，两个翻板装置分别与所述进料口和所述出料口对应设置。

优选地，两个所述翻板装置中的一者设置于所述镀膜腔室的内侧，两个所述翻板装置中的另一者设置于所述镀膜腔室的外侧。

优选地，还包括传送装置，所述传送装置设置于所述镀膜腔室内，且所述传送装置的传送方向为所述第二方向。

与现有技术相比，本申请的有益效果为：

本申请提供的翻板装置，通过垫块部将连接部和翻板部之间形成安置间隙，并在安置间隙内设置两端分别与连接部和翻板部连接的预压部，有效地拓展了驱动组件对翻板部的施力范围，提高了翻板部的受力均匀性，有效地避免了因翻板部受力不均导致的翻板部发生翘边、嵌缝、漏气等气密性不良的现象。

为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的翻板装置的轴测结构示意图；

图2为图1提供的翻板装置在A处的放大结构示意图；

图3为图1提供的翻板装置在B处的放大结构示意图；

图4为本申请实施例提供的镀膜设备的轴测结构示意图；

图5为本申请实施例提供的轴承部的沿轴线剖切获得的剖切结构示意图。

附图标记：

100-翻板部；200-连接组件；210-连接部；211-卡扣；212-连接块；220-垫块部；221-垫板；222-铰接轴；223-铰接凸起；230-缓冲部；231-缓冲弹簧；232-缓冲板；240-预压部；310-驱动轴；321-直线驱动；322-凸轮部；323-关节轴承；324-感应部；325-调速部；330-轴承部；331-壳本体；332-轴承部分；333-密封圈；334-卡簧；335-抱环；340-固定环；400-镀膜腔室。

F1-第一方向；F2-第二方向；F3-第三方向。

具体实施方式

下面将结合附图对本申请的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。

通常在此处附图中描述和显示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。

基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

下面参照图1至图5描述根据本申请一些实施例所述的翻板装置及镀膜设备。

参见图1至图5所示，本申请第一方面的实施例提供了一种翻板装置，包括驱动组件、连接组件200和翻板部100，该翻板部100经由连接组件200与驱动组件连接，该连接组件200包括垫块部220、连接部210和预压部240，连接部210的第一部分经由垫块部220与翻板部100的连接，使得连接部210的第二部分与翻板部100之间形成安置间隙，所述预压部240设置于该安置间隙，且上述预压部240的两端分别与连接部210和翻板部100连接。

根据以上技术特征，通过垫块部220将连接部210和翻板部100之间形成安置间隙，并在安置间隙内设置两端分别与连接部210和翻板部100连接的预压部240，有效地拓展了驱动组件对翻板部100的施力范围，提高了翻板部100的受力均匀性，有效地避免了因翻板部100受力不均导致的翻板部100发生翘边、嵌缝、漏气等气密性不良的现象。

优选地，如图1和图2所示，上述预压部240可以是弹性材料。例如，预压部240可以是压设于连接部210和翻板部100两者之间的弹簧，一方面，避免对预压部240提供额外的动力源，有效地简化了翻板装置的结构；另一方面，若在连接部210和翻板部100之间的不同位置设置多个预压部240时(图中未示出)，多个弹簧能够有效地均匀不同位置的受力分布，提高翻板部100的受力均匀性。

如图1和图2中示出了预压部240的数量为一个的示例，然而不限于此，可以依据安置间隙的空间对预压部240的数量进行适应性调整，例如，2个、3个、4个……或者更多个。

优选地，如图1和图4所示，上述驱动组件可以包括沿第一方向F1延伸的驱动轴310，上述连接组件200的数量可以为多个，多个连接组件200沿第一方向F1间隔设置，任一连接组件200的连接部210与驱动轴310铰接，一方面，增加了驱动组件与翻板部100的连接点，进而增加翻板部100的受力均匀性；另一方面，多个连接组件200的预压部240，沿第一方向F1间隔设置，能够进一步均匀各连接点之间的受力分布，进而进一步保证了翻板部100在第一方向F1上的受力均匀性。

优选地，如图2所示，上述连接部210可以包括彼此可拆卸连接的卡扣211和连接块212，上述连接块212的一端与卡扣211连接，使得连接块212与卡扣211两者围设形成沿第一方向F1贯穿连接部210的通孔，以供安置上述驱动轴310，进而实现连接部210与驱动轴310的铰接。

优选地，如图2所示，垫块部220可以包括垫板221、铰接轴222和两个铰接凸起223。垫板221的一侧与翻板部100的侧面贴合，且该垫板221与翻板部100可拆卸连接，以便于更换维修。两个铰接凸起223沿第一方向F1相对地设置于上述垫板221的另一侧。上述连接块212的另一端设置于该两个铰接凸起223之间，且铰接轴222沿第一方向F1贯穿连接块212和两个铰接凸起223，以使得垫块部220和连接部210两者的铰接，进而增加翻板部100的翻转自由度。

可选地，如图2所示，垫板221和两个铰接凸起223三者一体成型，以提高垫块部220的连接稳定性。

优选地，如图2所示，连接组件200还可以包括缓冲部230，该缓冲部230设置于连接部210的背对翻板部100的一侧，一旦翻板装置在翻转的过程中与其他结构(例如，待镀膜物)发生碰撞，该缓冲部230能够对碰撞进行缓冲，有效地降低了其他结构在碰撞过程中被损伤的几率。

优选地，如图2所示，上述缓冲部230可以包括缓冲弹簧231和缓冲板232，该缓冲板232与连接块212两者间隔且平行设置，缓冲弹簧231设置于缓冲板232与连接块212两者之间，且与缓冲板232与连接块212两者连接，在翻板装置在翻转的过程中与其他结构(例如，待镀膜物)发生碰撞的过程中，若其他结构与缓冲板232的正面(即缓冲板232的背对连接块212的表面)发生碰撞时，弹簧能够被压缩，进而将其他结构的动能转化为弹簧的势能；若其他结构与缓冲板232的侧边发生碰撞时，弹簧能够发生弯曲，进而避开其他结构的碰撞。

然而不限于此，只要缓冲部230能够对碰撞进行缓冲，降低了其他结构在碰撞过程中被损伤的几率，缓冲部230还可以是其他弹性材料，例如，硅胶垫、橡胶垫等。

可选地，如图1所示，上述翻板装置还可以包括多个固定环340，多个固定环340沿第一方向F1间隔套设于驱动轴310的外侧，以便于将翻板装置固定。

在实施例中，如图1和图3所示，驱动组件还可以包括驱动部，该驱动部包括直线驱动321和凸轮部322，该驱动轴310与凸轮部322同轴设置，直线驱动321与凸轮部322的侧部铰接，以驱动翻板部100绕驱动轴310旋转，以提高翻板装置的翻转传动精度。

优选地，如图3所示，该驱动组件还可以包括关节轴承323，所述直线驱动321和所述凸轮部322两者将以所述关节轴承323铰接，经由该关节轴承323实现了驱动组件到翻板部100的三级铰接传动(其中，一级为直线驱动321与关节轴承323之间的铰接传动、二级为驱动轴310与连接块212之间的铰接传动、三级为连接块212与垫块部220之间的铰接传动)，以进一步提高传动的精密性和翻板部100的翻转自由度。

优选地，该驱动组件能够驱动翻板部100旋转的角度可以为0°～180°。优选地，该驱动组件能够驱动翻板部100旋转的角度可以为60°～120°，以适应下述镀膜装置的空间。

优选地，如图3所示，该驱动组件还可以包括感应部324，该感应部324设置于所述直线驱动321的一侧，以检测直线驱动321的行程，进而提高翻板部100的翻转精度。可选地，该感应部324可以是测距传感器。

优选地，如图3所示，该驱动组件还可以包括调速部325，与所述直线驱动321连接，以通过控制直线驱动321的驱动速度，控制翻板部100的翻转速度。

可选地，上述直线驱动321可以为气缸，对应地，调速部325可以为调速阀。

然而，本申请提供的翻板装置的驱动结构并不局限于上述直线驱动321和凸轮部322的形式，只要能够保证驱动轴310的旋转精度，驱动组件还可以是其他结构，例如，驱动组件还可以包括与驱动轴310同轴设置的旋转驱动，例如旋转连接。又如，驱动组件还可以包括与驱动轴310同轴设置的齿轮、与齿轮啮合的齿条和直线驱动321。

优选地，如图1所述，上述驱动部的数量可以为两个，两个驱动部可以分别设置于上述驱动轴310的两端，以提高驱动轴310的旋转稳定性。

在实施例中，如图1和图5所示，驱动组件还可以包括轴承部330，该轴承部330设置于驱动轴310的两端，且套设于驱动轴310外侧，以便于驱动轴310的安置。

其中，如图5所示，轴承部330可以包括轴承部分332、壳本体331和密封部分，密封部分和轴承部分332均与驱动轴310同轴设置，壳本体331设置于密封部分和轴承部分332两者的外侧，密封部分设置于轴承部分332的靠近翻板部100的一侧，且密封部分压装于驱动轴310与所述壳本体331之间，以提高轴承部330的气密性，当上述翻板装置经由该轴承部330设置于下述镀膜设备时，有效避免了镀膜腔室400经由该轴承部330漏气的现象发生。

优选地，如图5所示，上述密封部可以是密封圈333，该密封圈333的数量可以是多个，多个密封圈333可以沿第一方向F1堆叠，以进一步提高轴承部330的密封性。

优选地，如图5所示，上述轴承部330还可以包括卡簧334，该卡簧334可以设置于密封圈333的背对轴承部分332的一侧，以便于多个密封圈333的固定。

优选地，如图5所示，上述轴承部330还可以包括抱环335，该抱环335与壳本体331连接，且设置于轴承部分332的背对密封圈333的一侧，以限定轴承部分332的位置。

优选地，如图5所示，上述轴承部分332可以是球状轴承。

本申请第二方面的实施例还提供一种镀膜设备，包括上述任一实施例所述的翻板装置，因而，具有该翻板装置的全部有益技术效果，在此，不再赘述。

参见图4，图中F1示出的方向可以为第一方向的一种示例，图中F2示出的方向可以为第二方向的一种示例，图中F3示出的方向可以为第三方向的一种示例。优选地，第一方向F1、第二方向F2以及第三方向F3三者中的任意两者垂直，其中，在上述镀膜设备处于使用状态下，第三方向F3可以是重力方向。

在实施例中，优选地，如图4所示，该镀膜设备还可以包括镀膜腔室400，镀膜腔室400包括在第二方向F2上彼此相对设置的进料口和出料口，所述翻板装置的数量为两个，两个翻板装置分别与所述进料口和所述出料口对应设置，如此，完成镀膜的产品和待进入镀膜设备的待镀膜物两者能够分别经由出料口和进料口同时进出镀膜腔室400，有效地提高了镀膜设备的进出料效率。

需要说明的是，上述镀膜腔室400的顶部还设置有上盖(换而言之，该镀膜腔室400为密闭腔室)，图4中为了便于示出镀膜腔室400的内部结构，已将该上盖进行隐藏处理。

优选地，如图4所示，两个翻板装置中的一者设置于镀膜腔室400的内侧，两个翻板装置中的另一者设置于镀膜腔室400的外侧，使得进料口的翻板装置和出料口的翻板装置两者的翻转方向一致，使得镀膜腔室400仅需镀膜腔室400的在第二方向F2上的一侧预留翻板装置的翻转空间，提高了镀膜设备的空间利用率。

优选地，图中未示出，该镀膜设备还包括可以传送装置，传送装置设置于该镀膜腔室400内，且传送装置的传送方向为第二方向F2，以便于将待镀膜物自进料口运入镀膜腔室400，和/或，将完成镀膜的产品自镀膜腔室400经由出料口运出。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种翻板装置，其特征在于，包括驱动组件、连接组件和翻板部，所述翻板部经由所述连接组件与所述驱动组件连接，所述连接组件包括垫块部、连接部和预压部，所述连接部的第一部分经由所述垫块部与所述翻板部的连接，使得所述连接部的第二部分与所述翻板部之间形成安置间隙，所述预压部设置于所述安置间隙，且所述预压部的两端分别与所述连接部和所述翻板部连接。

2.根据权利要求1所述的翻板装置，其特征在于，所述驱动组件包括沿第一方向延伸的驱动轴，所述连接组件的数量为多个，多个连接组件沿第一方向间隔设置，任一所述连接组件的连接部与所述驱动轴铰接。

3.根据权利要求1所述的翻板装置，其特征在于，

所述预压部为弹性材料；

所述连接组件还包括缓冲部，所述缓冲部设置于所述连接部的背对所述翻板部的一侧。

4.根据权利要求2所述的翻板装置，其特征在于，所述驱动组件还包括驱动部，所述驱动部包括直线驱动和凸轮部，所述驱动轴与所述凸轮部同轴设置，所述直线驱动与所述凸轮部的侧部铰接，以驱动所述翻板部绕所述驱动轴旋转。

5.根据权利要求4所述的翻板装置，其特征在于，所述驱动部还包括：

关节轴承，所述直线驱动和所述凸轮部两者将以所述关节轴承铰接；

感应部，设置于所述直线驱动的一侧，以检测所述直线驱动的行程；

调速部，与所述直线驱动连接，以调节直线驱动的驱动速度。

6.根据权利要求2所述的翻板装置，其特征在于，所述驱动组件还包括轴承部，所述轴承部设置于所述驱动轴的两端，且套设于所述驱动轴外侧；

所述轴承部包括轴承部分、壳本体和密封部分，所述密封部分和所述轴承部分均与所述驱动轴同轴设置，所述壳本体设置于所述密封部分和所述轴承部分两者的外侧，所述密封部分设置于所述轴承部分的靠近所述翻板部的一侧，且所述密封部分压装于所述驱动轴与所述壳本体之间。

7.一种镀膜设备，其特征在于，包括权利要求1至6中任一项所述的翻板装置。

8.根据权利要求7所述的镀膜设备，其特征在于，所述镀膜设备还包括镀膜腔室，所述镀膜腔室包括在第二方向上彼此相对设置的进料口和出料口，所述翻板装置的数量为两个，两个翻板装置分别与所述进料口和所述出料口对应设置。

9.根据权利要求8所述的镀膜设备，其特征在于，两个所述翻板装置中的一者设置于所述镀膜腔室的内侧，两个所述翻板装置中的另一者设置于所述镀膜腔室的外侧。

10.根据权利要求8或9所述的镀膜设备，其特征在于，还包括传送装置，所述传送装置设置于所述镀膜腔室内，且所述传送装置的传送方向为所述第二方向。

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