CN219278728U - 一种可旋转掩膜版临时存储装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种可旋转掩膜版临时存储装置，包括底座、设置在底座上的旋转机构、设置在旋转机构上的矩形安装架，以及设置在矩形安装架四个侧面的四组存储机构。存储机构实现对掩膜版13的夹持存储，每组存储机构可以存储2个两个掩膜版，因此，一个存储装置可以同时存储8个掩膜版，旋转机构使矩形安装架进行360旋转，可以实现工位切换，保证每一侧的存储机构都可以与工作位点相对应，驱动机构可以使存储机构进行180度转动，实现工作面的切换，保证一组存储机构可存储两个掩膜版。进而提升存储机构的利用率，在进行存储时，本装置配合机器人上下料，全程无需人工取放，保证掩膜版的洁净度，同时相较于增加生产设备，本装置节约成本。

Description

一种可旋转掩膜版临时存储装置

技术领域

本实用新型涉及掩膜版加工技术领域，更具体地说，涉及一种可旋转掩膜版临时存储装置。

背景技术

光刻掩膜版(Photomask)也称光罩或MASK，是一种用于微电子制造过程中的图形转移工具或模版。通过曝光、显影以及蚀刻等工序，在玻璃铬版上制作需要的微观图形，主要应用于微电子平版印刷。在整个光刻掩膜版的制作流程大致分为铬版清洗，光刻胶涂布，烘烤，膜厚测量，光刻，显影，蚀刻，脱膜清洗，镜面清洗，缺陷检查，CD测量，TP测量，缺陷修补等环节。

目前随着自动化生产线的高度普及，掩膜版的生产也开始走向自动化、无人化，全程由机器人进行掩膜版的搬运、传输。但是在掩膜版诸多生产环节当中，有的环节完成一张掩膜版作业所需的时间很短，有些环节完成一张掩膜版作业所需的时间却很长，这样就会造成产品的堆积而造成生产线的拥堵。现阶段为了缓解拥堵问题只有两种方案，一种是人为的将拥堵环节的掩膜版从产线下料装入中转盒中，等待不拥堵时再将该装盒的掩膜版人为的上料继续加工生产，但是这种方法的缺点是人在抬掩膜版的过程中，会将其弄脏，增加清洗难度和后端测量的准确性，而且有摔落报废的风险。另一种方案是增加购买生产设备，这种方法的缺点是成本会增加。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种可旋转掩膜版临时存储装置，能够自动存取掩膜版，避免生产工序中产品堆积拥堵，同时也能避免对产品造成污染，用以解决上述背景技术中存在的技术问题。

本实用新型技术方案一种可旋转掩膜版临时存储装置，包括底座、设置在所述底座上的旋转机构、设置在所述旋转机构上的矩形安装架，以及设置在所述矩形安装架四个侧面的四组存储机构；

所述矩形安装架上对应四组所述存储机构设置有四组驱动机构，所述存储机构设置在所述驱动机构上，所述驱动机构驱动所述存储机构以Y轴为旋转轴旋转180度，所述存储机构初始状态下与所述矩形安装架的侧面平行。

在一个优选地实施例中，所述存储机构包括分设在所述驱动机构两侧的两存储组件，每个所述存储组件均可存储一个掩膜版，且所述存储组件对掩膜版夹持固定。

在一个优选地实施例中，所述存储组件包括呈上下设置的两夹持件，两所述夹持件分别夹持掩膜版上下两侧所述夹持件通过驱动机构驱动沿相互靠近或者远离方向运动。

在一个优选地实施例中，所述夹持件包括安装板和设置在所述安装板上的两夹块，所述夹块上设置有夹持凹槽，所述夹块夹持掩膜版是，掩膜版侧边位于所述夹持凹槽中。

在一个优选地实施例中，所述安装板上设置有防偏传感器。

在一个优选地实施例中，所述驱动机构包括与所述矩形安装架转动连接的工位翻转轴和呈双侧设置在所述工位翻转轴上的两组直线轴，每组直线轴包括分别与两所述夹块连接的两直线轴。

在一个优选地实施例中，所述旋转机构包括一电动旋转台，所述矩形安装架固定在电动旋转台上。

本实用新型技术方案的有益效果是：

存储机构实现对掩膜版13的夹持存储，每组存储机构可以存储2个两个掩膜版，因此，一个存储装置可以同时存储8个掩膜版，旋转机构使矩形安装架进行360旋转，可以实现工位切换，保证每一侧的存储机构都可以与工作位点相对应，驱动机构可以使存储机构进行180度转动，实现工作面的切换，保证一组存储机构可存储两个掩膜版。进而提升存储机构的利用率，在进行存储时，本装置配合机器人上下料，全程无需人工取放，保证掩膜版的洁净度，同时相较于增加生产设备，本装置节约成本。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图，

图2为本实用新型图1中A处放大图，

图3为本实用新型俯视状态示意图。

附图标记说明：1底座、2电动旋转台、3矩形安装架、4存储机构、5夹块、6夹持凹槽、7安装板、8防偏传感器、9驱动机构、10工位翻转轴、11直线轴、12工位状态灯、13掩膜版。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。本实用新型的实施例是为了示例和描述方便起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本实用新型限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本实用新型的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本实用新型从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。

如图1-3所示，本实用新型技术方案一种可旋转掩膜版临时存储装置，包括底座1、设置在所述底座1上的旋转机构、设置在所述旋转机构上的矩形安装架3，以及设置在所述矩形安装架3四个侧面的四组存储机构4。所述矩形安装架3上对应四组所述存储机构4设置有四组驱动机构9，所述存储机构4设置在所述驱动机构9上，所述驱动机构9驱动所述存储机构4以Y轴为旋转轴旋转180度，所述存储机构4初始状态下与所述矩形安装架3的侧面平行。

存储机构4实现对掩膜版13的夹持存储，每组存储机构4可以存储2个两个掩膜版，因此，一个存储装置可以同时存储8个掩膜版13，旋转机构使矩形安装架3进行360旋转，可以实现工位切换，保证每一侧的存储机构4都可以与工作位点相对应，驱动机构9可以使存储机构4进行180度转动，实现工作面的切换，保证一组存储机构4可存储两个掩膜版13。进而提升存储机构4的利用率，在进行存储时，本装置配合机器人上下料，全程无需人工取放，保证掩膜版的洁净度，同时相较于增加生产设备，本装置节约成本。

所述存储机构4包括分设在所述驱动机构9两侧的两存储组件，每个所述存储组件均可存储一个掩膜版13，且所述存储组件对掩膜版13夹持固定。所述存储组件包括呈上下设置的两夹持件，两所述夹持件分别夹持掩膜版13上下两侧，所述夹持件通过驱动机构9驱动沿相互靠近或者远离方向运动。所述夹持件包括安装板7和设置在所述安装板7上的两夹块5，所述夹块5上设置有夹持凹槽6，所述夹块5夹持掩膜版13时，掩膜版13侧边位于所述夹持凹槽6中。

进行存储时，首先通过机器人将掩膜,13夹送至存储工位上，然后驱动机构9驱动两夹块5相互靠近，两个夹块5上的夹持凹槽6分别夹住掩膜版13的上下两侧，在安装板7上设置防偏传感器8，可对夹持后的掩膜版13倾斜度进行检测，避免掩膜版13倾斜，同时在矩形框架3上设置有工位状态灯12，以显示工位上是否有掩膜版13。

所述驱动机构9包括与所述矩形安装架3转动连接的工位翻转轴10和呈双侧设置在所述工位翻转轴10上的两组直线轴11，每组直线轴11包括分别与两所述夹块5连接的两直线轴11。工位翻转轴10通过电机驱动实现180度转动，进而实现两存储组件的位置切换，直线轴11通过气缸驱动进而实现两安装板7上夹块5的移动。

所述旋转机构包括一电动旋转台2，所述矩形安装架3固定在电动旋转台2上。

显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域及相关领域的普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都应属于本实用新型保护的范围。本实用新型中未具体描述和解释说明的结构、装置以及操作方法，如无特别说明和限定，均按照本领域的常规手段进行实施。

Claims (7)

1.一种可旋转掩膜版临时存储装置，其特征在于：包括底座、设置在所述底座上的旋转机构、设置在所述旋转机构上的矩形安装架，以及设置在所述矩形安装架四个侧面的四组存储机构；

所述矩形安装架上对应四组所述存储机构设置有四组驱动机构，所述存储机构设置在所述驱动机构上，所述驱动机构驱动所述存储机构以Y轴为旋转轴旋转180度，所述存储机构初始状态下与所述矩形安装架的侧面平行。

2.根据权利要求1所述的一种可旋转掩膜版临时存储装置，其特征在于：所述存储机构包括分设在所述驱动机构两侧的两存储组件，每个所述存储组件均可存储一个掩膜版，且所述存储组件对掩膜版夹持固定。

3.根据权利要求2所述的一种可旋转掩膜版临时存储装置，其特征在于：所述存储组件包括呈上下设置的两夹持件，两所述夹持件分别夹持掩膜版上下两侧所述夹持件通过驱动机构驱动沿相互靠近或者远离方向运动。

4.根据权利要求3所述的一种可旋转掩膜版临时存储装置，其特征在于：所述夹持件包括安装板和设置在所述安装板上的两夹块，所述夹块上设置有夹持凹槽，所述夹块夹持掩膜版是，掩膜版侧边位于所述夹持凹槽中。

5.根据权利要求4所述的一种可旋转掩膜版临时存储装置，其特征在于：所述安装板上设置有防偏传感器。

6.根据权利要求4所述的一种可旋转掩膜版临时存储装置，其特征在于：所述驱动机构包括与所述矩形安装架转动连接的工位翻转轴和呈双侧设置在所述工位翻转轴上的两组直线轴，每组直线轴包括分别与两所述夹块连接的两直线轴。

7.根据权利要求1所述的一种可旋转掩膜版临时存储装置，其特征在于：所述旋转机构包括一电动旋转台，所述矩形安装架固定在电动旋转台上。

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