CN219266407U - 一种四探针电阻率测试仪 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体测试技术领域，尤其为一种四探针电阻率测试仪，包括仪表、测试台和轴杆，所述轴杆的凹槽内壁固定连接有齿条，所述轴杆的外侧滑动连接有连接套，所述连接套的外侧固定连接有卡套，所述卡套的内侧设置有测试头，所述卡套的导孔处转动连接有传动件，所述传动件的前端固定连接有控制轮，所述传动件的另一端固定连接有第一齿轮，所述第一齿轮与齿条啮合连接，所述连接套的上侧固定连接有控制壳，所述控制壳的内壁前后两侧均固定连接有限位件，所述限位件的内侧转动连接有传动轴，通过设置的齿条、传动轴、激光灯等结构，实现了四探针测试仪可以对不规则的半导体材料的合适测量区域进行快速指示对齐的能力，提高了装置的实用性。

Description

一种四探针电阻率测试仪

技术领域

本实用新型涉及半导体测试技术领域，具体为一种四探针电阻率测试仪。

背景技术

四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备，普遍用于对半导体材料的电阻率测量。

现有的四探针测试仪在对半导体材料进行测量时会出现一些问题，探针需要压住半导体材料中央位置进行测量，由于需要压住材料的上表面，现有的对齐方式普遍是在测试台表面设有刻度进行对齐，不够精确，且由于部分半导体材料的形状不够规则，需要选择合适的探针测量区域，现有的四探针测试仪不便一次就使探针压到半导体材料的合适区域进行测量，需要多次手动调整，因此，根据上述问题提出一种四探针电阻率测试仪。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种四探针电阻率测试仪，以解决现有的对齐方式普遍是在测试台表面设有刻度进行对齐，不够精确，且由于部分半导体材料的形状不够规则，需要选择合适的探针测量区域，现有的四探针测试仪不便一次就使探针压到半导体材料的合适区域进行测量，需要多次手动调整的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种四探针电阻率测试仪，包括仪表、测试台和轴杆，所述轴杆的凹槽内壁固定连接有齿条，所述轴杆的外侧滑动连接有连接套，所述连接套的外侧固定连接有卡套，所述卡套的内侧设置有测试头，所述卡套的导孔处转动连接有传动件，所述传动件的前端固定连接有控制轮，所述传动件的另一端固定连接有第一齿轮，所述第一齿轮与齿条啮合连接，所述连接套的上侧固定连接有控制壳，所述控制壳的内壁前后两侧均固定连接有限位件，所述限位件的内侧转动连接有传动轴，所述传动轴的外侧固定连接有第二齿轮，所述传动轴的两端均固定连接有第一锥齿轮，所述控制壳的内壁前后两侧均固定连接有限位块，所述限位块的内侧均转动连接有传动杆，所述传动杆的左端均固定连接有第二锥齿轮，所述第一锥齿轮与第二锥齿轮之间啮合连接，所述传动杆的另一端均固定连接有主齿轮，所述主齿轮均啮合连接有从齿轮，所述从齿轮的右端面圆心处均固定连接有连接件，所述连接件的另一端均固定连接有固定套，所述固定套的内侧设置有激光灯。

优选的，所述第二齿轮设置在限位件之间，所述第二齿轮与齿条之间啮合连接。

优选的，两侧所述激光灯延伸出的红点相重合。

优选的，所述激光灯与测试头的中轴线为同一平面。

优选的，所述主齿轮与从齿轮的大小不同。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型中，通过设置的齿条、第二齿轮、传动轴、激光灯等结构，转动控制轮带动第一齿轮旋转以对测试头的高度进行调节，同时测试头的移动带动第二齿轮进行旋转，通过第二齿轮带动主齿轮旋转，使主齿轮带动从齿轮轻微转动，使激光灯会随着测试头的移动而转动，使两侧激光灯延伸出的红点始终保持重合，实现了四探针测试仪可以对不规则的半导体材料的合适测量区域进行快速指示对齐的能力，解决了现有的对齐方式普遍是在测试台表面设有刻度进行对齐，不够精确，且由于部分半导体材料的形状不够规则，需要选择合适的探针测量区域，现有的四探针测试仪不便一次就使探针压到半导体材料的合适区域进行测量，需要多次手动调整，提高了装置的实用性。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型图1的正视结构示意图；

图3为本实用新型图2的A处结构示意图；

图4为本实用新型图3的第二齿轮处结构示意图；

图5为本实用新型图3的限位件结构示意图；

图6为本实用新型图3的控制轮处结构示意图。

图中：1-仪表、2-测试台、3-轴杆、4-齿条、5-连接套、6-卡套、7-测试头、8-控制轮、9-传动件、10-第一齿轮、11-控制壳、12-传动轴、13-第二齿轮、14-限位件、15-第一锥齿轮、16-传动杆、17-主齿轮、18-从齿轮、19-连接件、20-固定套、21-激光灯、22-限位块、23-第二锥齿轮。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。

除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本发明的范围。同时，应当明白，为了便于描述，附图中所示出的各个部分的尺寸并不是按照实际的比例关系绘制的。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。在这里示出和讨论的所有示例中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它示例可以具有不同的值。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。

在本发明的描述中，需要理解的是，方位词如“前、后、上、下、左、右”、“横向、竖向、垂直、水平”和“顶、底”等所指示的方位或位置关系通常是基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，在未作相反说明的情况下，这些方位词并不指示和暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明保护范围的限制；方位词“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内外。

为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而，示例性术语“在……上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位(旋转90度或处于其他方位)，并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。

此外，需要说明的是，使用“第一”、“第二”等词语来限定零部件，仅仅是为了便于对相应零部件进行区别，如没有另行声明，上述词语并没有特殊含义，因此不能理解为对本发明保护范围的限制。

请参阅图1-6，本实用新型提供一种技术方案：

一种四探针电阻率测试仪，包括仪表1、测试台2和轴杆3，轴杆3的凹槽内壁固定连接有齿条4，轴杆3的外侧滑动连接有连接套5，连接套5的外侧固定连接有卡套6，卡套6的内侧设置有测试头7，卡套6的导孔处转动连接有传动件9，传动件9的前端固定连接有控制轮8，传动件9的另一端固定连接有第一齿轮10，第一齿轮10与齿条4啮合连接，连接套5的上侧固定连接有控制壳11，控制壳11的内壁前后两侧均固定连接有限位件14，限位件14的内侧转动连接有传动轴12，传动轴12的外侧固定连接有第二齿轮13，传动轴12的两端均固定连接有第一锥齿轮15，控制壳11的内壁前后两侧均固定连接有限位块22，限位块22的内侧均转动连接有传动杆16，传动杆16的左端均固定连接有第二锥齿轮23，第一锥齿轮15与第二锥齿轮23之间啮合连接，传动杆16的另一端均固定连接有主齿轮17，主齿轮17均啮合连接有从齿轮18，从齿轮18的右端面圆心处均固定连接有连接件19，连接件19的另一端均固定连接有固定套20，固定套20的内侧设置有激光灯21，转动控制轮8带动第一齿轮10旋转以对测试头7的高度进行调节，同时测试头7的移动带动第二齿轮13进行旋转，通过第二齿轮13带动主齿轮17旋转，使主齿轮17带动从齿轮18轻微转动，使激光灯21会随着测试头7的移动而转动，使两侧激光灯21延伸出的红点始终保持重合，实现了四探针测试仪可以对不规则的半导体材料的合适测量区域进行快速指示对齐的能力，解决了现有的对齐方式普遍是在测试台2表面设有刻度进行对齐，不够精确，且由于部分半导体材料的形状不够规则，需要选择合适的探针测量区域，现有的四探针测试仪不便一次就使探针压到半导体材料的合适区域进行测量，需要多次手动调整，提高了装置的实用性；第二齿轮13设置在限位件14之间，第二齿轮13与齿条4之间啮合连接，通过设置的限位件14可以对第二齿轮13进行限位，使第二齿轮13始终与齿条4保持啮合；两侧激光灯21延伸出的红点相重合，使两侧激光灯21延伸出的重合红点可以对半导体进行对齐；激光灯21与测试头7的中轴线为同一平面，使激光灯21延伸出的红点在测试头7探针的正下方；主齿轮17与从齿轮18的大小不同，通过主齿轮17与从齿轮18的大小不同，使主齿轮17转动时可以带动从齿轮18进行一定角度的轻微转动。

工作流程：当需要使用四探针电阻测试仪对不规则半导体进行电阻率测试时，启动仪表1通过线路连接测试头7，选择半导体合适的测试区域，将半导体放置在测试台2上，打开两侧激光灯21，将半导体放置在延伸出的重合红点下侧，使红点与选择的测试区域对齐，这时转动控制轮8使传动件9带动第一齿轮10旋转，由于第一齿轮10与齿条4之间啮合连接，第一齿轮10的转动带动连接套5、卡套6和测试头7向下移动，连接套5的向下移动带动控制壳11向下移动，通过第二齿轮13与齿条4的啮合，使第二齿轮13带动传动轴12第一锥齿轮15进行旋转，通过第一锥齿轮15与第二锥齿轮23之间的啮合，使第二锥齿轮23带动传动杆16主齿轮17进行旋转，通过主齿轮17带动从齿轮18进行轻微转动，通过从齿轮18的转动带动连接件19、固定套20和激光灯21进行转动，随着测试头7的向下位移，两侧的激光灯21也随之转动，使激光灯21延伸出红点始终保持重合，最后通过测试头7对半导体进行挤压测量。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种四探针电阻率测试仪，包括仪表(1)、测试台(2)和轴杆(3)，其特征在于：所述轴杆(3)的凹槽内壁固定连接有齿条(4)，所述轴杆(3)的外侧滑动连接有连接套(5)，所述连接套(5)的外侧固定连接有卡套(6)，所述卡套(6)的内侧设置有测试头(7)，所述卡套(6)的导孔处转动连接有传动件(9)，所述传动件(9)的前端固定连接有控制轮(8)，所述传动件(9)的另一端固定连接有第一齿轮(10)，所述第一齿轮(10)与齿条(4)啮合连接，所述连接套(5)的上侧固定连接有控制壳(11)，所述控制壳(11)的内壁前后两侧均固定连接有限位件(14)，所述限位件(14)的内侧转动连接有传动轴(12)，所述传动轴(12)的外侧固定连接有第二齿轮(13)，所述传动轴(12)的两端均固定连接有第一锥齿轮(15)，所述控制壳(11)的内壁前后两侧均固定连接有限位块(22)，所述限位块(22)的内侧均转动连接有传动杆(16)，所述传动杆(16)的左端均固定连接有第二锥齿轮(23)，所述第一锥齿轮(15)与第二锥齿轮(23)之间啮合连接，所述传动杆(16)的另一端均固定连接有主齿轮(17)，所述主齿轮(17)均啮合连接有从齿轮(18)，所述从齿轮(18)的右端面圆心处均固定连接有连接件(19)，所述连接件(19)的另一端均固定连接有固定套(20)，所述固定套(20)的内侧设置有激光灯(21)。

2.根据权利要求1所述的一种四探针电阻率测试仪，其特征在于：所述第二齿轮(13)设置在限位件(14)之间，所述第二齿轮(13)与齿条(4)之间啮合连接。

3.根据权利要求1所述的一种四探针电阻率测试仪，其特征在于：两侧所述激光灯(21)延伸出的红点相重合。

4.根据权利要求1所述的一种四探针电阻率测试仪，其特征在于：所述激光灯(21)与测试头(7)的中轴线为同一平面。

5.根据权利要求1所述的一种四探针电阻率测试仪，其特征在于：所述主齿轮(17)与从齿轮(18)的大小不同。

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