CN219265401U - 流量传感器模块及流量计 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种流量传感器模块及流量计，流量传感器模块包括主体、传感器单元及检测电极，检测电极包括具有第一焊盘及第二焊盘，检测电极上形成有间隙结构，以使第一焊盘与第二焊盘之间不导通。在使用过程中，杂质将同时在检测电极及传感器单元的感测区域上累积。而随着杂质在检测电极上累积，间隙结构将发生变化，从而导致检测电极的电阻或电容等电性参数发生变化。因此，通过对第一焊盘与第二焊盘之间的电性参数进行检测，便可得到杂质在检测电极及传感器单元的感应区域的累积程度，从而当杂质在传感器单元的感测区域累积的程度影响测量精度时，能够及时提示对传感器单元进行清洁或更换，以保持较高测量精度。

Description

流量传感器模块及流量计

技术领域

本实用新型涉及流量检测技术领域，特别涉及一种流量传感器模块及流量计。

背景技术

流量计能够用于气体或液体的流量检测，已被广泛应用于各领域，例如，环境监测、医疗卫生、安全防护等。

但是，随着使用时间的增加，流体中夹杂的灰尘等杂质容易在流量计的传感器单元的感测区域表面累积，从而导致传感器单元的敏感度降低。若无法对传感器单元进行及时的清洁或更换，便会导致流量计的测量精度降低。

实用新型内容

基于此，有必要针对上述问题，提供一种方便维护，以保持较高测量精度的流量传感器模块及流量计。

一种流量传感器模块，其特征在于，包括：

主体，所述主体内形成有供流体通过的流体流道；

传感器单元，设置于所述主体内，所述传感器单元的感测区域至少部分暴露于所述流体流道或构成所述流体流道的内壁的一部分；及

检测电极，设置于所述主体内，所述检测电极暴露于所述流体流道内并位于所述传感器单元的上游侧和/或下游侧；

其中，所述检测电极具有第一焊盘及第二焊盘，所述检测电极上形成有间隙结构，以使所述第一焊盘与所述第二焊盘之间不导通。

在其中一个实施例中，所述传感器单元包括加热单元、位于所述加热单元的上游侧的第一温度感应单元及位于所述加热单元的下游侧的第二温度感应单元。

在其中一个实施例中，所述主体内形成有与所述流体流道连通的检测槽，所述检测电极位于所述检测槽内。

在其中一个实施例中，所述检测槽具有安装区域及集尘区域，所述安装区域位于所述检测槽靠近所述传感器单元的一侧，所述集尘区域位于所述检测槽远离所述传感器单元的一侧，所述检测电极分布于所述安装区域。

在其中一个实施例中，所述间隙结构包括多个相互平行并沿预设方向延伸的狭缝。

在其中一个实施例中，所述检测电极包括第一电极结构及第二电极结构，所述第一焊盘及所述第二焊盘分别设置于所述第一电极结构及所述第二电极结构上，所述间隙结构包括形成于所述第一电极结构与所述第二电极结构之间的多个相互平行并沿预设方向延伸的狭缝。

在其中一个实施例中，所述主体内形成有与所述流体流道连通的集尘槽，所述集尘槽位于所述检测电极的上游侧。

在其中一个实施例中，所述集尘槽的底部设置有吸附电极，所述吸附电极能够通电产生静电。

在其中一个实施例中，所述主体上设置有第一通道及第二通道，所述第一通道及所述第二通道分别与所述流体流道的两端连通，并垂直于所述流体流道，所述集尘槽位于所述第一通道和/或所述第二通道与所述流体流道的连接处。

在其中一个实施例中，所述主体内形成有与所述流体流道相邻的空腔，所述传感器单元设于所述流体流道与所述空腔之间。

一种流量计，包括如上述优选实施例中任一项所述的流量传感器模块及封装结构，所述封装结构用于封装所述流量传感器模块。

上述流量传感器模块及流量计，在对流体进行流体特性检测时，流体沿流体流道流动，并由传感器单元进行检测。在使用过程中，杂质将同时在检测电极及传感器单元的感测区域上累积。而随着杂质在检测电极上累积，检测电极的间隙结构将发生变化，从而导致检测电极的电阻或电容等电性参数发生变化。因此，通过对第一焊盘与第二焊盘之间的电性参数进行检测，便可得到杂质在检测电极上的累积程度，从而得到杂质在传感器单元的感测区域上的累积程度，从而当杂质在传感器单元的感测区域累积的程度影响测量精度时，能够及时提示对传感器单元进行清洁或更换，以保持较高测量精度。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型第一个实施例中流量传感器模块的结构示意图；

图2为图1所示流量传感器模块中检测电极的结构示意图；

图3为本实用新型第二个实施例中流量传感器模块的结构示意图；

图4为本实用新型第三个实施例中流量传感器模块的结构示意图；

图5为本实用新型第四个实施例中流量传感器模块的结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

请参阅图1至图5，本实用新型提供了一种流量传感器模块100及流量计(图未示)。其中，流量计包括流量传感器模块100及用于封装流量传感器模块100的封装结构(图未示)。

此外，本实施例中的流量计还包括处理模块(图未示)，处理模块与流量传感器模块100通讯连接。流量传感器模块100及处理模块可集成于一基板(图未示)上，流量传感器模块100可采用插接的方式连接于基板，以方便进行拆装。可以理解地，流量计还可不设置处理模块，而是使得流量传感器模块100与一设有处理模块的电子设备通讯连接，通过该电子设备的处理模块对流量计检测的数据进行处理。

请参阅图1，本实用新型第一个实施例中的流量传感器模块100包括主体110、传感器单元120及检测电极130。

主体110内形成有流体流道(图未标)，以供流体流通。流体可以是气体或液体。本实施例中的主体110由两片硅片(图未标)堆叠、键合构成，且两片硅片之间的间隙构成上述流体流道。通过将两片硅片堆叠、键合等技术，使得在晶圆级就形成了流体流道，有利于减小制造成本，且有利于减小后续的封装尺寸，使得流量计具有较小的成品尺寸，有利于在小型电子设备(例如，电子烟)中进行应用。两片硅片键合的方式可以是Si-Si键合、Si-O-Si键合、共晶键合以及玻璃浆料键合中的任意一种。两片硅片中的任意一片可以相对另一片设置开口槽(图未示)，以增加两片硅片之间的间隙，从而增加流体流道的径向尺寸，即，增加流体流道的截面积。

在本实施例中，主体110上还设置有第一通道1011和第二通道1012，第一通道1011及第二通道1012分别与流体流道的两端连通。而且，第一通道1011及第二通道1012还均与周围或外部环境连通。即，第一通道1011和第二通道1012中的一个作为流入通道，用于引导流体流入流体流道，第一通道1011和第二通道1012中的另一个则作为流出通道，用于引导流体流出流体流道。

第一通道1011及第二通道1012的延伸方向垂直于流体流道。第一通道1011和第二通道1012可以设置于同一片硅片上，也可以分别设置在两片硅片上，即，其中一片硅片上设置第一通道1011，另一片硅片上设置第二通道1012。当第一通道1011和第二通道1012设置于同一片硅片上时，第一通道1011和第二通道1012的延伸方向相同。当第一通道1011和第二通道1012分别设置在两片硅片上时，第一通道1011和第二通道1012的延伸方向相反。

以图1所示为例，两片硅片中位于上方的为第一硅片，位于下方的为第二硅片，流体流道沿水平方向延伸，第一通道1011及第二通道1012均沿竖直方向延伸，且第一通道1011及第二通道1012的延伸方向相反，第一通道1011设置于第一硅片上并沿竖直方向向上延伸，第二通道1012设置于第二硅片上并沿竖直方向向下延伸。

传感器单元120设置于主体110内，传感器单元120的感测区域(图未标)至少部分暴露于流体流道内或构成流体流道的内壁的一部分，从流体流道内流过的流体将经过传感器单元120。具体的，传感器单元120与处理模块通讯连接。传感器单元120能够将检测到的流体的特性转化为电信号，并传递至处理模块，再由处理模块将电信号处理转化成能够直观读取的流体特性信息或根据流体特性信息生成控制信息。

在本实施例中，传感器单元120包括第一温度感应单元121、第二温度感应单元122及加热单元123，第一温度感应单元121位于加热单元123的上游侧，第二温度感应单元122位于加热单元123的下游侧。其中，加热单元123的上游侧指的是加热单元123邻近第一通道1011的一侧，加热单元123的下游侧指的是加热单元123邻近第二通道1012的一侧。需要注意的是，加热单元123的上游侧、加热单元123的下游侧仅用于指示加热单元123的相对两侧与第一通道1011和第二通道1012的相对位置关系，并不用于指示流体流动流经的上游和下游。也就是说，流体的流动方向可以是第一温度感应单元121指向第二温度感应单元122，也可以是第二温度感应单元122指向第一温度感应单元121。

加热单元123能够对周围环境加热，而第一温度感应单元121及第二温度感应单元122则能够感应温度并对应产生电信号。具体的，加热单元123可采用电热丝、PN结加热器或可以实现加热的多(单)晶硅重掺杂等，第一温度感应单元121及第二温度感应单元122可采用热敏电阻。第一温度感应单元121、第二温度感应单元122及加热单元123均与处理模块通讯连接，处理模块能够控制加热单元123启动或停止加热，并接收第一温度感应单元121及第二温度感应单元122产生的电信号。

第一温度感应单元121及第二温度感应单元122与加热单元123之间的距离相等或大致相等。加热单元123启动加热后，周围温度升高。当流体流道内没有流体流动时，加热单元123周围的温度呈对称分布，第一温度感应单元121及第二温度感应单元122所感测到的温度的温差为0℃。当流体沿流体流道流经传感器单元120时，由于流体会带走热量，故第一温度感应单元121所感测的温度和第二温度感应单元122所感测的温度的温差不为0℃。此时，处理模块便可根据两者所感测到的温度的温差变化获取流体特性信息或根据流体特性信息生成控制信息。

具体地，流体特性信息包括流体流道内是否存在流体，流体的流向以及流体的流量、流速等。当第一温度感应单元121和第二温度感应单元122所感测的温度的温差由零变化为非零时，则表明流体流道内存在流体。流体流动时，位于流动路径上游的温度感应单元检测到的温度低于位于流动路径下游的温度感应单元检测到的温度，因此，当第一温度感应单元121检测到的温度低于第二温度感应单元122检测到的温度时，流体的流动方向为第一温度感应单元121指向第二温度感应单元122。当第二温度感应单元121检测到的温度低于第一温度感应单元121检测到的温度时，流体的流动方向为第二温度感应单元122指向第一温度感应单元121。另外，流体的流量和/或流速与温差大小呈正比，可以根据温差大小获得流量(流速)或者流量(流速)变化趋势。根据流体特性信息生成控制信息，可以是控制受控模块工作或停止工作，控制受控模块的工作电压(工作电流)，控制受控模块产生报警信息等。

例如，受控模块是电子烟的加热模块，当流体流道内存在流体时，表明用户有抽吸动作，则控制加热模块启动加热。进一步的，还可以通过流体流向判断用户通过电子烟的吸嘴进行吸气还是吹气，对用户的抽吸动作做精确区分，仅当用户吸气时，控制加热模块启动加热。更进一步的，根据流量(流速)大小判断抽吸力度，从而调整加热模块的工作电压(工作电流)。受控模块还可以包括电子烟的报警模块，当判断结果为用户通过电子烟的吸嘴进行吹气时，则表明用户操作动作不规范，通过报警模块发生报警信息。

在本实施例中，主体110内形成有与流体流道相邻的空腔1013，传感器单元120设于流体流道与空腔1013之间。

具体的，空腔1013与流体流道之间具有隔断壁(图未标)，传感器单元120设于该隔断壁上。空腔1013内填充空气，而空气的热传导系数相较于主体110本身较小。因此，在加热单元123启动加热时，由于空腔1013的阻隔使得通过主体110向外散发的热量较小，从而减少热量损失，有利于提升传感器单元120的感测精度。此外，空腔1013的一侧开设有朝向外界或周围环境的开口。空腔1013内的空气加热后会膨胀，而通过开口能够使空腔1013与外界或周围环境连通，从而避免流体通道和空腔1013内因加热单元123加热而产生压差。

具体的，空腔1013设置在第二硅片上并沿竖直方向贯穿第二硅片远离流体流道的表面，第二硅片上位于空腔1013和流体流道之间的部分构成隔断壁，传感器单元120设置在隔断壁上。

检测电极130设于主体110内并暴露于流体流道内，且检测电极130位于传感器单元120的上游侧。显然，在其他实施例中，检测电极130也可同时分布于传感器单元120的上游侧及下游侧，或仅分布于传感器单元120的下游侧。譬如，在图3所示的第二个实施例及图4所示的第三个实施例中，传感器单元120的上游侧及下游侧均设置有检测电极130。其中，传感器单元120的上游侧指的是传感器单元120邻近第一通道1011的一侧，传感器单元120的下游侧指的是传感器单元120邻近第二通道1012的一侧。需要注意的是，传感器单元120的上游侧、传感器单元120的下游侧仅用于指示传感器单元120的相对两侧与第一通道1011和第二通道1012的相对位置关系，并不用于指示流体流动流经的上游和下游。

在传感器单元120的上游侧及下游侧均设置有检测电极130，对于双向流动的情况是有利的。例如，应用于电子烟时，用户在进行正确的抽吸动作时，空气沿正向流动，用户在结束抽吸动作的当下，带有气溶胶形成基质(例如，烟油)的空气会倒灌，沿反向流动。当正向流动沿着第二通道1012、流体流道、第一通道1011流动时，则反向流动为沿着第一通道1011、流体流道、第二通道1012流动。

请一并参阅图2，检测电极130具有第一焊盘130A及第二焊盘130B。而且，检测电极130具体通过第一焊盘130A及第二焊盘130B与处理模块通讯连接。此外，检测电极130上形成有间隙结构130，以使第一焊盘130A与第二焊盘130B之间不导通。

具体的，检测电极130包括第一电极结构131及第二电极结构132，第一焊盘130A及第二焊盘130B分别设置于第一电极结构131及第二电极结构132，且第一电极结构131与第二电极结构132之间形成有间隙结构1301。

也就是说，在初始状态时，由于形成有间隙结构1301，第一电极结构131与第二电极结构132并不接触，从而使得第一焊盘130A与第二焊盘130B之间不导通。随着流体沿流体流道流动，流体中的杂质将同时在检测电极130及传感器单元120的感测区域上沉积，故检测电极130上杂质的累积程度能够反映传感器单元120的感测区域上杂质的累积程度。

随着杂质在检测电极130上累积，间隙结构1301会被杂质填充，而由于杂质也具备一定的导电性(杂质可能是固体，例如，灰尘，也可能是液体，例如，电子烟用的烟油)，故会导致检测电极130的电阻或电容等电性参数发生变化。初始状态时，检测电极130上无杂质累积，第一焊盘130A与第二焊盘130B间不导通，故处理模块检测到的电阻值极大；而当杂质填充于间隙结构1301时，处理模块检测到的电阻值将减小，且在一定范围内杂质累积越多则电阻值便越小。初始状态时，由于第一焊盘130A与第二焊盘130B之间由空气隔开，故处理模块检测到的介电常数较小，电容值较小；而当杂质填充于间隙结构1301时，处理模块检测到的介电常数将增大，且在一定范围内杂质累积越多则介电常数便越大，对应电容值也越大。

处理模块通过对检测电极130的第一焊盘130A与第二焊盘130B之间的电性参数进行检测，便可得到杂质在检测电极130上的累积程度，从而可以对应得到杂质在传感器单元120的感测区域的累积程度。因此，当杂质在传感器单元120的感测区域累积的程度影响测量精度时，能够及时提示对传感器单元120进行清洁或更换，从而方便维护以保持较高的测量精度。可以理解地，所述对于传感器单元120的更换，可以是仅对传感器单元120更换，也可以是对流量传感器模块100更换，还可以是对流量计更换，用户根据实际情况进行更换即可。

在本实施例中，间隙结构1301包括多个相互平行并沿预设方向延伸的狭缝，多个狭缝具体形成于第一电极结构131与第二电极结构132之间。

该预设方向可以是流体在流体流道内的流动方向，即图1所示的左右方向，也可以是在水平面内与流体在流体流道内的流动方向相垂直的方向。优选在水平面内与流体在流体流道内的流动方向相垂直的方向。这样，流体在流体流道内流动时会受到检测电极130的阻碍，有利于流体内的杂质沉积在检测电极130所在的区域，降低杂质对传感器单元120的感测区域的污染。

需要指出的是，在其他实施例中，间隙结构1301也可以是不规则分布的孔、缝等结构。

进一步的，在本实施例中，第一电极结构131包括多个沿预设方向延伸的第一齿状电极1311，第二电极结构132包括多个沿预设方向延伸的第二齿状电极1321，多个第一齿状电极1311与多个第二齿状电极1321交错并间隔设置，以在相邻的第一齿状电极1311与第二齿状电极1321之间形成狭缝，即，在相邻的第一齿状电极1311与第二齿状电极1321之间形成间隙结构1301。

可见，第一电极结构131及第二电极结构132均呈梳齿状，能够提升间隙结构1301在检测电极130上分布的均匀性。

在本实施例中，主体110内形成有与流体流道连通的检测槽102，检测电极130位于检测槽102内。检测槽102为开设在第一硅片和/或第二硅片上且开口朝向流体流道的开口槽。

流量传感器模块100使用过程中，一方面，检测槽102为检测电极130提供安装空间，从而防止检测电极130占用流体流道，以避免检测电极130堵塞流体流道。另一方面，检测槽102还能够提供容纳杂质的空间，流体内的杂质能够在检测槽102内沉积并被收集，从而降低流经传感器单元120的流体中杂质的含量，以减缓杂质在传感器单元120的感测区域的累积速度，有助于提升流量传感器模块100的使用寿命。

此外，在本实施例中，检测槽102位于第一通道1011与流体流道的连接处，和/或位于第二通道1012与流体流道的连接处。由于第一通道1011及第二通道1012的延伸方向垂直于流体流道，因此，流体在第一通道1011与流体流道的连接处换向，以及在第二通道1012与流体流道的连接处换向，流速会减缓，从而有利于流体中的杂质在检测槽102内沉积，进一步降低流经传感器单元120的流体中杂质的含量。

此外，将检测槽102设置于第一通道1011与流体流道的连接处，和/或第二通道1012与流体流道的连接处，在检测槽102收集到杂质后，还可以相对第一通道1011倒置流量传感器模块100，或相对第二通道1012倒置流量传感器模块100，并配合一定的晃动，可以起到对检测槽102的清洁作用。

需要指出的是，在其他实施例中，检测电极130也可直接设置于流体流道内并固定于流体流道的内壁。

请再次参阅图4，在本实用新型的第三个实施例中，检测槽102具有集尘区域及安装区域，安装区域位于检测槽102靠近传感器单元120的一侧，集尘区域位于检测槽102远离传感器单元120的一侧，检测电极130分布于安装区域。

以图4所示位于传感器单元120左侧的检测槽102为例，检测电极130分布于该检测槽102的右侧，而该检测槽102左侧留出空白，以作为集尘区域。可见，检测槽102的底部并未全部被检测电极130覆盖，集尘区域具有较大的容纳空间，能够收集流体中的大部分杂质，故只有小部分的杂质在检测电极130及传感器单元120的感测区域上沉积，从而能够提高检测的准确性。也就是说，通过将集尘区域设置于检测槽102远离传感器单元120的一侧，流体进入流体流道内后，流体中的杂质优先沉积在集尘区域，有利于提高检测槽102的集尘效率，降低杂质在检测电极130及传感器单元120的感测区域上沉积的概率，避免检测电极130上杂质过多而超出检测范围，从而无法引起电性参数的变化。而且，还能够提高检测电极130和传感器单元120的感测区域上受污染程度的同步性，从而能够提高检测的准确性。

请再次参阅图5，在本实用新型的第四个实施例中，主体110内形成有与流体流道连通的集尘槽103，集尘槽103位于检测电极130的上游侧。检测电极130的上游侧是指检测电极130在流体流动路径上的上游侧。例如，如图5所示，流体的流动路径为第一通道1011、流体流道、第二通道1012，则集尘槽103设置在第一通道1011和检测电极130之间，以位于检测电极130在流体流动路径上的上游侧。又例如，检测电极130位于传感器单元120的下游侧，流体的流动路径为第二通道1012、流体流道、第一通道1011，则集尘槽103设置在第二通道1012和检测电极130之间，以位于检测电极130在流体流动路径上的上游侧。可以理解地，集尘槽103的数量设置为大于或等于检测电极130的数量。

集尘槽103的结构与检测槽102的结构大致相同，为开设在第一硅片和/或第二硅片上且开口朝向流体流道的开口槽。沿流体流道流动的流体先流经集尘槽103，故流体内的杂质先在集尘槽103内沉积，从而降低流经检测电极130及传感器单元120的流体中杂质的含量。如此，则进一步减缓杂质在传感器单元120的感测区域上累积的速度，从而延长流量传感器模块100的使用寿命。

进一步的，在本实施例中，集尘槽103的底部设置有吸附电极140，吸附电极140能够通电产生静电。吸附电极140可以是通过金属镀膜等方式形成于集尘槽103底部的金属层，可连接到直流或交流电。由于流体中的杂质或多或少的带电，故吸附电极140通电后能够增强对杂质的吸附能力，从而使得流体中的杂质尽可能多的在集尘槽103内进行沉积，以进一步延长流量传感器模块100的使用寿命。另外，流体中的杂质优先沉积在集尘槽103内，降低杂质在检测电极130及传感器单元120的感测区域上沉积的概率，避免检测电极130上杂质过多而超出检测范围，从而无法引起电性参数的变化。而且，还能够提高检测电极130和传感器单元120的感测区域上受污染程度的同步性，从而能够提高检测的准确性。

此外，在本实施例中，集尘槽103相对于检测槽102优先设置在第一通道1011与流体流道的连接处，和/或第二通道1012与流体流道的连接处。由于第一通道1011及第二通道1012的延伸方向垂直于流体流道，因此，流体在第一通道1011与流体流道的连接处换向，以及在第二通道1012与流体流道的连接处换向，流速会减缓，从而有利于流体中的杂质在集尘槽103内沉积。

上述流量传感器模块100及流量计，在对流体进行流体特性检测时，流体沿流体流道流动，并由传感器单元120进行检测。在使用过程中，杂质将同时在检测电极130及传感器单元120的感测区域上累积。而随着杂质在检测电极130上累积，检测电极130的间隙结构1301将发生变化，从而导致检测电极130的电阻或电容等电性参数发生变化。因此，通过对第一焊盘130A与第二焊盘130B之间的电性参数进行检测，便可得到杂质在检测电极130上的累积程度，从而可以得到杂质在传感器单元120的感测区域的累积程度，从而当杂质在传感器单元120的感测区域累积的程度影响测量精度时，能够及时提示对传感器单元120进行清洁或更换，以保持较高测量精度。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (11)

1.一种流量传感器模块，其特征在于，包括：

主体，所述主体内形成有供流体通过的流体流道；

传感器单元，设置于所述主体内，所述传感器单元的感测区域至少部分暴露于所述流体流道或构成所述流体流道的内壁的一部分；及

检测电极，设置于所述主体内，所述检测电极暴露于所述流体流道内并位于所述传感器单元的上游侧和/或下游侧；

其中，所述检测电极具有第一焊盘及第二焊盘，所述检测电极上形成有间隙结构，以使所述第一焊盘与所述第二焊盘之间不导通。

2.根据权利要求1所述的流量传感器模块，其特征在于，所述传感器单元包括加热单元、位于所述加热单元的上游侧的第一温度感应单元及位于所述加热单元的下游侧的第二温度感应单元。

3.根据权利要求1所述的流量传感器模块，其特征在于，所述主体内形成有与所述流体流道连通的检测槽，所述检测电极位于所述检测槽内。

4.根据权利要求3所述的流量传感器模块，其特征在于，所述检测槽具有安装区域及集尘区域，所述安装区域位于所述检测槽靠近所述传感器单元的一侧，所述集尘区域位于所述检测槽远离所述传感器单元的一侧，所述检测电极分布于所述安装区域。

5.根据权利要求1所述的流量传感器模块，其特征在于，所述检测电极包括第一电极结构及第二电极结构，所述第一焊盘及所述第二焊盘分别设置于所述第一电极结构及所述第二电极结构上，所述间隙结构包括形成于所述第一电极结构与所述第二电极结构之间的多个相互平行并沿预设方向延伸的狭缝。

6.根据权利要求5所述的流量传感器模块，其特征在于，所述第一电极结构包括多个沿所述预设方向延伸的第一齿状电极，所述第二电极结构包括多个所述预设方向延伸的第二齿状电极，多个所述第一齿状电极与多个所述第二齿状电极交错并间隔设置，以在相邻的所述第一齿状电极与所述第二齿状电极之间形成所述狭缝。

7.根据权利要求1所述的流量传感器模块，其特征在于，所述主体内形成有与所述流体流道连通的集尘槽，所述集尘槽位于所述检测电极的上游侧。

8.根据权利要求7所述的流量传感器模块，其特征在于，所述集尘槽的底部设置有吸附电极，所述吸附电极能够通电产生静电。

9.根据权利要求7所述的流量传感器模块，其特征在于，所述主体上设置有第一通道及第二通道，所述第一通道及所述第二通道分别与所述流体流道的两端连通，并垂直于所述流体流道，所述集尘槽位于所述第一通道和/或所述第二通道与所述流体流道的连接处。

10.根据权利要求1至9任一项所述的流量传感器模块，其特征在于，所述主体内形成有与所述流体流道相邻的空腔，所述传感器单元设于所述流体流道与所述空腔之间。

11.一种流量计，其特征在于，包括如上述权利要求1至10任一项所述的流量传感器模块及封装结构，所述封装结构用于封装所述流量传感器模块。

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