CN219262679U - 一种大抽速罗茨泵的隔板结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种大抽速罗茨泵的隔板结构,所述隔板结构为平板式结构,隔板的一侧连接真空泵腔,另一侧连接油箱;其中,所述隔板结构的中心设置有两个与密封结构相配套的螺纹孔(3),用于固定旋封;所述隔板结构还设置有抽气孔(1),固定孔(2)和过油孔(5);所述抽气孔(1)用于抽空油箱上部空气;所述固定孔(2)用于固定连接;所述过油孔(5)用于润滑油的通路。本实用新型通过结构优化,设计一款结构简单、加工方便、容易安装的隔板结构,从而降低生产成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及大抽速罗茨泵的零部件,具体涉及一种大抽速罗茨泵的隔板结构。
背景技术
罗茨真空泵是一种变容积真空泵,靠泵腔内一对8字形转子同步、反向旋转的推压作用来移动气体而实现抽气。通常压缩比很低,固需配前级泵使用。随着工业的发展需求,现在越来越多的罗茨真空泵随前级泵一起广泛应用于半导体、光伏、真空镀膜等行业。
隔板作为罗茨真空泵中的一个主要零件,起到封闭工作腔,隔断被抽介质与润滑油的作用。其结构对泵的整体结构以及安装难易程度有着重要影响。而现有的罗茨真空泵隔板结构普遍较复杂,对生产加工隔板增加了困难,从而导致生产成本高。
实用新型内容
本实用新型旨在通过结构优化,设计一款结构简单、加工方便、容易安装的隔板,从而降低生产成本。
本实用新型提供一种大抽速罗茨泵的隔板结构,所述隔板结构为平板式结构,隔板的一侧连接真空泵腔,另一侧连接油箱;
其中,所述隔板结构的中心设置有两个与密封结构相配套的螺纹孔,用于固定旋封;
罗茨真空泵隔板为平板式结构,前面板连接真空泵腔,后面板连接油箱。与密封结构一起起到隔离介质与润滑油的作用。即,罗茨真空泵中的隔板结构和密封结构是相互配套,形成一个封闭结构。该螺纹孔是用于固定安装密封结构的。
其中,密封结构是用于密封工作腔室,防止真空泵油泄漏到工作腔室。密封结构主要件包括旋封,旋封外盘,唇封等部件,此处与隔板连接固定的就是旋封。
所述隔板结构还设置有抽气孔,固定孔和过油孔;所述抽气孔用于抽空油箱上部空气;所述固定孔用于固定连接;所述过油孔用于润滑油的通路。
在隔板上,设有抽气孔,固定孔和过油孔。
其中,抽气孔用于抽空油箱上部空气;抽气孔是一直通到泵的排气口;由于因罗茨泵是必须与前级泵配套使用的,则在使用过程中,前级泵通过抽气孔对罗茨泵油箱进行抽真空。在实际使用过程中,通过对油箱进行抽真空,则可降低隔板两侧压差,从而增加密封效果。
其中,所述抽气孔设置在所述隔板的上部;用于抽空油箱上部空气,减少油箱侧与转子侧压差,从而保证密封效果。
其中,所述固定孔用于固定连接;主要用于连接油箱。
其中,所述螺纹孔用于固定密封结构;本实用新型通过隔板上的螺纹孔,可将密封结构里旋封直接固定在隔板上;即所述螺纹孔与密封结构的旋封配套,用于安装固定密封结构。
其中,所述过油孔用于润滑油的通路。所述过油孔设置在螺纹孔的外侧;油箱里面的油通过此孔进出密封结构,从而润滑密封结构侧轴承。过油孔用于引入润滑油;过油孔大小的为φ8~10(孔径为8~10毫米);一进两出,进口在右侧中间位置,出口在下面。过油孔的大小与过油量相关,过油孔太小达不到润滑要求。
优选的,所述过油孔的数量为3个。
其中,还设有定位销孔,用于隔板结构的定位;在实际应用中,一般采用均布设计,使其受力均匀,保证安装不会偏斜。
其中,还设置有通孔;所述通孔设置在安装两密封结构的腔室之间,用连通两侧密封腔。该密封腔是指隔板、密封结构与轴承座形成的封闭腔,因为泵有两根轴,从而有两个封闭腔。而过油孔只有一个进口,从而通过这个通孔,可把润滑油引进另一侧密封腔,对轴承进行润滑,从而使润滑油能在两腔中流通。
还设有工艺孔,用于方便加工。
本实用新型提供的罗茨泵的隔板结构相比传统的隔板结构,结构简单,安装方便,从而降低生产成本。
附图说明
图1为罗茨真空泵隔板结构的平面示意图;
图2为罗茨真空泵隔板结构的立体示意图;
图中:1、抽气孔;2、固定孔;3、螺纹孔;4、定位销孔;5、过油孔;6、工艺孔;7、通孔。
具体实施方式
以下实施例用于说明本实用新型,但不用来限制本实用新型的范围。
实施例
本实用新型提供一种大抽速罗茨真空泵的隔板结构,如图1和图2所示,所述隔板结构为平板式结构,隔板的一侧连接真空泵腔,另一侧连接油箱;
所述隔板中心设置有,抽气孔1、固定孔2、螺纹孔3、定位销孔4、过油孔5、工艺孔6和通孔7;
其中,所述隔板结构的中心设置有两个与密封结构相配套的螺纹孔3,用于固定旋封;
所述抽气孔1设置在所述隔板的上部,用于抽空油箱上部空气;减少油箱侧与转子侧压差,从而保证密封效果。
所述固定孔2用于固定连接油箱;
所述过油孔5用于润滑油的通路。
其中,过油孔5设置在螺纹孔3的外侧,油箱里面的油通过此孔进出密封结构,从而润滑密封结构侧轴承;;
所述过油孔的数量为3个。过油孔孔径为φ8;一进两出,进口在右侧中间位置,两个出口在下隔板下方。从而进行润滑油通路,并通过润滑油进滑密封结构侧轴承。
其中,通孔7设置在安装两密封结构的腔室之间,用于连通两侧密封腔。
其中,定位销孔4,用于隔板结构的定位。
其中,工艺孔设置在隔板的上方,方便隔板结构的生产加工。
虽然,上文中已经用一般性说明、具体实施方式及试验,对本实用新型作了详尽的描述,但在本实用新型基础上,可以对之作一些修改或改进,这对本领域技术人员而言是显而易见的。因此,在不偏离本实用新型精神的基础上所做的这些修改或改进,均属于本实用新型要求保护的范围。
Claims (7)
1.一种大抽速罗茨泵的隔板结构,其特征在于,所述隔板结构为平板式结构,隔板的一侧连接真空泵腔,另一侧连接油箱;
其中,所述隔板结构的中心设置有两个与密封结构相配套的螺纹孔(3),用于固定旋封;
所述隔板结构还设置有抽气孔(1),固定孔(2)和过油孔(5);所述抽气孔(1)用于抽空油箱上部空气;所述固定孔(2)用于固定油箱连接;所述过油孔(5)用于润滑油的通路。
2.根据权利要求1所述的隔板结构,其特征在于,所述过油孔(5)设置在螺纹孔(3)的外侧。
3.根据权利要求2所述的隔板结构,其特征在于,所述过油孔的孔径为8~10毫米。
4.根据权利要求3所述的隔板结构,其特征在于,所述过油孔的数量为3个。
5.根据权利要求1所述的隔板结构,其特征在于,所述抽气孔(1)设置在所述隔板的上部。
6.根据权利要求1~5任一项所述的隔板结构,其特征在于,所述隔板结构上还设置有通孔,所述通孔设置在安装两密封结构的腔室之间,用于连通两侧密封腔。
7.根据权利要求6所述的隔板结构,其特征在于,所述隔板结构上还设置有定位销孔(4),用于隔板结构的定位。
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